CN104126153B - 用于制造谐振器的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于在基底中制造谐振器的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述谐振器。

Description

用于制造谐振器的方法
技术领域
本发明涉及一种谐振器，该谐振器包括以变形方式使用的体部，并且该谐振器作为螺旋谐振器或音叉。
背景技术
从现有技术中已知的是，一些由单晶或多晶材料制成的微技术零件(例如谐振器)是通过蚀刻制成的。此工艺包括：获取待蚀刻的基底，以及将一层光敏树脂沉积在顶部。在树脂上放置掩膜，并且将整个组件暴露在光线下，以使暴露在光线下的光敏树脂结构改变/改性。通过化学元素的作用除去改变的树脂，使得基底在除去树脂处被剥离而裸露。
接下来，对基底的这些裸露的区域进行化学蚀刻，以便形成中空部。化学试剂选择为仅蚀刻形成基底的材料，而不会蚀刻没有改变的光敏树脂。此化学蚀刻步骤的持续时间决定了中空部的尺寸。
同样地，可以设想通过机加工和/或抛光来制造微技术零件，因此钻头或抛光机可用于形成所述零件。
这种化学蚀刻工艺的第一个缺陷在于，它不能生成具有直的侧面或壁的中空部。事实上，所获得的中空部具有倾斜的侧面。这意味着，中空部的表面随深度而变化，即，表面随着中空部的深度而变得更大或更小。通常，表面随深度变得更小。这一观察结果意味着必须修改理论计算以获得具有直侧面的中空部。此外，中空部的轮廓在理论和实践之间的这种变化导致了特性的改变。
发明内容
本发明的一个目的在于，通过提出一种制造方法来克服上述缺陷，其用于制造具有中空部的部件，并且该中空部的侧面具有容易实现的倾斜度。
因此，本发明涉及一种在基底内制造谐振器的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：
a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；
b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造该谐振器。
本发明的一个优点在于，由于所使用的材料选择为可透过激光，因此可以形成位于表面下方的凹陷部。这使得激光能够瞄准谐振器的表面之上或下方的任一点。因此，使该材料具有选择性，以便随后的化学蚀刻仅在通过激光产生改变的材料上进行。因此，获得了一种允许形成复杂的内部凹陷部的方法。
本发明的方法的有利实施例形成了从属权利要求的主题。
在第一有利实施例中，该方法还包括下述步骤：
c)从该基底释放所述部件。
在第二有利实施例中，该至少一个区域的结构由具有飞秒脉宽的激光改变。
在第三有利实施例中，基底由单晶材料制成。
在另一有利实施例中，基底由多晶材料制成。
在另一有利实施例中，基底由诸如陶瓷或玻璃的无定形材料制成。
在另一有利实施例中，基底由聚合物制成。
在另一有利实施例中，该部件为谐振器，该谐振器包括基部，至少两个平行臂从该基部开始延伸，每个臂均具有上表面和下表面，该谐振器还包括至少一个凹陷部，其形成在该至少两个平行臂中的至少一个臂的其中一个表面上。
在另一有利实施例中，该至少一个凹陷部采用具有至少一个垂直侧面或壁的凹槽的形式。
在另一有利实施例中，该谐振器的每个臂都包括一个凹槽。
在另一有利实施例中，该谐振器在每个臂的上表面上包括凹槽，并且在每个臂的下表面上也包括凹槽。
在另一有利实施例中，该谐振器的每个臂都具有两个凹槽。
在另一有利实施例中，该谐振器在每个臂的上表面上包括两个凹槽，并且在每个臂的下表面上也包括两个凹槽。
在另一有利实施例中，该方法还包括通过激光改变谐振器的结构的步骤，以便局部改变材料的折射率。
在另一有利实施例中，该部件为包括联接到体部的惰性块/惯性块的谐振器，该体部由绕其自身卷绕形成螺旋的条状件形成，其特征在于，该体部具有至少一个中空部，以用于局部改变该体部的刚性并从而调节谐振器的频率和/或调节等时性缺陷。
在另一有利实施例中，该至少一个中空部包括至少两个平行的垂直侧面或壁。
在另一有利实施例中，该体部由石英或陶瓷或玻璃制成，并包括在该体部的整个长度上垂直且局部平行的侧面。
在另一有利实施例中，该体部具有相对于由条状件在自身上卷绕而形成的其它线圈升高的外曲线。
在另一有利实施例中，该体部传递和漫射由至少一个发光能量源发出的光。
在另一有利实施例中，该体部的结构由激光改变，以便局部改变材料的折射率。
在另一有利实施例中，其材料的折射率由激光改变的该体部的结构用于形成镜面。
在另一有利实施例中，其材料的折射率由激光改变的该体部的结构用于形成光导。
本发明涉及一种包括基部和至少一组电极的谐振器，至少两个平行臂从该基部开始延伸，每个臂都具有上表面和下表面，该至少一组电极位于该至少两个平行臂中的一个臂上，以电激励该至少两个平行臂，其特征在于，该谐振器包括至少两个直的平行臂。
在第一有利实施例中，该至少两个平行臂中的一个臂的其中一个表面包括至少一个采用具有垂直侧面或壁的凹槽的形式的凹陷部。
在第二有利实施例中，该谐振器的每个臂都包括一个凹槽。
在第三有利实施例中，该谐振器在每个臂的上表面上包括一个凹槽，并且在每个臂的下表面上也包括一个凹槽。
在另一有利实施例中，该谐振器的每个臂都具有两个凹槽。
在另一有利实施例中，该谐振器在每个臂的上表面上包括两个凹槽，并且在每个臂的下表面上也包括两个凹槽。
在另一有利实施例中，该凹槽包括使电场优化且同时提高对准公差的突出部。
在另一有利实施例中，该谐振器的所有侧面都是直的和垂直的。
在另一有利实施例中，该谐振器的所有角度都是直角。
在另一有利实施例中，该谐振器的所有侧面都是直的。
本发明还涉及包括联接到体部的惰性块的谐振器，该体部由在自身上卷绕以形成螺旋的条状件形成，其特征在于，该体部包括至少一个中空部，以用于局部改变该体部的刚性并从而调节该谐振器的频率和/或调节等时性缺陷。
在另一有利实施例中，该至少一个中空部包括至少两个平行侧面或壁。
在另一有利实施例中，该体部由石英或陶瓷或玻璃制成，并包括在该体部的整个长度上局部平行的侧面或壁。
在一个有利实施例中，该体部具有相对于由条状件在自身上卷绕而形成的其它线圈升高的外曲线。
在一个有利实施例中，该体部传递和漫射由至少一个发光能量源发出的光。
在一个有利实施例中，该体部的结构由激光改变，以便局部改变材料的折射率。
在一个有利实施例中，其材料的折射率由激光改变的该体部的结构用于形成镜面。
在一个有利实施例中，其材料的折射率由激光改变的该体部的结构用于形成光导。
在一个有利实施例中，该谐振器还包括与该体部成一体的内桩，该内桩具有设置用于将该谐振器安装在心轴上的孔，并且该孔具有其上设置至少一个凹槽的至少一个侧面，以使得中间元件能够插入该内桩和该心轴之间。
附图说明
在下文对仅以非限制性示例给出且在附图中示出的本发明的实施例的详细说明中，根据本发明的方法的目的、优点和特征将变得更加清楚，其中：
-图1和2示出了根据现有技术的谐振器的示意性正视图。
-图3a-3e为根据本发明的方法的步骤的示意图。
-图4和5示出了根据本发明的谐振器的第一实施例的示意图。
-图6示出了根据本发明的谐振器的第一实施例的一个变型的示意图。
-图7示出了根据本发明的谐振器的第二实施例的示意图。
-图8和9示出了根据本发明的谐振器的第二实施例的第一变型的示意图。
-图10示出了根据本发明的谐振器的第二实施例的第二变型的示意图。
-图11示出了根据本发明的谐振器的第三实施例的示意图。
-图12示出了根据本发明的谐振器的第一实施例的一个变型的示意图。
-图13示出了根据本发明的游丝摆轮谐振器的螺旋部的示意图。
-图14和15示出了根据本发明的游丝摆轮谐振器的螺旋部的变型的示意图。
-图16示出了根据本发明的游丝摆轮谐振器的固定部的示意图。
具体实施方式
图4和5示出了根据本发明的部件的示意图。
根据本发明的方法制造的部件101为谐振器300。图1中示出的传统谐振器包括以变形方式使用的体部100。该体部100采用放置在支承基座306上的基部302的形式，并且至少两个平行臂304从该基部延伸。这两个平行臂304承载喷涂金属，该喷涂金属在平行臂上形成两组电极308，用于使这些臂处于电场中并使它们振动。谐振器300在基部302上还包括分别连接到成组电极308的连接片309，如图5所示。每个臂304都包括上表面314和下表面316。这种类型的谐振器300的典型尺寸为：长度1mm，宽度0.1mm，厚度0.1mm。该谐振器还具有侧面或壁311。
为了改善谐振器300的特性，已知的是在臂304上形成凹陷部200，其采用凹槽310或者通道的形式。这些凹槽310增强了压电耦合，从而减少了电功率消耗。这种功率消耗的减少是电阻减小的结果，该电阻代表了谐振器300的等效电路中的损失。
本发明提出了提供一种用于形成部件101的凹槽310的制造方法。在当前情况下，重点将放在凹槽310或凹陷部200的形成上。
在图3a示出的第一步骤中，在这里为谐振器300的部件101未设置有形成于其中的凹槽310。因此，应该理解的是，谐振器300被预先形成。谐振器300根据其组成材料由最适合的方法(例如，机加工或化学蚀刻)制成，该组成材料在这里称为“第一材料”。
第二步骤包括采用激光(L)，该激光在这里具有飞秒脉宽，即，一秒的10-15(通常为100fs)。该脉宽的范围可以是从飞秒到皮秒(一秒的10-12)。然后将该激光(L)用于改变臂304的结构，如图3b所示。为此，将第一材料选择为可透过激光。这意味着，激光(L)的焦点(P)能够瞄准位于臂304的表面之上或下方的点(P)。对于在这里具有飞秒脉宽的激光(L)，第一材料可以是单晶材料(例如石英、蓝宝石或合成红宝石)，或者多晶材料(例如多晶红宝石)，或者像玻璃一样的无定形材料(例如硅石或陶瓷)。然后将焦点(P)瞄准谐振器300处的位于谐振器300的表面之上或下方的区域。这些都以预定的或希望的顺序进行，以便通过多光子吸收使结构产生局部改变。事实上，通过多光子吸收改变材料的结构需要非常高的能量密度。目前只有利用脉宽非常低(即，大约飞秒或者皮秒)的激光才能获得这种高能量密度。这些激光事实上能够在焦点处提供这种能量密度，即，在焦点处能量密度最高。第一臂304的结构因此被改变，如图3c所示，然后转到另一臂304。由此获得如图3d所示的谐振器300。
第三步骤包括采用化学试剂。该化学试剂选择为允许其结构已改变的区域Z1比其结构还未改变的区域Z2溶解得更快。这意味着，其结构已被激光(L)的焦点(P)改变的区域Z1的蚀刻速度高于其结构未被激光(L)改变的区域Z2的蚀刻速度。事实上，由飞秒激光(L)的焦点(P)实现的结构的局部改变意味着，可以选择对改变的区域Z1比对未改变的区域Z2反应更活跃的化学试剂。因此，将该谐振器浸入化学试剂形成的浴池中一段确定的时间可以溶解其结构已被激光(L)的焦点(P)改变的区域Z1的所有部分。当然，对谐振器300的尺寸的计算应考虑化学试剂在未改变区域上的蚀刻，并且因此不会过度溶解其结构未被改变的区域。由此获得如图3e所示的谐振器300。
此外，应该注意的是，为了使其结构已被改变的区域Z1产生溶解，区域Z1必须是化学试剂可到达的。因此，应该理解的是，至少一个表面或者靠近该表面的至少一个区域Z1被改变。事实上，此方法可以形成内部结构，但是要求化学试剂能到达其结构被改变的区域Z1。如果其结构被改变的区域Z1位于表面处，则该化学试剂能够立即溶解改变的区域Z1。然而，可以设想具有其结构已被改变但不位于表面上而正好位于表面下方的区域Z1。则化学试剂溶解将该化学试剂与改变的区域Z1隔开的少量未改变区域Z2，然后溶解所述改变的区域。当然，这意味着谐振器300的每个凹陷部200都必须相应地构造或连结。一旦全部的被改变区域Z1已被溶解，则从浴池中取出谐振器。
第四步骤包括清洁该谐振器，以便去除所有化学试剂残留物。这永久性地终止了化学反应。
本发明的方法具有双重优点。事实上，该方法可以局部改变部件材料的结构，以使得部件的表面之上或表面下方的每个位置都能产生结构性的改变。因此可以在复杂形状方面从结构上改变谐振器300，该谐振器将以精确的方式被化学蚀刻。例如，可以设想具有如图12所示的梯形臂。
因此，这种实现复杂形状的可能性可用于形成侧面或壁311，以及具有直的垂直侧面或壁312的中空部310。事实上，改变的区域Z2设置成提供直的侧面或壁312，并且由于化学蚀刻步骤只在改变的区域上起作用，所以保持了侧面312的垂直性。可以将本方法的优点总结为保持凹陷部200的初始形状。存在直的垂直侧面312改善了压电耦合。事实上，这些侧面312使得谐振器300的运动能力增加。这种运动能力代表了压电耦合效率。对于图4中示出的谐振器300，压电耦合增益大约为30％。
在图4和5中示出的第一实施方式中，谐振器采用了现有技术中的谐振器300的类型，即，其具有两个凹槽310。这两个凹槽310各自位于其中一个臂304的上表面314上。因此，每个臂304具有一个凹槽310。优选地，每个臂304的凹槽310都居中设置，如图4所示。因此，这些凹槽310可以具有与臂相同的形状，在图12的情况下为梯形。
在本发明的此第一实施方式的一个变型中，每个臂304的每个表面314,316都包括一个凹槽310。应该理解的是，对于具有两个臂304的谐振器300，该谐振器300具有四个凹槽310。因此，在每个臂304的上表面314上有一个凹槽310，并且在每个臂304的下表面316上有一个凹槽310。在此变型中，每个臂304的凹槽310相对于平面A-A’是相对的，如图6所示。
在第二实施方式中，在每个臂304的其中一个表面314,316上有至少两个凹槽310，如图7所示。优选地，一个臂304的所述至少两个凹槽310与另一臂304的所述至少两个凹槽310布置在同一表面314,316上。这种布置使得谐振器300中的电场最优化。
此第二实施方式可以具有一种变型，其中每个臂304的每个表面314,316都包括至少两个凹槽310，如图8所示。
这种变型可以具有两个通道，每个通道都包括直的侧面或壁312b和倾斜的侧面或壁312a，两个凹槽310由中心元件313分隔，如图9所示。这些通道设置成使得中心元件313由两个凹槽310的倾斜侧面312a形成。这些侧面312a倾斜成使得凹槽310的表面随着深度的增加而减小。这种设置利用凹槽310的直的侧面312b来增强耦合。此外，具有两个小凹槽310而非一个非常宽的凹槽310的事实意味着不会从谐振器300去除太多材料，因此谐振器被削弱得较少。
由于去除的材料更少并且因此由激光(L)改变的材料更少，所以此第二实施方式及其变型还具有可以缩短该方法的持续时间的优点。
然而，为了实现此第二实施方式，可以通过不同的方式使用本发明的方法。事实上，本发明被描述成使用具有飞秒脉宽的激光(L)来改变谐振区300的区域并通过化学作用溶解这些区域。还可以使用激光(L)切割谐振器300。激光(L)用于改变待消除的区域的轮廓。然后进行化学蚀刻步骤并溶解待消除的区域的轮廓。由于区域的轮廓在化学试剂的作用下溶解，因此待消除的区域与谐振器300分离。然后，能够在不改变整个部件的结构的情况下，对谐振器300的表面进行造型并去除其一部分，以便例如形成凹槽310。由此节约的时间是很可观的。
在图10示出的第二变型中，每个凹槽310都包括较大的表面部314。这些表面部314采用位于谐振器300的表面处的突出部315的形式。该突出部315具有矩形剖面并朝着臂的中心延伸。除了提供最优化的电场的优点以外，这种设置还改善了掩膜的对准。事实上，在第二实施方式的情况下，表面部314用于增加侧向电极308和那些放置在音叉臂的中心处的电极之间的距离。由此获得各种掩膜的更大对准精度或公差，因而提高了本方法的可靠性和效率。因此，清楚的是，在形成电极的步骤之前形成谐振器、凹槽310和表面部314。根据本发明的方法可以使用遮蔽或光敏喷涂掩膜法。
在图11示出的第三实施方式中，谐振器300可以包括第三臂304，以使得谐振器300具有与三叉戟类似的形状。该第三臂304用于固定谐振器300，更具体地，用于改变其重心。事实上，该第三臂304用作固定点，以使得该第三臂与支承谐振器300的支承基座306接触。用作中心臂304的第三臂304的这种设置可以定位重心并获得谐振器300的最佳平衡。当然，具有三个臂304的谐振器300可以设置成具有与字母W或字母M的形状基本类似的形状。
有利地，根据本发明的方法可以简单地用于形成谐振器300的臂304的凹槽310。事实上，由于本发明的方法是精确的并且能够实现复杂的形状，所以还可以设想利用本发明从基底形成整个或部分谐振器300。可以利用本发明的方法形成整个谐振器300是有利的，因为它缩短了本方法的持续时间。使用此方法可以在单个步骤中实现形成轮廓的步骤和形成谐振器300的凹槽310的步骤。当然，应该理解的是，此工艺还能够用于具有两个臂304的标准谐振器300的情况。而且，可以设想仅使用本发明的方法来制造具有两个或三个臂304的谐振器300，其中，所述臂304中的一个臂和/或另一个臂上没有凹槽310。这种技术的另一个优点在于，可以消除两个臂之间以及翅片的基部处(当在臂304的端部处设置翅片时)的化学蚀刻残余物。
事实上，由于化学蚀刻不能被很好地控制，所以通过光刻法和化学蚀刻进行的蚀刻具有不精确的缺陷。因此，可以观察到蚀刻残余物留在待形成的谐振器部件的一些部分上。例如，在示出通过光刻法和化学蚀刻法制成的谐振器的图2中可以看到，蚀刻残余物502残留在位于两个臂304之间的区域500内或者翅片区域501的翅片基部处。由于材料的分布不一定是理想的，所以这些残余物可能导致部件内的不平衡。
相反地，通过本发明的方法，对轮廓的飞秒激光辐照是精确的，其具有提供精确的和更容易控制的蚀刻的优点，并且因此具有平衡上述臂的优点。因此，可以获得这样的谐振器300，其中，所有的侧面311,312都是直的和垂直的，并且所有的角都是尖锐的，无论它们在图4中所示是否为直角。
因此，可以想象采用游丝摆轮谐振器形式的本发明的谐振器。该游丝摆轮谐振器包括称为摆轮的惰性块，游丝同轴地安装在该摆轮上。该摆轮包括由至少两个臂保持的、称为轮缘的环形体，并且该游丝包括体部100，其采用在自身上卷绕以形成游丝400的条状件5的形式，如图13所示。这种类型的游丝400可以利用本发明的方法制造。为了实现这一点，利用具有飞秒或皮秒脉宽的激光(L)在基底上绘制出游丝400的轮廓。然后化学蚀刻步骤将游丝400从基底的其余部分上分离。
本发明的方法的优点在于，可以精确地形成游丝400所需的形状。此方法还可以获得在其整个长度上具有直的侧面或壁(即，局部具有平行侧面)的游丝。因此，这避免了在传统蚀刻工艺后出现在一些晶体取向中的悬伸部，并且因此改善了螺旋谐振器的平衡。
此外，由于所获得的形状的精确性，所使用的方法可以形成很复杂的形状，例如宝玑双层游丝(Breguet overcoil)。这种类型的线圈的不同之处在于具有菲力浦式末端曲线，即，升高的外曲线。由此获得三维的游丝。因此，通过本发明的方法，容易用具有飞秒脉宽的激光(L)绘制出宝玑双层游丝的轮廓。
本发明的方法还可以有助于调节谐振器300。事实上，游丝摆轮谐振器的两个主要的特性是频率和等时性，即，谐振器300使振荡持续时间独立于振幅和手表位置的能力。为了调节游丝摆轮谐振器的频率和等时性，局部改变螺旋的刚性是一种解决方案。为了实现这一点，本发明的方法的精确性是有用的，因为它可以沿螺旋谐振器的线圈形成凹陷部310或凹槽或通道。这些凹陷部或凹槽或通道是局部形成的，以便局部降低谐振器的刚性并利用该方法的精确性。这些凹陷部310具有至少两个直的平行侧面，但是这些侧面可以成对平行。凹陷部的侧面还可以是局部平行的。因此，该方法可以在单独一个步骤中形成螺旋谐振器的轮廓和凹陷部310，从而简化了螺旋谐振器的制造。
在一个变型中，可以对可透过激光的材料制成的螺旋件进行辐照。为了实现这一点，将光源设备放置在靠近游丝400上的一个位置处，该位置优选地在游丝的一端。然后使该设备发出的光在游丝中漫射。由于本发明的方法允许螺旋谐振器的体部100的内部结构被激光改变，因此这可以局部改变材料的折射率。此特征可以产生内部结构600。这些内部结构600可以是“传统的”镜面601，或者使用如图14所示的二维或三维晶体光子系统。
对材料的折射率的这种改变可以实现为形成光导602，如图15所示。为了实现这一点，材料被改变为形成具有方形或圆形横截面的通道，其可以覆盖全部或部分线圈。
同样地，可以设想利用激光辐照和蚀刻方法来改善该螺旋谐振器的固定，如图16所示。事实上，螺旋谐振器400经由内桩401固定到心轴700上，该内桩401可以与卷绕形成线圈的体部100成一体。该内桩位于体部100的内端部处，以便位于螺旋谐振器400的中心处。内桩401包括可以是圆形或矩形的通孔402，心轴700插入该通孔中。为了改善紧固性，可以在孔402的侧面403上形成至少一个凹陷部或凹槽701，以使得中间元件702能够在该螺旋谐振器被固定时插入内桩和心轴之间。该中间元件可以是金属的或者采用O形圈接头的形式。
清楚的是，在不偏离所附权利要求限定的本发明的范围的情况下，可以对上文描述的本发明的各种实施例进行对于本领域技术人员显而易见的各种变化和/或改进和/或组合。

Claims (41)

1.一种用于在基底中制造谐振器(300,400)的方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：
a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；
b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述谐振器；
所述谐振器包括联接到体部的惰性块，所述体部由在自身上卷绕以形成螺旋件的条状件形成，其中，所述体部具有至少一个中空部，以用于局部改变所述体部的刚性并从而调节所述谐振器的频率和/或调节等时性缺陷，所述至少一个中空部包括直的垂直侧面。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：
c)从所述基底释放所述谐振器。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个区域的结构被激光(L)改变。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基底由可透过激光波长的材料制成。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述激光(L)的脉宽的范围是从飞秒到皮秒。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述激光(L)的脉宽的范围是从飞秒到皮秒。
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基底由单晶材料制成。
8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基底由多晶材料制成。
9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基底由聚合物制成。
10.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基底由无定形材料制成，例如陶瓷或玻璃。
11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述谐振器包括基部(302)，至少两个平行的臂(304)从所述基部延伸，每个所述臂均具有上表面(314)和下表面(316)，并且所述谐振器还包括形成在所述至少两个平行的臂(304)中的至少一个臂的其中一个表面上的至少一个凹陷部。
12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述至少一个凹陷部采用具有至少一个垂直侧面(312)的凹槽的形式。
13.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述谐振器在每个臂上包括一个凹槽(310)。
14.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述谐振器在每个臂的上表面(314)上包括一个凹槽(310)，并且在每个臂(304)的下表面(316)上包括一个凹槽(310)。
15.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述谐振器在每个臂上包括两个凹槽(310)。
16.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述谐振器在每个臂的上表面上包括两个凹槽(310)，并且在每个臂的下表面上包括两个凹槽(310)。
17.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个中空部包括至少两个平行的垂直侧面。
18.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述体部由石英或陶瓷或玻璃制成，并包括在所述体部的整个长度上垂直且局部平行的侧面。
19.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述体部包括相对于由条状件在自身上卷绕而形成的其它线圈的平面升高的外线圈。
20.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述体部(100)传递和漫射由至少一个发光能量源发出的光。
21.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，所述体部(100)的结构由激光改变，以便局部改变材料的折射率。
22.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，其材料的折射率由激光改变的所述体部(100)的结构用于形成镜面。
23.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，其材料的折射率由激光改变的所述体部(100)的结构用于形成光导。
24.一种谐振器(300)，包括基部(302)和至少一组电极，至少两个平行的臂(304)从所述基部延伸，其中每个臂都具有上表面(314)和下表面(316)，所述至少一组电极位于所述至少两个平行的臂(304)中的一个臂上，以电激励所述至少两个平行的臂(304)中的所述一个臂，其特征在于，所述谐振器包括至少两个垂直的、直的且平行的侧面(311,312)，所述至少两个平行的臂(304)中的一个臂的其中一个表面包括至少一个凹陷部，所述凹陷部采用具有直的垂直侧面(312)的凹槽的形式。
25.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器在每个臂上包括一个凹槽(310)。
26.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器在每个臂的上表面上包括一个凹槽(310)，并且在每个臂的下表面上包括一个凹槽(310)。
27.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器在每个臂上包括两个凹槽(310)。
28.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器在每个臂的上表面上包括两个凹槽(310)，并且在每个臂的下表面上包括两个凹槽(310)。
29.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述凹槽包括使电场优化且同时提高对准公差的突出部(315)。
30.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器的所有侧面都是直的和垂直的。
31.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器的所有角度都是直角。
32.根据权利要求24所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器的所有角度都是锐角。
33.一种包括联接到体部(100)的惰性块的谐振器(400)，所述体部由在自身上卷绕以形成螺旋件的条状件形成，其特征在于，所述体部包括至少一个中空部，以用于局部改变所述体部的刚性并从而调节所述谐振器的频率和/或调节等时性缺陷，所述至少一个中空部包括直的垂直侧面。
34.根据权利要求33所述的谐振器(400)，其特征在于，所述至少一个中空部包括至少两个平行的垂直侧面。
35.根据权利要求33所述的谐振器，其特征在于，所述体部由石英或陶瓷或玻璃制成，并包括在所述体部的整个长度上垂直且局部平行的侧面。
36.根据权利要求33所述的谐振器，其特征在于，所述体部包括相对于由条状件在自身上卷绕而形成的其它线圈的平面升高的外线圈。
37.根据权利要求33所述的谐振器，其特征在于，所述体部(100)传递和漫射由至少一个发光能量源发出的光。
38.根据权利要求35所述的谐振器，其特征在于，所述体部(100)的结构由激光改变，以便局部改变材料的折射率。
39.根据权利要求38所述的谐振器，其特征在于，其材料的折射率由激光改变的所述体部(100)的结构用于形成镜面。
40.根据权利要求38所述的谐振器，其特征在于，其材料的折射率由激光改变的所述体部(100)的结构用于形成光导。
41.根据权利要求33所述的谐振器(400)，其特征在于，所述谐振器还包括与所述体部(100)成一体的内桩(401)，所述内桩包括孔(402)，所述孔设置用于将所述谐振器安装在心轴(700)上，并且所述孔(402)具有其上设置至少一个凹槽(701)的至少一个侧面(403)，以使得中间元件(702)能够插入所述内桩和所述心轴之间。
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