CN104062779A - 显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法 - Google Patents
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Abstract
实施方式总体涉及显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。提供能够提高粘接层的厚度尺寸的精度的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。实施方式的显示装置的制造装置具备:第一保持部,保持第一基板;第二保持部,保持第二基板;旋转部,使所述第一保持部旋转,使所述第一基板与所述第二基板对峙;支承部,支承旋转后的所述第一保持部;调整部,设置于所述支承部的上端,对所述旋转后的所述第一保持部与所述支承部的上端之间的距离进行调整;以及升降部,使所述第二保持部升降,经由粘接层将所述第一基板与所述第二基板粘接。
Description
本申请以日本专利申请2013-061156(申请日:03/22/2013)为基础,从该申请享受优先的利益。本申请通过参考该申请而包含该申请的全部内容。
技术领域
后述的实施方式总体涉及显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
背景技术
显示装置的制造工序中,由用粘接剂将两张基板粘贴的工序。并且,提出了在该工序中使用的粘贴装置。
在此,在显示装置中,为了多功能化而在两张基板之间设置触摸开关等的功能部件或谋求进一步的薄型化。
在这种显示装置中,在两张基板之间形成的粘接层的厚度尺寸有偏差时,显示装置的品质有可能恶化。
为此,期望开发能够提高粘接层的厚度尺寸的精度的技术。
发明内容
本发明要解决的课题在于,提供能够提高粘接层的厚度尺寸的精度的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
实施方式的显示装置的制造装置,具备:第一保持部,保持第一基板;第二保持部,保持第二基板;旋转部,使所述第一保持部旋转,使所述第一基板与所述第二基板对峙;支承部,支承旋转后的所述第一保持部;调整部,设置于所述支承部的上端,对所述旋转后的所述第一保持部与所述支承部的上端之间的距离进行调整;以及升降部,使所述第二保持部升降,经由粘接层将所述第一基板与所述第二基板粘接。
根据上述结构的显示装置的制造装置,能够提供能够提高粘接层的厚度尺寸的精度的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
附图说明
图1是用于例示本实施方式的显示装置的制造装置1的示意图。
图2是用于例示本实施方式的显示装置的制造装置1的示意图。
图3是用于例示浮动部22e的示意立体剖视图。
图4是用于例示基板WA与基板WB经由粘接层B1而粘接的状态的示意图。
图5是用于例示显示装置的制造装置1的作用以及显示装置的制造方法的流程图。
具体实施方式
以下,参照附图对实施方式进行例示。另外,各附图中,对于同样的构成要素标注同一符号,详细的说明适当省略。
此外,各附图中的箭头X、Y、Z表示互相正交的三个方向,例如,箭头X、Y表示水平方向,箭头Z表示铅垂方向。
此外,本实施方式的显示装置的制造装置1以及显示装置的制造方法中的显示装置能够设为具有互相对峙的一对基板的装置。例如,显示装置是液晶显示装置、有机EL(Organic Electro Luminescence)显示装置等。此外,后述的基板WA(相当于第一基板的一例)以及基板WB(相当于第二基板的一例)例如是保护玻璃(cover glass)、传感器玻璃(sensor glass)、液晶模块、有机EL模块等。
图1和图2是用于例示本实施方式的显示装置的制造装置1的示意图。
另外,图1是显示装置的制造装置1的侧视图,图2是显示装置的制造装置1的俯视图。
图3是用于例示浮动部22e的示意立体剖视图。
图4是用于例示基板WA与基板WB经由粘接层B1而粘接的状态的示意图。
如图1、图2所示,显示装置的制造装置1中设置有移动部10、粘贴部20、检测部30以及控制部40。
移动部10上设置有基台11、引导部12以及驱动部13。
基台11装配在地面上。
引导部12设置于基台11的上表面。引导部12对粘贴部20的X方向的移动进行导引。
驱动部13设置于基台11的上表面。驱动部13进行粘贴部20的X方向的移动。
粘贴部20上设置有基部21、基板翻转部22、基板载置部23、按压部25以及照射部26。
基部21设置于引导部12的上方,能够通过引导部12以及驱动部13在X方向上移动。
基板翻转部22将所载置的基板WA翻转后保持在基板载置部23的上方。
基板翻转部22上设置有旋转部22a、基板保持部22b(相当于第一保持部的一例)、支承部22c、支承部22d以及浮动部22e。
旋转部22a设置于基部21上。旋转部22a通过浮动部22e保持基板保持部22b的一方的端部一侧,并使基板保持部22b旋转。即,旋转部22a使基板保持部22b旋转,并使基板WA与基板WB对峙。
基板保持部22b保持载置于载置面22b1上的基板WA。基板WA的保持例如能够通过使用了未图示的真空泵等的吸附来进行。
此外,基板保持部22b设置有贯穿厚度方向的孔部22b2。如果设置有孔部22b2,则如后所述,对形成于基板WA与基板WB之间的粘接层B1(参照图4)照射紫外线或检测分别设置于基板WA以及基板WB的对位用的识别部变得容易。
另外,粘接层B1能够设为通过使包含紫外线固化型树脂的粘接剂(紫外线固化型粘接剂)固化而形成的层。
支承部22c呈柱状,支承旋转前的基板保持部22b。
通过使旋转前的基板保持部22b与支承部22c的上端接触,能够进行基板保持部22b的铅垂方向(Z方向)的定位。
支承部22c的设置数目不特别限定。例如,能够在基板保持部22b的四角的附近分别设置支承部22c。这样一来,能够提高基板保持部22b的水平面内的Z方向的位置精度。
支承部22d呈柱状,支承旋转后的基板保持部22b。
支承部22d的设置数目不特别限定。例如能够在基板保持部22b的四角的附近分别设置支承部22d。这样一来,能够提高基板保持部22b的水平面内的Z方向的位置精度。
在此,旋转后的基板保持部22b的载置面22b1若相对于基板载置部23的上表面不平行,则后述的粘接层B1的厚度尺寸的控制变得困难。
为此,在本实施方式的显示装置的制造装置1中,如图3所示,在支承部22d的上端设置调整部22d1,能够调整旋转后的基板保持部22b与支承部22d的上端之间的距离。
调整部22d1例如能够设为在支承部22d的上端设置的螺旋机构且能够进行Z方向的调整的机构、或设为精度高且薄的间隔件且能够通过夹在部件之间来进行Z方向的调整的机构等。
如图3所示,在旋转部22a与基板保持部22b之间设置有浮动部22e。
浮动部22e上设置有轴部22e1、板部22e2以及弹性部22e3,22e4。
在轴部22e1的一端侧,固定有旋转部22a的旋转轴22a1。在轴部22e1的另一端侧,贯穿板部22e2并从板部22e2突出。
在板部22e2的一端侧插通有轴部22e1,在板部22e2的另一端侧固定有基板保持部22b的端部。在板部22e2与轴部22e1之间设置有少许的间隙,板部22e2能够沿着轴部22e1移动。
弹性部22e3,22e4设置为夹着板部22e2。弹性部22e3,22e4例如能够设为压缩弹簧等。
对应于基板保持部22b经由调整部22d1与支承部22d接触的位置,板部22e2相对于轴部22e1的位置变化。此时,能够通过弹性部22e3,22e4吸收板部22e2的位置的尺寸变化。
基板载置部23被设置在成为旋转后的基板保持部22b的下方的位置。
基板载置部23使所载置的基板WB上升,将基板WB与保持于基板保持部22b的基板WA粘接。此时,进行基板载置部23的控制,以使粘接层B1的厚度尺寸在规定的范围内。
基板载置部23上设置有位置控制部23a、升降部23b以及保持部23c(相当于第二保持部的一例)。
位置控制部23a设置于基部21之上,进行保持部23c的位置控制。位置控制部23a进行X方向、Y方向、Z方向以及θ方向(旋转方向)的位置控制。位置控制部23a例如能够设为在XYθ工作台之上设置有Z工作台的部件。
升降部23b设置于位置控制部23a之上。升降部23b使保持部23c升降,经由粘接层B1将基板WA和基板WB粘接。
保持部23c设置于升降部23b之上。保持部23c保持所载置的基板WB。基板WB的保持例如能够通过使用了未图示的真空泵等的吸附来进行。
按压部25从上方朝向支承部22d按压旋转后的基板保持部22b。然后,支承部22d与按压部25协作,维持旋转后的基板保持部22b的位置。
如图3所示,在按压旋转后的基板保持部22b时,爪25a从支承部22d的上方起下降,从上方按压基板保持部22b。通过用爪25a按压基板保持部22b,能够维持旋转后的基板保持部22b的位置。此外,在基板保持部22b的旋转动作时,爪25a从支承部22d的上方退回。
按压部25例如能够设为具有气缸和凸轮的旋转式的夹紧(clamp)单元。
在通过基板载置部23使基板WB上升并将基板WA与基板WB粘接时,产生使旋转后的基板保持部22b向上方提升的方向的力。在旋转后的基板保持部22b的位置由于该力而变化时,粘接层B1的厚度尺寸的精度变差。
为此,在本实施方式的显示装置的制造装置1中,设置按压部25并维持旋转后的基板保持部22b的位置。
照射部26经由在基板保持部22b设置的孔部22b2、朝向形成于基板WA与基板WB之间的粘接层B1照射例如紫外线。
如后所述,照射部26对粘接层B1的一部分区域照射紫外线。
照射部26上设置有照射头26a和移动部26b。
照射头26a例如能够设为具备放射紫外线的灯、LED(LightEmitting Diode)等的机构。
移动部26b以在Y方向跨过基部21的方式设置于基台11之上。
移动部26b具有能够在Y方向上移动的引导部26c,引导部26c上设置有照射头26a。此外,通过未图示的驱动部,能够经由引导部26c使照射头26a在Y方向上移动。
检测部30进行基板WA以及基板WB的厚度尺寸的测量、及基板WA以及基板WB的位置的检测。
检测部30上设置有测量部31、拍摄部32以及移动部33。
测量部31进行保持于基板保持部22b的基板WA的厚度尺寸的测量、以及保持于保持部23c的基板WB的厚度尺寸的测量。
测量部31例如能够设为激光位移计等。
与由测量部31测量到的基板WA以及基板WB的厚度尺寸有关的信息被送至控制部40,用于控制粘接层B1的厚度尺寸。
拍摄部32对分别设置于基板WA以及基板WB的识别部(例如,对准标记、角部分的形状等)进行拍摄。
拍摄部32能够设为CCD(Charge Coupled Device)照相机等。
与由拍摄部32拍摄到的基板WA以及基板WB有关的位置信息被送至控制部40,通过进行图像处理来运算位置偏移量。运算出的位置偏移量用于由位置控制部23a进行的基板WB的位置控制。
另外,拍摄部32的拍摄能够经由设置于基板保持部22b的孔部22b2来进行。
另外,在孔部22b2大于等于必要的大小时,在按压了基板保持部22b时,基板保持部22b、基板本身挠曲,粘接层B1的厚度尺寸的精度变差。为此,在本实施方式的显示装置的制造装置1中,将用于照射紫外线的孔以及用于拍摄的孔即孔部22b2的大小设为必要最小限。
移动部33以在Y方向跨过基部21的方式设置于基台11之上。移动部33具有能够在Y方向上移动的引导部33a,在引导部33a设置有测量部31以及拍摄部32。此外,通过未图示的驱动部,经由引导部33a使测量部31以及拍摄部32在Y方向上移动。
另外,也可以设置对由旋转前的基板保持部22b所保持的基板WA的表面供给粘接剂B的未图示的粘接剂供给装置。
但是,未图示的粘接剂供给装置与显示装置的制造装置1分开设置,能够提高显示装置的制造装置1的处理能力,进而能够提高显示装置的生产率。
控制部40对在显示装置的制造装置1中设置的各要素的动作进行控制。
控制部40例如控制由驱动部13进行的粘贴部20的X方向的位置的移动、由基板保持部22b进行的基板WA的保持、由旋转部22a进行的基板保持部22b的旋转、由升降部23b进行的基板WB的升降(Z方向的移动)、由保持部23c进行的基板WB的保持、由按压部25进行的基板保持部22b的按压、由照射头26a进行的紫外线的照射、由移动部26b进行的照射头26a的Y方向的位置的移动、由测量部31进行的厚度尺寸的测量、由拍摄部32进行的识别部的拍摄等。
此时,控制部40基于来自测量部31的信息来控制升降部23b,使得粘接层B1的厚度尺寸在规定的范围内。例如,基于基板WA的厚度尺寸和基板WB的厚度尺寸,控制升降部23b的上升量,以使粘接层B1的厚度尺寸在规定的范围内。另外,粘接层B1的厚度尺寸的控制的内容后述。此外,控制部40基于来自拍摄部32的信息来控制位置控制部23a,使基板WB的XYZθ方向的位置对准基板WA的XYZθ方向的位置。
接下来,对本实施方式的显示装置的制造装置1的作用以及显示装置的制造方法进行例示。
图5是用于例示显示装置的制造装置1的作用以及显示装置的制造方法的流程图。
如图5所示,首先,将基板WA以及基板WB设置于显示装置的制造装置1(步骤S1)。
例如,在基板保持部22b上载置基板WA,在保持部23c上载置基板WB。
另外,在基板WA的表面上,液滴状地涂敷粘接剂B。粘接剂B能够通过另外设置的未图示的粘接剂涂敷装置来涂敷。
粘接剂B能够设为包含紫外线固化型树脂的粘接剂(紫外线固化型粘接剂)。
基板WA被载置为,使与涂敷有粘接剂B的面相反一侧的面朝向基板保持部22b一侧。
接下来,使基板保持部22b保持基板WA,使保持部23c保持基板WB。
接下来,检测基板WB的位置(步骤S2)。
例如,通过驱动部13进行粘贴部20(基板WB)的X方向的移动,通过移动部33进行拍摄部32的Y方向的移动,通过拍摄部32对设置于基板WB的识别部进行拍摄。
接下来,测量基板WA以及基板WB的厚度尺寸(步骤S3)。
例如,通过测量部31,进行保持于基板保持部22b的基板WA的厚度尺寸的测量、以及保持于保持部23c的基板WB的厚度尺寸的测量。
例如,通过驱动部13进行粘贴部20(基板WA以及基板WB)的X方向的移动,通过移动部33进行测量部31的Y方向的移动,通过测量部31测量基板WA以及基板WB的厚度尺寸。
另外,在使基板WA以及基板WB为水平的状态下,在厚度尺寸的偏差较大的情况下,也可以对厚度尺寸的偏差较大的基板的多处进行测量并将其平均值作为测量结果。
接下来,使基板保持部22b旋转(使基板WA翻转)(步骤S4)。
例如,通过旋转部22a使基板保持部22b旋转,经由调整部22d1将基板保持部22b支承于支承部22d。
此时,通过调整部22d1调整基板保持部22b的支承位置,以使旋转后的基板保持部22b的载置面22b1相对于保持部23c的上表面平行。
接下来,维持旋转后的基板保持部22b的位置(步骤S5)。
例如,通过按压部25按压旋转后的基板保持部22b,与支承部22d协作来维持旋转后的基板保持部22b的位置。
此时,通过浮动部22e,能够减轻对旋转部22a施加的负荷。此外,能够使调整部22d1与基板载置部23密接。
接下来,检测基板WA的位置(步骤S6)。
例如,通过驱动部13进行粘贴部20(基板WA)的X方向的移动,通过移动部33进行拍摄部32的Y方向的移动,通过拍摄部32对设置于基板WA的识别部进行拍摄。
另外,拍摄部32的拍摄能够经由设置于基板保持部22b的孔部22b2来进行。
接下来,对基板WA与基板WB的位置偏移量进行运算(步骤S7)。
例如,根据在步骤S3中检测到的基板WB的位置信息和在步骤S6中检测到的基板WA的位置信息,运算基板WA与基板WB的位置偏移量。另外,在位置偏移的值超过规定的值的情况下,对基板WA以及基板WB中的至少一个进行再设置。
在基板保持部22b以及保持部23c上,也能够以基板WA,WB的外形的单侧为基准进行定位的未图示的定位装置,以使基板WA,WB的位置收于规定的范围内。而且,也能够通过未图示的定位装置再次进行定位。
接下来,进行位置偏移量的修正(步骤S8)。
例如,通过位置控制部23a,经由升降部23b调整保持部23c的X方向、Y方向、Z方向以及θ方向(旋转方向)的位置。即,使基板WA的位置对准基板WB的位置。
接下来,粘接基板WA和基板WB(步骤S9)。
例如,通过升降部23b使保持部23c上升,将基板WA和基板WB粘接。
在位于基板WA表面的液滴状的粘接剂B的顶部与基板WB接触后,液滴状的粘接剂B被按压扩展并形成粘接层B1。
在此,在设置于基板WA与基板WB之间的粘接层B1的厚度尺寸有偏差时,显示装置的品质有可能恶化。
为此,控制保持部23c的上升位置(Z方向的位置),以使粘接层B1的厚度尺寸在规定的范围内。
例如,能够通过预先测量旋转后的基板保持部22b的载置面22b1的Z方向的位置和保持部23c的Z方向的位置来知晓。
此外,基板WA以及基板WB的厚度尺寸能够通过步骤S3中的测量而知晓。
为此,用于设为所期望的粘接层B1的厚度尺寸的保持部23c的上升位置能够根据这些值来运算。即,能够运算升降部23b的上升量。
另外,这些运算能够通过控制部40来运算。然后,基于运算出的上升量,通过控制部40控制升降部23b,以使粘接层B1的厚度尺寸在规定的范围内。
在此,在将基板WA和基板WB粘接时,产生使旋转后的基板保持部22b向上方提升的方向的力。在旋转后的基板保持部22b的位置由于该力而变化时,粘接层B1的厚度尺寸的精度变差。
然而,在本实施方式的显示装置的制造装置1中,按压部25与支承部22d协作来维持旋转后的基板保持部22b的位置,所以粘接层B1的厚度尺寸的精度不会变差。
此外,设置前述的调整部22d1、浮动部22e,所以旋转后的基板保持部22b的载置面22b1变为相对于保持部23c的上表面平行。即,基板WA与基板WB变为平行。
为此,也能够抑制粘接层B1的厚度尺寸的面内偏差。
接下来,使粘接层B1的一部分区域固化(步骤S10)。
即,使基板WA和基板WB虚固定。
例如,通过照射部26,向形成于基板WA与基板WB之间的粘接层B1的一部分区域照射紫外线。
在此情况下,通过驱动部13进行粘贴部20(基板WA以及基板WB)的X方向的移动,通过移动部26b进行照射头26a的Y方向的移动,经由设置于基板保持部22b的孔部22b2向粘接层B1照射紫外线。
此时,在基板WA以及基板WB的周缘附近照射紫外线。
通过使基板WA以及基板WB的周缘附近的粘接层B1局部固化,能够维持粘接层B1的厚度尺寸。
从显示装置的制造装置1拆下使粘接层B1的一部分区域固化后的基板WA以及基板WB,通过紫外线照射装置等使粘接层B1整个区域固化。
即,本实施方式的显示装置的制造方法能够具备以下的工序。
使保持了基板WA的基板保持部22b旋转,并使基板WA与保持于保持部23c的基板WB对峙的工序。
使保持部23c升降,并经由粘接层B1将基板WA与基板WB粘接的工序。
然后,在使保持了基板WA的基板保持部22b旋转并使基板WA与保持于保持部23c的基板WB对峙的工序中,通过设置于对旋转后的基板保持部22b进行支承的支承部22d上端、并对旋转后的基板保持部22b与支承部22d的上端之间的距离进行调整的调整部22d1,旋转后的基板保持部22b的载置面22b1相对于保持部23c的上表面平行。
此外,能够进一步具备使旋转后的基板保持部22b朝向支承部22d并通过按压部25来按压的工序。
此外,能够进一步具备在粘接层B1包含紫外线固化型树脂的情况下对粘接层B1的一部分区域照射紫外线的工序。
根据以上例示的实施方式,能够实现能够提高粘接层B1的厚度尺寸的精度的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。
以上,对本发明的几个实施方式进行了例示,但这些实施方式是作为例子提示的,意图不在于限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式实施,在不脱离发明的主旨的范围内,能够进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式及其变形例包含于发明的范围及主旨,并且包含与权利要求书所记载的发明及其等同的范围。此外,前述的各实施方式能够相互组合后实施。
Claims (20)
1.一种显示装置的制造装置,具备:
第一保持部,保持第一基板;
第二保持部,保持第二基板;
旋转部,使所述第一保持部旋转,使所述第一基板与所述第二基板对峙;
支承部,支承旋转后的所述第一保持部;
调整部,设置于所述支承部的上端,对所述旋转后的所述第一保持部与所述支承部的上端之间的距离进行调整;以及
升降部,使所述第二保持部升降,经由粘接层将所述第一基板与所述第二基板粘接。
2.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
还具备按压部,该按压部朝向所述支承部按压所述旋转后的所述第一保持部。
3.如权利要求2所述的显示装置的制造装置,
所述按压部具有按压所述第一保持部的爪。
4.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
所述支承部与所述按压部协作,维持所述旋转后的所述第一保持部的位置。
5.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
所述支承部设置有多个,
所述多个支承部分别设置于所述旋转后的所述第一保持部的四角的附近。
6.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
所述调整部具有设置在所述支承部的上端的螺旋机构以及设置在所述支承部的上端的间隔件中的至少一个。
7.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
还具备浮动部,该浮动部设置于所述旋转部与所述第一保持部之间,并构成为能够位移。
8.如权利要求7所述的显示装置的制造装置,
浮动部具有:
轴部,设置于所述旋转部的旋转轴;
板部,一端侧供所述轴部插通,另一端侧设置于所述第一保持部;以及
一组弹性部,夹着所述板部而设置。
9.如权利要求8所述的显示装置的制造装置,
所述板部能够沿着所述轴部移动。
10.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,还具备:
测量部,测量保持于所述第一保持部的所述第一基板的厚度尺寸、以及保持于所述第二保持部的所述第二基板的厚度尺寸;以及
控制部,基于所述第一基板的厚度尺寸和所述第二基板的厚度尺寸,控制所述升降部,以使所述粘接层的厚度尺寸在规定的范围内。
11.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
所述粘接层包含紫外线固化型树脂,
该显示装置的制造装置还具备照射部,该照射部对所述粘接层的一部分区域照射紫外线。
12.如权利要求11所述的显示装置的制造装置,
所述照射部经由设置于所述第一保持部的孔部对所述粘接层的一部分区域照射紫外线。
13.如权利要求1所述的显示装置的制造装置,
还具备位置控制部,该位置控制部进行所述第二保持部的位置控制。
14.如权利要求13所述的显示装置的制造装置,
还具备拍摄部,该拍摄部对分别设置于所述第一基板以及所述第二基板的识别部进行拍摄,
所述位置控制部基于来自所述拍摄部的信息,进行所述第二保持部的位置控制。
15.一种显示装置的制造方法,具备:
使保持了第一基板的第一保持部旋转并使所述第一基板与保持于第二保持部的第二基板对峙的工序;以及
使所述第二保持部升降并经由粘接层来粘接所述第一基板与所述第二基板的工序,
在使所述第一基板与保持于第二保持部的第二基板对峙的工序中,
通过调整部使得所述旋转后的所述第一保持部的载置面相对于所述第二保持部的上表面平行,所述调整部设置在对所述旋转后的所述第一保持部进行支承的支承部的上端,对所述旋转后的第一保持部与所述支承部的上端之间的距离进行调整。
16.如权利要求15所述的显示装置的制造方法,
还具备通过按压部朝向所述支承部按压所述旋转后的所述第一保持部的工序,
所述支承部与所述按压部协作,维持所述旋转后的所述第一保持部的位置。
17.如权利要求15所述的显示装置的制造方法,
所述粘接层包含紫外线固化型树脂,
该显示装置的制造方法还具备对所述粘接层的一部分区域照射紫外线的工序,
在所述照射紫外线的工序中,
在使保持于所述第一保持部的所述第一基板与保持于所述第二保持部的所述第二基板对峙的状态下,从照射紫外线的照射部对所述粘接层的一部分区域照射紫外线。
18.如权利要求15所述的显示装置的制造方法,
还具备测量所述第一基板的厚度尺寸和所述第二基板的厚度尺寸的工序,
在将所述第一基板与所述第二基板粘接的工序中,基于测量到的所述第一基板的厚度尺寸和测量到的所述第二基板的厚度尺寸,控制所述第二保持部的升降位置,以使所述粘接层的厚度尺寸在规定的范围内。
19.如权利要求15所述的显示装置的制造方法,
所述调整部具有设置在所述支承部的上端的螺旋机构以及设置在所述支承部的上端的间隔件中的至少一个。
20.如权利要求16所述的显示装置的制造方法,
在通过所述按压部按压的工序中,通过浮动部来减轻对所述旋转部施加的负荷,所述浮动部设置在使所述第一保持部旋转的旋转部与所述第一保持部之间,并构成为能够位移。
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