CN104061300B - 波动齿轮装置及中空型旋转致动器 - Google Patents

波动齿轮装置及中空型旋转致动器 Download PDF

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Abstract

一种波动齿轮装置，能够通过简单的结构将挠性外齿齿轮的刚性轴套与轴承内圈加以固定，并将它们之间可靠地密封。波动齿轮装置(3)具有：刚性内齿齿轮(32)；挠性外齿齿轮(33)；波动发生器(34)；支承挠性外齿齿轮(33)且使之能够相对于刚性内齿齿轮(32)而自由旋转的轴承(35)；以及将挠性外齿齿轮(33)的刚性轴套(33c)与轴承(35)的内圈(35b)相互固定的第一焊接部(38)。第一焊接部(38)是将轴套(33c)与内圈(35b)之间密封成液密封状态的全周焊接部。轴套(33c)和内圈(35b)在轴线方向上的尺寸可以较小，能用较少的加工工时和组装工时将它们相互固定。无须油封即能将轴套(33c)和内圈(35b)之间密封。

Description

波动齿轮装置及中空型旋转致动器
技术领域
本发明涉及包括轴承的波动齿轮装置及中空型旋转致动器，该轴承支承挠性外齿齿轮且使之能够相对于刚性内齿齿轮而自由旋转。更具体是，涉及波动齿轮装置的挠性外齿齿轮与轴承的固定结构。
背景技术
一般作为减速机使用的波动齿轮装置包括装置壳体、刚性内齿齿轮、挠性外齿齿轮及波动发生器。刚性内齿齿轮固定在装置壳体上。挠性外齿齿轮经过交叉滚子轴承等轴承而以能自由旋转的状态被装置壳体支承。
作为波动齿轮装置，已知有一种具有杯形的挠性外齿齿轮的杯型波动齿轮装置。杯形的挠性外齿齿轮具有挠性的圆筒状主体部、从圆筒状主体部的一端向内侧延伸的隔膜、与隔膜的内周边缘连续地形成的刚性轴套。在圆筒状主体部的位于开口端侧的外周面部分形成有外齿。在这种结构的挠性外齿齿轮上，其刚性轴套固定在轴承的内圈上。
作为挠性外齿齿轮的刚性轴套与轴承的内圈的固定结构，已知有使用螺钉的固定结构(专利文献1、2)、使用螺钉和打入销的固定结构(专利文献3、4)、在使用螺钉和打入销形成的固定结构上辅助地使用粘接剂的固定结构(专利文献4)。
另一方面，作为中空型旋转致动器，已知有一种由中空马达和杯型波动齿轮装置构成的中空型旋转致动器。在这种中空型旋转致动器中，在中空马达轴的内侧配置套筒，防止从波动齿轮装置向中空部内漏油。
专利文献1：日本发明专利申请特开2002-31150号公报
专利文献2：日本发明专利申请特开2002-21866号公报
专利文献3：日本发明专利申请特开2001-336588号公报
专利文献4：日本发明专利申请特开2000-9191号公报
专利文献5：日本发明专利申请特开2006-144971号公报
专利文献6：日本发明专利申请特开2001-304382号公报
采用传统的用螺钉将挠性外齿齿轮的刚性轴套与轴承内圈加以固定的结构时，为了得到足够的固定强度，要在两个零件之间确保有足够的螺钉旋入量。而由于不能将螺钉固定部分在轴线方向上的长度缩短到规定值以下，会阻碍缩短波动齿轮装置在轴线方向上的长度以达到波动齿轮装置扁平化的愿望实现。另外，要在刚性轴套的外周面上加工阳螺纹，在轴承内圈的内周面上加工阴螺纹，还要通过旋入来将两个零件组装，因此零件的加工工时和组装工时多。
发明内容
本发明正是为了解决上述问题，目的在于提供一种波动齿轮装置，能够以简单的结构将挠性外齿齿轮的刚性轴套与轴承内圈固定，并且能够可靠地将它们之间密封。另外，本发明的目的还在于提供一种包括这种新型波动齿轮装置的中空型旋转致动器。
为了实现上述目的，本发明的波动齿轮装置的特征在于，包括：刚性内齿齿轮；挠性外齿齿轮；波动发生器；支承所述挠性外齿齿轮且使之能够相对于所述刚性内齿齿轮而自由旋转的轴承；以及将所述挠性外齿齿轮的刚性轴套与所述轴承的内圈相互固定的第一焊接部，所述第一焊接部是将所述轴套与所述内圈之间密封成液密封状态的全周焊接部。
此处，最好所述第一焊接部是激光焊接。
本发明的波动齿轮装置可以采用以下结构。即，本发明的波动齿轮装置包括：装置壳体；以及在所述轴承的所述内圈上形成的内圈中心通孔，所述刚性内齿齿轮固定在所述装置壳体的内周部，所述挠性外齿齿轮配置在所述刚性内齿齿轮的内侧，经过所述轴承而以能自由旋转的状态支承在所述装置壳体中，所述波动发生器配置在所述挠性外齿齿轮的内侧，所述挠性外齿齿轮的所述轴套安装于所述内圈的所述内圈中心通孔，所述内圈的端面以及所述轴套的端面分别在装置轴线方向上向外露出，所述第一焊接部在所述内圈的内周面与所述轴套的外周面之间，在所述轴套的位于所述端面侧的部位，沿全周范围形成。
轴承的内圈和挠性外齿齿轮的轴套通过第一焊接部、譬如由激光焊接构成的第一焊接部来相互固定。从而，与用螺钉将两个零件固定的场合相比，能够缩短这些零件在轴线方向上的长度。另外，虽然需要将两个零件焊接的焊接工序，但无需对两个零件进行螺纹加工，无需将一个零件旋入另一个零件的工序。
而且，由于第一焊接部是全周焊接，因此该第一焊接部能够作为油封来发挥作用，防止从内圈与轴套之间漏油。无须另外配置其它构件即油封。此外，内圈和轴套的焊接部位在装置轴线方向上向装置前端一侧或后端一侧露出，因此能够简单地进行内圈与轴套的焊接作业。
从而，本发明整体上能够缩短内圈和轴套的加工时间，减少双方的组装工时和组装零件的数量。
在本发明的波动齿轮装置为中空型时，具有：沿着装置中心轴线的方向贯穿所述波动发生器而延伸的第一中空部；沿着装置中心轴线的方向贯穿所述轴套而延伸的第二中空部；以及配置成贯穿所述第一中空部、第二中空部的状态的套筒。
在这种场合，最好是具有将所述套筒固定在所述轴套上的第二焊接部，并且所述第二焊接部是将所述套筒与所述轴套之间密封成液密封状态的全周焊接部。另外，所述第一焊接部最好形成于所述轴套的靠所述端面侧的位置上。
采用这种结构能够简单地将套筒固定在轴套上。另外，还可防止从轴套与套筒之间漏油。而且，套筒和轴套的焊接部位在装置轴线方向上向装置前端侧或后端侧露出，因此能够简单地进行套筒与轴套的焊接作业。
本发明的中空型旋转致动器包括：以同轴状态配置在致动器后侧的马达；以及配置在致动器前侧的波动齿轮装置，所述马达包括：马达壳体；以及从所述马达壳体的前侧端板向致动器前侧伸出的中空马达轴，所述波动齿轮装置包括：固定在所述马达壳体上的装置壳体；轴承；固定在所述装置壳体的内周部的刚性内齿齿轮；配置在所述刚性内齿齿轮的内侧且经过所述轴承而以能自由旋转的状态支承在所述装置壳体上的挠性外齿齿轮；以及配置在所述挠性外齿齿轮的内侧的波动发生器，所述挠性外齿齿轮包括：圆筒状主体部，该圆筒状主体部的所述马达侧的部分成为开口端；隔膜，该隔膜从所述圆筒状主体部的与所述开口端相反一侧的端部向半径方向的内侧延伸；圆环状的刚性轴套，该刚性轴套与所述隔膜的内周边缘连续地形成；以及外齿，该外齿在所述圆筒状主体部的所述开口端侧的外周面部分上形成，从所述前侧端板向前方伸出的所述中空马达轴的轴前端部一直延伸到所述挠性外齿齿轮的所述圆筒状主体部内，所述波动发生器包括固定在所述轴前端部的外周部上的圆筒状的刚性衬套，所述轴承包括：外圈，该外圈固定在所述装置壳体的处于所述致动器前侧的端部上；以及内圈，该内圈具有供所述轴套安装的中心通孔，所述内圈的处于所述致动器前侧的圆环状端面以及所述轴套的处于所述致动器前侧的圆环状端面分别在致动器前端侧露出，在所述内圈的内周面与所述轴套的外周面之间，在所述致动器前端侧的部位，在全周范围形成有第一激光焊接部，通过所述第一激光焊接部将所述轴套固定在所述内圈上，通过所述第一激光焊接部使所述内圈的内周面与所述轴套的外周面之间密封成液密封状态。
最好是，在本发明的中空型旋转致动器中，具有贯穿所述中空马达轴的中空部、所述轴套的中空部以及所述波动发生器的中空部而从所述致动器前端面延伸到致动器后端面的套筒，通过所述套筒的内周面来形成在致动器前端及致动器后端开口的致动器中空部，在所述套筒的于所述致动器前端侧露出的前端部的外周面与所述轴套的内周面之间，在全周范围形成有第二激光焊接部，通过所述第二激光焊接部将所述套筒的所述前端部固定在所述轴套上，通过所述第二激光焊接部使所述前端部的外周面与所述轴套的内周面之间密封成液密封状态。
最好是，本发明的中空型旋转致动器包括：第一油封，该第一油封将所述套筒的于所述致动器后端侧露出的后端部与规定所述致动器后端的所述马达壳体后侧端板之间加以密封；第二油封，该第二油封将所述马达壳体的所述前侧端板与所述中空马达轴之间加以密封；以及第三油封，该第三油封将所述刚性衬套与所述轴套之间加以密封。
另外，最好是，本发明的中空型旋转致动器包括：圆环状的外侧密封座，该外侧密封座安装在所述轴套的靠致动器后端侧的端面上；以及圆筒状的内侧密封座，该内侧密封座从所述刚性衬套的靠所述致动器前端侧的端面起沿着所述套筒的外周面而向致动器前方延伸，在所述外侧密封座与所述内侧密封座之间安装有所述第三油封。
附图说明
图1A是适用本发明的中空型旋转致动器的示意剖视图。
图1B是图1A所示的中空型旋转致动器的前侧的端面图。
图2是表示图1A的中空型旋转致动器的变形例的示意剖视图。
图3是表示图1A的中空型旋转致动器的变形例的示意剖视图。
具体实施方式
以下参照附图说明适用本发明的中空型旋转致动器的实施方式。
图1A是中空型旋转致动器的示意纵向剖视图，图1B是其前侧的端面图。中空型旋转致动器1(以下简称为“致动器1”)包括中空马达2、例如中空型的AC伺服马达以及杯形的中空波动齿轮装置3。中空马达2以及中空波动齿轮装置3沿着致动器中心轴线1a的方向(装置轴线1a的方向)而以同轴状态邻接配置。在以下的说明中，将中空波动齿轮装置3作为减速机使用，因此有时会把中空波动齿轮装置3简称为“减速机3”。
中空马达2包括圆筒状的马达壳体21、以同轴状态配置于其内侧的中空马达轴22。中空马达轴22能够围绕致动器中心轴线1a旋转。在中空马达轴22的轴线方向的中央部分形成有大直径轴部22a，在大直径轴部22a的外周安装有圆环状的驱动磁铁23。通过大直径轴部22a和驱动磁铁23构成了马达转子。在马达壳体21的圆筒部21a的内周部安装有圆环状的驱动线圈24。通过圆筒部21a和驱动线圈24构成了马达定子。
在马达壳体21的圆筒部21a的后端固定着相同外径的圆筒状的编码器盒25。编码器盒25的后端被盒端板25a封住。通过盒端板25a的外侧端面来规定致动器的后端面1b。在编码器盒25的内部，在该编码器盒25与中空马达轴22的后端侧轴部22b之间装入有编码器机构26。通过编码器机构26来获得中空马达轴22的原点位置和旋转角度位置等旋转信息。
在马达壳体21的前侧的端板21b上形成有中心通孔21c。中空马达轴22的前端侧的轴端部22c穿过中心通孔21c而向致动器前方突出。中空马达轴22被安装在端板21b的中心通孔21c的内周面上的前侧主轴承27以能够自由旋转的状态支承着。并且，中空马达轴22被安装在编码器支承板28的内周面上的后侧主轴承29以能够自由旋转的状态支承着，该编码器支承板28固定在编码器盒25的内周面上。
减速机3包括：圆环状的装置壳体31；固定在装置壳体31的内周部的刚性内齿齿轮32；配置在刚性内齿齿轮32内侧的杯形的挠性外齿齿轮33；以及配置在挠性外齿齿轮33内侧的波动发生器34。挠性外齿齿轮33经过交叉滚子轴承35而被装置壳体31以可自由旋转的状态支承。装置壳体31例如由铝类材料构成。刚性内齿齿轮32、挠性外齿齿轮、波动发生器34以及交叉滚子轴承35例如由铁类材料构成。
装置壳体31用紧固螺栓36(图中用点划线表示)与马达壳体21的端板21b的前侧端面的外周侧部分连接固定。由铁类材料构成的刚性内齿齿轮32通过铸入方式与装置壳体31的内周部形成一体。
杯形的挠性外齿齿轮33包括：向致动器后方开口的圆筒状主体部33a；从该圆筒状主体部33a的位于致动器前侧的一端向内侧延伸的隔膜33b；与隔膜33b的内周边缘连续地向前方延伸的圆环状的刚性轴套33c；以及在圆筒状主体部33a的靠近开口端侧的外周面部分上形成的外齿33d。
在挠性外齿齿轮33的圆筒状主体部33a的内部，中空马达轴22的轴端部22c从其开口端一侧开始延伸。在轴端部22c的外周上固定着波动发生器34。波动发生器34包括圆筒状的刚性衬套(plug)34a、安装在刚性衬套34a的外周上的波动轴承34b。刚性衬套34a包括衬套本体部34c和圆筒部34d，衬套本体部34c具有固定在轴端部22c的外周上的椭圆状的外周面，圆筒部34d从该衬套本体部34c的前端的内周边缘部分向前方延伸。圆筒部34d的内径与中空马达轴22的轴端部22c的内径大致相同。
波动轴承34b是具有挠性内圈及外圈的滚珠轴承，利用椭圆状的衬套本体部34c而挠曲成椭圆形。通过波动发生器34使挠性外齿齿轮33的形成有外齿33d的部分挠曲成椭圆状，外齿33d与刚性内齿齿轮32的内齿32a在椭圆的长轴方向的两个部位啮合。
交叉滚子轴承35包括：固定在装置壳体31上的外圈35a；固定在挠性外齿齿轮33的轴套33c上的内圈35b；以及插入外圈35a及内圈35b之间的多个滚子35c。外圈35a通过紧固螺栓37而与唇式密封件40一同固定到装置壳体31的前侧的圆环状端面的内周边缘侧。
交叉滚子轴承35的内圈35b为圆环状部件，其前侧的圆环状端面35d的内周侧部分成为后退一个台阶的圆形的阶梯面35e。在该阶梯面35e的中心部分开设有中心通孔35f，将轴套33c从后侧安装在该中心通孔35f中。阶梯面35e和轴套33c的前侧的圆环状端面33e位于同一平面上，规定了致动器前端面(装置端面)1c的内周侧部分。
在内圈35b的后侧部分与外圈35a之间形成有滚子轨道，其中插入了能够自由滚动的滚子35c。而且，该后侧部分的内周面以规定的间隔从外侧与杯形的挠性外齿齿轮33的圆筒状主体部33a相对。
此处，内圈35b与轴套33c通过第一激光焊接部38来相互固定。即，在内圈35b的中心通孔35f的圆形内周面与轴套33c的圆形外周面之间，在于致动器前端面1c上露出的内圈的阶梯面35e以及轴套的靠近圆环状端面33e侧的圆形内周面及圆形外周面的部位，形成有沿全周范围延伸的第一焊接部、即激光焊接部38。第一焊接部也可以是激光焊接以外的焊接部。第一激光焊接部38使内圈35b与轴套33c相互牢固地固定。另外，通过全周焊接部、即第一激光焊接部38，使内圈35b的内周面与轴套33c的外周面之间被密封成液密封状态。由此防止从它们之间漏油。
其次，套筒41贯穿中空马达轴22的中空部、波动发生器34的中空部以及轴套33c的中空部而延伸。通过套筒41的中空部41a形成了在致动器前端面1c及致动器后端面1b上开口的致动器中空部。
在套筒41的于致动器前端面1c上露出的前端部41b的外周面与轴套33c的内周面之间，形成了沿全周范围延伸的、作为第二焊接部的激光焊接部42。第二焊接部也可以是激光焊接以外的焊接部。通过该第二激光焊接部42而将套筒41的前端部固定在轴套33c上。另外，通过全周焊接部、即第二激光焊接部42，使轴套33c的内周面与套筒41的外周面之间被密封成液密封状态。由此防止从它们之间漏油。
此处，套筒41的于致动器后端面1b上露出的后端部41c与规定致动器后端面1b的盒端板25a之间被第一油封51密封。另外，马达壳体21的前侧端板21b与中空马达轴22之间被第二油封52密封。而且,刚性衬套34a与轴套33c之间被第三油封53密封。
第三油封53的安装部如下所述构成。在轴套33c的位于致动器后侧的端面33f上安装有圆环状的外侧密封座54。从刚性衬套34a的位于致动器前侧的端面开始，圆筒部34d沿着套筒41的外周面而向致动器前方延伸。该圆筒部34d作为内侧密封座发挥作用。在外侧密封座54与圆筒部34d之间安装着第三油封53。
从而，通过第一油封51、第三油封53和套筒41来防止从减速机3一侧向致动器中空部41a内漏油。另外，通过第二油封52来防止从减速机3一侧向中空马达2内部漏油。还通过第一激光焊接部38、第二激光焊接部42来防止向致动器前端面1c一侧漏油。
(其他实施方式)
图2是表示上述中空型旋转致动器1的变形例的概略纵向剖视图，只示出其上半部分。本例的中空型旋转致动器1A的基本结构与图1的中空型旋转致动器1相同，因此对应的部位用相同符号来表示，并省略说明。
在中空型旋转致动器1A中，减速机3A的刚性内齿齿轮32A通过紧固螺栓61固定在装置壳体31A上。交叉滚子轴承35的外圈35a与图1A所示的情况同样，用紧固螺栓37固定在装置壳体31上。
挠性外齿齿轮33的轴套33c通过激光焊接而固定在交叉滚子轴承35的内圈35b上。从而，能够减少这些部件的加工工时，且使这些部件的组装作业容易实施。
图3是表示图1所示的中空型旋转致动器1的另一变形例的概略纵向剖视图，只示出其上半部分。本例的中空型旋转致动器1B的基本结构与图1的中空型旋转致动器1相同，因此对应的部位用相同符号来表示，并省略说明。
在中空型旋转致动器1B中，减速机3B的刚性内齿齿轮32A通过紧固螺栓61固定在装置壳体31A上。另外，交叉滚子轴承35的外圈35a通过沿其外周面形成的激光焊接部62而固定在减速机壳体31A上。配置在外圈35a和内圈35b的位于致动器前侧的端面上的唇式密封件40则被紧固螺栓63固定在外圈35a上。减速机壳体31A和外圈35a的激光焊接可以在这些材质适于焊接的场合下采用。通过采用激光焊接，使外圈35a在减速机壳体31A上的组装作业容易实施。
此外，挠性外齿齿轮33的轴套33c通过激光焊接而固定在交叉滚子轴承35的内圈35b上，交叉滚子轴承35的外圈35a也通过激光焊接而固定在装置壳体31A上。从而，能够减少这些部件的加工工时，且使这些部件的组装作业容易实施。
在上述例子中是使用交叉滚子轴承35。也可以不用交叉滚子轴承35，而是使用单列或多列滚珠轴承等其他形式的轴承。
另外，上述例子是将本发明用于中空型的旋转致动器。本发明也同样适用于波动齿轮装置单体。例如，可以在上述旋转致动器1、1A中装入的中空型的波动齿轮装置3上,通过激光焊接将其挠性外齿齿轮的轴套固定在轴承的内圈上。当然，除了减速机之外，即使是例如用于增速、相位调节等的波动齿轮装置也同样适用本发明。
另外，在上述例子中是形成激光焊接部。也可不用激光焊接，而是采用在真空中进行焊接的电子束焊接。还可采用一般的电弧焊接，有时也可同时使用激光焊接和电弧焊接。

Claims (7)

1.一种波动齿轮装置(3、3A、3B)，其特征在于，包括：
刚性内齿齿轮(32)；
挠性外齿齿轮(33)；
波动发生器(34)；
轴承(35)，该轴承(35)支承所述挠性外齿齿轮(33)且使之能够相对于所述刚性内齿齿轮(32)而自由旋转；
第一焊接部(38)，该第一焊接部(38)将所述挠性外齿齿轮(33)的刚性轴套(33c)与所述轴承(35)的内圈(35b)相互固定；
装置壳体(31)；以及
内圈中心通孔(35f)，该内圈中心通孔(35f)在所述轴承(35)的所述内圈(35b)上形成，
所述刚性内齿齿轮(32)固定在所述装置壳体(31)的内周部，
所述挠性外齿齿轮(33)配置在所述刚性内齿齿轮(32)的内侧，经过所述轴承(35)而以能自由旋转的状态支承在所述装置壳体内，
所述波动发生器配置在所述挠性外齿齿轮(33)的内侧，
所述挠性外齿齿轮(33)的所述轴套(33c)安装在所述内圈的所述内圈中心通孔(35f)中，该轴套(33c)的端面经过内圈中心通孔(35f)而在所述装置轴线方向(1a)上向外侧露出，
所述第一焊接部(38)是将所述轴套(33c)与所述内圈(35b)之间密封成液密封状态的全周焊接部，所述第一焊接部(38)在所述内圈(35b)的内周面与所述轴套(33c)的外周面之间，在所述轴套(33c)的靠所述端面(33e)侧的部位沿全周范围形成。
2.如权利要求1所述的波动齿轮装置(3、3A、3B)，其特征在于，
所述第一焊接部(38)是激光焊接部。
3.如权利要求1所述的波动齿轮装置(3、3A、3B)，其特征在于，包括：
第一中空部，该第一中空部沿着所述装置中心轴线(1a)的方向贯穿所述波动发生器(34)而延伸；
第二中空部，该第二中空部沿着所述装置中心轴线(1a)的方向贯穿所述轴套(33c)而延伸；
套筒(41)，该套筒(41)配置成贯穿所述第一中空部、第二中空部的状态；以及
第二焊接部(42)，该第二焊接部(42)将所述套筒(41)固定在所述轴套(33c)上，
所述第二焊接部(42)是将所述套筒(41)与所述轴套(33c)之间密封成液密封状态的全周焊接部，其形成于所述轴套(33c)的所述端面(33e)一侧。
4.一种中空型旋转致动器(1、1A、1B)，其特征在于，包括：
马达(2)，该马达(2)以同轴状态配置在致动器后侧；以及
波动齿轮装置(3、3A、3B)，该波动齿轮装置(3、3A、3B)配置在致动器前侧，
所述马达(2)包括：马达壳体(21)；以及中空马达轴(22)，该中空马达轴(22)从所述马达壳体的前侧端板(21b)向致动器前侧伸出，
所述波动齿轮装置(3、3A、3B)包括：装置壳体(31)，该装置壳体(31)固定在所述马达壳体(21)上；轴承(35)；刚性内齿齿轮(32、32A)，该刚性内齿齿轮(32、32A)固定在所述装置壳体的内周部；挠性外齿齿轮(33)，该挠性外齿齿轮(33)配置在所述刚性内齿齿轮的内侧，经过所述轴承(35)而以能自由旋转的状态支承在所述装置壳体内；以及波动发生器(34)，该波动发生器(34)配置在所述挠性外齿齿轮的内侧，
所述挠性外齿齿轮(33)包括：圆筒状主体部(33a)，该圆筒状主体部的所述马达(2)一侧成为开口端；隔膜(33b)，该隔膜(33b)从所述圆筒状主体部的与所述开口端相反一侧的端部向半径方向的内侧延伸；圆环状的刚性轴套(33c)，该刚性轴套(33c)与所述隔膜的内周边缘连续地形成；以及外齿(33d)，该外齿(33d)在所述圆筒状主体部的靠所述开口端侧的外周面部分上形成，
从所述前侧端板(21b)向前方伸出的所述中空马达轴(22)的轴前端部(22c)延伸到所述挠性外齿齿轮(33)的所述圆筒状主体部(33a)内，
所述波动发生器(34)包括圆筒状的刚性衬套(34a)，该刚性衬套(34a)固定在所述轴前端部(22c)的外周部上,
所述轴承(35)包括：外圈(35a)，该外圈(35a)固定在所述装置壳体(31)的位于所述致动器前侧的端部上；以及内圈(35b)，该内圈(35b)具有供所述轴套(33c)安装的中心通孔(35f)，
所述内圈(35b)的处于所述致动器前侧的圆环状端面(35d)以及所述轴套(33c)的处于所述致动器前侧的圆环状端面(33e)分别在致动器前端侧露出，
在所述内圈(35b)的内周面与所述轴套(33c)的外周面之间，在所述致动器前端侧的部位，在全周范围形成有第一激光焊接部(38)，
通过所述第一激光焊接部(38)将所述轴套(33c)固定在所述内圈(35b)上，
通过所述第一激光焊接部(38)将所述内圈(35b)的内周面与所述轴套(33c)的外周面之间密封成液密封状态。
5.如权利要求4所述的中空型旋转致动器(1、1A、1B)，其特征在于，
具有套筒(41)，该套筒(41)贯穿所述中空马达轴(22)的中空部、所述轴套(33c)的中空部以及所述波动发生器(34)的中空部，并从所述致动器前端面(1c)延伸到致动器后端面(1b)，
通过所述套筒(41)的内周面来形成在致动器前端及致动器后端开口的致动器中空部(41a)，
在所述套筒(41)的于所述致动器前端一侧露出的前端部(41b)的外周面与所述轴套(33c)的内周面之间，在全周范围形成有第二激光焊接部(42)，
通过所述第二激光焊接部将所述套筒的所述前端部(41b)固定在所述轴套(33c)上，
通过所述第二激光焊接部使所述前端部(41b)的外周面与所述轴套(33c)的内周面之间密封成液密封状态。
6.如权利要求5所述的中空型旋转致动器(1、1A、1B)，其特征在于，包括：
第一油封(51)，该第一油封(51)将所述套筒(41)的靠所述致动器后端一侧露出的后端部(41c)与规定所述致动器后端的所述马达壳体的后侧端板(25a)之间加以密封；
第二油封(52)，该第二油封(52)将所述马达壳体的所述前侧端板(21b)与所述中空马达轴(22)之间加以密封；以及
第三油封(53)，该第三油封(53)将所述刚性衬套(34a)与所述轴套(33c)之间加以密封。
7.如权利要求6所述的中空型旋转致动器(1、1A、1B)，其特征在于，包括：
圆环状的外侧密封座(54)，该外侧密封座(54)安装在所述轴套(33c)的靠致动器后端一侧的端面(33f)上；以及
圆筒状的内侧密封座(34d)，该内侧密封座(34d)从所述刚性衬套(34a)的靠所述致动器前端一侧的端面起，沿着所述套筒的外周面而向致动器前方延伸,
在所述外侧密封座(54)与所述内侧密封座(34d)之间安装有所述第三油封(53)。
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