CN103745948A - 晶舟 - Google Patents

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    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements

Abstract

本发明公开了一种晶舟，其包括主体部及挡条，所述主体部包括间隔设置的一对侧壁，所述一对侧壁上均设有若干水平间隔设置的收容槽，所述晶圆的两端分别可收容到相应侧壁的收容槽内，并可沿收容槽滑动，其中一个侧壁上设有与收容槽垂直设置的安装槽，所述挡条安装在安装槽内，所述挡条设有若干与收容槽对应的开槽，所述挡条可在开启位置与锁闭位置之间移动，在开启位置时，所述开槽与收容槽贯通，所述晶圆可以通过，在锁闭位置时，所述开槽与收容槽错开，所述晶圆不能通过，进一步包括安装在主体部上的自动锁止组件，所述自动锁止组件驱动所述挡条位于锁闭位置。本发明晶舟可自动锁闭，从而防止晶片滑落，及产生颗粒少。

Description

晶舟
技术领域
本发明涉及电子半导体领域，尤其涉及电子半导体领域中使用的晶舟的锁止结构。 
背景技术
目前，半导体行业，后段制程，需要将晶片切割封装，都需要使用一种晶舟，这种晶舟作为业界标准已广泛应用多年。 
这种晶舟主要由两侧带槽的主体，提手部份，和挡条三个主要组成部份。 
现在的晶舟有以下不足： 
档条是有M字形钢丝加弹簧组成，在作业过程中都需要人员进行手动开关档条，如果人员忘记关闭挡条，在提起晶舟搬运过程中会因为晶圆滑落出来造成产品报废等严重问题。
钢制档条使用时会和晶舟本身摩擦，产生大量的金属颗粒，影响到产品的良率。 
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶舟，其可以自动上锁的挡条，晶舟被提起时可以自动锁闭晶圆通道，防止滑落，及减少档条开闭时所产生的颗粒。 
为实现以上发明目的，本发明采用如下技术方案：一种晶舟，其用以收容晶圆并可放置在作业平台上，所述晶舟包括主体部及安装在主体部上的挡条，所述主体部包括间隔设置的一对侧壁、及位于该对侧壁之间的收容晶圆的收容空间，所述一对侧壁上均设有若干水平间隔设置的收容槽，所述晶圆的两端分别可收容到相应侧壁的收容槽内，并可沿收容槽滑动，其中一个侧壁上设有与收容槽垂直设置的安装槽，所述挡条安装在安装槽内，所述挡条设有若干与收容槽对应的开槽，所述挡条可在开启位置与锁闭位置之间移动，在开启位置时，所述开槽与收容槽贯通，所述晶圆可以通过，在锁闭位置时，所述开槽与收容槽错开，所述晶圆不能通过，进一步包括安装在主体部上的自动锁止组件，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述自动锁止组件驱动所述挡条位于锁闭位置。 
作为本发明的进一步改进，所述挡条包括基部、自基部向一侧凸伸的隔板，所述相邻的隔板之间形成前述开槽。 
作为本发明的进一步改进，所述主体部包括连接所述一对侧壁并水平设置的顶壁、及与顶壁平行间隔设置并连接所述一对侧壁的底壁，所述自动锁止组件包括弹性作用于挡条的第一弹性件，当所述晶舟放置在作业平台上时，所述挡条位于开启位置并压缩第一弹性件，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述第一弹性件推动挡条运动到锁闭位置。 
作为本发明的进一步改进，所述挡条上设有凹陷部，所述自动锁止组件包括可与凹陷部配合的锁止块，当所述挡条位于开启位置时，所述锁止块卡持在凹陷部内，使得挡条保持在开启位置。 
作为本发明的进一步改进，所述自动锁止组件包括可弹性作用于锁止块的第二弹性件。 
作为本发明的进一步改进，所述自动锁止组件包括可向下凸出晶舟底部的凸块、一端与凸块配合的杠杆，所述杠杆另一端与锁止块配合。 
作为本发明的进一步改进，所述自动锁止组件包括可弹性作用于杠杆与凸块配合的一端的第三弹性件，当所述晶舟放置在作业平台时，所述作业平台将凸块压入晶舟底部内并将第三弹性件压缩，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述第三弹性件推动凸块凸伸出晶舟底部，同时带动杠杆与凸块配合的一端向下转动，进而带动锁止块与挡条的凹陷部解除卡持配合并压缩第二弹性件。 
作为本发明的进一步改进，所述第一弹性件、第二弹性件及第三弹性件均为螺旋弹簧。 
作为本发明的进一步改进，所述锁止块包括与挡条平行设置的主体部、及沿垂直于主体部凸伸的与挡条的凹陷部卡持配合的卡持部。 
作为本发明的进一步改进，所述杠杆设有收容第三弹性部的凹槽。 
相较于现有技术，本发明通过设置一组开槽的挡条上下滑动与晶舟的收容槽对齐或错位，实现开锁或锁闭，与挡条配套一组自动锁止组件，可以在晶舟放置在作业平台时手动开启挡条，并使其保持在开启状态，保证产品正常取放，当晶舟被提起，即，与作业平台分离，自动锁止组件动作，使挡条滑动实现锁闭。 
附图说明
图1是本发明安装有晶圆的晶舟的立体图。 
图2是图1所示的晶舟部分结构示意图。 
图3是图2中所示的侧壁的示意图。 
图4是图2中所示的挡条的俯视图。 
图5是图4所示的挡条的正视图。 
图6是图4所示的挡条的侧视图。 
图7是图2中圆圈A的放大图。 
图8是图2中圆圈B的放大图。 
图9是图2中自动锁止组件的部分结构的示意图。 
图10是图9中所示的锁止块的侧视图。 
图11是图10所示的锁止块的正视图。 
图12是图9中所示的杠杆的俯视图。 
图13是图12所示的杠杆的侧视图。 
具体实施方式
如图1-13所示，本发明晶舟100，其用以收容晶圆200并可放置在作业平台（未图示）的水平面上。所述晶舟100包括主体部10、安装在主体部10上的挡条20、及安装在主体部10上的自动锁止组件30。 
如图1及2所示，所述主体部10包括间隔设置的一对侧壁11、位于该对侧壁11之间的收容晶圆200的收容空间12、连接所述一对侧壁11并水平设置的顶壁13、及与顶壁13平行间隔设置并连接所述一对侧壁11的底壁14。所述顶壁14上设置有拉手15。 
如图1-3所示，所述一对侧壁11竖直设置，各侧壁11上均设有若干水平间隔设置的收容槽110，所述晶圆200的两端分别可收容到相应侧壁11的收容槽110内，所述晶圆200可沿收容槽110滑动。其中一个侧壁11上设有与收容槽110垂直设置的安装槽111，即，所述安装槽111竖直设置。所述挡条20安装在安装槽111内。所述侧壁11的底部凹陷设有上收容部112及下收容部113。 
如图1-6及8所示，所述挡条20包括基部21、自基部21的一侧凸伸的若干隔板22，所述相邻的隔板22之间形成前述开槽23。所述挡条20靠近顶壁13的一端设有收容孔24。所述挡条20在靠近底壁14位置处设有凹陷部25。所述档条20为耐磨非金属材料，加上滑动动作的范围小，所以在使用中有效避免磨擦产生颗粒，有利于改善产品良率。所述开槽23与收容槽110对应，所述挡条20可在开启位置与锁闭位置之间移动，在开启位置时，所述开槽23与收容槽110贯通，所述晶圆200可以通过。在锁闭位置时，所述开槽23与收容槽110错开，隔板22位于收容槽110位置处，所述晶圆200被隔板22挡住而不能通过。当所述晶舟100脱离所述作业平台的水平面时，所述自动锁止组件30驱动所述挡条20位于锁闭位置。 
如图1-3及7所示，所述自动锁止组件30包括弹性作用于挡条20的第一弹性件31，所述第一弹性件31为螺旋弹簧，其收容在侧壁11的上收容部112内，一端抵靠在侧壁11靠近顶壁13位置处，另一端收容在挡条20的收容孔24内，当所述晶舟100放置在作业平台的水平面上时，所述挡条20位于开启位置并压缩第一弹性件31，当所述晶舟100脱离所述作业平台时，所述第一弹性件31推动挡条20运动到锁闭位置。 
如图2和3，及8-13所示，所述自动锁止组件30包括可与挡条20的凹陷部25配合的锁止块32，所述锁止块32收容在侧壁11的下收容部113。当所述挡条20位于开启位置时，所述锁止块32卡持在凹陷部25内，使得挡条20保持在开启位置。所述锁止块32包括与挡条20平行设置的主体部320、自主体部320上端设有沿垂直于主体部320凸伸的卡持部321、主体部320的下端设有一对间隔设置的臂部322、位于该对臂部322之间的间隔空间323、及垂直穿过该对臂部322的通孔324。所述卡持部321与挡条20的卡持配合，从而可以使得挡条20保持在开启位置。所述自动锁止组件30包括可弹性作用于锁止块32的第二弹性件33以提供或者增加锁止块32与挡条20的锁扣力。所述第二弹性部33为水平设置的螺旋弹簧，所述第二弹性部33收容在侧壁11的下收容部113。 
所述自动锁止组件30包括可向下凸出晶舟100底部的凸块34及杠杆35，所述凸块34及杠杆35收容在侧壁11的下收容部113。所述凸块34大体呈圆柱状，并竖直设置。所述杠杆35水平设置。所述杠杆35的一端351与凸块34配合、另一端352与锁止块32配合。所述杠杆35的一端351设有凹槽353，另一端352收容在锁止块32的间隔空间323内。所述杠杆35的另一端352上设有与锁止块32配合的凸臂354。所述杠杆上设有与锁止块32上通孔324对应的通孔355，一转轴38插入所述锁止块32上通孔324及杠杆35上的通孔355，所述锁止块32及杠杆35均可沿该转轴38转动。所述自动锁止组件30包括可弹性作用于杠杆35与凸块34配合的一端351的第三弹性件36，所述第三弹性件36收容在侧壁11的下收容部113，当所述晶舟100放置在作业平台时，所述作业平台将凸块34压入晶舟100内并将第三弹性件36压缩，当所述晶舟100脱离所述作业平台时，所述第三弹性件36推动凸块34凸伸出晶舟100底部，同时带动杠杆35与凸块34配合的一端351向下转动，进而带动锁止块32的卡持部321与挡条20的凹陷部25解除卡持配合并压缩第二弹性件33。所述第三弹性件36为水平设置的螺旋弹簧，第三弹性件36的一端收容在凹槽353内。 
所述晶舟100放置在作业平台时手动开启挡条20，第二弹性件33推动锁止块32转动并使得锁止块32卡持在凹陷部25内，从而让挡条20保持在开启状态，保证产品正常取放。 
其他的替代方案如下可以是转动式挡条加自动锁止结构，或者是插销式档条加自动锁止结构。 
本发明通过设置一组开槽23的挡条20上下滑动与晶舟100的收容槽110对齐或错位，实现开锁或锁闭，与挡条20配套一组自动锁止组件30，可以在晶舟100放置在作业平台时手动开启挡条20，并使其保持在开启状态，保证产品正常取放，当晶舟100被提起，即，与作业平台分离，自动锁止组件30动作，使挡条20滑动实现锁闭。 
综上所述，以上仅为本发明的较佳实施例而已，不应以此限制本发明的范围，即凡是依本发明权利要求书及发明说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属本发明专利涵盖的范围内。 

Claims (10)

1.一种晶舟，其用以收容晶圆并可放置在作业平台上，所述晶舟包括主体部及安装在主体部上的挡条，所述主体部包括间隔设置的一对侧壁、及位于该对侧壁之间的收容晶圆的收容空间，所述一对侧壁上均设有若干水平间隔设置的收容槽，所述晶圆的两端分别可收容到相应侧壁的收容槽内，并可沿收容槽滑动，其中一个侧壁上设有与收容槽垂直设置的安装槽，所述挡条安装在安装槽内，所述挡条设有若干与收容槽对应的开槽，所述挡条可在开启位置与锁闭位置之间移动，在开启位置时，所述开槽与收容槽贯通，所述晶圆可以通过，在锁闭位置时，所述开槽与收容槽错开，所述晶圆不能通过，其特征在于：进一步包括安装在主体部上的自动锁止组件，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述自动锁止组件驱动所述挡条位于锁闭位置。
2.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于：所述挡条包括基部、自基部向一侧凸伸的隔板，所述相邻的隔板之间形成前述开槽。
3.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于：所述主体部包括连接所述一对侧壁并水平设置的顶壁、及与顶壁平行间隔设置并连接所述一对侧壁的底壁，所述自动锁止组件包括弹性作用于挡条的第一弹性件，当所述晶舟放置在作业平台上时，所述挡条位于开启位置并压缩第一弹性件，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述第一弹性件推动挡条运动到锁闭位置。
4.如权利要求3所述的晶舟，其特征在于：所述挡条上设有凹陷部，所述自动锁止组件包括可与凹陷部配合的锁止块，当所述挡条位于开启位置时，所述锁止块卡持在凹陷部内，使得挡条保持在开启位置。
5.如权利要求4所述的晶舟，其特征在于：所述自动锁止组件包括可弹性作用于锁止块的第二弹性件。
6.如权利要求5所述的晶舟，其特征在于：所述自动锁止组件包括可向下凸出晶舟底部的凸块、一端与凸块配合的杠杆，所述杠杆另一端与锁止块配合。
7.如权利要求6所述的晶舟，其特征在于：所述自动锁止组件包括可弹性作用于杠杆与凸块配合的一端的第三弹性件，当所述晶舟放置在作业平台时，所述作业平台将凸块压入晶舟底部内并将第三弹性件压缩，当所述晶舟脱离所述作业平台时，所述第三弹性件推动凸块凸伸出晶舟底部，同时带动杠杆与凸块配合的一端向下转动，进而带动锁止块与挡条的凹陷部解除卡持配合并压缩第二弹性件。
8.如权利要求7所述的晶舟，其特征在于：所述第一弹性件、第二弹性件及第三弹性件均为螺旋弹簧。
9.如权利要求7所述的晶舟，其特征在于：所述锁止块包括与挡条平行设置的主体部、及沿垂直于主体部凸伸的与挡条的凹陷部卡持配合的卡持部。
10.如权利要求7所述的晶舟，其特征在于：所述杠杆设有收容第三弹性部的凹槽。
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