CN105609452A - 自锁料篮 - Google Patents

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CN105609452A
CN105609452A CN201510964824.5A CN201510964824A CN105609452A CN 105609452 A CN105609452 A CN 105609452A CN 201510964824 A CN201510964824 A CN 201510964824A CN 105609452 A CN105609452 A CN 105609452A
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CN201510964824.5A
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周锋
卢海伦
李城毅
洪胜平
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Nantong Fujitsu Microelectronics Co Ltd
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Nantong Fujitsu Microelectronics Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Abstract

本申请公开了一种自锁料篮,包括:料篮本体,具有存储物料的存储空间,在所述料篮本体上具有与所述存储空间连通的开口部,用于放入或取出物料;导槽,设置于所述存储空间内,且导槽的入口从所述开口部露出;锁扣,形成凸起的止挡块,所述锁扣可移动的设置于所述料篮本体,所述锁扣的一端从所述料篮本体露出,并且所述锁扣与所述料篮本体之间设置有弹性结构;所述锁扣移动的路径为:在所述止挡块封堵所述入口的第一位置和打开所述入口的第二位置之间移动。扣锁在第一位置和第二位置之间移动,并且可以实现自动移动,从而在运输料篮时封堵入口,避免圆片滑落,需要去除圆片时,打开入口方便取出圆片。

Description

自锁料篮
技术领域
本公开一般涉及半导体制备领域,具体涉及半导体的存放装置,尤其涉及一种自锁料篮。
背景技术
在半导体封装领域,圆片是重要的原材料,在经过减薄和划片后的圆片会固定在圆环上,传统的料篮一般没有锁扣,在运送料篮时容易造型圆片滑落。
有的料篮安装了料篮门,运输时,人工关料篮门防止圆片滑出,在这个过程中,容易因为料篮门忘记关,或者关闭不牢,导致圆片位置不稳定,或者滑出;进入装片设备作业时,将料篮平躺放置并手动打开料篮,料篮门如果忘记打开,设备无法顺利从料篮中抓取圆片。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种自锁料篮,包括:料篮本体,具有存储物料的存储空间,在所述料篮本体上具有与所述存储空间连通的开口部,用于放入或取出物料;导槽,设置于所述存储空间内,且导槽的入口从所述开口部露出;锁扣,形成凸起的止挡块,所述锁扣可移动的设置于所述料篮本体,所述锁扣的一端从所述料篮本体露出,并且所述锁扣与所述料篮本体之间设置有弹性结构;所述锁扣移动的路径为:在所述止挡块封堵所述入口的第一位置和打开所述入口的第二位置之间移动。
基于本发明的内容,扣锁在第一位置和第二位置之间移动,并且可以实现自动移动,从而在运输料篮时封堵入口,避免圆片滑落,需要去除圆片时,打开入口方便取出圆片。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本发明实施例1的自锁料篮的锁扣处于第一位置的示意图;
图2为本发明实施例1的自锁料篮的锁扣处于第二位置的示意图;
图3为本发明实施例2的自锁料篮的锁扣处于第一位置的示意图;
图4为本发明实施例2的自锁料篮的锁扣处于第二位置的示意图;
附图标记:料篮本体-1;导槽-2;圆片3;锁扣-4;止挡块41。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
本发明公开一种自锁料篮,包括:料篮本体1、导槽2和锁扣4,料篮本体具有存储空间,用于存储物料,例如可以用于存储圆片,在料篮上具有开口部,连通存储空间,取出或者放入物料都是通过该开口部完成的。导槽设置在存储空间内,导槽的入口从开口部露出,物料就是从导槽的入口进入存储空间的。锁扣,形成凸起的止挡块41,锁扣可移动的设置于料篮本体,锁扣的一端从所述料篮本体露出;锁扣移动的路径为:在所述止挡块封堵所述入口的第一位置和打开所述入口的第二位置之间移动。
可选的,锁扣设置于开口部两侧的侧壁内,止挡块从所述侧壁朝向所述存储空间伸出;并且,以物料放入方向为里,取出方向为外,止挡块位于所述导槽的外侧。下面以实施例说明具体结构,以下实施例均已圆片3,作为物料以方便说明。
实施例1
参见图1和图2,在第一位置时,锁扣的一端从所述料篮本体的底部露出;这种情况时,为提起料篮时,锁扣靠自身重力向下移动,通过止挡块使入口封堵,避免圆片滑落(如图1所示)。
而需要使用时,将料篮本体防止在操作面,此时通过料篮本体自身的重量以及操作面对锁扣的抵压,使锁扣向料篮本体内移动,被封堵的入口也逐渐打开,最终到锁扣移动到第二位置,在第二位置时,锁扣部分或完全伸入所述料篮本体内,入口也完全打开(如图2所示)。
当然,也可以在锁扣和料篮本体之间设置弹性结构,抵压从料篮本体的底部露出锁扣,使锁扣从第一位置向第二位置移动,使弹性结构发生弹性形变;弹性结构通过弹性回复力使锁扣从第二位置向第一位置移动。即,在将料篮放到操作面时,操作面抵压锁扣,同时还使弹性结构发生形变,在提起料篮的过程中,弹性结构逐渐释放回复力,时锁扣的止挡块对入口的封堵更敏捷,同时在提起料篮时如果有震动,该弹性结构也能起到减震,不会因为震动使入口的封堵打开,从而避免圆片在震动时滑落。
另外,为了防止提起时,锁扣从料篮本体脱出,可以使锁扣与弹性结构连接,或者在料篮本体上设置第一定位结构,锁扣上具有与第一定位结构匹配的第二定位结构,在不是用弹性结构时可以使用上述的定位结构起到防治脱落的效果。
图1和图2所示的仅为一种可选的方式,仅在一侧(图中的右侧)设置了锁扣,该锁扣还可以设置在右侧,或者两侧都设置。本实施例中,将料篮放下就可以自动使入口打开,拿起料篮就封堵入口,操作方便简捷。
在从料篮本体的顶部露出锁扣的底部,设置防磨垫,避免锁扣磨损。
上述的锁扣是止顶在操作面的,如果料篮底面没有支角,锁扣可以完全伸入料篮本体内,而如果支角,锁扣则部分伸入料篮本体内,因为在将料篮放置到操作面时,锁扣始终要止顶着操作面。当然,操作面可以理解为进行从料篮取出圆片作业时,放置料篮的面。
实施例2
参见图3和图4,在第二位置时,锁扣部分或完全伸入所述料篮本体内(如图4),锁扣可以依靠自身重力进入料篮本体内,使入口打开,该状态一般为将料篮放到操作台时的状态;需要提起料篮时,可以通过提起锁扣实现提起料篮,当然提起锁扣时其会从第二位置向第一位置移动,直到入口被止挡块封堵。
当然,同样可以在锁扣和料篮本体之间设置弹性结构,例如,拉伸从所述料篮本体的顶部露出锁扣,使锁扣从第二位置向第一位置移动,使所述弹性结构发生弹性形变;弹性结构通过弹性回复力使锁扣从第一位置向所述第二位置移动。即,锁扣处于第一位置时,是通过提起锁扣提起料篮,提起锁扣的同时弹性结构处于弹性形变状态,将料篮放置在操作台,弹性结构释放回复力,拉回锁扣,使其从第一位置移动到第二位置。使用弹性结构比不使用时效果更快。
在述料篮本体的顶部露出锁扣上设置把手,方便提起料篮又能够在提起的同时封堵入口。与实施例1相同,上述操作面可以理解为进行从料篮取出圆片作业时,放置料篮的面。
图3和图4在料篮两侧都设置了锁扣,这是一种可选的实施方式,也可以只在一侧设置。
以上两个实施例仅作出了两个可能的形式,其他能够实现“料篮放置在操作面上,锁扣能够移动到打开入口的位置,而提起料篮,又能够封堵入口”的结构形式同样可以用于本发明。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解,本申请中所涉及的发明范围,并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案,同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下,由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种自锁料篮,其特征在于,包括:
料篮本体,具有存储物料的存储空间,在所述料篮本体上具有与所述存储空间连通的开口部,用于放入或取出物料;
导槽,设置于所述存储空间内,且导槽的入口从所述开口部露出;
锁扣,形成凸起的止挡块,所述锁扣可移动的设置于所述料篮本体,所述锁扣的一端从所述料篮本体露出;
所述锁扣移动的路径为:在所述止挡块封堵所述入口的第一位置和打开所述入口的第二位置之间移动。
2.根据权利要求1所述自锁料篮,其特征在于,
在所述第一位置时,所述锁扣的一端从所述料篮本体的底部露出;
在所述第二位置时,所述锁扣部分或完全伸入所述料篮本体内。
3.根据权利要求1所述自锁料篮,其特征在于,
在所述第一位置时,所述锁扣的一端从所述料篮本体的顶部露出;
在所述第二位置时,所述锁扣部分或完全伸入所述料篮本体内。
4.根据权利要求1所述自锁料篮,其特征在于,
所述锁扣设置于所述开口部两侧的侧壁内,所述止挡块从所述侧壁朝向所述存储空间伸出;
并且,以物料放入方向为里,取出方向为外,所述止挡块位于所述导槽的外侧。
5.根据权利要求2所述自锁料篮,其特征在于,
所述锁扣与所述料篮本体之间设置有弹性结构
抵压所述锁扣从料篮本体的底部露出的一端,所述锁扣从第一位置向第二位置移动,使所述弹性结构发生弹性形变;
所述弹性结构通过弹性回复力使所述锁扣从第二位置向所述第一位置移动。
6.根据权利要求5所述自锁料篮,其特征在于,
所述弹性结构为弹簧,锁扣从第一位置向第二位置移动,使所述弹簧压缩。
7.根据权利要求3所述自锁料篮,其特征在于,
锁扣与所述料篮本体之间设置有弹性结构
拉伸所述锁扣从所述料篮本体的顶部露出的一端,所述锁扣从第二位置向第一位置移动,使所述弹性结构发生弹性形变;
所述弹性结构通过弹性回复力使所述锁扣从第一位置向所述第二位置移动。
8.根据权利要求7所述自锁料篮,其特征在于,
所述弹性结构为弹簧,锁扣从第二位置向第一位置移动,使所述弹簧拉伸。
9.根据权利要求2、5或6所述自锁料篮,其特征在于,
在从所述料篮本体的顶部露出锁扣的底部,设置防磨垫。
10.根据权利要求3、7或8所述自锁料篮,其特征在于,
在从所述料篮本体的顶部露出锁扣上设置把手。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4153164A (en) * 1978-06-13 1979-05-08 Kasper Instruments, Inc. Carrier for semiconductive wafers
CN1596217A (zh) * 2001-11-27 2005-03-16 诚实公司 通过门形成接地线路的前开口式晶片容器
CN103745948A (zh) * 2013-12-24 2014-04-23 颀中科技(苏州)有限公司 晶舟

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4153164A (en) * 1978-06-13 1979-05-08 Kasper Instruments, Inc. Carrier for semiconductive wafers
CN1596217A (zh) * 2001-11-27 2005-03-16 诚实公司 通过门形成接地线路的前开口式晶片容器
CN103745948A (zh) * 2013-12-24 2014-04-23 颀中科技(苏州)有限公司 晶舟

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RJ01 Rejection of invention patent application after publication