CN103715120A - 一种前开式晶片盒 - Google Patents

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张爽
王继周
门恩国
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Shenyang Solidtool Co Ltd
Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
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Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H01L21/67309—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements characterized by the substrate support

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Abstract

本发明涉及半导体制造设备中的晶片盒，具体地说是一种可自动防止晶片在设备移动过程中滑出的前开式晶片盒，包括片盒体、带电磁阀的回转气缸及挡杆，其中片盒体为半开放式结构，片盒体内设有多个容置晶片的插槽；所述回转气缸安装在片盒体上，挡杆与回转气缸的输出端相连，通过该回转气缸带动回转、阻挡晶片滑出。本发明结构简单，使用方便，满足安全、无污染的存储和运输晶片的要求，而且可以自动地实现在设备移动过程中防止晶片滑出，无需打开设备的门，保证了设备内的洁净度。

Description

一种前开式晶片盒
技术领域
本发明涉及半导体制造设备中的晶片盒，具体地说是一种可自动防止晶片在设备移动过程中滑出的前开式晶片盒。 
背景技术
在半导体制造领域中，半导体制造设备内大部分都涉及到装载晶片的晶片盒，它起到晶片的存储、运输等功能。在现有的技术下，存在着很多不同类型的晶片盒，它们具有的相同特点是可一次性装载和运输单个或多个晶片，并且不会对晶片造成污染；且个别的也具有防止晶片滑出的功能，但是由手动实现的。当晶片盒处在半导体制造设备内，为了某个目的需要抽拉移动设备时，并且设备内具有洁净度要求，不宜打开设备的门时，就没有办法防止晶片从晶片盒中滑出来，造成故障。 
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有自动防止晶片滑出功能的前开式晶片盒。该前开式晶片盒在存放晶片盒的半导体制造设备需要抽拉移动时，无需打开设备的门，晶片盒即可自动的实现防止晶片滑出。 
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的： 
本发明包括片盒体、带电磁阀的回转气缸及挡杆，其中片盒体为半开放式结构，片盒体内设有多个容置晶片的插槽；所述回转气缸安装在片盒体上，挡杆与回转气缸的输出端相连，通过该回转气缸带动回转、阻挡晶片滑出。 
其中：所述片盒体的一侧沿轴向设有供晶片输入或输出的开口；所述开口的水平投影为弧形，开口宽度大于晶片的直径；所述回转气缸安装在片盒体的上表面，并位于开口的任一侧；或在所述开口的两侧、对称设置两个回转气缸，每个回转气缸分别连接有挡杆；所述挡杆的一端通过连接装置与回转气缸的输出端相连，另一端为自由端，或挡杆的另一端铰接于所述片盒体的下表面；所述挡杆的长度大于片盒体的高度，挡杆和片盒体相对应的部分与片盒体的轴向中心线相平行；所述挡杆为圆柱形的实心杆或空心杆，由塑料材料制成。 
本发明的优点与积极效果为： 
本发明结构简单，使用方便，满足安全、无污染的存储和运输晶 片的要求，而且可以自动地实现在设备移动过程中防止晶片滑出，无需打开设备的门，保证了设备内的洁净度。 
附图说明
图1为本发明的轴测图之一（挡杆处于非工作状态）； 
图2为本发明的轴测图之二（挡杆处于阻挡状态）； 
图3为本发明俯视图（挡杆处于晶片的侧前方）； 
图4为本发明俯视图（挡杆处于晶片的侧方）； 
其中：1为片盒体，2为回转气缸，3为插槽，4为联轴器，5为挡杆，6为晶片。 
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。 
如图1、图2所示，本发明包括片盒体1、带电磁阀的回转气缸2及挡杆5，其中片盒体1整体形状为中空的圆柱，呈半开放式结构，即在片盒体1的一侧沿轴向设有供晶片6输入或输出的开口，该开口的水平投影为弧形，开口宽度大于晶片6的直径。 
片盒体1的内壁上设有多个容置晶片6的插槽3，各插槽3之间相互平行。回转气缸2可直接或间接地安装在片盒体1的上表面、并位于所述开口的任一侧，回转气缸2上带有与控制系统电连接的电磁阀，通过电磁阀可以控制回转气缸2顺时针旋转或逆时针旋转；本发明的控制系统为现有技术。挡杆5的一端弯折后、通过连接装置与回转气缸2的输出端相连，另一端为自由端；或挡杆5的另一端弯折后铰接于所述片盒体1的下表面，本实施例挡杆5的另一端即是弯折后铰接在片盒体1的下表面上；本实施例的连接装置为联轴器4，起到连接回转气缸2和挡杆5的作用。挡杆5为圆柱形的实心杆或空心杆，由塑料材料制成，如聚乙烯或聚四氟乙烯；挡杆5的长度大于片盒体1的高度，挡杆5和片盒体1相对应的部分与片盒体1的轴向中心线相平行，通过该回转气缸2带动回转、阻挡晶片6滑出。 
本发明还可在所述开口的两侧，对称设置两个回转气缸2，每个回转气缸2分别连接有挡杆5。 
本发明的工作原理为： 
在正常工作状态下，档杆5的状态如图4所示，图4箭头所指的方向为晶片6的输入输出方向，档杆5所处的位置为晶片6输入输出方向范围之外，这样不会影响晶片6的输入及输出。当承载此晶片盒的半导体制造设备需要抽拉移动时，通过控制系统控制电磁阀的供气方式，使回转气缸2逆时针旋转，旋转到设定的角度停止，相应地通过联轴器4带动档杆5跟着逆时针旋转，状态如图3所示，档杆5的 位置处于晶片6的侧前方，这样在设备移动过程中晶片6就不会因设备移动产生的震动和惯性从片盒体1中滑出；当设备抽拉移动回位后，再通过控制系统控制电磁阀3的供气方式，使回转气缸2顺时针旋转，带动档杆5跟着顺时针旋转，回到初始如图4所示的位置，这样设备就可以正常的工作了。 

Claims (7)

1.一种前开式晶片盒，其特征在于：包括片盒体（1)、带电磁阀的回转气缸（2）及挡杆（5），其中片盒体（1）为半开放式结构，片盒体（1）内设有多个容置晶片（6）的插槽（3）；所述回转气缸（2）安装在片盒体（1）上，挡杆（5）与回转气缸（2）的输出端相连，通过该回转气缸（2）带动回转、阻挡晶片（6）滑出。
2.按权利要求1所述的前开式晶片盒，其特征在于：所述片盒体（1）的一侧沿轴向设有供晶片（6）输入或输出的开口。
3.按权利要求1所述的前开式晶片盒，其特征在于：所述开口的水平投影为弧形，开口宽度大于晶片（6）的直径。
4.按权利要求2所述的前开式晶片盒，其特征在于：所述回转气缸（2）安装在片盒体（1）的上表面，并位于开口的任一侧；或在所述开口的两侧、对称设置两个回转气缸（2），每个回转气缸（2）分别连接有挡杆（5）。
5.按权利要求1或4所述的前开式晶片盒，其特征在于：所述挡杆（5）的一端通过连接装置与回转气缸（2）的输出端相连，另一端为自由端，或挡杆（5）的另一端铰接于所述片盒体（1）的下表面。
6.按权利要求5所述的前开式晶片盒，其特征在于：所述挡杆（5）的长度大于片盒体（1）的高度，挡杆（5）和片盒体（1）相对应的部分与片盒体（1）的轴向中心线相平行。
7.按权利要求5所述的前开式晶片盒，其特征在于：所述挡杆（5）为圆柱形的实心杆或空心杆，由塑料材料制成。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109292455A (zh) * 2018-09-20 2019-02-01 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于结晶自动线的片盒

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US5534074A (en) * 1995-05-17 1996-07-09 Heraeus Amersil, Inc. Vertical boat for holding semiconductor wafers
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