CN103700377B - 磁盘驱动器悬架 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种磁盘驱动器悬架。滑动件（11）和微型致动器元件（31,32）设置在挠性件（22）的万向节部（30）上。万向节部（30）的舌形件（90）具有第一舌部（91）、第二舌部（92）和铰接部（93）。滑动件（11）的前侧部（11a）可动地设置在第一舌部（90）上。滑动件（11）的尾侧部(11b)固定到第二舌部(92)。铰接部93形成于第一舌部（90）和第二舌部(92)之间。万向节部（30）设有减振构件（115），该减振构件包括粘弹性材料层（116）和约束板（117）。减振构件（115）包括第一减振器（115a）和第二减振器（115b）。铰接部(93)在第一减振器（115a）和第二减振器（115b）之间露出。位于负载梁（21）上的凹窝（100）在接触点（P1）处与铰接部（93）接触。

Description

磁盘驱动器悬架
技术领域
本发明涉及一种磁盘驱动器悬架，该磁盘驱动器悬架包括为例如锆钛酸铅(PZT)的微型致动器元件。
背景技术
人们在诸如个人计算机之类的信息处理设备中使用硬盘驱动器(HDD)。硬盘驱动器包括可绕芯轴旋转的磁盘、可绕枢轴转动的托架等。包括致动器臂在内的托架构造成由诸如音圈马达之类的定位马达相对于轨道横向地绕枢轴转动。
悬架安装在致动器臂上。悬架包括负载梁、叠置于其上的挠性件等。构成磁头的滑动件安装在形成于挠性件的远端部附近的万向节部上。滑动件设置有用于访问数据、即读取或写入数据的元件(转换器)。负载梁、挠性件、滑动件等构成磁头万向节组件。
为了克服磁盘的记录密度增大的问题，磁头应相对于各个盘的记录表面更精确地定位。为了实现这一目的，已开发了两级致动器(DSA)悬架，这些悬架将定位马达(音圈马达)和由诸如锆钛酸铅(PZT)之类的压电材料制成的微型致动器元件相结合。
悬架的远端可通过向微型致动器元件施加电压并由此使微型致动器元件变形来沿摆动方向(或相对于轨道横向地)快速运动极小距离。如在日本专利申请特许公开第2010-146631号(专利文献1)和第2010-218626号(专利文献2)中公开的那样，此外，还已知有协同定位的DSA悬架，在该协同定位的DSA悬架中，微型致动器元件安装在挠性件的万向节部上。
图23示出微型致动器元件安装在万向节部上的传统式协同定位的DSA悬架的频率响应特性。在图23中，实线S1表示当万向节部通过驱动微型致动器元件(PZT激励)而摆动时获得的频率响应特性曲线。虚线S2表示当基部由于激励器而振动以使万向节部摆动(基板激励)时获得的频率响应特性曲线。
在图23的示例中，当基于PZT激励的扭转模式与基于基板激励的扭转模式在接近12kHz的点G1、接近17kHz的点G2等处耦合时，增益增大。存在有放大的振动会不利地影响万向节部特性的可能性。如果基于PZT和基板激励的共振模式以此方式耦合，则可通过借助一些手段来减小共振模式中的一个的增益来抑制由于耦合产生的增益增大。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供一种磁盘驱动器悬架或协同定位的DSA悬架，其中，滑动件和微型致动器元件安装在万向节部上，因而，能够抑制万向节部的振动。
根据一实施例的磁盘驱动器悬架包括负载梁和挠性件，该挠性件包括固定到负载梁的固定部分和其上设置有滑动件的万向节部。悬架包括其上安装有滑动件的舌形件、微型致动器元件、凸形凹窝以及减振构件，微型致动器元件设置在滑动件的两侧上并且分别包括第一端部和第二端部，凸形凹窝形成于负载梁和舌形件的对应的相面对的表面中的一个上，并构造成与另一相面对的表面接触，由此支承舌形件相对于负载梁作摆动，减振构件设置在保持远离凹窝的万向节部上。
根据此实施例的结构，由于基板或PZT激励所产生的万向节部的振动能有效地在DSA悬架中得以抑制，该悬架包括位于万向节部上的滑动件和设置在滑动件两侧的微型致动器元件。
一实施例的万向节部包括面向负载梁的第一表面和与第一表面相对的第二表面，而减振构件包括粘弹性材料层和层叠到粘弹性材料层上的约束板，该粘弹性材料层固定到万向节部的第一表面。
挠性件可包括与固定部分相连续的臂部、一对第一支承部和一对第二支承部，所述一对第一支承部组成万向节部的由臂部支承的一部分，并且该对微型致动器元件的第一端部分别固定到所述一对第一支承部，所述一对第二支承部组成万向节部的一部分，并且该对微型致动器元件的第二端部分别固定到所述一对第二支承部，且减振构件可与第一支承部和第二支承部部分地交叠。
舌形件可包括第一舌部、第二舌部和铰接部，第一舌部形成于该对第一支承部之间，且滑动件的前侧部设置在第一舌部上以进行运动，第二舌部形成于该对第二支承部之间，并且滑动件的尾侧部固定到该第二舌部，铰接部形成于第一舌部和第二舌部之间，并与凹窝接触。
一实施例的减振构件包括第一减振器和第二减振器，第一减振器设置在第一舌部上，并相对于第一舌部横向延伸，第二减振器设置在第二舌部上，并且相对于第二舌部横向延伸。另一实施例的减振构件包括第一减振器和第二减振器，第一减振器设置成相对于所述一对微型致动器元件中的一个纵向延伸，并横跨在第一舌部和第二舌部之间，第二减振器设置成相对于另一微型致动器元件纵向延伸，并横跨在第一舌部和第二舌部之间。
减振构件可包括圆形开口，该圆形开口设置成横跨在第一舌部和第二舌部之间，并且凹窝在对应于减振构件的铰接部的位置处装配入该圆形开口内。减振构件可包括粘弹性材料层和层叠到粘弹性材料层的约束板，粘弹性材料层设置成面向第一支承部和第二支承部之间的开口，其中，微型致动器元件容纳于开口内，并连结到粘弹性材料层。减振构件可在其侧部上包括固定到万向节部的臂部的延伸部。
在下面的说明书中将提出本发明的其它目的和优点，这些其它目的和优点部分地将从说明书中变得明白，或可通过对本发明的实践来学到。借助于在下文中特别指出的手段和组合，可实现和达到本发明的目的和优点。
附图说明
包含于此并构成本说明书一部分的附图示出本发明的实施例，它与上面给出的总体描述和下面给出的对实施例的详细描述一起用来揭示本发明的原理。
图1是示出磁盘驱动器的一个示例的立体图；
图2是图1中所示的磁盘驱动器的局部剖视图；
图3是根据第一实施例的悬架的立体图；
图4是从滑动件一侧看的、图3的悬架的微型致动器安装部的立体图；
图5是从与图4相对的那侧看的、图4的微型致动器安装部的立体图；
图6是图5的微型致动器安装部的平面图；
图7是从与图6相对的那侧看的、图5的微型致动器安装部的仰视图；
图8是悬架的挠性件的导电电路部的局部剖视图；
图9是图4的微型致动器安装部的剖视图；
图10是示出负载梁和万向节部的局部剖视图；
图11是图5的微型致动器安装部的挠性件的局部平面图；
图12是示意地示出微型致动器元件被致动时的微型致动器安装部的平面图；
图13是根据第二实施例的微型致动器安装部的立体图；
图14是根据第三实施例的微型致动器安装部的立体图；
图15是根据第四实施例的微型致动器安装部的立体图。
图16是示出包括图15中所示的减振构件在内的微型致动器安装部和不带有减振构件的微型致动器安装部的对应的频率响应特性的曲线图；
图17是根据第五实施例的微型致动器安装部的立体图；
图18是示出包括图17中所示的减振构件在内的微型致动器安装部和不带有减振构件的微型致动器安装部的对应的频率响应特性的曲线图；
图19是根据第六实施例的微型致动器安装部的局部立体图；
图20是示出减振构件如何设置在图19中所示微型致动器安装部上的立体图；
图21是示出微型致动器元件如何设置在图20中所示微型致动器安装部上的立体图；
图22是示出导电膏如何设置在图21中所示的微型致动器元件上的立体图；以及
图23是示出传统式悬架的微型致动器安装部的频率响应特性的曲线图。
具体实施方式
现将参照图1至12描述根据第一实施例的磁盘驱动器悬架。
图1中所示的磁盘驱动器(HDD)1包括壳体2、可绕芯轴3转动的磁盘4、可绕枢轴5转动的托架6、用于致动托架6的定位马达(音圈马达)7等。用盖子(未示出)来密封壳体2。
图2是示意地示出磁盘驱动器1的一部分的剖视图。如图1和2中所示，托架6包括臂(托架臂)8。在各个臂8的远端部上安装有悬架10。构成磁头的滑动件11设置在该悬架10的远端上。在各个磁盘4以高速旋转的状态下，当空气流入磁盘和滑动件之间时，在磁盘与滑动件11之间形成有空气轴承。
如果定位马达7使托架6转动，则悬架10相对于磁盘4径向运动。此时，滑动件11运动到磁盘4的所期望的轨道。
图3示出两级致动器(DSA)型的悬架10。该悬架10包括固定到托架6的对应臂8(图1和2)上的基板20、负载梁21、具有导体的挠性件22、位于悬架10的远端附近的微型致动器安装部23等。在基板20上形成有将要插入各个臂8中的孔8a(图2)内的凸台部20a。
在图3中，箭头X和Y分别表示负载梁21的纵向、即悬架10的纵向(前后方向)和摆动方向(滑动件11的横向)。在负载梁21的近侧部(后端部)上形成有能沿厚度方向弹性变形的弹性部25。挠性件22沿负载梁21设置。
图4是从滑动件11一侧看的、微型致动器安装部23的立体图。微型致动器安装部23设置在悬架10的远端部上。诸如能在磁信号和电信号之间转换的磁阻(MR)元件之类的元件28设置在构成磁头的滑动件11的端部上。这些元件28用于访问数据，即，将数据写入磁盘4或从磁盘4读出数据。滑动件11、负载梁21、挠性件22等构成磁头万向节组件。
微型致动器安装部23包括形成于挠性件22的远端部上的万向节部30和一对微型致动器元件31和32。这些微型致动器元件31和32各自设置在万向节部30上的滑动件11的相对两侧。微型致动器元件31和32由PZT等的压电板构成，并具有借助后文详细描述的结构来使滑动件11沿摆动方向枢转的功能。
图5是从与图4相对的那侧看的、挠性件22的远端部上的万向节部30以及微型致动器元件31和32的立体图。图6是示出万向节部30、微型致动器元件31和32等的平面图。图7是从与图6相对的那侧看的微型致动器安装部23的仰视图。
挠性件22包括由不锈钢板制成的金属基部40和导电电路部41。导电电路部41沿金属基部40设置。导电电路部41包括与金属基部40交叠的部分和不与金属基部40交叠的部分。
金属基部40通过固定装置固定到负载梁21，固定装置诸如是通过例如激光焊接形成的第一焊点W1(图3、6等)和第二焊点W2(图3到7)。特别是，挠性件22包括第一和第二固定部分22a和22b。第一固定部分22a通过焊点W1在悬架10的沿前后方向的中间部分处固定到负载梁21。第二固定部分22a通过焊点W2在挠性件22的远端部附近的位置处固定到负载梁21。挠性件22的后部22c(图3)从基板20向后延伸。
如图5到7等中所示，挠性件22的金属基部40包括一对第一臂51和52以及一对第二臂53和54。第一臂51和52与第一固定部分22a连接，而第二臂53和54与第二固定部分22b连接。第一臂51和52的对应远端部51a和52a为U形。第二臂53和54的对应后端连接到远端部51a和52a附近。第一臂51和52以及第二臂53和54构成用于弹性支承万向节部30的臂部55。
图8示出金属基部40和导电电路部41的剖视图的示例。导电电路部41包括绝缘层60、写入导体61、读出导体62、覆盖层63等。绝缘层60和覆盖层63由诸如聚酰亚胺之类的弹性绝缘树脂制成。导体61和62形成于绝缘层60上。写入导体和读出导体61和62电气连接到滑动件11的元件28(图4)。作为示例，金属基部40的厚度为20微米(12到25微米)；绝缘层60的厚度为10微米(5到20微米)；导体61和62中的每个的厚度为9微米(4到15微米)；以及覆盖层63的厚度为5微米(2到10微米)。金属基部40的厚度小于负载梁21的厚度(例如，30微米)。
该对微型致动器元件31和32设置在挠性件22的万向节部30上。该实施例的万向节部30包括面向负载梁21的第一表面30a(图5和10)以及与第一表面30a相对的第二表面30b(图4和10)。减振构件115(后文描述)设置在第一表面30a上。滑动件11和微型致动器元件31和32设置在第二表面30b上。
微型致动器元件31和32分别包括第一端部31a和32a以及第二端部31b和32b。图4、6和7中的箭头X1和X2分别表示关于微型致动器元件31和32为向前和向后的方向。微型致动器元件31和32的第一端部31a和32a分别固定到形成于万向节部30上的一对第一支承部70和71。第一支承部70和71分别通过挠性第一臂51和52与挠性件22的第一固定部分22a连接。第一臂51和52的远端部51a和52a分别通过第二臂53和54与挠性件22的第二固定部分22b连接。因此，万向节部30的第一支承部70和71通过臂部55(包括第一臂51和52以及第二臂53和54)支承在固定部分22a和22b上，该臂部能相对于负载梁21弹性变形。微型致动器元件31和32的第二端部31b和32b分别固定到万向节部30的第二支承部72和73。
图9示出将一个微型致动器元件31的端部31a和31b机械固定并电气连接的接头部的剖视图。由于另一微型致动器元件32的端部32a和32b处的接头部以与图9中所示相同的方式构造，所以下面将代表性地描述这一个微型致动器元件31。
如图9中所示，微型致动器元件31包括PZT元件80和形成于PZT元件80的周缘表面上的第一和第二电极81和82。第一电极81形成为范围从PZT元件80的一个端表面到其上表面。第二电极82形成为范围从PZT元件80的另一端表面到其下表面。微型致动器元件31的第一端部31a通过电绝缘的粘结剂块85固定到万向节部30的第一支承部70。微型致动器元件31的第二端部31b通过另一粘结剂块85固定到第二支承部72。
图9中所示的第一电极81通过第一支承部70上的导电膏(例如，银膏)86导通到导电电路部41的导体87。第二电极82通过第二支承部72上的另一导电膏86导通到接地侧导体88。接地侧导体88固定于并导通到金属基部40。
如图5、6等中所示，挠性件22的万向节部30包括舌形件90。舌形件90包括位于固定侧的第一舌部91、位于可动侧的第二舌部92以及形成于舌部91和92之间的铰接部93。第一舌部91形成于该对第一支承部70和71之间，而第二舌部92形成于该对第二支承部72和73之间。铰接部93形成于第一和第二舌部91和92之间。支承部70到73、舌部91和92以及铰接部93都构成金属基部40的一部分，且例如通过蚀刻来形成它们各自的轮廓。第一和第二舌部91和92以及铰接部93构成如下舌形件90，该舌形件90构造成将滑动件11承载于其上。
如图7-9中所示，导电电路部41左右分叉，并在第一和第二舌部91和92上方延伸。用于滑动件11的端子41a形成于导电电路部41的远端上。这些端子41a导通到导电电路部41的导体61和62。此外，端子41a电气连接到滑动件11的元件28(图4)。用于微型致动器元件31和32的导体87单独地设置在导电电路部41的左右两侧。在第一支承部70和71上，导体87分别连接到微型致动器元件31和32的对应电极81。
导电电路部41包括设置在微型致动器元件31和32之间的第一配线型式部41b和相对于万向节部30从第一配线型式部41b向后延伸的第二配线型式部41c。在第二配线型式部41c的纵向部分处形成弯曲部41d，由此，减小了导电电路部41位于第一臂51和52之间的那部分的刚度。
图10是在铰接部93所在位置处剖取的负载梁21和万向节部30的局部剖视图。图11是万向节部30、挠性件22的一部分的平面图。铰接部93的宽度L1比第一和第二舌部91和92中每个舌部的宽度L2小得多。狭缝94和95在舌部91和92之间各自形成于铰接部93的相对两侧。舌部91和92通过较窄的铰接部93相对可枢转地连接在一起。由此，位于可动侧的第二舌部92构造成沿由图11中的箭头A和B所示方向、相对于位于固定侧的第一舌部91运动。
滑动件11设置在第一和第二舌部91和92上。此外，滑动件11的前侧部11a设置成相对于第一舌部91运动。滑动件11的尾侧部11b固定到第二舌部92。文中所述的“前侧”是当磁盘转动时空气流入滑动件11和磁盘4之间的那侧。另一方面，“尾侧”是滑动件11与磁盘4之间的空气流出的那侧。铰接部93形成于滑动件11的中心位置，例如，滑动件11的重心或者滑动件关于横向和纵向的中心。
在负载梁21的远端附近形成有凸形凹窝100(图10)。凹窝100是支承突出部的示例，并包括向万向节部30的第一表面30a突出的凸形表面。凸形表面的顶部(或凹窝100的末端)与铰接部93邻接。具体来说，铰接部93由凹窝100的末端可摆动地支承。由此，将万向节部30支承为绕铰接部93和凹窝100的末端之间的接触点P1相对于负载梁21摆动。
或者，凹窝可形成于铰接部93上，以使其末端与负载梁21邻接。简而言之，凸形凹窝应仅形成于负载梁21和铰接部93对应的相面对的表面中的一个上，以使凹窝末端与另一面对的表面邻接。
如图11等中所示，在图11的右侧，在第一和第二支承部70和72之间形成开口110。开口110与一个狭缝94连通。同样，在图11的左侧，在第一和第二支承部71和73之间形成开口111。开口111与另一狭缝95连通。
由于开口110和111由此分别形成于舌部91和92的相对两侧，可防止微型致动器元件31和32的沿前后方向的中间部与舌部91和92接触。如果悬架10受到外部机械冲击，则因此可防止元件31和32的沿前后方向的中间部分受到舌部91和92的撞击。因此，可防止元件31和32由于撞击而被破坏。
微型致动器安装部23包括减振构件115。减振构件115附连到万向节部30的金属基部40的第一表面30a。本实施例的减振构件115包括第一和第二减振器115a和115b。减振器115a和115b分别包括粘弹性材料层116和约束板117。
粘弹性材料层116由聚合物材料(例如，丙烯酸树脂)制成，它可具有对应于其弹性变形程度的粘性阻力，并具有一定的流动性和粘性。约束板117由诸如聚酰亚胺的合成树脂制成，并沿粘弹性材料层116的厚度方向层叠。减振构件115的厚度T(图10)小于凹窝100的突出高度H(例如，50到70微米)。如果凹窝100的突出高度H例如为60微米，则减振构件115的厚度T为50微米。粘弹性材料层116和约束板117的厚度分别为例如25微米。
如图5和6中所示，第一和第二减振器115a和115b分别设置在第一和第二舌部91和92上。减振器115a和115b例如为矩形。减振器115a和115b彼此平行并垂直于负载梁21的纵向X(或为相对于舌形件90横向)地设置。尽管减振器115a和115b通过粘弹性材料层116的粘结力分别固定到万向节部30的金属基部40，但它们可替代地借助粘结剂(未示出)固定到金属基部40。
第一和第二减振器115a和115b设置在使它们不在万向节部30的第一表面30a上与凹窝100交叠的位置。第一减振器115a部分地设置在第一支承部70和71上，而第二减振器115b部分地设置在第二支承部72和73上。铰接部93在减振器115a和115b之间露出。凹窝100(图10)在接触点P1处与铰接部93接触。
本实施例的微型致动器安装部23包括限制构件120和121。如图4和7中所示，一个限制构件120连接到第一臂51的远端部51a、第二臂53和第二支承部72。另一个限制构件121连接到第一臂52的远端部52a、第二臂54和第二支承部73。
如果悬架10受到外部机械冲击，限制构件120和121具有保护舌部91和92免于过度摇摆或不使铰接部93远离凹窝100运动(凹窝分离)的功能。限制构件120和121由与导电电路部41的绝缘层60(图8和9)相同的、诸如聚酰亚胺的电绝缘树脂制成，并被卷曲成不妨碍微型致动器元件31和32在操作时的运动。
下面说明本实施例的悬架10的操作。
如果托架6(图1和2)由定位马达7转动，悬架10相对于磁盘4径向运动。此时，磁头的滑动件11运动到磁盘4的记录表面的所期望的轨道上。如果将电压施加到微型致动器元件31和32，微型致动器元件31和32相对彼此相反地扭曲。这样，负载梁21可沿摆动方向(由图3中的箭头Y所示)运动极小的距离。
如图12中示意性的示出的，例如，当一个微型致动器元件31和另一个微型致动器元件32分别缩回和伸出时，第二舌部92沿箭头A的方向运动。因此，滑动件11上的元件28(图4)可快速而精确地沿摆动方向定位。实际上，滑动件11沿摆动方向的运动距离范围从几纳米到几十纳米。然而，在图12中，为了更好地理解滑动件11和第二舌部92的运动，夸张地示出万向节部30的变形程度。
在本实施例的微型致动器安装部23中，如果驱动微型致动器元件31和32，位于可动侧的第二舌部92相对于位于固定侧的第一舌部91绕铰接部93关于滑动件11为横向地进行枢转。滑动件11的尾侧部11b固定到第二舌部92。与此相对，滑动件11的前侧部11a相对于第一舌部91可动。如图10中所示，凹窝100的末端在接触点P1处与铰接部93邻接。
如果通过施加电压而驱动微型致动器元件31和32，则第二舌部92和滑动件11因此绕与凹窝100的接触点P1枢转。因此，滑动件11的枢转中心可与凹窝100的接触点P1的位置匹配。这样，可使凹窝100的末端在驱动微型致动器元件31和32(或当滑动件11枢转)时不与挠性件22摩擦。由此，可以抑制在第二舌部92的枢转运动期间产生高摩擦阻力或致污染物质。
此外，微型致动器元件31和32在与滑动件11相同的一侧设置在万向节部30的第二表面30b上。因此，无须使微型致动器元件31和32中的每个微型致动器元件的厚度比凹窝100的突出部高度小。由此，可将较厚的结构用于微型致动器元件31和32。由此，可用的微型致动器元件31和32提供高输出负载和机械强度，并难以断裂。
本实施例的微型致动器安装部23包括位于万向节部30上的减振构件115，且减振构件115的粘弹性材料层116粘附到金属基部40。由于粘弹性材料层116具有一定流动性和粘性，粘弹性材料层与在输入使万向节部30振动的能量时振动的金属基部40和约束板117一起移位。如果粘弹性材料层116变形，通过组成粘弹性材料层116的分子之间的摩擦产生内部阻力，并且约束板117等的振动能量被转化成热能。以此方式，粘弹性材料层116能抑制万向节部30的振动，并减少共振增益。
图13示出根据第二实施例的微型致动器安装部23A。本实施例的微型致动器安装部23A与第一实施例的微型致动器安装部23略有不同，它们的区别在于第一和第二减振器115a和115b的结构。微型致动器安装部23A的第一减振器115a设置成相对于微型致动器元件31(一对微型致动器元件31和32中的一个)纵向延伸，并横跨在第一和第二舌部91和92之间。第二减振器115b设置成相对于另一微型致动器元件32纵向延伸，并横跨在第一和第二舌部91和92之间。减振器115a和115b大致彼此平行设置，以使铰接部93在减振器115a和115b之间露出。凹窝100(图10)在接触点P1处与铰接部93接触。由于其它构造和效果对于第一和第二实施例的微型致动器安装部23和23A来说是相同的，使用共用的符号来表示第一和第二实施例的共同部分，并且省却对这些部分的说明。
图14示出根据第三实施例的微型致动器安装部23B。该实施例的减振器115a和115b比第二实施例的微型致动器安装部23A(图13)的减振器更宽。具体来说，第一减振器115a大到足以基本上覆盖第一和第二支承部70和72之间的开口110。第二减振器115b大到足以基本上覆盖第一和第二支承部71和73之间的开口111。或者，延伸部130可单独地形成于第一和第二减振器115a和115b的对应侧部上，因而，它们在臂51和52的远端附近与低刚性部51b和52b(对万向节部几乎没有影响)交叠。由于其它构造和效果对于第二和第三实施例的微型致动器安装部23A和23B来说是相同的，使用共用的符号来表示第二和第三实施例的共同部分，并且省却对这些部分的说明。
图15示出根据第四实施例的微型致动器安装部23C。该实施例的减振构件115设置成横跨在舌部91和92以及支承部70和71之间。减振构件115形成有圆形开口140，凹窝110(图10)在对应于铰接部93的位置处装配入该圆形开口。由于其它构造和效果对于微型致动器安装部段23、23A、23B和23C来说是相同的，使用共用的符号来表示共同部分，并且省却对这些部分的说明。
图16示出包括图15中所示的减振构件115的微型致动器安装部和不带有减振构件的微型致动器安装部的基于PZT激励的频率响应特性。在图16中，实线S3表示包括减振构件115的微型致动器安装部的频率响应特性曲线。虚线S4表示没有减振构件的微型致动器安装部的频率响应特性曲线。与没有减振构件的微型致动器安装部相比，在具有减振构件115的微型致动器安装部中，在扭转模式下于12kHz、20kHz等附近的增益受到抑制。
图17示出根据第五实施例的微型致动器安装部23D。延伸部130各自形成于该实施例的减振构件115的相对侧部上。这些延伸部130在臂51和52的远端附近与低刚性部51b和52b(对万向节运动几乎没有影响)交叠。由于其它构造和效果对于第四和第五实施例的微型致动器安装部23C(图15)和23D是相同的，使用共用的符号来表示第四和第五实施例的共同部分，并且省却对这些部分的说明。
图18示出包括图17中所示的减振构件115的微型致动器安装部和不带有减振构件的微型致动器安装部的基于PZT激励的频率响应特性。在图18中，实线S5表示包括减振构件115的微型致动器安装部的频率响应特性曲线。虚线S4表示没有减振构件的微型致动器安装部的频率响应特性曲线。与没有减振构件的微型致动器安装部相比，在具有减振构件115的微型致动器安装部中，在扭转模式下于12kHz、20kHz等附近的增益受到抑制。
图19到22示出根据第六实施例的微型致动器安装部23E的一部分，即，一对微型致动器元件中的一个、即微型致动器元件32所位于的部分。以相同方式构造另一微型致动器元件所在的部分。
如图19中所示，在万向节部30的舌形件90的第一和第二支承部71和73之间形成开口111。开口111大到足以容纳微型致动器元件32(图21)。如图20中所示，减振构件115从开口111下方固定到万向节部30的第一表面30a，其中，粘弹性材料层116面向开口111。
如图21中所示，将微型致动器元件32装配入开口111，并放置于粘弹性材料层116上。该微型致动器元件32通过粘弹性材料层116的粘结力固定到减振构件115。此外，微型致动器元件32的相对端部32a和32b借助电绝缘粘结剂(未示出)分别固定到第一和第二支承部71和73。
例外，如图22中所示，微型致动器元件32的第一端部32a和导体87通过诸如银膏的导电膏86彼此电气连接。此外，微型致动器元件32的第二端部32b和接地侧导体88通过导电膏86彼此电气连接。如果微型致动器元件32如在此实施例中那样地连结到粘弹性材料层116，图16和18中所示的频率响应特性的扭转模式M的增益还能进一步减小。其它构造和效果对于第二、第三和第六实施例的微型致动器安装部段23A(图13)、23B(图14)和23E来说是共同的。
应理解到，为了实施本发明，可以对包括减振构件和微型致动器元件的形状和布局在内的微型致动器安装部的组成元件的具体形式作各种修改。例如，图6中所示的横向减振器115a和115b与图13中所示的纵向减振器115a和115b可以都设置在万向节部30上。
对本领域的技术人员来说还可易于有其它优点和更改。因此，本发明在其更广泛方面并不限于本文所示和所述的具体细节和代表性实施例。因此，可以作出各种修改而不脱离如所附权利要求书及其等价物所限定的本申请的总体发明概念的精神或范围。

Claims (15)

1.一种磁盘驱动器悬架，所述磁盘驱动器悬架包括负载梁和挠性件，其特征在于，包括固定部分和万向节部，所述磁盘驱动器悬架还包括：
舌形件，滑动件安装在所述舌形件上；
微型致动器元件，所述微型致动器元件设置在所述滑动件的两侧，并分别包括第一端部和第二端部；
凸形凹窝，所述凸形凹窝形成于所述负载梁和所述舌形件的对应的面对的表面中的一个上，并构造成与另一面对的表面接触，由此支承所述舌形件相对于所述负载梁作摆动；以及
减振构件，所述减振构件在保持远离所述凹窝的位置处设置在所述万向节部上；
其中，所述挠性件包括一对第一支承部和一对第二支承部，所述一对微型致动器元件的所述第一端部固定到所述一对第一支承部，所述一对微型致动器元件的所述第二端部固定到所述一对第二支承部；以及
其中，所述减振构件与所述第一支承部和所述第二支承部部分地交叠。
2.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述万向节部包括面向所述负载梁的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，而所述减振构件包括粘弹性材料层和层叠到所述粘弹性材料层的约束板，所述粘弹性材料层固定到所述万向节部的所述第一表面。
3.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述挠性件还包括与所述固定部分相连续的臂部，所述一对第一支承部组成所述万向节部的由所述臂部支承的一部分，所述一对第二支承部组成所述万向节部的一部分。
4.如权利要求2所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述挠性件还包括与所述固定部分相连续的臂部，所述一对第一支承部组成所述万向节部的由所述臂部支承的一部分，所述一对第二支承部组成所述万向节部的一部分。
5.如权利要求3所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述舌形件包括第一舌部、第二舌部和铰接部，所述第一舌部形成于所述一对第一支承部之间，并且所述滑动件的前侧部可运动地设置在所述第一舌部上，所述第二舌部形成于所述一对第二支承部之间，并且所述滑动件的尾侧部固定到所述第二舌部，所述铰接部形成于所述第一舌部和所述第二舌部之间，比所述舌部窄，并包括与所述凹窝的接触点。
6.如权利要求4所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述舌形件包括第一舌部、第二舌部和铰接部，所述第一舌部形成于所述一对第一支承部之间，并且所述滑动件的前侧部可运动地设置在所述第一舌部上，所述第二舌部形成于所述一对第二支承部之间，并且所述滑动件的尾侧部固定到所述第二舌部，所述铰接部形成于所述第一舌部和所述第二舌部之间，比所述舌部窄，并包括与所述凹窝的接触点。
7.如权利要求5所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件包括第一减振器和第二减振器，所述第一减振器设置在所述第一舌部上，并相对于所述第一舌部横向延伸，所述第二减振器设置在所述第二舌部上，并且相对于所述第二舌部横向延伸。
8.如权利要求6所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件包括第一减振器和第二减振器，所述第一减振器设置在所述第一舌部上，并相对于所述第一舌部横向延伸，所述第二减振器设置在所述第二舌部上，并且相对于所述第二舌部横向延伸。
9.如权利要求5所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件包括第一减振器和第二减振器，所述第一减振器设置成相对于所述一对微型致动器元件中的一个微型致动器元件纵向延伸，并横跨在所述第一舌部和所述第二舌部之间，所述第二减振器设置成相对于另一微型致动器元件纵向延伸，并横跨在所述第一舌部和所述第二舌部之间。
10.如权利要求6所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件包括第一减振器和第二减振器，所述第一减振器设置成相对于所述一对微型致动器元件中的一个微型致动器元件纵向延伸，并横跨在所述第一舌部和所述第二舌部之间，所述第二减振器设置成相对于另一微型致动器元件纵向延伸，并横跨在所述第一舌部和所述第二舌部之间。
11.如权利要求5所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件设置成横跨在所述第一舌部和所述第二舌部之间，并包括圆形开口，所述凹窝在对应于所述减振构件的所述铰接部的位置处装配入所述圆形开口内。
12.如权利要求6所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件设置成横跨在所述第一舌部和所述第二舌部之间，并包括圆形开口，所述凹窝在对应于所述减振构件的所述铰接部的位置处装配入所述圆形开口内。
13.如权利要求5所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件包括粘弹性材料层和层叠到所述粘弹性材料层的约束板，所述粘弹性材料层设置成面向所述第一支承部和所述第二支承部之间的开口，所述微型致动器元件容纳于所述开口内，并连结到所述粘弹性材料层。
14.如权利要求6所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件包括粘弹性材料层和层叠到所述粘弹性材料层的约束板，所述粘弹性材料层设置成面向所述第一支承部和所述第二支承部之间的开口，所述微型致动器元件容纳于所述开口内，并连结到所述粘弹性材料层。
15.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架，其特征在于，所述减振构件在其侧部上包括固定到所述万向节部的臂部的延伸部。
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