CN103645606B - 光刻胶供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种光刻胶供给装置，涉及基板生产配件技术，解决了使用现有技术中的光刻胶供给单元导致的容器易破裂，且光刻胶浪费的问题。本发明实施例中，所述光刻胶供给装置包括固定支架，所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器，所述容器在所述固定支架上倒立放置；所述容器为密封结构，所述容器顶端穿设有输气管及输送管；所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置；所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部；所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞。本发明主要应用在液晶显示器生产过程中。

Description

光刻胶供给装置

技术领域

本发明涉及基板生产配件技术，尤其涉及一种光刻胶供给装置。

背景技术

随着国家经济和科技的发展，液晶显示器越来越得到广泛的应用。其中，在液晶显示器的生产过程中，通常需要使用光刻胶来完成制造，例如阵列基板的生产等。

具体地，光刻胶由感光树脂等组成，通过光线照射，显影、曝光等操作后，能够在阵列基板上形成特定图案，从而便于阵列基板的生产。现有技术中，通常使用光刻胶供给单元来提供光刻胶，如图1所示，该光刻胶供给单元包括固定支架10，固定支架10包括固定座101及垂直设在固定座101上的固定杆102，该固定杆102上水平设有压板11，从而盛装有光刻胶的容器12能够固定在固定座101与压板11之间。其中，容器12为能够密封的结构，其顶端（与压板11相接触的一端）设有密封盖，该密封盖上设有第一通孔及第二通孔，第一通孔上穿设有输送管13，输送管13与第一通孔之间密封，且输送管13一端抵达容器12内部底端（输送管13该端端面与容器12底端面之间存在间隙）、另一端延伸出第一通孔；第二通孔上穿设有输气管14，输气管14与第二通孔之间密封，且输气管14一端抵达容器12内部顶端、另一端延伸出第二通孔，从而通过输气管14向容器12内输送压缩空气时，由于容器12为密封空间，因此，容器12内压强增大，则压迫光刻胶进入输送管13中，并沿输送管13的搭设路径输送到特定位置。通常，为了保证光刻胶的输送均匀性，可以在输送管13位于容器12外部的部分设置传感器15（优选设在临近容器12的部分），从而便于控制压缩空气的供给量和供给速率。

然而，在使用上述光刻胶供给单元时，由于通过输气管输送压缩空气使光刻胶沿输送管向上运动，因此，在克服光刻胶自身重力的前提下，需要保证压缩空气具有足够的压力（通常大于10000pa），而过高的压力易导致容器发生破裂的风险；而且，为了保证光刻胶能够顺利流到、并流出输送管，输送管与容器内底端面存在间隙，从而导致位于输送管下侧的部分光刻胶无法被压送到输送管中，造成光刻胶的浪费；另外，在长期使用的过程中，由于压力较大，导致容器易发生膨胀而变粗变高，则使输送管一端与容器内部底端的间隙增大，形成如图2所示的情况，从而图2中位于虚线下方的光刻胶则无法通过气体挤压进入输送管中，进一步造成光刻胶的浪费。

发明内容

本发明的实施例提供一种光刻胶供给装置，解决了使用现有技术中的光刻胶供给单元导致的容器易破裂，且光刻胶浪费的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种光刻胶供给装置，包括固定支架，所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器，所述容器在所述固定支架上倒立放置；所述容器为密封结构，所述容器顶端穿设有输气管及输送管；所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置；所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部；所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞。

具体可以为，所述固定支架包括相同的两个底座，每个所述底座上固定有水平设置的横杆，所述横杆上套设有转盘，两个所述转盘相互平行设置；所述转盘固定连接有圆柱状支架；所述圆柱状支架包括与所述转盘固定连接的侧壁，所述侧壁一端面固定设有第一环状支撑板、另一端面设有第二环状支撑板，且所述第二环状支撑板可拆装式固定在所述侧壁上。

其中，所述第二环状支撑板与所述侧壁铰接；且，所述第二环状支撑板的边缘端还设有第一连接部、相应的所述侧壁上设有第二连接部，所述第一连接部及第二连接部能够连接或断开连接。

具体地，所述第一连接部及第二连接部上均设有连接孔。

优选地，所述转盘与所述侧壁之间通过螺栓固定连接。

为了方便控制容器倒立放置，所述转盘与所述横杆之间设有限位结构；

所述容器正立放置并固定在所述圆柱状支架上时，当所述转盘沿第一方向转动并带动所述圆柱状支架转动180度后，所述容器倒立放置，所述限位结构能够卡死所述转盘；当所述转盘沿与所述第一方向相反的第二方向转动使所述容器从倒立放置转换为正立放置时，所述限位结构不作用。

管塞的结构有多种，其中一种为：所述输气管为圆柱管，所述管塞包括四个结构相同的扇形橡胶片，相邻所述橡胶片之间紧密配合以封闭所述输气管位于所述容器内的端口；当所述供气装置向所述输气管供气时，所述橡胶片沿气体流动方向翘起以打开所述输气管；当所述供气装置停止供气时，所述橡胶片回位以封闭所述输气管。

管塞的结构有多种，其中又一种为：所述管塞包括置于所述输气管内的橡胶本体及连接线，所述连接线一端与所述管塞固定连接、另一端与所述输气管外侧壁固定连接；当所述供气装置向所述输气管供气时，所述管塞能够弹起以打开所述输气管。

优选地，所述容器的材质为热塑性树脂。

本发明实施例提供的光刻胶供给装置中，在固定支架上倒立放置并固定有盛装光刻胶的容器，该容器为密封结构，在容器顶端穿设有输气管及输送管，输气管的一端位于容器内，且该端设有管塞，输气管的另一端连接有供气装置，输送管的一端的端面与容器内顶端共面、另一端延伸出容器外部。由此分析可知，当需要使用该光刻胶供给装置时，首先容器正立放置，然后向其内填充一定量的光刻胶，之后从容器顶端插入输气管，使带有管塞的一端伸入容器内，另一端连接供气装置，这之后再从容器顶端插入输送管，使输送管的一端端面与容器内顶端共面、另一端位于容器外，再将装配好的容器倒立放置并固定在固定支架上，光刻胶由于重力的作用向下流动，从而使输气管位于容器内的端口在光刻胶液面以上，当通过供气装置向输气管供气时，气体能够将管塞顶开，从而流到容器内，使气体内的压强增大，压迫光刻胶从输送管中流出。其中，由于容器倒立放置，且输送管位于容器内的端口的端面与容器内顶端共面，从而光刻胶在自身重力作用下便于从输送管中流出则能够减小所需气体的压力防止容器发生爆裂且不发生膨胀变形；而且，输送管位于容器内的端口的端面与容器内顶端共面，即位于容器的最低点，则在保证了不发生碰撞变形的前提下，进一步保证容器内的光刻胶均能通过输送管流出，光刻胶利用率高，节约原料，降低了生产成本。

附图说明

图1为现有技术中光刻胶供给单元的结构示意图；

图2为现有技术中光刻胶供给单元膨胀后的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的光刻胶供给装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的光刻胶供给装置的容器在正立放置时的示意图；

图5为本发明实施例提供的光刻胶供给装置的容器正立放置在固定支架时的示意图；

图6为本发明实施例提供的光刻胶供给装置的管塞一种结构示意图；

图7为本发明实施例提供的光刻胶供给装置的管塞另一种结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明实施例光刻胶供给装置进行详细描述。

本发明实施例提供一种光刻胶供给装置，如图3所示，包括固定支架，固定支架上固定有盛装光刻胶的容器31，容器31在固定支架上倒立放置；容器31为密封结构，容器31顶端穿设有输气管32及输送管33；输气管32一端位于容器31内、另一端连接有供气装置（图3未示出）；输送管33一端的端面与容器31内顶端共面、另一端延伸出容器31外部；输气管32位于容器31内的端口设有管塞34。

本发明实施例提供的光刻胶供给装置中，在固定支架上倒立放置并固定有盛装光刻胶的容器，该容器为密封结构，在容器顶端穿设有输气管及输送管，输气管的一端位于容器内，且该端设有管塞，输气管的另一端连接有供气装置，输送管的一端的端面与容器内顶端共面、另一端延伸出容器外部。由此分析可知，当需要使用该光刻胶供给装置时，首先容器正立放置，然后向其内填充一定量的光刻胶，之后从容器顶端插入输气管，使带有管塞的一端伸入容器内，另一端连接供气装置，这之后再从容器顶端插入输送管，使输送管的一端端面与容器内顶端共面、另一端位于容器外，再将装配好的容器倒立放置并固定在固定支架上，光刻胶由于重力的作用向下流动，从而使输气管位于容器内的端口在光刻胶液面以上，当通过供气装置向输气管供气时，气体能够将管塞顶开，从而流到容器内，使气体内的压强增大，压迫光刻胶从输送管中流出。其中，由于容器倒立放置，且输送管位于容器内的端口的端面与容器内顶端共面，从而光刻胶在自身重力作用下便于从输送管中流出，则能够减小所需气体的压力，防止容器发生爆裂，且不发生膨胀变形；而且，输送管位于容器内的端口的端面与容器内顶端共面，即位于容器的最低点，则在保证了不发生碰撞变形的前提下，进一步保证容器内的光刻胶均能通过输送管流出，光刻胶利用率高，节约原料，降低了生产成本。

此处需要说明的是，为了保证容器31在倒立放置后，输气管32位于容器31内的端口能够高出光刻胶的液面，通常采用如图3所示的方式，将输气管32位于容器31内的端口临近容器31内底端设置，且两者之间具有一定间隙，便于气体的流入。本实施例中的容器31顶端、底端为容器31的开口端和封死端，即容器31正立放置时的顶端和底端。

其中，由于光刻胶自身具有一定的重力，因此通常在容器31处于正立放置时，插入输送管33和输气管32，避免光刻胶不必要的外漏，同时输送管33和输气管32与容器31的连接处均需要密封，因此正立放置时插入输送管33和输气管32能够有效避免外漏等问题。另外，光刻胶由感光树脂等组成，因此通常无法仅仅通过自身重力从输送管33中流出，因此本实施中光刻胶从容器31中流出的主要动力源仍然是供气装置提供的气体，但是结合光刻胶自身重力的作用，能够大幅度降低将光刻胶压出所需的气体压力。

补充说明，上述气体为洁净干燥的压缩空气，上述容器31为由热塑性树脂制造成的桶状物。

如图4所示，首先将填充有光刻胶310的容器31正立放置（容器31内需要冲入气体，因此容器31内未填充满光刻胶310），然后插入输送管33和输气管32，此时输气管32插入临近容器31的底端，且由于输气管32中设有管塞34，从而密封输气管32的该端口，避免光刻胶310进入输气管32中而污染气体的输送管道。在装配完成后，可以通过操作人员人工将容器31倒立放置在固定支架上，也可以为了节约人力，同时避免人工操作时容器31发生晃动造成损伤，可以采用如图3所示的结构。

具体可以为，固定支架可以包括相同的两个底座30，每个底座30上固定有水平设置的横杆301，在横杆301上套设有转盘36，且两个转盘36相互平行设置，转盘36固定连接有圆柱状支架，该圆柱状支架包括与转盘36固定连接的侧壁371，在侧壁371的一端面固定设有第一环状支撑板372、另一端面设有第二环状支撑板373，且第二环状支撑板373可拆装式固定在侧壁371上。从而，当第二环状支撑板373未安装在侧壁371上时，能够将容器31正立放置在第一环状支撑板372上，同时合理设置侧壁371的直径大小，使容器31在圆柱状支架内不发生左、右晃动；之后，将第二环状支撑板373安装在侧壁371上，完成容器31的固定。此时，容器31上的输气管32和输送管33均需要位于第二环状支撑板373的中空部分，便于安装。由此可知，当转盘36转动时，能够带动侧壁371、第一环状支撑板372和第二环状支撑板373转动，从而带动容器31转动，使容器31呈倒立放置状态，即图3容器31所处的状态。

优选地，两个转盘36的连线与侧壁371的直径共线，从而侧壁371受力均匀，便于随转盘36一起转动。当然，圆柱状支架也可以为能够支撑容器31且能够转动的其它结构，例如，包括4个相同的［型结构的柱状体，且四个柱状体围成圆柱形，相邻柱状体之间固定连接，从而转盘36分别与相对的两个柱状体固定连接，也能够实现与上述圆柱状支架相同的作用。

其中，转盘36的转动可以为电动控制方式，例如在转盘36上设置电动装置，使其能够绕横杆301转动；或在横杆301上设置外齿轮，转盘36上设置与外齿轮啮合的内齿轮，从而控制横杆301转动直接带动转盘36转动；或横杆301与转盘36直接过盈配合，从而电动控制横杆301转动来带动转盘转动。

优选地，转盘36与侧壁371之间通过多个螺栓374固定连接。另外，为了便于第二环状支撑板373与侧壁371的拆装，可以使第二环状支撑板373与侧壁371铰接，从而第二环状支撑板373能够绕铰接处374转动。同时在容器31转动并处于倒立放置之后，第二环状支撑板373用于支撑容器31，因此，需要保证第二环状支撑板373与侧壁371的固定稳定性，因此如图5所示，可以在第二环状支撑板373的边缘端设置第一连接部51，相应的侧壁371的端面上设置第二连接部52，则通过控制第一连接部51与第二连接部52的连接与断开，能够控制第二环状支撑板373与侧壁371的连接与断开。

其中，第一连接部51和第二连接部52上均可以设置连接孔，从而当第一连接部51和第二连接部52连接时，通过穿设过两个连接孔的锁扣或螺钉、螺母配合，能够实现第二环状支撑板373与侧壁371的稳定、可靠连接，图3中即为通过螺钉、螺母配合连接后的状况。如图5所示，此时容器31正立放置在圆柱状支架上，而第二环状支撑板373与侧壁371铰接，因此需要合理设置第二环状支撑板373的中空部分的大小，同时输气管32和输送管33的位置、长短，保证第二环状支撑板373能够绕铰接处374翻转的同时，还能够不与容器31及管道之间发生干扰。

图3和图5中相同的部分具有相同的附图标记。

在控制转盘36转动并带动容器31转动，从而实现容器31倒立放置时，以横杆301转动带动转盘36转动为例，由于横杆301能够自由转动，而容器31从正立放置转动至倒立放置需要转动180度，从而需要控制横杆301的转动角度，例如采用步进电机等控制，从而方便控制。也可以在横杆301与转盘36之间设置限位结构，当容器31处于正立放置时，通过控制横杆301使其沿第一方向转动，当转动180度之后，容器31倒立放置，限位结构能够卡死转盘，停止转动；当转盘36沿与第一方向相反的方向转动时，从而使容器31从倒立放置变为正立放置时，限位结构不作用。其中，当容器31处于正立放置时，转盘沿与第一方向相反的方向转动也可以，在转动至容器31倒立放置之后，限位结构仍然卡死转盘，转盘停止转动。

本实施例描述的光刻胶供给装置中，输气管32可以为圆柱管，如图6所示，管塞34可以包括四个结构相同的扇形橡胶片61，且相邻橡胶片61之间紧密配合以封闭输气管32位于容器31内的端口。图6中虚线上侧为管塞34的初始状态，即封闭输气管32时的状态，当容器31正立放置，并插入输气管32时，由于管塞34的存在，能够避免光刻胶310进入输气管32中；当容器31倒立放置后，并通过供气装置向输气管32中输入气体时，由于气体冲力的作用，能够将橡胶片61顶开，形成如图6中虚线下侧所示的开启状态，从而气体能够进入容器31内；当停止供气时，由于弹力、重力等因素，能够自动回位至图6中虚线上侧所示的状态。

当然，也可以直接采用如图7所示的管塞34，此时管塞34包括橡胶本体71和连接线72，连接线72一端与橡胶本体71连接、另一端与输气管32的外侧壁连接。图7中虚线左侧，即为橡胶本体71的初始状态，此时橡胶本体71塞入输气管32位于容器31内的端口处，从而容器31处于正立放置下，输气管32插入容器31时，由于橡胶本体71的存在，能够避免光刻胶310进入输气管32中；当容器31倒立放置后，并通过供气装置向输气管32中输入气体时，由于气体冲力的作用，能够将橡胶本体71冲开，从而气体能够输送到容器31中，并压送光刻胶310，此时橡胶本体71由于连接线72的关系，挂在输气管32的外侧壁上，如图7中虚线右侧所示，避免掉落入光刻胶310中。

需要说明，本实施中的输送管33位于容器31外部的部分，其上还设有传感器35。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种光刻胶供给装置，其特征在于，包括固定支架，所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器，所述容器在所述固定支架上倒立放置；

所述容器为密封结构，所述容器顶端穿设有输气管及输送管；所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置；所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部；

所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞；

所述固定支架包括相同的两个底座，每个所述底座上固定有水平设置的横杆，所述横杆上套设有转盘，两个所述转盘相互平行设置；

所述转盘固定连接有圆柱状支架；所述圆柱状支架包括与所述转盘固定连接的侧壁，所述侧壁一端面固定设有第一环状支撑板、另一端面设有第二环状支撑板，且所述第二环状支撑板可拆装式固定在所述侧壁上。

2.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述第二环状支撑板与所述侧壁铰接；且，所述第二环状支撑板的边缘端还设有第一连接部、相应的所述侧壁上设有第二连接部，所述第一连接部及第二连接部能够连接或断开连接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述第一连接部及第二连接部上均设有连接孔。

4.根据权利要求1或2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转盘与所述侧壁之间通过螺栓固定连接。

5.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转盘与所述横杆之间设有限位结构；

所述容器正立放置并固定在所述圆柱状支架上时，当所述转盘沿第一方向转动并带动所述圆柱状支架转动180度后，所述容器倒立放置，所述限位结构能够卡死所述转盘；当所述转盘沿与所述第一方向相反的第二方向转动使所述容器从倒立放置转换为正立放置时，所述限位结构不作用。

6.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述输气管为圆柱管，所述管塞包括四个结构相同的扇形橡胶片，相邻所述橡胶片之间紧密配合以封闭所述输气管位于所述容器内的端口；

当所述供气装置向所述输气管供气时，所述橡胶片沿气体流动方向翘起以打开所述输气管；当所述供气装置停止供气时，所述橡胶片回位以封闭所述输气管。

7.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述管塞包括置于所述输气管内的橡胶本体及连接线，所述连接线一端与所述管塞固定连接、另一端与所述输气管外侧壁固定连接；

当所述供气装置向所述输气管供气时，所述管塞能够弹起以打开所述输气管。

8.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述容器的材质为热塑性树脂。