CN111959941A - 一种光刻机上光刻胶的供料筒结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,包括托盘,托盘上安置有盛胶筒,托盘相对的两侧成型有支耳,支耳上固定有竖直的连接柱,连接柱的上端面上成型有竖直的螺柱,托盘的上端面上成型有环形的保护罩,盛胶筒插接在保护罩内;所述盛胶筒的上端插接有密封盖,密封盖的上端面成型有锁扣板,锁扣板的两端伸出盛胶筒插套在螺柱上,螺柱上螺接有螺母,螺母压靠在锁扣板上;所述的密封盖上插接固定有输送管,输送管下端插设在盛胶筒的底部。
Description
技术领域
本发明涉及光刻机的技术领域,更具体地说涉及一种光刻机上光刻胶的供料筒结构。
背景技术
随着国家经济和科技的发展,液晶显示器越来越得到广泛的应用。其中,在液晶显示器的生产过程中,通常需要使用光刻胶来完成制造,例如阵列基板的生产等。具体地,光刻胶由感光树脂等组成,通过光线照射,显影、曝光等操作后,能够在阵列基板上形成特定图案,从而便于阵列基板的生产。现有技术中,通常使用的光刻胶由胶筒提供,现有胶筒的供料方式为,胶筒的顶部设置有密封盖,密封盖上插接固定有进气管和输送管,进气管的末端插设在胶筒的上端,输送管的下端插接在胶筒的下端,通过进气管向胶筒内进气,利用气压将光刻胶压入输送管内,输送管进行供料;但在供料时,通过进气管输送的压缩空气需要具有足够的压力(通常大于10000pa),其容易导致胶筒内气压过高,导致胶筒变形,胶筒变形后发现泄漏问题,影响输送管的供料。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足,而提供了一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其增设保护罩和可以避免高压的泄压结构来保护盛胶筒,避免盛胶筒的变形或损坏。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:
一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,包括托盘,托盘上安置有盛胶筒,托盘相对的两侧成型有支耳,支耳上固定有竖直的连接柱,连接柱的上端面上成型有竖直的螺柱,托盘的上端面上成型有环形的保护罩,盛胶筒插接在保护罩内;所述盛胶筒的上端插接有密封盖,密封盖的上端面成型有锁扣板,锁扣板的两端伸出盛胶筒插套在螺柱上,螺柱上螺接有螺母,螺母压靠在锁扣板上;所述的密封盖上插接固定有输送管,输送管下端插设在盛胶筒的底部;
所述密封盖的上端面上成型有凸台,凸台内成型有腔室,密封盖的下端面上成型有腔室相连通的进气槽,凸台的上端面上成型有与腔室相连通的泄压孔,所述凸台的上端面成型有与泄压孔相连通的泄压阀座,泄压阀座内插接有阀芯和压簧,压簧的两端分别压靠在阀芯和调节螺栓上,阀芯压靠在凸台上,调节螺栓螺接在泄压阀座上;所述的泄压阀座上插接固定有泄压管;所述的凸台上成型有与腔室相连通的进气接管。
优选的,所述托盘的保护罩内壁上粘贴固定有橡胶皮垫。
优选的,所述密封盖的外壁上成型有环形的密封槽,密封盖的密封槽内插接有密封圈,密封圈压靠在盛胶筒的内部上,所述的锁扣板抵靠在盛胶筒的上端面上。
优选的,所述阀芯的外壁上粘贴固定有橡胶密封套,橡胶密封套压靠在凸台的上端面和泄压阀座的内壁上。
优选的,所述凸台腔室的上、下底面上分别成型有隔板,隔板分隔凸台的腔室呈S型通道,所述的泄压孔和进气槽分布在S型通道的两端。
优选的,所述进气接管的进口和泄压孔分布在隔板的两侧,进气接管的进口正对腔室的下底面上。
优选的,所述盛胶筒的长度大于保护罩的长度。
本发明的有益效果在于:其增设保护罩和可以避免高压的泄压结构来保护盛胶筒,避免盛胶筒的变形或损坏。
附图说明
图1为本发明立体的结构示意图;
图2为本发明正视的结构示意图;
图3为图2中A—A处的剖视结构示意图
图4为图3中B处的局部放大示意图。
图中:1、托盘;11、保护罩;12、支耳;2、连接柱;21、螺柱;3、密封盖;31、锁扣板;32、凸台;321、腔室;322、进气槽;323、泄压孔;324、隔板;325、S型通道;33、泄压阀座;34、进气接管;4、螺母;5、输送管;6、盛胶筒;7、阀芯;8、压簧;9、调节螺栓;10、泄压管;20、橡胶密封套;30、密封圈;40、橡胶皮垫。
具体实施方式
实施例:见图1至4所示,一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,包括托盘1,托盘1上安置有盛胶筒6,托盘1相对的两侧成型有支耳12,支耳12上固定有竖直的连接柱2,连接柱2的上端面上成型有竖直的螺柱21,托盘1的上端面上成型有环形的保护罩11,盛胶筒6插接在保护罩11内;所述盛胶筒6的上端插接有密封盖3,密封盖3的上端面成型有锁扣板31,锁扣板31的两端伸出盛胶筒6插套在螺柱21上,螺柱21上螺接有螺母4,螺母4压靠在锁扣板31上;所述的密封盖3上插接固定有输送管5,输送管5下端插设在盛胶筒6的底部;
所述密封盖3的上端面上成型有凸台32,凸台32内成型有腔室321,密封盖3的下端面上成型有腔室321相连通的进气槽322,凸台32的上端面上成型有与腔室321相连通的泄压孔323,所述凸台32的上端面成型有与泄压孔323相连通的泄压阀座33,泄压阀座33内插接有阀芯7和压簧8,压簧8的两端分别压靠在阀芯7和调节螺栓9上,阀芯7压靠在凸台32上,调节螺栓9螺接在泄压阀座33上;所述的泄压阀座33上插接固定有泄压管10;所述的凸台32上成型有与腔室321相连通的进气接管34。
所述托盘1的保护罩11内壁上粘贴固定有橡胶皮垫40。
所述密封盖3的外壁上成型有环形的密封槽,密封盖3的密封槽内插接有密封圈30,密封圈30压靠在盛胶筒6的内部上,所述的锁扣板31抵靠在盛胶筒6的上端面上。
所述阀芯7的外壁上粘贴固定有橡胶密封套20,橡胶密封套20压靠在凸台32的上端面和泄压阀座33的内壁上。
所述凸台32腔室321的上、下底面上分别成型有隔板324,隔板324分隔凸台32的腔室321呈S型通道325,所述的泄压孔323和进气槽322分布在S型通道325的两端。
所述进气接管34的进口和泄压孔323分布在隔板324的两侧,进气接管34的进口正对腔室321的下底面上。
所述盛胶筒6的长度大于保护罩11的长度。
工作原理:本发明为光刻机上光刻胶的供料筒结构,其供料筒结构的技术点有两点,一点是增设了保护罩11和橡胶密封套,用于保护加固盛胶筒6;另一点是增了泄压阀座33、阀芯7、压簧8、调节螺栓9和泄压管10组成的泄压结构,避免盛胶筒6内压力过高;
同时通过调节调节螺栓9,能改变泄压压力的调节,配合输送管5内光刻胶输出的流速;还有在泄压结构内设计S型通道325,能避免光刻胶从泄压管10排出。
所述实施例用以例示性说明本发明,而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下,对所述实施例进行修改,因此本发明的权利保护范围,应如本发明的权利要求所列。
Claims (7)
1.一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,包括托盘(1),托盘(1)上安置有盛胶筒(6),托盘(1)相对的两侧成型有支耳(12),支耳(12)上固定有竖直的连接柱(2),连接柱(2)的上端面上成型有竖直的螺柱(21),其特征在于:托盘(1)的上端面上成型有环形的保护罩(11),盛胶筒(6)插接在保护罩(11)内;所述盛胶筒(6)的上端插接有密封盖(3),密封盖(3)的上端面成型有锁扣板(31),锁扣板(31)的两端伸出盛胶筒(6)插套在螺柱(21)上,螺柱(21)上螺接有螺母(4),螺母(4)压靠在锁扣板(31)上;所述的密封盖(3)上插接固定有输送管(5),输送管(5)下端插设在盛胶筒(6)的底部;
所述密封盖(3)的上端面上成型有凸台(32),凸台(32)内成型有腔室(321),密封盖(3)的下端面上成型有腔室(321)相连通的进气槽(322),凸台(32)的上端面上成型有与腔室(321)相连通的泄压孔(323),所述凸台(32)的上端面成型有与泄压孔(323)相连通的泄压阀座(33),泄压阀座(33)内插接有阀芯(7)和压簧(8),压簧(8)的两端分别压靠在阀芯(7)和调节螺栓(9)上,阀芯(7)压靠在凸台(32)上,调节螺栓(9)螺接在泄压阀座(33)上;所述的泄压阀座(33)上插接固定有泄压管(10);所述的凸台(32)上成型有与腔室(321)相连通的进气接管(34)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其特征在于:所述托盘(1)的保护罩(11)内壁上粘贴固定有橡胶皮垫(40)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其特征在于:所述密封盖(3)的外壁上成型有环形的密封槽,密封盖(3)的密封槽内插接有密封圈(30),密封圈(30)压靠在盛胶筒(6)的内部上,所述的锁扣板(31)抵靠在盛胶筒(6)的上端面上。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其特征在于:所述阀芯(7)的外壁上粘贴固定有橡胶密封套(20),橡胶密封套(20)压靠在凸台(32)的上端面和泄压阀座(33)的内壁上。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其特征在于:所述凸台(32)腔室(321)的上、下底面上分别成型有隔板(324),隔板(324)分隔凸台(32)的腔室(321)呈S型通道(325),所述的泄压孔(323)和进气槽(322)分布在S型通道(325)的两端。
6.根据权利要求5所述的一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其特征在于:所述进气接管(34)的进口和泄压孔(323)分布在隔板(324)的两侧,进气接管(34)的进口正对腔室(321)的下底面上。
7.根据权利要求1所述的一种光刻机上光刻胶的供料筒结构,其特征在于:所述盛胶筒(6)的长度大于保护罩(11)的长度。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010036573A (ko) * | 1999-10-09 | 2001-05-07 | 최의호 | 배달용 간이 생맥주통 |
CN201848373U (zh) * | 2010-08-26 | 2011-06-01 | 袁赞科 | 一种新颖打胶桶 |
CN103645606A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-03-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光刻胶供给装置 |
CN205701182U (zh) * | 2016-04-13 | 2016-11-23 | 刘子刚 | 颗粒粘稠液体喷涂器 |
CN206032224U (zh) * | 2016-08-31 | 2017-03-22 | 佛山镒洲精细化工有限公司 | 一种用于放置水性聚酯的密封桶 |
CN106516414A (zh) * | 2016-10-13 | 2017-03-22 | 无锡市金武助剂厂有限公司 | 一种清洗剂远程运输用保护套筒 |
CN206268523U (zh) * | 2016-12-16 | 2017-06-20 | 浙江汇润电气有限公司 | 一种输送泵及其泄压阀 |
CN207346357U (zh) * | 2017-08-30 | 2018-05-11 | 舒玉玲 | 一种双盖喷胶桶 |
-
2020
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010036573A (ko) * | 1999-10-09 | 2001-05-07 | 최의호 | 배달용 간이 생맥주통 |
CN201848373U (zh) * | 2010-08-26 | 2011-06-01 | 袁赞科 | 一种新颖打胶桶 |
CN103645606A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-03-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光刻胶供给装置 |
CN205701182U (zh) * | 2016-04-13 | 2016-11-23 | 刘子刚 | 颗粒粘稠液体喷涂器 |
CN206032224U (zh) * | 2016-08-31 | 2017-03-22 | 佛山镒洲精细化工有限公司 | 一种用于放置水性聚酯的密封桶 |
CN106516414A (zh) * | 2016-10-13 | 2017-03-22 | 无锡市金武助剂厂有限公司 | 一种清洗剂远程运输用保护套筒 |
CN206268523U (zh) * | 2016-12-16 | 2017-06-20 | 浙江汇润电气有限公司 | 一种输送泵及其泄压阀 |
CN207346357U (zh) * | 2017-08-30 | 2018-05-11 | 舒玉玲 | 一种双盖喷胶桶 |
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