CN103619527B - 透镜及搭载该透镜的激光加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置用于对被切割材料切割由闭合曲线构成的任意形状的部件，并且以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由上述闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜而成形。

Description

透镜及搭载该透镜的激光加工装置

技术领域

本发明涉及用于激光加工被加工材料的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置，特别地，涉及用于对被加工材料加工由闭合曲线构成的任意形状的部件的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置。

背景技术

以往，已知用于通过对玻璃基板等那样的被加工材料照射激光从而加工任意形状的部件的激光加工装置。

例如，作为激光加工装置，在专利文献1或2中提出了如下技术：通过利用使圆柱透镜移动的移动机构或使载置被加工材料的工作台移动的移动机构，来使加工区域形成所希望的形状。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2010-158715号公报

专利文献2:日本特开2010-284712号公报

发明内容

本发明所要解决的问题

例如，上述的激光加工装置在切割由加工形状为圆形、带圆角的矩形、带圆角的三角形那样的闭合曲线构成的任意形状时，需要控制使透镜本身移动的移动机构、或使载置被加工材料的工作台（支承台）本身移动的移动机构。

例如，当切割圆形的部件时，使用如下的方法。图2是表示使用基于现有技术的实施方式的双凸透镜7B进行激光加工时的图。如图2（a）所示，通过透过双凸透镜7B的激光，能够在被加工材料5上切割圆形的部件。此时，为了从被加工材料5切割圆形的部件，如图2（b）所示，激光加工装置必须使双凸透镜7B沿圆形移动，由此对被加工材料5以描绘圆形的方式照射激光。或者，激光加工装置通过对双凸透镜7B进行固定并使载置被加工材料5的工作台本身沿圆形移动，从而切割圆形的部件。

因此，存在以下的问题：移动控制或激光加工所需的时间增多，且产生搭载透镜的移动控制装置或被加工材料的移动控制装置的需要，导致装置整体大规模化。

另外，除了双凸透镜以外，使用图3所示的呈半圆柱体形状的凸型圆柱透镜时也是同样的。图4是表示使用基于现有技术的实施方式的凸型圆柱透镜7C进行部件加工时的图。例如，当切割矩形部件时，如图4（a）所示，通过透过凸型圆柱透镜7C的激光，对被加工材料5进行加工。此时，为了从被加工材料5切割矩形的部件，如图4（b）所示，使凸型圆柱透镜7C沿直线移动。然后，激光加工装置使凸型圆柱透镜7C移动，由此对被加工材料5以描绘矩形的方式照射激光。或者，激光加工装置通过对凸型圆柱透镜7C进行固定，使载置被加工材料5的工作台本身沿矩形移动，或者使工作台移动及旋转，从而切割矩形部件。

因此，同样地，存在以下的问题：移动控制或激光加工所需的时间增加，且产生搭载透镜的移动控制装置或被加工材料的移动控制装置的需要，导致装置整体大规模化。

因此，本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种减少激光加工的时间、且不在激光加工装置上搭载不需要的移动控制装置而能够小型化的透镜以及搭载有该透镜的激光加工装置。

用于解决技术问题的手段

本发明的透镜被搭载于对被加工材料加工由闭合曲线构成的任意形状的部件的激光加工装置，并且以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜而成形。

“顶点”是指凸型圆柱透镜的圆柱面的最高点。

“连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由闭合曲线构成的任意形状相同的形状”是指：连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与激光加工装置要加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件的形状相同或大致相同的形状。例如，在激光加工装置加工由圆形构成的部件时，连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为圆形。而且，只要连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线整体上为圆形即可，即使存在由一些凹凸引起的部分程度的差异也可以。另外，当激光加工装置加工由圆形构成的部件时，只要连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线的形状是圆形即可，不一定必须大小相同。

“成形”是指使透镜成型。具体而言，可列举出：可以是使用模具成型的透镜，也可以是通过研磨成形的透镜，通过蚀刻成形的透镜等。

“加工”是指对被加工材料切割由闭合曲线构成的任意形状的部件。具体而言，切割由闭合曲线构成的任意形状的部件。或者，可列举出对被加工材料切削成由闭合曲线构成的任意形状的部件的形状诸如此类的情况。

本发明的激光加工装置对被加工材料加工由闭合曲线构成的任意形状的部件，并搭载有如下的透镜，所述透镜以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由闭合曲线构成的任意的形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜而成形。

本发明的激光加工装置的透镜也可以是具有入射面部、出射面部、外侧面部、以及中空面部的中空透镜，其中，所述入射面部由凸型圆柱透镜的圆柱面形成，从光源照射的光入射到所述入射面部，从光源照射的光从所述出射面部射出，所述外侧面部位于入射面部及出射面部的外侧面，所述中空面部位于入射面部及出射面部的内侧面。

本发明的激光加工装置的透镜也可以对中空透镜的中空部分设置遮光板。

“遮光板”是指使光源的光不透过透镜的部件。例如，也可以是膜状或薄板状的部件。具体而言，也可以是金属片。另外，也可以是在透镜上涂覆金属物质的部件。

本发明的激光加工装置也可以在对透镜照射光源的光时，以使光不照射中空透镜的中空部分的方式进行控制。

本发明的激光加工装置的由闭合曲线构成的任意形状的部件也可以是圆形的部件。

当由闭合曲线构成的任意形状的部件的规定部位的曲率大时，本发明的激光加工装置的透镜也可以对入射面或者出射面上的外侧面部侧的大致一半的透镜的区域，以使来自光源的光不导光的方式，附加遮光材料。

发明效果

根据本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置，对被加工材料加工由闭合曲线构成的任意形状的部件，并使用如下成形的透镜：以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由上述闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜，因此，在对被加工材料激光加工由闭合曲线构成的任意形状的部件时，能够减少进行激光加工的时间，且能够使激光加工装置本身小型化。

当本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置的透镜是具有入射面部、出射面部、外侧面部、以及中空面部的中空透镜时，能够对应该对要激光加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件进行加工的区域，聚集光源的光。其中，从由凸型圆柱透镜的圆柱面形成的激光加工装置的光源照射的光入射到入射面部，从光源照射的光从出射面部射出，外侧面部位于入射面部以及出射面部的外侧面，中空面部位于入射面部以及出射面部的内侧面。

本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置的透镜在对中空透镜的中空部分设置遮光材料时，能够对应该对要激光加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件进行加工的区域外，不照射光源的光。

本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置在对透镜照射光源的光时，以使光不照射到中空透镜的中空部分的方式进行控制时，能够对要激光加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件，有效地照射激光加工装置的光源的光能量。

在由闭合曲线构成的任意形状的部件的规定部位的曲率大时，本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置的透镜对入射面或出射面上的外侧面部侧的大致一半的透镜的区域，以使来自光源的光不透过的方式附加遮光材料时，能够对该曲率大的规定部位外不放射光源的光。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式中的激光加工装置的图。

图2是用于说明使用以往的实施方式中的双凸透镜进行的激光加工的图。

图3是表示凸型圆柱透镜的一个例子的图。

图4是用于说明使用以往的实施方式中的凸型圆柱透镜进行的激光加工的图。

图5是用于说明本发明的实施方式中的所成形的圆形透镜的图。

图6是本发明的实施方式中的圆形透镜的俯视图。

图7是表示本发明的实施方式中的圆形透镜与入射和射出该圆形透镜的激光的关系的图。

图8是表示本发明的实施方式中的一系列的处理工序的图。

图9是表示透过本发明的实施方式中的圆形透镜的光的聚光结果的图。

图10是表示附加有本发明的实施方式中的遮光材料的圆形透镜的图。

图11是表示入射到本发明的实施方式中的圆形透镜的光控制的系统图。

图12是用于说明本发明的实施方式中的所成形的三角透镜的图。

图13是表示本发明的实施方式中的三角透镜与入射和射出该三角透镜的光的关系的图。

图14是表示附加有本发明的实施方式中的遮光材料的三角透镜的图。

具体实施方式

参照附图对作为本发明的实施方式的激光装置进行说明。

图1是表示本发明的激光加工装置50的概略的图。该激光加工装置50是通过对由玻璃构成的被加工材料5照射激光从而切割由闭合曲线构成的任意形状的部件的装置。激光加工装置50由工作台1、设置于该工作台1上的被加工材料5、激光光源10、光束扩展器15、反射镜19、均匀化装置20、圆形透镜7A、控制装置30、以及个人计算机80（以下，称为PC80）构成。

激光光源10是照射激光的装置。另外，光束扩展器15是将从激光光源10照射的激光的直径放大后放射的装置。另外，均匀化装置20是将直径扩大后的激光多重反射并均匀化进行照射的装置，例如棒透镜或光导管等。圆形透镜7A是被反射镜19反射的激光从其中透过的装置。控制装置50是控制光源10的输出、工作台1的位置等的装置。

在此，关于本发明的实施方式中的透镜，详细地进行说明。本发明的实施方式中的特有的透镜被搭载在对被加工材料5加工由闭合曲线构成的任意形状的部件的激光加工装置50上，并且，以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与闭合曲线所构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜而成形。

作为本发明的实施方式中的透镜，以圆形透镜7A为例进行说明。图5是用于说明圆形透镜7A的构造的图。图5不是表示圆形透镜7A的制造工序的图，而是将圆形透镜7A最终成为怎样的形态以容易理解的方式示出的图。

圆形透镜7A以使连结图5（a）所示的凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为圆形的方式成形。以使图5（a）的凸型圆柱透镜变形，如图5（b）所示描绘半圆，最后如图5（c）所示描绘大致圆形，最后连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线配置成圆形的方式，闭合形成凸型圆柱透镜。

本发明的实施方式中的特有的透镜（圆形透镜、后述的三角透镜等）例如是使用模具成型的透镜。另外，可以通过研磨成形，也可以通过蚀刻成形。

只要本发明的实施方式中的特有的透镜（圆形透镜、后述的三角透镜等）最终成形为各个透镜的所希望的形状，可以通过任何的方法制作。图6是圆形透镜7A的俯视图。如图6所示，通过使连结作为从凸型圆柱透镜的中心垂直于圆柱面的线GL各自的中心点（圆柱面的顶点）的、圆柱面的顶点的线为圆形，能够对被加工材料5加工由半径r的圆形构成的部件。

图7是表示圆形透镜7A与入射和射出该圆形透镜的激光L的关系的图。圆形透镜7A是具有入射面部70、出射面部71、外侧面部72、以及中空面部73的中空透镜，其中，入射面部70由凸型圆柱透镜的圆柱面形成，从激光加工装置50的光源10照射的光入射到入射面部70，从光源照射的光从出射面部71射出，外侧面部72位于入射面部70以及出射面部71的外侧面，中空面部73位于入射面部70以及出射面71的内侧面。该中空面部73如图7所示是圆形透镜内侧的侧面部分。

激光加工装置50用于在所搭载的圆形透镜7A上使光源10的激光入射到入射面部70，使光源10的激光从出射面部71射出。因此，激光加工装置50能够激光加工与图6所示的圆形透镜7A的半径r（例如，从透镜的中心将线GL的中心线连结的长度）大致相同的圆形部件。例如，在被加工材料是玻璃的情况下，激光加工装置50能够通过激光加工来切割圆形部件。具体而言，激光加工装置50能够对便携电话或携带用电子设备的保护用玻璃，容易地进行圆形形状的切割。另外，被加工材料不仅可以是玻璃，也可以是塑料、硅、其他作为基板的材料。

接着，对以上的结构的激光加工装置50中的激光加工处理进行说明。图8是表示激光加工装置的部件的加工中的一系列的处理的流程图。

第一，操作者经由PC80进行初始设定（步骤1）。具体而言，操作者对PC80输入指示信息，使其设定与被加工材料5的材质对应的光源10的光的输出等级。另外，操作者对PC80输入指示信息，以使设置有被加工材料5的工作台1的位置移动。操作者能够通过对PC80输入指示信息来进行初始设定，但也可以利用PC80通过自动处理进行初始设定，自动生成PC80的指示信息。

接着，控制装置30基于由PC80指令的指示信息，控制光源10的激光照射的时刻或者工作台1的移动（步骤2）。

光源10基于控制装置30的控制，使激光照射（步骤3）。从光源10照射的激光通过光束扩展器15被放大直径，并通过均匀化装置20使亮度分布均匀化。然后，激光通过反射镜19被反射，入射到圆形透镜7A。

如图7所示，入射到圆形透镜7A的入射面部70的激光以切割圆形部件的方式被聚光。激光加工装置50进行圆形部件的切割（步骤4）。激光加工装置50如图6所示，将激光聚光成以圆形透镜70的中心和外周为基准的半径r的圆形，从而能够对被加工材料5，切割如图9所示的半径R（r＝R、或者r≈R）的圆形部件。

另外，圆形透镜7A如图10所示，也可以对透镜的中空部分附加具有遮光材料的遮光板N。该具有遮光材料的遮光板N是用于使光源的激光不透过透镜的部件。例如，也可以是膜状或薄板状的部件。具体而言，也可以是金属片。另外，圆形透镜7A也可以在中空面部73嵌入透镜。此时，遮光板N也可以是在该透镜涂覆了金属物质的遮光板。

另外，激光加工装置50在对透镜照射光源的激光时，能够以使光不照射到中空透镜的中空部分的方式进行控制。具体而言，激光加工装置50具有能够对从反射镜19反射的激光进行导光的导光路径35、以及用于使激光仅入射到圆形透镜7A的入射面部70的光纤40，并且能够以使激光仅入射到圆形透镜7A的入射面部70的方式进行控制。由此，激光加工装置50能够以使激光不照射圆形透镜7A的中空面部73的方式进行控制。例如，激光加工装置50为了使激光仅入射到圆形透镜7A的入射面部70，通过最优地配置反射镜、其他的镜子，能够以使激光不照射的方式进行控制。

在此，返回图8所示的流程图的说明，控制装置30判断是否应该从进行了圆形部件的切割的被加工材料5切割新的圆形部件。在切割新的圆形部件的情况下（步骤5；是），控制装置30通过使工作台1移动，从而使被加工材料5移动到用于切割新的圆形部件的所希望的位置（步骤7）。搭载于激光加工装置50中的PC80内所安装的图像处理功能能够对被加工材料5的被标记出的位置进行识别处理，根据该识别的结果，控制装置30也可以自动地进行工作台的移动。在不切割新的圆形部件的情况下（步骤5；否），控制装置50判断是否切割不同形状的部件。

在从被加工材料5切割不同形状的部件的情况下（步骤6；是），能够改变透镜。并且，能够将透镜变更为圆形透镜7A以外的透镜（步骤8）。另一方面，在不从被加工材料5切割不同形状的部件的情况下（步骤6；否），处理结束。

激光加工装置50也可以构成为具有透镜转换装置（未图示），并且能够如上述将透镜变更为圆形透镜7A以外的透镜。例如，激光加工装置50也可以具备如图12所示的三角透镜7D。

图12是用于说明三角透镜7D的构造的图。三角透镜7D如图12所示，是由闭合曲线构成的三角形的部件。三角透镜7D是以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线CL配置成三角形的方式成形的透镜。如图12所示，以使连结作为从凸型圆柱透镜的中心垂直于圆柱面的线GL各自的中心点（圆柱面的顶点）的、圆柱面的顶点的线CL为三角形的方式，闭合形成凸型圆柱透镜。图12是三角透镜7D的俯视图，但通过将凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点成形为三角形，能够对被加工材料5切割由三角形构成的部件。

图13是表示三角形透镜7D与入射和射出该三角透镜的激光的关系的图。三角形透镜7D是具有入射面部70、出射面部71、外侧面部72、以及中空面部73的中空透镜，其中，入射面部70由凸型圆柱透镜的圆柱面形成，从激光加工装置50的光源10照射的激光入射到入射面部70；从光源照射的光从出射面部71射出；外侧面部72位于入射面部70以及出射面部71的外侧面；中空面部73位于入射面部70以及出射面71的内侧面。

激光加工装置50是使光源10的激光透过三角透镜7D的入射面部70，使光源10的激光透过出射面部71从而使光聚集的装置，因此，能够激光加工与图12所示的三角形透镜7D的线CL相同的三角形部件。例如，当被加工材料的材质是玻璃时，激光加工装置50能够通过激光加工切割三角形的部件。例如，激光加工装置50能够对便携电话或携带用电子设备的保护用玻璃，容易地进行三角形状的切割。

当由闭合曲线构成的任意形状的部件的规定部位的曲率大时，激光加工装置50的透镜能够对入射面部70或者出射面部71的位于外侧面部72侧的规定部位的区域，以使来自光源的光不导光的方式，附加遮光材料。例如，如图14所示，当如三角透镜7D的角部那样三点的曲率大时，对入射面部70或者出射面部71上的位于外侧面部72侧的曲率大的部位的期望的区域，以使来自光源10的光不导光的方式，附加遮光材料M。通过该遮光材料M，能够使光源10的光不从透镜射出。另外，除了上述的三角透镜以外，还可以对星型透镜、心型透镜、S型透镜、由其他的形状构成的透镜的曲率大的部位的区域附加遮光材料。

另外，三角透镜7D也可以与圆形透镜7A同样地，在中空面部73设置遮光材料M。

激光加工装置50具有透镜转换装置（未图示），通过将透镜变更为三角形透镜7D，能够对被加工材料5切割三角形状的部件。另外，激光加工装置50除了上述的圆形透镜、三角透镜以外，还可以是星型透镜、心型透镜、S型透镜、由其他的形状构成的透镜。

另外，激光加工装置也可以不具有透镜转换装置（未图示），而仅具有圆形透镜7A或三角形透镜7D的任一个。

根据本发明的实施方式中的透镜以及搭载有该透镜的激光加工装置50，由于使用如下成形的透镜：以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜，因此，当对被加工材料激光加工由闭合曲线构成的任意形状的部件时，减少激光加工的时间。另外，激光加工装置50在激光加工由闭合曲线构成的任意形状的部件时，不需要设置使透镜旋转及移动的机构、或者使工作台1旋转以及移动的机构，因此能够实现激光加工装置本身的小型化。

本发明的实施方式中的透镜以及搭载有该透镜的激光加工装置50的透镜是具有入射面部70、出射面部71、外侧面部72、以及中空面部73的中空透镜时，能够对应该对应该激光加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件进行加工的区域，聚集光源的光，其中，入射面部70由凸型圆柱透镜的圆柱面形成，从激光加工装置50的光源照射的光入射到入射面部70，从光源照射的光从出射面部71射出，外侧面部72位于入射面部70以及出射面部71的外侧面，中空面部73位于入射面部70以及出射面部71的内侧面。

本发明的实施方式中的透镜以及搭载有该透镜的激光加工装置50的透镜对中空透镜的中空部分设置遮光板时，能够对应该对要激光加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件进行加工的区域外，不照射光源的光。

本发明的实施方式中的透镜以及搭载有该透镜的激光加工装置50在对透镜照射光源的光时，以使光不照射中空透镜的中空部分的方式进行控制时，能够对要激光加工的由闭合曲线构成的任意形状的部件高效地照射激光加工装置的光源的光能量。

在由闭合曲线构成的任意形状的部件的规定部位的曲率大时，本发明的实施方式中的透镜以及搭载有该透镜的激光加工装置50的透镜对入射面部或出射面部上的位于外侧面部侧的规定部位的区域，以使来自光源的光不导光的方式附加遮光材料时，能够对该曲率大的规定部位外不聚集光源的光。例如，如图14所示，当如三角透镜7D的角部那样三点的曲率大时，对入射面部70或者出射面部71上的位于外侧面部72侧的曲率大的部位的期望的区域，以使来自光源的光不导光的方式，附加遮光材料M。通过该遮光材料M，能够使光源10的光不从透镜射出。另外，除了上述的三角透镜以外，也可以对星型透镜、心型透镜、S型透镜、由其他的形状构成的透镜的曲率大的部位的区域附加遮光材料。

符号说明

CL：中心线

GL：圆柱面的线

L：激光

M：遮光材料

N：遮光板

r：半径（透镜）

R：半径（聚集的光）

1：工作台

5：被加工材料

7A：圆形透镜

7B：双凸透镜

7C：凸型圆柱透镜

7D：三角透镜

10：光源

15：光束扩展器

19：反射镜

20：均匀化装置

30：控制装置

35：导光路径

40：光纤

50：激光加工装置

70：入射面部

71：出射面部

72：外侧面部

73：中空面部

Claims (5)

1.一种透镜，被搭载于激光加工装置，该激光加工装置对被加工材料加工由闭合曲线构成的任意形状的部件，其特征在于，

以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由所述闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成所述凸型圆柱透镜而成形，

所述透镜是具有入射面部、出射面部、外侧面部、以及中空面部的中空透镜，其中，

所述入射面部由所述凸型圆柱透镜的圆柱面形成，从所述激光加工装置的光源照射的光入射到所述入射面部；

从所述光源照射的光从所述出射面部射出；

所述外侧面部位于所述入射面部及所述出射面部的外侧面；

所述中空面部位于所述入射面部及所述出射面部的内侧面，

所述透镜在所述中空透镜的中空部分上设置有遮光板，

所述中空部分的形状与所述透镜的形状相同，

在由所述闭合曲线构成的任意形状的部件的规定部位的曲率大时，所述透镜对所述入射面部或所述出射面部上的位于所述外侧面部侧的所述规定部位的区域，以使来自所述光源的光不导光的方式，对透镜附加遮光材料。

2.一种激光加工装置，对被加工材料加工由闭合曲线构成的任意形状的部件，其特征在于，

在所述激光加工装置上搭载有如下的透镜，所述透镜以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由所述闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成所述凸型圆柱透镜而成形，

所述透镜是具有入射面部、出射面部、外侧面部、以及中空面部的中空透镜，其中，

所述入射面部由所述凸型圆柱透镜的圆柱面形成，从所述激光加工装置的光源照射的光入射到所述入射面部；

从所述光源照射的光从所述出射面部射出；

所述外侧面部位于所述入射面部及所述出射面部的外侧面；

所述中空面部位于所述入射面部及所述出射面部的内侧面，

所述透镜在所述中空透镜的中空部分上设置有遮光板，

所述中空部分的形状与所述透镜的形状相同，

在由所述闭合曲线构成的任意形状的部件的规定部位的曲率大时，所述透镜对所述入射面部或所述出射面部上的位于所述外侧面部侧的所述规定部位的区域，以使来自所述光源的光不导光的方式，对透镜附加遮光材料。

3.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光加工装置在对所述透镜照射所述光源的光时，以使光不照射到所述中空透镜的中空部分的方式进行控制。

4.如权利要求2或3所述的激光加工装置，其特征在于，

由所述闭合曲线构成的任意形状的部件是圆形的部件。

5.如权利要求2或3所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光加工装置对被加工材料切割由闭合曲线构成的任意形状的部件。