KR102232168B1

KR102232168B1 - 기판 커팅 장치

Info

Publication number: KR102232168B1
Application number: KR1020140165352A
Authority: KR
Inventors: 최희덕
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2014-11-25
Filing date: 2014-11-25
Publication date: 2021-03-29
Also published as: KR20160062802A

Abstract

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 광이 유입되는 입력부, 상기 입력부에 유입된 상기 광을 가이드 하는 가이드부 및 상기 가이드부로부터 가이드된 상기 광이 배출되는 출력부를 포함하고, 상기 가이드부는 상기 입력부와 상기 출력부를 연결하고, 상기 출력부에서 출사되는 광은 속이 폐루프 형상을 갖는다.

Description

기판 커팅 장치{SUBSTRATE CUTTING EQUIPMNET}

본 발명은 기판 커팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 커팅 공정의 정확성을 향상시키고 공정 시간을 단축할 수 있는 기판 커팅 장치에 관한 것이다.

기판 커팅 공정에 있어, 기판의 표면 상에 격자 형상으로 배열된 절단 라인에 의해 복수의 영역으로 구획된다. 즉, 각종 기판이 표면에 패터닝된 경계선을 따라 소정의 사이즈 및 형상으로 커팅될 수 있다. 기판의 커팅에 사용되는 방법으로 레이저 가공, 다이싱(Dicing), 스크라이빙(Scribing) 등의 방법이 알려져 있다.

이 중 레이저 가공 방법은 레이저 빔을 연속적으로 조사하면서, 동시에 냉각시키는 방법이다. 두 종류 이상의 파장을 포함하는 펄스 레이저 빔을 집광하여 기판에 조사하고, 기판의 표면에 레이저빔의 집광점을 형성함과 동시에 기판의 내부에 하나또는 복수의 집광점을 형성하고, 절단 방향에 따라 레이저 빔을 조사하는 방식으로 기판이 절단된다. 이때, 기판의 절단면을 따라 레이저 이동 지그가 이동할 수 있다.

본 발명은 기판 커팅 공정의 정확성을 향상시키고 공정 시간을 단축할 수 있는 기판 커팅 장치를 제공함에 있다.

상기 입력부는 상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부 및 상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 가이드 부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부, 상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관 및 상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 제1 서브 몸체부를 포함하고, 상기 출력부는 상기 출력부의 최외각에 형성되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부, 상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 2 도파관과 연결되는 제3 도파관 및 상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제1 서브 몸체부와 연결되는 제2 서브 몸체부를 포함한다.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 제1 도파관의 상면에 형성되고, 상기 광이 유입되는 유입면, 상기 제1 도파관의 하면과 상기 제2 도파관의 상면의 경계면에 형성되고, 상기 제1 도파관으로부터 유입된 상기 광이 확장되는 확장면 및 상기 제3 도파관의 하면에 형성되는 배출면을 더 포함하고, 상기 배출면은 상기 폐루프 형상을 갖는다. 상기 광원은 레이저 빔일 수 있다.

상기 제1 내지 제3 몸체부들 및 상기 제1 및 제2 서브 몸체부들은 제1 굴절률을 갖고, 상기 제1 내지 제3 도파관들은 상기 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 갖는다.

상기 제1 내지 제3 몸체부들, 상기 제1 서브 몸체부들 및 제2 서브 몸체부들은 유리를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 도파관들은 석영을 포함한다.

본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 배출면이 원형 또는 다각형 형상을 갖는다. 상기 배출면의 단면은 오목한 형상을 가질 수 있다.

본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 가이드부가 상기 입력부에서 유입된 상기 광을 복수의 광들로 분할하는 복수의 제1 분기부들, 상기 제1 분기부들에서 분할된 상기 각각의 광을 복수의 광들로 재분할하는 복수의 제2 분기부들 및 상기 제1 분기부들 및 상기 제2 분기부들에 의하여 분할된 광들을 소정의 형상으로 변형시키는 복수의 확장부들를 포함하고, 상기 제1 분기부들은 상기 입력부와 연결되고, 상기 확장부들은 상기 출력부들와 연결되고, 상기 제2 분기부들은 각각 대응하는 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들 사이에 형성되어 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들을 각각 연결하고, 상기 출력부들에서 출력되는 상기 광들은 폐루프가 복수개로 나열되는 형상을 갖는다.

본 발명의 제4 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 입력부는 상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부 및 상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 가이드 부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부, 상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관 및 상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 복수의 제3 서브 몸체부들을 포함하고, 상기 제3 서브 몸체부들은 각각 이격되도록 형성되고, 상기 제2 도파관에 유입된 상기 광은 상기 제3 서브 몸체부들에 의해 소정의 형상으로 변형되고, 상기 출력부는 상기 출력부의 최외각에 배치되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부, 상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 2 도파관과 연결되는 제3 도파관 및 상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제3 서브 몸체부들과 각각 대응되도록 연결되는 복수의 제4 서브 몸체부들을 포함하고, 상기 출력부에서 출력되는 상기 광은 폐루프가 복수개로 배열되는 형상을 갖는다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 신속하고 정확하게 기판을 커팅할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치의 사시도이다.
도 2는 제3 도파관의 확대단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.
도 6는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

비록 제 1, 제 2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 소자, 제 1 구성요소 또는 제 1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 소자, 제 2 구성요소 또는 제 2 섹션일 수도 있음은 물론이다.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치의 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 입력부(110), 가이드부(120) 및 출력부(130)를 포함한다.

입력부(110)는 제1 방향(D1)으로 연장된다. 구체적으로, 입력부(110)는 제1 방향(D1)의 일측에서 타측으로 연장될 수 있다. 제1 방향(D1)에서 입력부(110)의 일측으로 광(LS)이 유입된다. 이 때, 입력부(110)로 유입되는 광(LS)은 레이저 빔일 수 있다.

입력부(110)는 가이드부(120)와 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 입력부(110)의 타측이 제1 방향(D1)에서 가이드부(120)의 일측과 연결될 수 있다. 가이드부(120)는 제1 방향(D1)의 일측에서 타측으로 연장되고, 제1 방향(D1)의 일측에서 타측을 향할수록 가이드부(120)의 부피가 증가할 수 있다. 이 때, 가이드부(120)의 제1 방향(D1)의 타측을 향할수록 소정의 형상으로 확장되는 형태를 가질 수 있다.

가이드부(120)는 출력부(130)와 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 가이드부(120)의 타측이 제1 방향(D1)에서 출력부(130)의 일측과 연결될 수 있다. 제2 방향(D2)에서 출력부(130)의 단면은 소정의 형상을 가질 수 있다. 이 때, 제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)과 수직한 방향이다.

따라서, 입력부(110)로 유입된 광(LS)은 가이드부(120)를 통하여 소정의 형상으로 확장될 수 있으며, 확장된 광(LS)은 출력부(130)를 통하여 외부로 방출될 수 있다.

이하, 입력부(110), 가이드부(120) 및 출력부(130)에 관하여 보다 상세하게 설명된다.

입력부(110)는 제1 몸체부(110a) 및 제1 도파관(110b)를 포함한다. 제1 몸체부(110a)는 입력부(110)의 최외각에 형성된다. 제1 몸체부(110a)는 제1 도파관을 감싸는 형태를 가진다. 제1 몸체부(110a)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 도 1에서는 막대 형상을 가진 제1 몸체부(110a)가 도시되었다.

제1 도파관(110b)은 제1 몸체부(110a)의 내부에 형성된다. 제1 몸체부(110a) 및 제1 도파관(110b)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다.

제1 몸체부(110a)는 제1 굴절률을 가진다. 제1 도파관(110b)은 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가진다. 예시적으로, 제1 몸체부(110a)는 유리이고, 제1 도파관(110b)은 석영(Quartz)일 수 있다.

가이드부(120)는 제2 몸체부(120a), 제2 도파관(120b) 및 제1 서브 몸체부(120c)를 포함한다. 제2 몸체부(120a)는 가이드부(120)의 최외각에 형성된다. 제2 몸체부(120a)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 도 1에서는 직사각뿔 형상을 가진 제2 몸체부(120a)가 도시되었다. 구체적으로, 제2 몸체부(120a)의 밑면은 제2 방향(D2)으로 단변을 갖고, 제3 방향(D3)으로 장변을 갖는 직사각형일 수 있다. 이 때, 제3 방향(D3)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)과 각각 수직한 방향이다.

제2 도파관(120b)은 제2 몸체부(120a)의 내부에 형성된다. 즉, 제2 몸체부(120a)는 제2 도파관(120b)을 감싸는 형태를 가진다.

제2 도파관(120b)은 직사각뿔 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제2 도파관(120b)을 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 직사각형상을 가진다. 이 때, 직사각형의 크기는 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 일측에서 타측을 향할수록 확장될 수 있다.

제1 서브 몸체부(120c)는 제2 도파관(120b)의 내부에 형성된다. 즉, 제2 도파관(120b)은 제1 서브 몸체부(120c)를 감싸는 형태를 가진다. 제2 몸체부(120a), 제2 도파관(120b) 및 제1 서브 몸체부(120c)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다.

제1 서브 몸체부(120c)은 직사각뿔 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 몸체부(120c)를 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 직사각형을 가진다. 이 때, 직사각형의 크기는 제1 방향(D1)에서 제1 서브 몸체부(120c)의 일측에서 타측을 향할수록 확장될 수 있다.

결과적으로, 제2 도파관(120b)은 속이 빈 직사각뿔 껍질 형상을 가질 수 있다.

제2 몸체부(120a) 및 제1 서브 몸체부(120c)는 제1 굴절률을 가진다. 제2 도파관(120b)은 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가진다. 예시적으로, 제2 몸체부(120a) 및 제1 서브 몸체부(120c)의 재질은 유리이고, 제2 도파관(120b)의 재질은 석영(Quartz)일 수 있다.

출력부(130)는 제3 몸체부(130a), 제3 도파관(130b) 및 제2 서브 몸체부(130c)를 포함한다. 제3 몸체부(130a)는 출력부(130)의 최외각에 형성된다. 제3 몸체부(130a)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 도 1에서는 직육면체 형상을 가진 제3 몸체부(130a)가 도시되었다.

제3 도파관(130b)는 제3 몸체부(130a)의 내부에 형성된다. 즉, 제3 몸체부(130a)는 제3 도파관(130b)을 감싸는 형태를 가진다. 제3 도파관(130b)은 직육면체 형상을 가질 수 있다.

제3 도파관(130b)의 크기는 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 타측의 크기와 대응된다.

제2 서브 몸체부(130c)는 제3 도파관(130b)의 내부에 형성된다. 즉, 제3 도파관(130b)은 제2 서브 몸체부(130c)를 감싸는 형태를 가진다. 구체적으로, 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D2)과 평행하게 자른 제3 도파관(130b)의 단면의 둘레는 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D2)과 평행하게 자른 제2 서브 몸체부(130c)의 단면의 둘레보다 크다. 제1 방향(D1)에서 제3 도파관(130b)의 길이와 제1 방향(D1)에서 제2 서브 몸체부(130c)의 길이는 동일하다.

제3 몸체부(130a), 제3 도파관(130b) 및 제2 서브 몸체부(130c)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다.

제3 몸체부(130a) 및 제2 서브 몸체부(130c)는 제1 굴절률을 가진다. 제3 도파관(130b)은 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가진다. 예시적으로, 제3 몸체부(130a) 및 제2 서브 몸체부(130c)의 재질은 유리이고, 제3 도파관(130b)의 재질은 석영(Quartz)일 수 있다.

제1 방향(D1)에서 제1 몸체부(110a)는 제2 몸체부(120a)와 연결되고, 제2 몸체부(120a)는 제3 몸체부(130a)와 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 제1 몸체부(110a)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제2 몸체부(120a)의 일측과 연결된다. 제1 방향(D1)에서 제2 몸체부(120a)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제3 몸체부(130a)의 일측과 연결된다.

제1 방향(D1)에서 제1 도파관(110b)은 제2 도파관(120b)과 연결되고, 제2 도파관(120b)은 제3 도파관(130b)과 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 제1 도파관(110b)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 일측과 연결된다. 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제3 도파관(130b)의 일측과 연결된다.

제1 방향(D1)에서 제1 서브 몸체부(120c)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제2 서브 몸체부(130c)의 일측과 연결된다. 제2 방향(D2)및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 제2 서브 몸체부(130c)의 단면은 제1 방향(D1)에서 제1 서브 몸체부(120c)의 타측면과 대응된다.

기판 커팅 장치(100)는 유입면(S1), 확장면(S2) 및 배출면(S3)을 더 포함할 수 있다.

유입면(S1)은 제1 방향(D1)에서 제1 도파관(110b)의 일측면으로 정의된다.

확장면(S2)은 제1 도파관(110b)과 제2 도파관(120b)이 연결되는 경계면으로 정의된다.

배출면(S3)은 제1 방향(D1)에서 제3 도파관(130b)의 타측면으로 정의된다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 광(LS)이 유입면(S1)을 통하여 제1 도파관(110b)으로 유입된다.

제1 도파관(110b)으로 유입된 광(LS)은 확장면(S2)을 지나 제2 도파관(120b)으로 제공된다. 이 때, 광(LS)의 형상이 변형된다. 구체적으로, 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행한 광(LS)의 단면은 직사각형 형상을 갖는 폐루프 형태일 수 있다. 또한, 광(LS)이 제2 도파관(120b)을 지나면서, 광(LS)의 형상은 소정의 크기로 확장될 수 있다.

제2 도파관(120b)에서 형상이 확장된 광(LS)은 제3 도파관(130b)에 제공된다. 제3 도파관(130b)에 제공된 광(LS)은 배출면(S3)을 통하여 제1 방향(D1)으로 출사된다. 이 때, 배출면(S3)의 형상은 직사각형 형상을 갖는 폐루프 형태일 수 있다.

도 2는 제3 도파관의 확대단면도이다. 구체적으로, 도 2에서는 도 1에 도시된 제 3도파관을 제1 방향과 평행하게 자른 A영역의 확대도이다.

도 2를 참조하면, 제1 방향(D1)에서 배출면(S3)과 인접한 제3 도파관(130b)의 타측은 오목한 형상을 가진다. 즉, 배출면(S3)이 제1 방향(D1)에서 오목한 형상을 가질 수 있다. 따라서, 광(LS)이 제3 도파관(130b)을 따라 배출면(S3)으로 출사될 시, 광(LS)이 효과적으로 집광될 수 있다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 유입면(S1)으로 유입된 광(LS)을 소정의 형상으로 확장시킨 후 배출면(S3)으로 출사시킴으로써, 기판(SUB)이 커팅될 수 있다. 또한, 기판(SUB)의 모양 및 조건에 알맞게 가이드부(120) 및 출력부(130)의 크기 및 형상이 변경될 수 있다. 기판(SUB)에 기판 커팅 장치(100)가 배치되는 모습은 도 3에 도시되었다.

결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.

이하, 가이드부(220) 및 출력부(230)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(200)의 구성은 도 1 및 도 2의 구성과 동일하다. 따라서, 도 4에 도시된 가이드부(220) 및 출력부(230)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(200)의 구성에 대한 설명은 생략한다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(200)의 가이드부(220)는 원뿔 형상을 갖고, 출력부(230)는 원기둥 형상을 갖는다.

구체적으로, 가이드부(220) 및 출력부(230)를 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면의 형상은 원 형태를 가질 수 있다.

따라서, 배출면(S3)으로 출사되는 광(LS)은 원 형상을 갖는 폐루프 형태일 수 있다. 즉, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(200)는 원형 기판(SUB)을 커팅할 때에 사용될 수 있다.

결과적으로, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(200)는 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.

이하, 가이드부(320) 및 출력부(330)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(300)의 구성은 도 1 및 도 2의 구성과 동일하다. 따라서, 도 5에 도시된 가이드부(320) 및 출력부(330)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(300)의 구성에 대한 설명은 생략한다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(300)는 가이드부(320) 및 복수의 출력부들(330)을 포함한다. 또한, 기판 커팅 장치(300)는 제1 분기면(SS1) 및 제2 분기면(SS2)을 더 포함할 수 있다.

가이드부(320)는 2개의 제1 분기부들(321), 8개의 제2 분기부들(322) 및 8개의 확장부들(323)를 포함한다. 유입면(S1)을 통해 유입된 광(LS)은 입력부(310)를 지나 제1 분기면(SS1)으로 제공된다. 제1 분기면(SS1)에 제공된 광(LS)은 제1 분기부들(321)을 통하여 2개의 광(LS)으로 분기될 수 있다.

제1 분기부들(321)에서 분기된 광(LS)들은 각각 대응되는 제2 분기면들(SS2)로 제공된다. 제2 분기면들(SS2)에 제공된 광(LS)은 각각 대응되는 제2 분기부들(322)을 통하여 각각 4개의 광(LS)으로 분기될 수 있다. 즉, 입력부(310)로 유입된 광(LS)은 제1 분기부들(321) 및 제2 분기부들(322)을 통하여 총 8개의 광(LS)으로 분기될 수 있다.

분기된 8개의 광(LS)은 각각 대응되는 확장면들(S2)로 유입된다. 확장면들(S2)로 유입된 광(LS)들은 확장부들(323)를 통하여 각각 소정의 형상으로 확장된다. 확장된 광(LS)들은 각각 대응되는 8개의 출력부들(330)로 제공되고, 배출면들(S3)로 출사된다. 배출면들(S3) 각각의 형상은 직사각형 형상을 가질 수 있다.

즉, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(300)는 복수의 기판(SUB)을 동시에 커팅할 수 있다.

결과적으로, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(300)는 복수의 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다.

도 6는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.

이하, 가이드부(420) 및 출력부(430)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(400)의 구성은 도 1 및 도 2의 구성과 동일하다. 따라서, 도 6에 도시된 가이드부(420) 및 출력부(430)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(400)의 구성에 대한 설명은 생략한다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 가이드부(420)는 제2 몸체부(420a), 제2 도파관(420b) 및 3개의 제3 서브 몸체부들(420c)를 포함한다. 또한, 출력부(430)는 제1 서브 몸체부들(420c)에 각각 대응하는 3개의 제4 서브 몸체부들(430c)를 포함한다.

유입면(S1)에 유입된 광(LS)은 입력부(410)로 제공되고, 입력부(410)로 제공된 광(LS)은 확장면(S2)으로 유입된다. 확장면(S2)으로 유입된 광(LS)은 제2 도파관(420b)으로 제공될 수 있다.

제3 서브 몸체부들(420c)은 제2 도파관(420b)의 내부에 형성된다. 제2 도파관(420b)은 제3 서브 몸체부들(420c)에 의하여 소정의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 제2 도파관(420b)을 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 3개의 직사각형들이 연결되어 나열된 형태를 가질 수 있다. 구체적으로, 직사각형들 각각은 단변을 공통으로 하여 연결된 형태를 가질 수 있다.

제2 도파관(420b)에 의해 확장된 광(LS)은 제3 도파관(430b)으로 제공된다. 제3 도파관(430b)는 제4 서브 몸체부들(430c)에 의해 소정의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 제3 도파관(420b)을 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 3개의 직사각형들이 연결되어 나열된 형태를 가질 수 있다. 제3 도파관(430b)으로 제공된 광(LS)은 배출면(S3)을 통하여 외부로 출사된다.

결과적으로, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(400)는 복수의 기판(SUB)을 동시에 커팅할 수 있다. 또한, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(400)는 복수의 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다.

이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

LS: 광원 110: 입력부
110a: 제1 몸체부 110b: 제1 도파관
120: 가이드부 120a: 제2 몸체부
120b: 제2 도파관 120c: 제1 서브 몸체부
130: 출력부 130a: 제3 몸체부
130b: 제3 도파관 130c: 제2 서브 몸체부
S1: 유입면 S2: 확장면
S3: 배출면 D1: 제1 방향
D2: 제2 방향 D3: 제3 방향

Claims

광이 유입되는 입력부;
상기 입력부에 유입된 상기 광을 가이드 하는 가이드부; 및
상기 가이드부로부터 가이드된 상기 광이 배출되는 출력부를 포함하고,
상기 가이드부는 상기 입력부와 상기 출력부를 연결하고,
상기 출력부에서 출사되는 광은 속이 폐루프 형상을 갖고,
상기 입력부는,
상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부; 및
상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고,
상기 가이드부는,
상기 가이드부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부;
상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관; 및
상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 제1 서브 몸체부를 포함하고,
상기 출력부는,
상기 출력부의 최외각에 형성되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부;
상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제2 도파관과 연결되는 제3 도파관; 및
상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제1 서브 몸체부와 연결되는 제2 서브 몸체부를 포함하는 기판 커팅 장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 제1 도파관의 상면에 형성되고, 상기 광이 유입되는 유입면;
상기 제1 도파관의 하면과 상기 제2 도파관의 상면의 경계면에 형성되고, 상기 제1 도파관으로부터 유입된 상기 광이 확장되는 확장면; 및
상기 제3 도파관의 하면에 형성되는 배출면을 더 포함하고,
상기 배출면은 상기 폐루프 형상을 갖는 기판 커팅 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 광은 레이저 빔인 기판 커팅 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 몸체부들 및 상기 제1 및 제2 서브 몸체부들은 제1 굴절률을 갖고,
상기 제1 내지 제3 도파관들은 상기 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 갖는 기판 커팅 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 몸체부들, 상기 제1 서브 몸체부들 및 제2 서브 몸체부들은 유리를 포함하는 기판 커팅 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 도파관들은 석영을 포함하는 기판 커팅 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 배출면이 원형 또는 다각형 형상을 갖는 기판 커팅 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 배출면의 단면이 오목한 형상을 갖는 기판 커팅 장치.
광이 유입되는 입력부;
상기 입력부에 유입된 상기 광을 가이드 하는 가이드부; 및
상기 가이드부로부터 가이드된 상기 광이 배출되는 복수의 출력부들을 포함하고,
상기 가이드부는 상기 입력부와 상기 출력부들을 연결하고,
상기 출력부들에서 출사되는 광은 속이 폐루프 형상을 갖고,
상기 가이드부는
상기 입력부에서 유입된 상기 광을 복수의 광들로 분할하는 복수의 제1 분기부들;
상기 제1 분기부들에서 분할된 상기 각각의 광을 복수의 광들로 재분할하는 복수의 제2 분기부들; 및
상기 제1 분기부들 및 상기 제2 분기부들에 의하여 분할된 광들을 소정의 형상으로 변형시키는 복수의 확장부들를 포함하고,
상기 제1 분기부들은 상기 입력부와 연결되고,
상기 확장부들은 상기 출력부들와 연결되고,
상기 제2 분기부들은 각각 대응하는 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들 사이에 형성되어 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들을 각각 연결하고,
상기 출력부들에서 출력되는 상기 광들은 폐루프가 복수개로 나열되는 형상을 갖는 기판 커팅 장치.
광이 유입되는 입력부;
상기 입력부에 유입된 상기 광을 가이드 하는 가이드부; 및
상기 가이드부로부터 가이드된 상기 광이 배출되는 출력부를 포함하고,
상기 가이드부는 상기 입력부와 상기 출력부를 연결하고,
상기 출력부에서 출사되는 광은 속이 폐루프 형상을 갖고,
상기 입력부는
상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부; 및
상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고,
상기 가이드부는,
상기 가이드부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부;
상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관; 및
상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 복수의 제3 서브 몸체부들을 포함하고,
상기 제3 서브 몸체부들은 각각 이격되도록 형성되고,
상기 제2 도파관에 유입된 상기 광은 상기 제3 서브 몸체부들에 의해 소정의 형상으로 변형되고,
상기 출력부는,
상기 출력부의 최외각에 배치되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부;
상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제2 도파관과 연결되는 제3 도파관; 및
상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제3 서브 몸체부들과 각각 대응되도록 연결되는 복수의 제4 서브 몸체부들을 포함하고,
상기 출력부에서 출력되는 상기 광은 폐루프가 복수개로 배열되는 형상을 갖는 기판 커팅 장치.