JP6752232B2 - 加工対象物切断方法 - Google Patents
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Description
対物レンズのレーザ光Lの入射面におけるレーザ光Lの強度プロファイルの内径(ビーム内径)Di:2.0mm。
対物レンズのレーザ光Lnの入射面におけるレーザ光Lnのビーム外径:2.88mm。光遮蔽領域SAの幅:1.0mm。
γ=Dsi/Dso=Di/Do・・・(1)
γо=Ws/Dso=W/Do・・・(2)
γi=Ws/Dsi=W/Di・・・(3)
γ=γо/γi・・・(4)
Claims (4)
- レーザ光を遮蔽する光遮蔽領域を含む主面を有する加工対象物を切断予定ラインに沿って切断するための加工対象物切断方法であって、
前記レーザ光を前記加工対象物に集光するための集光レンズに対して前記レーザ光を入射させる第1の工程と、
前記集光レンズによって前記レーザ光を前記加工対象物の内部に集光させながら、前記レーザ光の集光点を前記切断予定ラインに沿って相対移動させることにより、前記切断予定ラインに沿って前記加工対象物の内部に改質領域を形成する第2の工程と、
を備え、
前記光遮蔽領域は、前記主面に交差する方向からみて、前記切断予定ラインの一部に重複しており、
前記第1の工程においては、前記レーザ光の強度プロファイルを円環状とした状態において前記レーザ光を前記集光レンズに入射させ、
前記第2の工程においては、前記主面を前記レーザ光の入射面とすると共に、前記主面に交差する方向からみて前記光遮蔽領域を通過するように前記切断予定ラインに沿って前記集光点を相対移動させる、
加工対象物切断方法。 - 前記加工対象物は、窒化ガリウムを含む半導体レーザのための半導体層を有し、
前記半導体層は、前記主面を含み、
前記光遮蔽領域は、前記切断予定ラインに交差する方向に延びるように前記半導体層に設けられたストライプ状の高密度欠陥領域であり、
前記切断予定ラインは、前記半導体層の劈開面に沿って設定される、
請求項1に記載の加工対象物切断方法。 - 前記第1の工程においては、所定の変調パターンを呈示した空間光変調器により前記強度プロファイルを円環状とする、
請求項1又は2に記載の加工対象物切断方法。 - 前記強度プロファイルの外径と内径との比は、50%以上85%未満である、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の加工対象物切断方法。
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