CN103608306A - 带状玻璃的制造方法 - Google Patents

Abstract

在带状玻璃(2)的制造方法中，在以下降的方式形成除宽度方向两端部之外的部位的板厚为300μm以下的带状玻璃(2)之后，以使带状玻璃(2)的表背面中的表面成为上表面的方式将带状玻璃(2)的移送方向方向转换为横向。带状玻璃(2)在以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态下被向用于方向转换的区域导入。弯曲状态的带状玻璃(2)在相对于将其宽度方向两端部连结的假想直线的最大分离距离为δ、带状玻璃的表面侧为正的情况下，满足0＞δ≥-200mm的关系。

Description

带状玻璃的制造方法

技术领域

本发明涉及例如通过溢流下拉法等以下降的方式形成带状玻璃之后、将带状玻璃的移送方向方向转换为横向的带状玻璃的制造方法的改进技术。

背景技术

替代以往普及的CRT型显示器，从节约空间等的观点出发，近年来普及有液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场致发射显示器等平板显示器。

在这些显示器之中，特别是对于有机EL显示器，要求通过折叠或卷绕而容易携带、不仅是沿着平面且沿着曲面的形状也能够使用。

为了应对该要求，作为有机EL显示器的基板，从其较高的挠性方面出发，考虑使用树脂片。然而，有机EL显示器所使用的发光体通过与氧气、水蒸气等气体接触会劣化，因此，从该观点出发，作为有机EL显示器的基板，优选使用阻气性比树脂片高的玻璃基板。

然而，基板所使用的玻璃与树脂片不同，抗拉伸应力性较弱，因此挠性较低。因此，当由于弯曲玻璃基板而向玻璃基板表面作用有拉伸应力时，有时会导致破损。因而，对于有机EL显示器所使用的玻璃基板，要求提高挠性。

另外，并不限于显示器，例如在机动车的车身表面、建筑物的屋顶、柱或外壁等那样的具有曲面的物体的表面上，若能够形成太阳能电池、有机EL照明，则可以扩展其用途。因而，对这些装置所使用的玻璃基板、盖玻璃也要求提高挠性。

另外，在这些显示器、太阳能电池、有机EL照明等装置中，从市场出发要求进一步薄型化，与此相伴，对这些装置所使用的玻璃基板等也要求薄板化。

为了应对相对于玻璃板的这些薄板化、挠性提高的要求，提出有使用板厚为300μm以下的薄片状的玻璃。这样的薄片状的玻璃通过将形成为带状的玻璃切断为规定的长度而获得。

这样的带状玻璃例如能够使用溢流下拉法而连续地制造。在这种情况下，例如像专利文献1所公开的那样，在以下降的方式形成带状玻璃之后，将带状玻璃的移送方向方向转换为横向，之后的相对于带状玻璃的处理容易。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-335928号公报

发明的概要

发明要解决的课题

然而，在采用了上述那样的制造方法的情况下，带状玻璃由于其厚度较薄，因此在上升气流等外部因素的影响下，导致在下降中会向表面与背面中的任一侧弯曲，而且其弯曲方向在短周期内变化。这样，当下降中的带状玻璃的姿态不稳定时，向用于方向转换的区域导入时的带状玻璃的姿态也并非恒定，以此时的姿态为起因，在带状玻璃上产生应力集中，可能招致带状玻璃的破损。需要说明的是，在制造板厚为300μm以下的带状玻璃时，也存在玻璃极端薄的情况，其破损是不可避免的问题。

而且，在制造中，在产生带状玻璃的破损的情况下，生产线再次恢复原始状态需要非常长的时间。因此，成为使带状玻璃的生产率极其恶化的重要因素。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做成的，其技术课题在于，在将以下降的方式形成的带状玻璃的移送方向方向转换为横向的带状玻璃的制造方法中抑制带状玻璃的破损。

用于解决课题的手段

用于解决所述课题的本发明所涉及的带状玻璃的制造方法的特征在于，在以下降的方式形成除宽度方向两端部之外的部位的板厚为300μm以下的带状玻璃之后，以使所述带状玻璃的表背面中的表面为上表面的方式将所述带状玻璃的移送方向方向转换为横向，所述带状玻璃在以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态下被向用于所述方向转换的区域导入，所述弯曲状态的带状玻璃在相对于将其宽度方向两端部连结的假想直线的最大分离距离为δ、所述带状玻璃的表面侧设为正的情况下，满足0＞δ≥-200mm的关系。

这样的话，带状玻璃在满足0＞δ≥-200mm的关系且在以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态下被向用于方向转换的区域导入。即，带状玻璃在被向用于方向转换的区域导入时有意地形成为表面侧在宽度方向上凹陷的弯曲形状，因此处于稳定的状态，并且弯曲程度适当。由此，在方向转换时，能抑制对带状玻璃作用不当的应力，因此，能够为了方向转换而容易地使带状玻璃弯曲。因而，能够抑制带状玻璃的破损。

在上述的结构中，优选为，所述弯曲状态的带状玻璃满足0＞δ≥-100mm的关系。

这样的话，能够为了方向转换而更可靠地容易地使带状玻璃弯曲，抑制带状玻璃的破损的效果显著。

在上述的结构中，优选为，所述弯曲状态的带状玻璃满足0＞δ≥-50mm的关系。

这样的话，能够为了方向转换而更可靠地容易地使带状玻璃弯曲，抑制带状玻璃的破损的效果显著。另外，作为本来的带状玻璃的特性，其翘曲变小，因此能够使带状玻璃的品质提高。

在上述任一结构中，优选为，在所述带状玻璃的成形时，对带状玻璃的两面间赋予温度差，从而使所述带状玻璃成为所述弯曲状态。

这样的话，能够容易地使带状玻璃成为弯曲状态。

发明效果

如上所述，根据本发明，能够为了方向转换而容易地使带状玻璃弯曲。因而，在将以下降的方式形成的带状玻璃的移送方向方向转换为横向的带状玻璃的制造方法中，能够抑制带状玻璃的破损。

附图说明

图1是例示本发明的实施方式所涉及的带状玻璃的制造方法的实施状况的侧视图。

图2是表示带状玻璃的表面侧形成凹陷的弯曲状态的侧视图。

图3是表示带状玻璃的表面侧形成凹陷的弯曲状态的俯视图。

图4是表示表面侧形成凹陷的弯曲状态的带状玻璃被向方向转换区域导入的样态的立体图。

图5是表示带状玻璃的表面侧形成突起的弯曲状态的侧视图。

图6是表示表面侧形成突起的弯曲状态的带状玻璃被向方向转换区域导入的样态的立体图。

具体实施方式

以下，基于附图对用于实施本发明的方式进行说明。

图1是例示本发明的实施方式所涉及的带状玻璃的制造方法的实施状况的侧视图。作为带状玻璃的制造方法，在本实施方式中，采用有溢流下拉法，也可以采用其他的下拉法，例如流涎下拉法、再拉法等。

使用的制造装置1的主要构成要素为用于成形带状玻璃2的成形体3、辊R1、辊R2、包围带状玻璃2与成形体3的周围壁4、用于支承及移送带状玻璃2的辊5、6以及输送器7。

成形体3从其下端以下降的方式形成带状玻璃2。在成形体3的下方配置有从两面侧与带状玻璃2抵接的一组辊R1。另外，在带状玻璃2的任一面侧，均为一对辊R1仅与带状玻璃2的宽度方向两端部抵接。辊R1具有冷却带状玻璃2并且限制宽度方向的收缩的功能。

在辊R1的下方，沿上下方向配置有多组(在本实施方式中为5组)从两面侧与带状玻璃2抵接的一组辊R2。另外，在带状玻璃2的任一面侧，均为一对辊R2仅与带状玻璃2的宽度方向两端部抵接。辊R2具有将带状玻璃2向下方延伸的功能。

周围壁4包围辊R1、辊R2、带状玻璃2与成形体3。周围壁4在其下端具有开口部8，经由该开口部8，带状玻璃2逐渐向外部空间送出。周围壁4除了开口部8以外实际上不具有相对于外部空间的开口部，具有例如成形体3的保温功能、带状玻璃2的渐冷功能。

周围壁4的内部空间被成形体3与从成形体3下降的带状玻璃2划分成第一空间S1与第二空间S2。在本实施方式中，虽省略图示，但设有调节第一空间S1与第二空间S2各自的温度、对这些空间S1、S2之间赋予温度差的温度差赋予机构。利用该温度差赋予机构，在带状玻璃2的制造中，以使第一空间S1的温度高于第二空间S2的温度的方式赋予温度差。详见后述，该温度差赋予机构用作使带状玻璃2弯曲的玻璃弯曲机构。

在周围壁4的开口部8的下方，沿着上下方向配置有多组(在本实施方式中为3组)从两面侧与带状玻璃2抵接的一组辊5。另外，在带状玻璃2的任一面侧，均为一对辊5仅与带状玻璃2的宽度方向两端部抵接。

在存在于上述辊5下方的方向转换区域，以侧视大致圆弧状配置有多个(在本实施方式中为6个)另一种辊6，分别与带状玻璃2的下表面抵接。这些辊6各自可以在带状玻璃2的宽度方向整个区域延伸，也可以位于宽度方向的一部分(一个位置或多个位置)。

在这些辊6中的、位于下游端的辊6的横向相邻地配置有输送器7，带状玻璃2的下表面与该输送器7的上表面抵接。输送器7构成为其宽度大于带状玻璃2的宽度。

在基于以上结构的制造装置1的带状玻璃2的制造方法中，在以下降的方式形成带状玻璃2之后，以使带状玻璃2的表背面中的表面成为上表面的方式，将带状玻璃2的移送方向方向转换为横向。带状玻璃2在以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态下被向方向转换区域导入。以下，详细说明该制造方法。

首先，以从成形体3的下端朝向铅垂下方输送的方式形成带状玻璃2。在本实施方式中，此时，带状玻璃2利用辊R1冷却且限制宽度方向的收缩，并在辊R2的作用下向下方延伸。由此，带状玻璃2的除去宽度方向两端部的部位的板厚为300μm以下。此时，带状玻璃2的宽度方向两端部的厚度变得大于上述部位的板厚，将该状态下的宽度方向两端部称作耳部。

然后，利用温度差赋予机构对周围壁4的空间S1、S2赋予温度差，与第二空间S2相比，第一空间S1的温度升高。由此，与第二空间S2相比，第一空间S1的上升气流增强，由此，带状玻璃2成为以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态。

如图2中详细表示那样，维持该弯曲状态地利用辊5的旋转将带状玻璃2向下方向移送。

然后，利用辊6的旋转将带状玻璃2的移送方向从下方方向转换为横向。换句话说，上述的方向转换区域是指配置有该辊6的区域，带状玻璃2被以弯曲状态向该区域导入。需要说明的是，在图2中，附图标记2a表示带状玻璃2的宽度方向端，附图标记2b表示带状玻璃2的弯曲顶点(在后述的图中也相同)。

然后，利用输送器7的回旋运动(在本实施方式中为沿着水平方向)将带状玻璃2沿横向移送。

通过持续以上的动作，能连续地制造带状玻璃2。

对于上述的带状玻璃2的弯曲状态，在本发明中，如图3所示，用带状玻璃2相对于将弯曲状态的带状玻璃2的宽度方向两端部连结的假想直线L的最大分离距离(从假想直线L到弯曲顶点2b的距离)δ来表示。对于最大分离距离δ，将带状玻璃2的表面侧(在该图中为上侧)设为正。该最大分离距离δ满足0＞δ≥-200mm的关系。该关系优选为0＞δ≥-100mm，更优选为0＞δ≥-50mm。该最大分离距离δ的值能够通过调整周围壁4的空间S1、S2的温度差来调整。在本发明中，最大分离距离δ在比最下侧的辊R2靠下部处测定。

在这样的本发明的实施方式所涉及的带状玻璃的制造方法中，能够享受下述那样的效果。

带状玻璃2在满足0＞δ≥-200mm的关系且在以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态下被向用于方向转换的辊6的区域导入。即，带状玻璃2在被向方向转换区域导入时有意地形成为表面侧在宽度方向上凹陷的弯曲形状，因此成为稳定的状态，并且弯曲程度适当。由此，如图4所示，能不对带状玻璃2作用不当的应力地进行方向转换，因此，能够为了方向转换而容易地使带状玻璃2弯曲。因而，能够抑制带状玻璃2的破损。

相对于此，在最大分离距离δ大于0mm的情况(带状玻璃2以其表面侧在宽度方向上突起的方式弯曲的状态)下，会产生下述那样的情况。如图5所示，在将带状玻璃2的移送方向方向转换为横向时，直至用于方向转换的辊6的区域内，维持弯曲状态。而且，在该区域内，在带状玻璃2上产生具有在图6中由网状线所示的应力集中部的鸟嘴那样的形状，以此为起因，带状玻璃2有可能破损。

需要说明的是，最大分离距离δ为0的情况是没有弯曲的状态，对于该状态前文已经叙述，因此省略说明。

另外，在最大分离距离δ小于-200mm的情况下，带状玻璃2的弯曲量过大，在为了方向转换而将带状玻璃2弯曲时产生不当的应力集中，带状玻璃2有可能破损。

玻璃弯曲机构除了上述的温度差之外也可以利用使带状玻璃2的周围产生电场，也可以利用倾斜的成形体3，也可以利用使下端部弯曲的成形体3，还可以利用风压。但是，若考虑成本方面、操作方面，优选利用上述的温度差。

使带状玻璃2以表面侧凹陷的方式弯曲的位置可以处于渐冷中(固化前)，也可以为固化后。但是，为了降低在制造后残存使带状玻璃2弯曲的不良影响(弯曲、内部应力等)的可能性，优选为固化后。

在利用图1所示那样的下拉法制造带状玻璃2的方法中，存在带状玻璃2在其制造过程中弯曲方向在多个位置进行翻转的情况。即便在该情况下，通过控制全部弯曲部中的最大分离距离δ，也能够享有本发明的效果。本发明是用于抑制用于方向转换的区域的、带状玻璃2的玻璃破损的方法，因此，优选控制给该区域的带状玻璃2带来影响的周围壁4的开口部8附近的最大分离距离δ。

本发明的制造方法所使用的下拉法并不特别限定，但为了即便不实施研磨也能够制造表面品质良好的带状玻璃，优选如上述实施方式那样，采用溢流下拉法。能够制造表面品质良好的带状玻璃的理由在于，带状玻璃的应成为表面的面仅与空气接触，在自由表面的状态下成形。

在此，溢流下拉法是这样的方法：使熔融玻璃从作为耐热性的成形体的管状结构物的两侧溢出，使溢出的熔融玻璃在管状结构物的下端合流并且向下方延伸成形，从而制造带状玻璃。管状结构物的结构、材质只要使带状玻璃的尺寸、表面精度实现预定的用途所要求的品质即可，没有特别限定。另外，朝向下方的延伸可以利用任意的方法相对于带状玻璃施加力来实现。例如，可以采用使具有足够大的宽度的耐热性辊在与带状玻璃接触的状态下旋转而进行延伸的方法，也可以采用使形成多对的耐热性辊仅与带状玻璃的宽度方向端面附近接触而进行延伸的方法。

当然，在本发明的制造方法中，也能够采用溢流下拉法以外的下拉法，例如流涎下拉法、再拉法等。

然而，由于随着玻璃的壁厚变薄而玻璃自身持有的热量减少，因此，在下拉法中，在板拉伸中玻璃容易冷却，换言之粘度容易上升。特别是在欲成形最终壁厚为100μm以下那样的带状玻璃的情况下，与成形设备(溢流下拉法的情况下为成形体)分离的玻璃在表面张力的作用下向宽度方向收缩，同时由于急剧的温度降低而粘度显著上升。

因此，为了确保必要的板宽、形成期望的板厚，例如在溢流下拉法中，优选采取加热、保温等方法进行温度管理，以使得刚刚从成形体拉出之后的玻璃的粘度为10^5.0dPa·s以下，特别是10^4.8dPa·s以下、10^4.6dPa·s以下、10^4.4dPa·s以下、10^4.2dPa·s以下、10^4.0dPa·s以下。这样，通过进行温度管理，即便沿带状玻璃的宽度方向施加拉伸应力，也能够无破损地扩宽板宽。另外，能够容易向下方延伸。

另一方面，若玻璃的粘性过低，则带状玻璃容易变形，产生翘曲或起伏，品质降低，不优选。另外，有可能发生被延伸的玻璃的温度升高、之后的冷却速度加速、玻璃的热收缩增大，因此不优选。因而，玻璃的粘度优选为10^3.5dPa·s以上、10^3.7dPa·s以上、10^3.8dPa·s以上、10^3.9dPa·s以上。

本发明的带状玻璃的制造方法包含使带状玻璃渐冷的工序。在渐冷中，若玻璃的冷却速度加速，则热收缩率变大，因此不优选。另一方面，若冷却速度过慢，则生产率变差或者制造工序中的渐冷区域不当地变得过长，因此不优选。为了有效地减小热收缩率，优选使玻璃的粘度10¹⁰～10^14.5dPa·s、特别是10¹¹～10¹⁴dpa·s、进一步是10¹²～10¹⁴dpa·s的温度区域的平均冷却速度为100℃/分钟以下，特别是80℃/分钟以下、50℃/分钟以下、30℃/分钟以下、20℃/分钟以下。另外，优选使平均冷却速度为1℃/分钟以上、2℃/分钟以上、5℃/分钟以上、10℃/分钟以上。需要说明的是，这里所谓的“平均冷却速度”是指用上述的相当于玻璃的粘度区域的温度区域除以玻璃通过所需的时间而得到的温度。

在本发明中，也可以在渐冷中将带状玻璃的移动方向从下方方向转换为横向。通过在渐冷中使带状玻璃方向转换，能够将实现期望的热收缩率所需的充分时间以及距离用于渐冷。也就是说，不会受到在采用下拉法的情况下特有的问题、即高度的制约。

为了使向下方移动的带状玻璃实际上方向转换为横向，能够采用各种方法。例如能够采用沿着由多个辊构成的辊输送器进行方向转换的方法、仅将带状玻璃的宽度方向两端部通过气动输送器引导进行方向转换的方法。另外，也可以不利用辊等对带状玻璃进行引导，通过在自由的状态下弯曲而进行方向转换。

方向转换所需的带状玻璃的曲率半径根据板厚进行调节即可。即，需要板厚越大，越增大曲率半径，相反地，可以板厚越小，越减小曲率半径。

本发明的带状玻璃的制造方法优选具备将渐冷结束后的带状玻璃切断为规定长度的工序。这里所谓的切断并不限于用于将带状玻璃切为与最终用途相适的长度的切断，在采用后述的辊工序的情况下，包含用于伴随辊更换的带状玻璃的切离的切断。需要说明的是，切断能够采用预先利用刀具、激光划下划线之后进行折断的方法或利用激光进行熔断的方法等各种方法。

本发明的带状玻璃的制造方法还能够具备将带状玻璃卷绕为卷形态之后进行切断的工序。在这种情况下，为了防止带状玻璃彼此接触所引起的损伤并且在对卷施加有外压时吸收该外压，期望与衬纸一起卷绕。需要说明的是，就卷绕时的最小曲率半径而言，例如在板厚100μm的带状玻璃的情况下，优选为200mm以下，特别优选为150mm以下、100mm以下、70mm以下、50mm以下，更优选为30mm以下。通过减小曲率半径，从而捆包、搬运效率提高。

另外，除了上述工序之外，根据需要还能够具备各种工序。例如能够具备在渐冷结束后将带状玻璃的宽度方向端部(所谓的耳部)切离的端部分离工序。在该工序中，能够适当地采用通过利用照射激光后冷却产生的热应力来切断玻璃的激光割断、利用激光的能量来熔融玻璃进行切断的激光熔断、利用短脉冲激光的照射使玻璃改性进行切断的方法等连续地切断分离玻璃的端部的方法。在这种情况下，使用的激光可以利用二氧化碳激光，也可以使用YAG激光等。

需要说明的是，激光割断中的激光输出优选调整为利用激光行进的狭缝的发展速度与玻璃的板拉伸速度匹配。速度比=(利用激光发展的狭缝的速度-板拉伸速度)/(板拉伸速度)×100优选为±10％以下、±5％以下、±1％以下、±0.5％以下、±0.1％以下。

另外，也能够采用对带状玻璃的表面进行研磨的研磨工序。但是，在采用溢流下拉法的情况下，由于玻璃表面是锻造面，因此表面品质极其高，不需要研磨工序。另外，在未研磨的状态下供使用的情况下，玻璃的机械强度增高，是优选的。也就是说，玻璃的理论强度本来非常高。然而，多数情况下在远远低于理论强度的应力下也会破坏。其理由在于，在玻璃成形后的工序、例如研磨工序等中在玻璃表面产生被称作格里菲斯微裂纹的较小的缺陷。

利用本发明的带状玻璃的制造方法获得的带状玻璃的板宽优选为500mm以上。在有机EL显示器等中，在一次形成TFT之后，进行按各面板切割的、所谓的多单元，因此，带状玻璃的板宽越大，越能够使每张面板的成本低廉化。带状玻璃的优选的板宽为600mm以上、800mm以上、1000mm以上、1200mm以上、1500mm以上、2000mm以上。

另一方面，若超过3500mm，则难以担保宽度方向上的厚度、表面品质，因此优选为3500mm以下、3200mm以下、3000mm以下。需要说明的是，带状玻璃的板宽能够根据成形体的大小、形状、边缘辊的位置等来调整。需要说明的是，边缘辊是设置于最上段的辊，是通过对从成形体流下来的带状玻璃进行冷却并且赋予宽度方向的张力而控制板宽的辊。

另外，获得的带状玻璃的板厚优选为300μm以下，特别优选为200μm以下、100μm以下、50μm以下。带状玻璃的板厚越薄，越能够进行装置的轻量化。另外，由于使玻璃弯曲时产生的应力值降低，因此能够减小带状玻璃的方向转换所需的曲率半径。这在卷绕带状玻璃而形成卷的情况下也同样。另外，在端部的切离采用激光切断的情况下，能够使必要的输出降低。或者，若输出为恒定，则能够以更快的速度进行切断。然而，若板厚薄于1μm，则无法保持玻璃的机械强度。另外，存在因玻璃成形时的微小的空气流动而引起变形、在该状态下直接固化而产生弯曲等对品质造成不良影响的情况。因而，在以提高强度、品质为目的的情况下，板厚优选为1μm以上、5μm以上、10μm以上、30μm以上、50μm以上、60μm以上。带状玻璃的板厚能够根据玻璃的流量、板拉伸速度来调整。

另外，获得的带状玻璃的最大板厚与最小板厚的板厚差优选为20μm以下，特别优选为10μm以下、5μm以下、2μm以下、1μm以下。在下拉法中，在这样的壁厚偏差相对于某一板宽在恒定的位置处产生的情况下，若该差增大，则在卷绕带状玻璃时仅一部分产生曲率半径稍微不同的部分。当卷绕量逐渐增多时由于因该板厚之差产生的应力有可能对带状玻璃造成破损，因此是不优选的。需要说明的是，带状玻璃的最大板厚与最小板厚的板厚差(壁厚偏差)能够根据渐冷炉内的温度来调整。

另外，获得的带状玻璃的平均表面粗糙度Ra优选为

以下。特别期望为

以下、

以下、

以下、

以下、

以下、

以下。在带状玻璃的平均表面粗糙度Ra超过

的情况下，可能使有机EL装置的显示特性变差。需要说明的是，这里的Ra是使用Veeco社制AFM(Nanoscope III a)在扫描尺寸10μm、扫描速率1Hz、样条曲线512的条件下对带状玻璃的接触面侧的Rmax进行测定而得到的。关于Rmax的测定，以JIS B0601-1982为基准进行。

另一方面，若Ra变小，则在从卷拉出玻璃时，玻璃-衬纸、玻璃-玻璃被连续地剥下，玻璃表面可能带电。若发生这样的带电，则在之后的工序中存在由于产生带电破坏或者气氛中的微粒子吸附于带状玻璃表面而引发问题的情况。在重视这样的带电的用途·工序中，优选使用大气压等离子体处理等使Ra为

以上、

以上、

以上、

以上、

以上、

以上。使用大气压等离子体处理的情况下的平均表面粗糙度Ra例如能够通过源气体(CF₄、SF₄)的浓度等来调整。

另外，获得的带状玻璃的起伏优选为1μm以下。特别期望为0.08μm以下、0.051μm以下、0.03μm以下、0.02μm以下、0.01μm以下。若带状玻璃的起伏较大，则存在有机EL装置的显示特性变差的情况。带状玻璃的起伏能够通过搅拌器的高度、转速、成形体的温度等来调整。需要说明的是，这里的起伏是使用株式会社东京精密社制SURFCOM750A、基于JIS B0601-1982的规格而测定的Wcc的值。

另外，获得的带状玻璃从常温以10℃/分钟的速度升温、在500℃下保持1小时、以10℃/分钟的速度降温至常温时的热收缩率优选为200ppm以下，特别优选为150ppm以下、100ppm以下、80ppm以下、60ppm以下、50ppm以下、45ppm以下、40ppm以下、30ppm以下、20ppm以下、10ppm以下。在热收缩率超过200ppm的情况下，在有机EL显示器中，在形成像素的热工序中有可能产生俯仰偏差等显示缺陷，因此是不优选的。需要说明的是，带状玻璃的热收缩率能够通过使渐冷条件(渐冷速度、渐冷时间、渐冷温度区域等)最佳化而减小。

另外，获得的带状玻璃的端面的表面粗糙度Ra优选为以下、特别优选为

以下、

以下、

以下、

以下、

以下、

以下。若超过

则玻璃从端面破损的概率增高，因此是不优选的。需要说明的是，带状玻璃的端面的表面粗糙度Ra在激光切断的情况下能够通过激光的输出、切断速度来调整。

另外，在构成获得的带状玻璃的玻璃采用溢流下拉法形成的情况下，为了使玻璃在成形中不失透，玻璃的液相温度优选为1200℃以下、1150℃以下、1130℃以下、1110℃以下、1090℃以下，特别优选为1070℃以下，液相温度下的粘度期望为10^5.0dPa·s以上、10^5.6dPa·s以上、10^5.8dPa·s以上，特别优选为10^6.0dPa·s以上。

另外，构成带状玻璃的玻璃的杨氏模量期望为65GPa以上、67GPa以上、68GPa以上、69GPa以上，最佳期望为70GPa以上。

另外，为了实现装置的轻量化，期望构成带状玻璃的玻璃的密度尽可能低，具体来说，期望为2.7g/cm³以下、2.6g/cm³以下、2.5g/cm³以下，特别期望为2.4g/cm³以下。

另外，构成带状玻璃的玻璃为了在装置的制造中与形成在带状玻璃上的各种膜的热膨胀系数匹配，而期望30～380℃的温度范围下的热膨胀系数为25～100×10^-7/℃、30～90×10^-7/℃、30～60×10^-7/℃、30～45×10^-7/℃、30～40×10^-7/℃。

另外，构成带状玻璃的玻璃的作为玻璃的耐热性的指标的应变点期望为600℃以上，特别期望为630℃以上。

满足上述的各种特性的玻璃例如能在以重量百分率计SiO₂：40～80％、Al₂O₃：0～20％、B₂O₃：0～17％、MgO：0～10％、CaO：0～15％、SrO：0～15％、BaO：0～30％的组成范围内制作。这样决定组成范围的理由如下所述。

SiO₂的含有量为40～80％。当SiO₂的含有量增大时，玻璃的熔融、成形变得困难，因此期望为75％以下，优选为64％以下、62％以下，特别优选为61％以下。另一方面，当SiO₂的含有量减少时，难以形成玻璃网眼构造而使玻璃化困难，并且狭缝的产生率升高或者耐酸性变差，因此期望为50％以上，优选为55％以上，特别优选为57％以上。

Al₂O₃的含有量为0～20％。当Al₂O₃的含有量增多时，在玻璃中容易析出失透结晶，液相粘度降低，因此期望为20％以下，优选为18％以下、17.5％以下，特别优选为17％以下。另一方面，当Al₂O₃的含有量减少时，玻璃的应变点降低、杨氏模量降低，因此期望为3％以上，优选为5％以上、8.5％以上、10％以上、12％以上、13％以上、13.5％以上、14％以上，特别优选为14.5％以上。

B₂O₃的含有量为0～17％。当B₂O₃的含有量增高时，应变点降低、杨氏模量变低，耐酸性变差，因此期望为17％以下，优选为15％以下、13％以下、12％以下、11％以下，特别优选为10.4％以下。另一方面，当B₂O₃的含有量变低时，高温粘度升高而熔融性变差，狭缝产生率升高，液相温度升高，密度升高，因此期望为2％以上，优选为3％以上、4％以上、5％以上、7％以上、8.5％以上、8.8％以上，特别优选为9％以上。

MgO的含有量为0～10％。MgO是使玻璃的杨氏模量、应变点提高、且使高温粘度降低的成分，具有使狭缝产生率降低的效果。然而，当大量含有时，液相温度上升、耐失透性降低、耐BHF性变差，因此期望为10％以下、5％以下、3％以下、2％以下、1.5％以下、1％以下、0.5％以下。

CaO的含有量为0～15％。当CaO的含有量增高时，密度、热膨胀系数增高，因此期望为15％以下，优选为12％以下、10％以下、9％以下、8.5％以下。另一方面，当CaO的含有量降低时，熔融性变差、杨氏模量降低，因此优选为含有2％以上、3％以上、5％以上、6％以上、7％以上，特别优选为含有7.5％以上。

SrO的含有量为0～15％。当SrO的含有量升高时，密度、热膨胀系数升高，因此期望为15％以下，优选为12％以下、10％以下、6％以下、5％以下，特别优选为4.5％以下。另一方面，当SrO的含有量降低时，熔融性、耐化学药品性变差，因此优选为含有0.5％以上、1％以上、2％以上、3％以上，特别优选为含有3.5％以上。

BaO的含有量为0～30％。当BaO的含有量升高时，密度、热膨胀系数升高，因此期望为30％以下，优选为25％以下、20％以下、15％以下、10％以下、5％以下、2％以下、1％以下，特别优选为0.5％以下。

当混合含有MgO、CaO、SrO、BaO的各成分时，玻璃的液相温度显著下降，在玻璃中难以产生结晶异物，从而具有改善玻璃的熔融性、成形性的效果。因而，这些的总量较少时，作为熔剂的作用不够充分，熔融性变差，因此期望为含有5％以上、8％以上、9％以上、11％以上，特别期望为含有13％以上。另一方面，当MgO、CaO、SrO、BaO的各成分的总量增多时，密度上升，无法谋求玻璃的轻量化，而且存在狭缝产生率增高的趋势，因此期望以总量计为30％以下、20％以下、18％以下，特别期望为15％以下。另外，特别是在欲实现玻璃的低密度化的情况下，期望总量的下限为5％以上、8％以上，并且其上限为13％以下、11％以下、10％以下。

ZnO是改善熔融性、提高杨氏模量的成分，但大量含有时玻璃容易失透，应变点也降低，而且密度上升，因此是不优选的。因而，ZnO的含有量优选为15％以下、10％以下、5％以下、3％以下、1％以下，特别优选为0.5％以下。

ZrO₂是使杨氏模量提高的成分，但当多于5％时，液相温度上升，容易产生锆石的失透异物，因此是不优选的。ZrO₂的含有量的优选的范围为3％以下，更优选为1％以下，进一步优选为0.5％以下，最优选为0.1％以下。

另外，在上述成分以外，在本发明中，还能够含有5％的Y₂O₃、Nb₂O₃、La₂O₃。这些成分具有提高应变点、杨氏模量等的作用，但较多含有时会导致密度增大，因此是不优选的。

另外，在上述玻璃中，作为澄清剂，能够使用0～3％的从As₂O₃、Sb₂O₃、CeO₂、SnO₂、F、Cl、SO₃的组中选择的一种或者两种以上。但是，从环境的观点出发，应极力抑制As₂O₃、Sb₂O₃以及F、特别是As₂O₃以及Sb₂O₃的使用，应将各自的含有量限制为小于0.1％。因此，优选的澄清剂为SnO₂、SO₃以及Cl。SnO₂的含有量优选为0～1％、0.01～0.5％，特别优选为0.05～0.4％。另外，SnO₂+Cl+SO₃为0.001～1％、0.01～0.5％、0.01～0.3％。

实施例1

本发明人进行了本发明的实施例涉及的带状玻璃的制造方法的评价。本实施例的玻璃是无碱玻璃，其组成是以质量百分率计是SiO₂为60％、Al₂O₃为16％、B₂O₃为10％、MgO为0.3％、CaO为8％、SrO为5％、BaO为0.5％、SnO₂为0.2％。该玻璃的液相温度为1070℃、杨氏模量为73GPa、密度为2.45g/cm³、应变点为650℃、热膨胀系数为38×10^-7/℃(30～380℃)。需要说明的是，“无碱玻璃”是指玻璃组成中的碱金属氧化物的含有量为小于1000ppm的玻璃。

使用上述组成的玻璃原料，利用溢流下拉法以大约600cm/min向下方延伸，形成板宽1600mm且平均板厚为100μm的带状玻璃。将该带状玻璃在通过周围壁的内部空间的温度调整而弯曲的状态下向用于方向转换的区域导入，将该带状玻璃的移送方向从下方方向转换为水平方向而连续地制造。

利用周围壁的内部空间的温度调整来改变弯曲状态(最大分离距离δ)，将各个弯曲状态下的评价结果表示在表1中。表1的评价下的符号的意思如下所述。

◎：玻璃无破损，玻璃的翘曲小

○：玻璃无破损

△：玻璃无破损，产生具有应力集中部的形状

×：玻璃有破损

[表1]

最大分离距离δ[mm]	300	200	100	50	25	50	100	150	200	250	300
												评价	×	×	△	△	◎	◎	○	○	○	×	×

在最大分离距离δ为-250mm以下的情况下，弯曲过大，不能容易地使带状玻璃弯曲，产生玻璃破损。在0＞δ≥-200mm的情况下，不会产生玻璃破损，能够将带状玻璃方向转换为水平方向。特别是，在0＞δ≥-50mm的情况下，能够制造冷却后的翘曲较小的带状玻璃。在δ＞0mm的情况下，产生具有应力集中部的形状(鸟嘴形状)，在施加任意外力的情况下马上发生玻璃破损。另外，即使板厚变薄(例如30μm)，也有可能发生玻璃破损。在δ≥200mm的情况下，从应力集中部发生玻璃破损。

由此确认了，在0＞δ≥-200mm的情况、特别是0＞δ≥-50mm的情况下，能制造优良的带状玻璃。

附图标记说明：

1 制造装置

2 带状玻璃

3 成形体

4 周围壁

5 辊

6 辊(方向转换区域)

L 假想直线

δ 最大分离距离

Claims (4)

1.一种带状玻璃的制造方法，其特征在于，

在以下降的方式形成除宽度方向两端部之外的部位的板厚为300μm以下的带状玻璃之后，以使所述带状玻璃的表背面中的表面为上表面的方式将所述带状玻璃的移送方向方向转换为横向，

所述带状玻璃在以其表面侧在宽度方向上凹陷的方式弯曲的状态下被向用于所述方向转换的区域导入，

所述弯曲状态的带状玻璃在相对于将其宽度方向两端部连结的假想直线的最大分离距离为δ、所述带状玻璃的表面侧为正的情况下，满足0＞δ≥-200mm的关系。

2.根据权利要求1所述的带状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述弯曲状态的带状玻璃满足0＞δ≥-100mm的关系。

3.根据权利要求1所述的带状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述弯曲状态的带状玻璃满足0＞δ≥-50mm的关系。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的带状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述带状玻璃的成形时，对带状玻璃的两面间赋予温度差，从而使所述带状玻璃成为所述弯曲状态。

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