CN103604415A

CN103604415A - 晶舟倾斜自动感应装置

Info

Publication number: CN103604415A
Application number: CN201310506775.1A
Authority: CN
Inventors: 许一峰; 莫保章; 席与凌
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2013-10-23
Filing date: 2013-10-23
Publication date: 2014-02-26

Abstract

本发明提供了一种晶舟倾斜自动感应装置，通过增设感应装置来对晶舟的水平状态进行实时检测，如果晶舟一旦产生倾斜，感应装置的传感器就会将晶舟倾斜的信号传送至控制端，控制端接收到晶舟倾斜的信号时，发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜，需尽快对晶舟做出调整。本发明可实时有效对晶舟的倾斜状态继续检测，避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片，撞片，叠片，进而导致晶片报废。

Description

晶舟倾斜自动感应装置

技术领域

本发明涉及微电子领域，具体涉及一种晶舟倾斜自动感应装置。

背景技术

随着社会的不断进步，高新技术产业日新月异，半导体行业得到了飞速的发展，但是随着半导体行业的不断成熟，市场竞争压力越来越大，如何有效的控制成本，节约能源，增加市场竞争力也显得越来越重要。

在半导体生产过程中，需要用晶舟承载晶片进行生产工艺，但是晶片在晶舟内如果产生倾斜，就容易造成碰撞、摩擦的情况产生。在生产中，如果能够有效的减少破片，撞片，叠片导致的晶片报废，就能从生产成本上降低开支，为企业增加市场竞争能力，同时也能够减少资源浪费，起到节约能源的作用。

现有技术在该领域为了防止晶片报废的方法是在晶舟外增加一个传感器来侦测晶舟内晶片的水平程度。其需要用到SMIF（标准机械接口），该传感器主要包括晶片极限位置传感器和晶片水平传感器，但这些设备只能对晶片在晶舟中的位置进行侦测，从而起到对装有晶片的晶舟进行控制，不会对空晶舟进行侦测。但是当晶舟并没有装载晶片，为空载的情况下，晶片的极限位置侦测传感器与水平位置侦测传感器就会失去其保护作用，无法对空载晶舟的水平状态进行侦测。

在生产过程中，如果空载晶舟一旦由于某种原因产生倾斜，例如：当需要从一道制程跑到另一道制程时，需要更换晶舟，以避免制程间的相互污染，在这情况下将晶片从一个一个正常晶舟传输到一个倾斜晶舟将会导致严重的后果，如若没有加装倾斜传感器的情况下，会直接导致晶舟内的晶片产生撞片，叠片，破片，造成生产事故。由于目前并没有采取措施对空载晶舟的倾斜程度进行侦测及控制，在这种倾斜情况下，若机械手臂还进行传输处理的话，晶片将会受到碰撞、摩擦，导致叠片，撞片，掉片与碎片等危害，对晶片造成损伤，甚至引起生产事故，进而影响了生产。

因此，如何有效地监控晶舟和晶片是否产生倾斜，进而避免生成事故的产生，成了本领域技术人员致力解决的方向。

中国专利（CN201478282U）公开了一种晶舟，包括多个均匀排列的晶片放置槽，所述的晶片放置槽根据所在位置的不同，被划分为不同的区域，不同区域的晶片放置槽上设置不同的标记。采用本实施例所述的晶舟，晶片放置槽上的序号突出醒目，晶片放置槽区域分明，大大降低了错误发生的几率，并且方便我们在测试试验的过程中观察晶片的装载，保证特定的晶片被正确的装载到实验仪器中去，提高了测试的准确性和效率;同时，还可以借助深、浅色带分界处的平行分割线，判断晶片的放置是否水平，避免出现斜放晶片的情况。

但是该专利仅仅是通过在晶舟设置醒目标记来提醒技术人员，该提醒方式比较落后，只能通过肉眼实时观察其标记来判断，而且如果晶舟一旦整体产生倾斜，技术人员可能无法及时发现晶舟的状态，导致生产事故的产生。

发明内容

本发明根据现有技术的不足提供了一种晶舟倾斜自动感应装置，通过在SMIF加装一晶片水平传感器，该传感器包括发射端、接收端、信号灯和控制面板，发射端和接收端位于同一水平线上，且接收端能接收来自发射端发射的光源，如果晶舟产生倾斜，则会在发射端和接收端形成阻挡，接收端无法接收来自发射端发射光源，进而通过信号灯提醒操作人员晶舟已经产生倾斜，以便及时做出调整，放置生产事故的产生。

本发明采用的技术方案为：

一种晶舟倾斜自动感应装置，其中，所述感应装置包括传感器、控制端和信号灯，所述控制端分别与所述传感器和所述信号灯相连；

所述传感器用于检测所述晶舟是否倾斜，并将晶舟是否倾斜的信号反馈至所述控制端，所述控制端根据传感器反馈的信号控制所述信号灯是否发出提醒信息。

上述的感应装置，其中，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述发射端和接收端分别位于晶舟外部的两侧且与所述晶舟互为两个独立的整体；所述发射端和接收端位于同一水平线上。

上述的感应装置，其中，所述光源发射端用于发射一直线光源信号；所述光源信号高于所述晶舟顶部平面且与水平线平行；所述光源接收端用于接收所述光源信号并将信息反馈至所述所述控制端。

上述的感应装置，其中，所述信号灯包括灯光提醒模块和语音提醒模块。

上述的感应装置，其中，所述控制端有一操作面板，所述操作面板用于控制所述传感器和信号灯的工作状态。

上述的感应装置，其中，所述感应装置设置有一标准机械接口。

上述的感应装置，其中，所述传感器包括一组或多组光源发射端和光源接收端。

由于本发明采用了以上技术方案，通过在设置传感器来实时侦测晶舟是否产生倾斜，一旦晶舟产生倾斜，传感器感则发出信号至控制端，控制端通过信号灯来告知工作人员晶舟已经产生倾斜，避免造成损失。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1为本发明在晶舟水平状态下的示意图。

图2为本发明在晶舟倾斜状态下的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

本发明提供了一种晶舟倾斜自动感应装置，如图1所示，该装置配备有一标准机械接口（SMIF），该装置包括多组1传感器、控制端2和信号灯3；控制端2分别与传感器1和信号灯3相连。

其中，每组传感器1均包括一光源发射端4和光源接收端5，光源发射端4和光源接收端5固定在晶舟6的两侧，且与晶舟6互为独立的整体；光源发射端和光源接收端位于同一水平线上，光源发射端4可发出一水平的光源信号7至光源接收端5，且该光源信号7略高于晶舟6顶部的高度。

控制端2判断接收光源发射端4和光源接收端5之间的光源信号7是否正常，根据光源接收端5对光源信号是否接收正常的信号，进而来控制信号灯3是否发出提醒信息来提醒技术人员。如果晶舟6产生倾斜，控制端2内置的控制模块则控制信号灯3发出一种或多种提醒信息来提醒技术人员晶舟产生倾斜；反之则不发出任何提醒信息。

下面就本发明提供一具体实施例进行进一步阐述：

首先将本发明提供的晶舟倾斜自动感应装置的传感器（包括光源发射端4和光源接收端5）固定在晶舟6外部，由于该装置配备有一标准机械接口（SMIF），可方便的进行安装并与现有机台相匹配；同时在传感器的安装过程中，需要保证光源发射端4和光源接收端5位于同一水平线上，并保证光源发射端4发射的光源信号7可正好被光源接收端5所接收，同时该该光源信号7稍稍高于晶舟6的顶部；由于光源发射端4和光源接收端5位于同一水平线上，所以光源发射端4和光源接收端5之间的光源信号7也为水平。

打开控制端2上操作面板上的开关，光源发射端4发射一水平直线的光源信号7至光源接收端5，如果晶舟6没有产生倾斜，则其顶部为水平的，不会在光源发射端4和光源接收端5之间形成阻挡，故光源接收端5可正常接收光源发射端4发射的光源信号7，控制端2接收到光源接收端正常接收光源信号的信息，控制端2的处理模块判断为晶舟6水平状态，不发生相关指令提醒技术人员，如图1所示。

如果晶舟一旦由于某些原因产生倾斜，则晶舟6顶部的一端势必会翘起进而在光源发射端4和光源接收端5之间形成阻挡，导致光源接收端5无法正常接收到光源信号7，控制端2的处理模块接收到光源接收端5没有接收到光源信号7时，则判断晶舟6为倾斜状态，发送指令控制信号灯3发出提醒信息，告知技术人员晶舟6已经产生倾斜，需要及时对其做出调整，避免晶舟内装载的晶片产生撞片、叠片等情况的发生；如图2所示；

同时由于信号灯3内置有灯光提醒模块和语音提醒模块，在晶舟6产生倾斜时，信号灯3可发出一种或多种颜色的灯光和/或语音提醒来及时告知技术人员，通过多种提醒信息可更加快捷的将晶舟产生倾斜的信息传达给技术人员，以便技术人员及时对晶舟做出调整，使晶舟恢复至水平状态。一旦晶舟恢复至初始水平状态时，其顶部为水平，不会在光源发射端和光源接收端形成阻挡，进而光源接收端可正常接收光源发射端发射的光源信号，警报声消除。

综上所述，由于本发明在晶舟增设了感应装置，对晶舟的水平状态进行实时检测，如果晶舟一旦产生倾斜，感应装置的传感器就会将晶舟倾斜的信号传送至控制端，控制端接收到晶舟倾斜的信号时，发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜，需尽快对晶舟做出调整，避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片，撞片，叠片，进而导致的晶片报废，有效降低了生产成本。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims

1.一种晶舟倾斜自动感应装置，其特征在于，所述感应装置包括传感器、控制端和信号灯，所述控制端分别与所述传感器和所述信号灯相连；

所述传感器用于检测所述晶舟是否倾斜，并将晶舟是否倾斜的信号反馈至所述控制端，所述控制端内置一处理模块，所述处理模块根据传感器反馈的信号控制所述信号灯是否发出提醒信息。

2.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述发射端和接收端分别位于晶舟外部的两侧且与所述晶舟互为两个独立的整体；所述发射端和接收端位于同一水平线上。

3.根据权利要求2所述的感应装置，其特征在于，所述光源发射端用于发射一直线光源信号；所述光源信号高于所述晶舟顶部平面且与水平线平行；所述光源接收端用于接收所述光源信号并将信息反馈至所述所述控制端。

4.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述信号灯包括灯光提醒模块和语音提醒模块。

5.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述控制端有一操作面板，所述操作面板用于控制所述传感器和信号灯的工作状态。

6.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述感应装置设置有一标准机械接口。

7.根据权利要求2所述的感应装置，其特征在于，所述传感器包括一组或多组光源发射端和光源接收端。