CN204792724U - 晶舟倾斜自动感应并修正装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶舟倾斜自动感应并修正装置，通过增设感应装置来对晶舟的水平状态进行实时检测，如果晶舟一旦产生倾斜，感应装置的传感器就会将晶舟倾斜的信号传送至控制端，控制端接收到晶舟倾斜的信号时，发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜，需尽快对晶舟做出调整。本实用新型可实时有效对晶舟的倾斜状态继续检测，避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片，撞片，叠片，进而导致晶片报废。

Description

晶舟倾斜自动感应并修正装置

技术领域

本实用新型涉及微电子领域，具体涉及一种晶舟倾斜自动感应并修正装置。

背景技术

随着社会的不断进步，高新技术产业日新月异，半导体行业得到了飞速的发展，但是随着半导体行业的不断成熟，市场竞争压力越来越大，如何有效的控制成本，节约能源，增加市场竞争力也显得越来越重要。

在半导体生产过程中，需要用晶舟承载晶片进行生产工艺，但是晶片在晶舟内如果产生倾斜，就容易造成碰撞、摩擦的情况产生。在生产中，如果能够有效的减少破片，撞片，叠片导致的晶片报废，就能从生产成本上降低开支，为企业增加市场竞争能力，同时也能够减少资源浪费，起到节约能源的作用。

现有技术在该领域为了防止晶片报废的方法是在晶舟外增加一个传感器来侦测晶舟内晶片的水平程度。其需要用到SMIF（标准机械接口），该传感器主要包括晶片极限位置传感器和晶片水平传感器，但这些设备只能对晶片在晶舟中的位置进行侦测，从而起到对装有晶片的晶舟进行控制，不会对空晶舟进行侦测。但是当晶舟并没有装载晶片，为空载的情况下，晶片的极限位置侦测传感器与水平位置侦测传感器就会失去其保护作用，无法对空载晶舟的水平状态进行侦测。

在生产过程中，如果空载晶舟一旦由于某种原因产生倾斜，例如：当需要从一道制程跑到另一道制程时，需要更换晶舟，以避免制程间的相互污染，在这情况下将晶片从一个一个正常晶舟传输到一个倾斜晶舟将会导致严重的后果，如若没有加装倾斜传感器的情况下，会直接导致晶舟内的晶片产生撞片，叠片，破片，造成生产事故。由于目前并没有采取措施对空载晶舟的倾斜程度进行侦测及控制，在这种倾斜情况下，若机械手臂还进行传输处理的话，晶片将会受到碰撞、摩擦，导致叠片，撞片，掉片与碎片等危害，对晶片造成损伤，甚至引起生产事故，进而影响了生产。

因此，如何有效地监控晶舟和晶片是否产生倾斜，进而避免生成事故的产生，成了本领域技术人员致力解决的方向。

中国专利（CN201478282U）公开了一种晶舟，包括多个均匀排列的晶片放置槽，所述的晶片放置槽根据所在位置的不同，被划分为不同的区域，不同区域的晶片放置槽上设置不同的标记。采用本实施例所述的晶舟，晶片放置槽上的序号突出醒目，晶片放置槽区域分明，大大降低了错误发生的几率，并且方便我们在测试试验的过程中观察晶片的装载，保证特定的晶片被正确的装载到实验仪器中去，提高了测试的准确性和效率;同时，还可以借助深、浅色带分界处的平行分割线，判断晶片的放置是否水平，避免出现斜放晶片的情况。

但是该专利仅仅是通过在晶舟设置醒目标记来提醒技术人员，该提醒方式比较落后，只能通过肉眼实时观察其标记来判断，而且如果晶舟一旦整体产生倾斜，技术人员可能无法及时发现晶舟的状态，导致生产事故的产生。

发明内容

本发明根据现有技术的不足提供了一种晶舟倾斜自动感应并修正装置。

本实用新型采用的技术方案为：

一种晶舟倾斜自动感应并修正装置，其特征在于，所述感应装置包括：

水平仪，所述水平仪与所述晶舟固定连接，用以检测所述晶舟是否倾斜；

处理模块，与所述水平仪连接，用以接收所述水平仪反馈的信号，并根据所述信号判断所述晶舟是否倾斜；

控制器，与所述处理模块连接；

机械手，分别与所述控制器和所述晶舟连接；

其中，所述控制器根据所述处理模块的判断结果决定是否控制所述机械手将倾斜晶舟修正至水平位置。

上述的装置，其中，所述感应装置还包括：

信号灯，与所述处理模块连接，所述信号灯根据所述处理模块的判断结果决定是否发出提醒信息。

上述的装置，其中，所述信号灯包括灯光提醒模块和语音提醒模块。

上述的装置，其中，所述控制器有一操作面板，所述操作面板用于控制所述水平仪和信号灯的工作状态。

上述的装置，其中，所述水平仪高于所述晶舟顶部平面且与水平线平行。

上述的装置，其中，所述水平仪与所述晶舟顶部平面平行。

上述的装置，其中，所述水平仪为电子式水平仪。

由于本发明采用了以上技术方案，通过在设置水平仪来实时侦测晶舟是否产生倾斜，一旦晶舟产生倾斜，水平仪则发出信号至处理模块，处理模块将信号传输至控制器，控制器控制机械手修正倾斜的晶舟，并通过信号灯来告知工作人员晶舟已经产生倾斜，避免造成损失。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1为本发明在晶舟水平状态下的示意图。

图2为本发明在晶舟倾斜状态下的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

本发明提供了一种晶舟倾斜自动感应并修正装置，如图1所示，该装置配备有一标准机械接口（SMIF），该装置包括多组水平仪2、处理模块3、控制器4和机械手5；机械手5分别与控制器4和晶舟1相连。

其中，每组水平仪2、处理模块3、控制器4和机械手5行成一个整体，这个整体与晶舟1连接，水平仪2固定在晶舟1一侧，且与晶舟1互为独立的整体；晶舟1的顶部平面与水平仪2位于同一水平线上，也就是说，晶舟1的顶部平面和水平仪2平行，且该水平仪2略高于晶舟1顶部的高度。

处理模块3判断接收水平仪2的信号是否正常，根据处理模块3对水平仪2反馈的信号是否为正常的信号，进而来控制信号灯6是否发出提醒信息来提醒技术人员和一些列的修正动作。如果晶舟1产生倾斜，处理模块3控制信号灯6发出一种或多种提醒信息来提醒技术人员晶舟1产生倾斜；反之则不发出任何提醒信息，且处理模块3将倾斜信号发送至控制器4，由控制器4控制机械手5将倾斜的晶舟1修正至水平位置。

下面就本发明提供一具体实施例进行进一步阐述：

首先将本发明提供的晶舟1倾斜自动感应装置的水平仪2固定在晶舟1外部，由于该装置配备有一标准机械接口（SMIF），可方便的进行安装并与现有机台相匹配；同时在水平仪2的安装过程中，需要保证水平仪2与晶舟1的顶部平面位于同一水平线上，并保证晶舟1顶部略低于水平仪2。

打开控制器4上操作面板上的开关，电子式水平仪工作，如果晶舟1没有产生倾斜，则其顶部为水平的，点知识水平仪2不会发出倾斜的信号，故控制器4接收到晶舟1正常的信号，与控制器4相连的处理模块3判断为晶舟1为水平状态，不发生相关指令提醒技术人员，如图1所示。

如果晶舟1一旦由于某些原因产生倾斜，则晶舟1顶部的一端势必会翘起，进而使得水平仪2与水平线之间有一定的角度，与控制器4相连的处理模块3接收到倾斜信号时，则判断晶舟1为倾斜状态，发送指令控制信号灯发出提醒信息，告知技术人员晶舟1已经产生倾斜，需要及时对其进行检查，避免晶舟1内装载的晶片产生撞片、叠片等情况的发生；且控制器4也接收到处理模块3发来的指令，需要对倾斜的晶舟1进行修正动作，然后控制器4控制机械手5将倾斜的晶舟1修正回水平位置，即使得水平仪2显示为水平状态，如图2所示；

同时由于信号灯6内置有灯光提醒模块和语音提醒模块，在晶舟16产生倾斜时，信号灯6可发出一种或多种颜色的灯光和/或语音提醒来及时告知技术人员，通过多种提醒信息可更加快捷的将晶舟1产生倾斜的信息传达给技术人员，以便技术人员及时对晶舟1做出检查或调整，使晶舟1恢复至水平状态。一旦晶舟1恢复至初始水平状态时，其顶部为水平，水平仪2不会发出倾斜的信号，警报声消除。

综上所述，由于本发明在晶舟增设了水平仪，对晶舟的水平状态进行实时检测，如果晶舟一旦产生倾斜，水平仪会将晶舟倾斜的信号传送至控制器，控制器接收到晶舟倾斜的信号时，发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜，并控制机械手修正倾斜的晶舟，避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片，撞片，叠片，进而导致的晶片报废，有效降低了生产成本。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (7)

1.一种晶舟倾斜自动感应并修正装置，其特征在于，所述感应装置包括：

水平仪，所述水平仪与所述晶舟固定连接，用以检测所述晶舟是否倾斜；

处理模块，与所述水平仪连接，用以接收所述水平仪反馈的信号，并根据所述信号判断所述晶舟是否倾斜；

控制器，与所述处理模块连接；

机械手，分别与所述控制器和所述晶舟连接；

其中，所述控制器根据所述处理模块的判断结果决定是否控制所述机械手将倾斜晶舟修正至水平位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述感应装置还包括：

信号灯，与所述处理模块连接，所述信号灯根据所述处理模块的判断结果决定是否发出提醒信息。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述信号灯包括灯光提醒模块和语音提醒模块。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器有一操作面板，所述操作面板用于控制所述水平仪和信号灯的工作状态。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述水平仪高于所述晶舟顶部平面且与水平线平行。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述水平仪与所述晶舟顶部平面平行。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述水平仪为电子式水平仪。