CN203553122U - 用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置 - Google Patents

用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置 Download PDF

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陈巍
陈群琦
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Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置，包括垂直设置于承载支架上的支撑针，承载支架第一端部设置有一传感器支架，传感器支架上设置有第一传感器，在第一传感器下方承载支架上对应设置有第二传感器，第一传感器和第二传感器位于垂直于承载支架的一直线上；承载支架第二端部高于支撑针的位置设置有第三传感器，在承载支架的第一端部与第三传感器同一水平线的位置上对应设置有第四传感器。本实用新型在原有晶圆运载保护装置上加装一组水平方向的传感器，当晶圆偏斜/斜跨时，保护装置可以感知到晶圆的位置不正常，从而阻止晶圆交接，防止撞片的现象发生。

Description

用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置
技术领域
本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置。
背景技术
晶圆制造设备主要由涂胶、曝光和现象等部分组成。本实用新型涉及的是晶圆成像部分的晶圆制造设备，属于前段制造的瓶颈设备之一，在半导体制造领域起着重要的作用。晶圆成像部分制造设备的核心部分为晶圆的运载装置，晶圆运载装置能否实现晶圆的正常交接会对晶圆产量产生显著的影响，在晶圆生产交接过程中一旦运送发生偏斜/斜跨的情况会导致撞片的故障发生，会严重影响到产品的生产质量和效率，严重时还会引发产品的重制,甚至还会导致产生废片。
现有晶圆生产设备的晶圆运载保护装置在生产运送晶圆过程中只能检测到是否有晶圆位于运载装置，无法检测是否发生晶圆偏斜/斜跨的情况，导致晶圆在生产过程中若晶圆偏斜/斜跨晶圆生产设备的无法停机造成设备故障或产生废片。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能探测到晶圆偏斜/斜跨用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置。
为解决上述技术问题，本实用新型的用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置，包括垂直设置于运载支架1上的支撑针2，运载支架1第一端部3设置有一传感器支架4，传感器支架4上设置有第一传感器5，在第一传感器5下方运载支架1上对应设置有第二传感器6，第一传感器5和第二传感器6位于垂直于运载支架1的一直线上；其中，运载支架1第二端部7高于支撑针2的位置设置有第三传感器8，在运载支架1的第一端部3与第三传感器8同一水平线的位置上对应设置有第四传感器9。
其中，第三传感器8底面与支撑针2顶端的高度差大于零小于等于其所生产晶圆的半径,这样设置能保证晶圆出现偏斜/斜跨时会对第三传感器8和第四传感器9之间的对射光线形成阻挡；
第一传感器5和第二传感器6之间形成竖直的对射光线（例如采用红外光线对射），能感应到生产设备支撑针2上是否有晶圆；第三传感器8和第四传感器9形成水平的对射光线，当生产设备支撑针2上的晶圆出现偏斜/斜跨的情况，偏斜/斜跨的晶圆会对第三传感器8和第四传感器9之间的对射光线形成阻挡，第三传感器8和第四传感器9就能探测偏斜/斜跨的情况的发生，发出报警或停机晶圆生产设备的机械手的运作。
本实用新型在原有晶圆运载保护装置上加装一组水平方向的传感器，当晶圆发生偏斜/斜跨时，保护装置可以感知到晶圆的位置不正常，从而阻止晶圆交接，防止撞片的现象发生。
附图说明
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是一种现有晶圆生产设备晶圆运载保护装置的结构示意图；
图2是本实用新型的结构示意图。
图3是本实用新型的使用状态参考图。
附图标记说明
1 运载支架
2 支撑针
3 运载支架第一端部
4 传感器支架
5 第一传感器
6 第二传感器
7 运载支架第二端部
8 第三传感器
9 第四传感器
a 第三传感器与支撑针的高度差
b 是晶圆
具体实施方式
如图2所示，本实用新型用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置一实施例，包括垂直设置于运载支架1上的支撑针2，运载支架1第一端部3设置有一传感器支架4，传感器支架4上设置有第一传感器5，在第一传感器5下方运载支架1上对应设置有第二传感器6，第一传感器5和第二传感器6位于垂直于运载支架1的一直线上；其中，运载支架1第二端部7高于支撑针2的位置设置有第三传感器8，在运载支架1的第一端部3与第三传感器8同一水平线的位置上对应设置有第四传感器9,第三传感器8底面与支撑针2顶端的高度差a大于零小于等于其所生产晶圆的半径。
如图3所示，当发生晶圆出现偏斜/斜跨的情况，偏斜/斜跨的晶圆b会对第三传感器8和第四传感器9之间的对射光线形成阻挡,触发传感器报警或停机晶圆生产设备的机械手的运作。
以上通过具体实施方式和实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (2)

1.一种用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置，包括垂直设置于承载支架（1）上的支撑针（2），承载支架（1）第一端部（3）设置有一传感器支架（4），传感器支架（4）上设置有第一传感器（5），在第一传感器（5）下方承载支架（1）上对应设置有第二传感器（6），第一传感器（5）和第二传感器（6）位于垂直于承载支架（1）的一直线上；其特征是：
承载支架（1）第二端部（7）高于支撑针（2）的位置设置有第三传感器（8），在承载支架（1）的第一端部（3）与第三传感器（8）同一水平线的位置上对应设置有第四传感器（9）。
2.如权利要求1所述用于晶圆生产设备的晶圆运载保护装置，其特征是：第三传感器（8）底面与支撑针（2）顶端的高度差大于零小于等于其所生产晶圆的半径。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112242313A (zh) * 2019-07-16 2021-01-19 上海先进半导体制造股份有限公司 刻蚀机防止撞片的检测方法及系统

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