CN204216017U - 晶圆对齐装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆对齐装置，所述晶圆对齐装置设有固定装置、移动板和连接所述固定装置和移动板的连接装置，当牵引托板托动所述晶舟盒向上运动时，移动板的底部接触到牵引托板以后，在牵引托板的作用力下，移动板随着所述牵引托板向上运动的同时，会在所述连接装置的作用下向内移动并将滑出的晶圆推回至晶舟盒内。所述晶圆对齐装置结构简单，便于操作，在完成晶圆量测的同时，即完成了晶圆的对齐，大大提高了工作效率。

Description

晶圆对齐装置

技术领域

本实用新型涉及一种半导体工艺设备技术领域，特别是涉及一种晶圆对齐装置。

背景技术

目前，在半导体制备过程中，晶圆必须在各个制程的机台中进行传送，例如，在半导体CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)制备工艺中，晶圆被传送的过程为：晶圆被传送至晶舟盒(Cassette)内，晶舟传送平台(Smif)解锁晶舟盒的底盘，抓取装置(Grip)抓住晶舟盒并将其送入真空腔室(Loadlock)内。

然而，在整个传送过程中，由于晶舟传送平台和机台本身的震动，以及在抓取晶舟盒时抓取装置与晶舟盒的接触碰撞，或放下晶舟盒时晶舟盒与牵引(Index)托板之间的碰撞，都很容易导致晶圆在晶舟盒中的实际位置出现向外偏移。如图1所示，在晶舟盒10传送的过程中，由于外界震动等因素的影响，所述晶舟盒10内放置的晶圆11向外偏出甚至掉落。晶圆位置的偏移，很容易导致机台在抓取传送晶圆的时候发生传送报警；甚至由于晶圆在晶舟盒中位置出现偏移，在晶圆被传送到工艺腔体内的陶瓷圈上的位置也出现偏移，这将导致智能机台监控系统的设备自动化系统停止工作(IEMS EAP hold)，使得产品出现风险和产能的降低。晶圆偏移严重时，甚至会出现晶圆从晶舟盒内掉落，造成产品的报废。

为了在晶圆从所述晶舟盒中出现偏移时能被及时发现，现有技术中提供一种侦测装置，如图2所示，所述侦测装置位于一真空腔室12内，所述真空腔室12底部设有一牵引托板14，适于对传送至所述牵引托板13上的晶舟盒10中的晶圆11进行对齐操作，所述晶舟盒10包括设有晶圆出入端，；所述真空腔室12内设有用于测定所述晶圆11位置的传感器13，所述传感器13包括传感器发射端131和传感器接收端132，所述传感器13发射端131位于所述真空腔室12的顶部，所述传感器13接收端132位于所述真空腔室12的底部。当所述晶舟盒10被放置于所述牵引托板14上以后，所述传感器13发射端131发射信号，所述发射信号的传播路径133沿所述晶舟盒10的侧边向下，当所述晶舟盒10内的晶圆11没有向外偏出时，所述传感器13接收端可以接收到信号；当所述晶舟盒10中的晶圆11向外偏出时，所述传感器13发射端131发射的信号被所述偏出的晶圆11所阻挡，所述传感器13接收端132接收不到信号。若所述传感器13接收端132接收不到所述传感器13发射端131发射的信号，即表示所述晶舟盒10内的晶圆11出现了向外偏移。需要说明的是，此时所述牵引托板14对应于所述传感器13的位置上设有开口，以避免所述传感器13发射端131发射的信号被所述牵引托板14所阻挡。

但在所述真空腔室12内设置传感器13，所述传感器13也只能对所述晶圆11的位置进行大致范围的侦测，在所述晶圆11出现轻微的向外偏移时，所述传感器13不一定能够侦测的到。同时，在所述传感器13侦测到所述晶圆11出现向外偏移时，需要人工进行晶圆复位，这不仅消耗了人力，更影响了生产效率。

鉴于此，有必要设计一种新的晶圆对齐装置用以解决上述技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆对齐装置，用于解决现有技术中由于在样品点所在的正面进行划切切割，极易对样品表面造成污染；切割精度太低，容易损坏样品；以及切割过程操作步骤繁琐，影响工作效率的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆对齐装置，所述晶圆对齐装置位于一真空腔室内，所述真空腔室底部设有一牵引托板，适于对传送至所述牵引托板上的晶舟盒中的晶圆进行对齐操作，所述晶舟盒包括设有晶圆出入端，所述晶圆对齐装置至少包括：固定装置、连接装置和移动板；其中，所述固定装置的顶部固定于所述真空腔室顶部的中心，且与所述真空腔室的顶部相垂直；所述连接装置的一端与所述固定装置转动连接，另一端与所述移动板转动连接；所述连接装置与所述固定装置的夹角θ小于或等于90°；所述移动板位于所述晶舟盒的晶圆出入端，且与所述牵引托板的表面相垂直。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述固定装置为固定杆或固定板。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述移动板的长度L₂大于所述晶舟盒的高度h。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述牵引托板横截面的形状为半径为R₂的圆形，所述牵引托板在一固定的行程内上下移动；所述连接装置的长度L₁大于所述晶舟盒的半径R₁，且小于所述牵引托板的半径R₂与之间的最小值，其中，x为所述牵引托板的最大行程。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述连接装置为两个，所述两个连接装置上下平行设置，且所述两个连接装置之间具有预设间距。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述连接装置为连接杆或连接板。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述连接装置为连接板，所述连接板与所述移动板相连接一端的宽度与所述移动板的宽度相同。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述移动板为塑料移动板。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述移动板靠近所述晶舟盒的一面为 光滑面。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述连接装置的一端与所述固定装置的底部相连接，另一端与所述移动板的顶部相连接。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述固定装置设有凹槽，所述连接装置一端转动连接于所述凹槽靠近所述固定装置底部一侧的内壁上。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述固定装置底端设有弹性装置，适于在所述移动板将所述晶舟盒里的晶圆对齐时，所述弹性装置将所述晶舟盒压紧在所述牵引托板上。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述真空腔室顶部和底部设有位置侦测传感器，且所述位置侦测传感器与所述移动板靠近所述晶舟盒的一侧对齐。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述真空腔室两侧设有量测传感器，所述移动板的下部设有开口，所述开口的顶部高于所述量测传感器所在的位置，以便于所述量测传感器的信号始终穿过所述移动板。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述移动板的表面为曲面，所述移动板曲面的曲率半径大于所述晶圆的半径。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述移动板的底部设有滑轮。

作为本实用新型的晶圆对齐装置的一种优选方案，所述滑轮的个数为4个，分别位于所述移动板底部的两侧及所述开口的两侧。

如上所述，本实用新型的晶圆对齐装置，具有以下有益效果：所述晶圆对齐装置设有固定装置、移动板和连接所述固定装置和移动板的连接装置，当牵引托板托动所述晶舟盒向上运动进行量测的时候，移动板的底部接触到牵引托板以后，在所述牵引托板的作用力下，移动板随着所述牵引托板向上运动的同时向内移动并将滑出的晶圆推回至晶舟盒内；所述移动板设计为曲面，增加了移动板与滑出晶圆的接触面积，使得其对晶圆的作用力更均匀，放置将晶圆推偏；所述移动板靠近所述晶舟盒的一面为光滑面，减小了所述移动板在推动晶圆的过程中对晶圆的摩擦，防止对晶片造成损坏；所述移动板底部设有滑轮，减小了移动板在所述牵引托板上的摩擦力；所述固定装置设有弹性装置，所述弹性装置在所述移动板推动晶圆的时候会将所述晶舟盒压紧在所述牵引托板上，防止晶舟盒在所述移动板的作用下倾斜；所述真空室顶部和底部设有位置侦测传感器，可以在所述晶舟盒随牵引托板向上移动之前侦测晶圆的偏出情况，放置晶圆偏出太严重以至于超出移动板所在位置时对晶圆造成损坏。所述晶圆对齐装置结构简单，便于操作，在完成晶圆量测的同时，即完成了晶圆的对齐，大大提高了工作效率。

附图说明

图1显示为现有技术中晶圆偏出晶舟盒的示意图。

图2显示为现有技术中使用传感器侦测晶舟盒内晶圆位置的示意图。

图3显示为本实用新型的晶圆对齐装置在移动板未接触牵引托板时的结构示意图。

图4显示为本实用新型的晶圆对齐装置在移动板在牵引托板的作用下向上向内移动的示意图。

图5显示为本实用新型的晶圆对齐装置的固定装置与连接装置相连接的左视图。

图6显示为本实用新型的晶圆对齐装置的俯视图。

图7显示为本实用新型的晶圆对齐装置的移动板的结构示意图。

元件标号说明

10                 晶舟盒

11                 晶圆

12                 真空腔室

13                 传感器

131                传感器发射端

132                传感器接收端

14                 牵引托板

15                 晶圆滑出处

20                 真空腔室

21                 牵引托板

22                 晶舟盒

221                晶圆出入端

23                 晶圆

24                 固定装置

241                凹槽

242                螺栓

25                 连接装置

26                 移动板

261                开口

262                滑轮

27                 量测传感器

28                 弹性装置

291                位置侦测传感器发射端

292                位置侦测传感器接收端

θ                 连接装置与固定装置的夹角

L₁                 连接装置的长度

L₂                 移动板的长度

h                  晶舟盒的高度

R₁                 晶舟盒的半径

R₂                 牵引托板的半径

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图3至图7。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

请参阅图3，图3为所述晶圆对齐装置在移动板26未接触牵引托板21时的结构示意图，由图3可知，本实用新型提供一种晶圆对齐装置，所述晶圆对齐装置位于一真空腔室20内，所述真空腔室20底部设有一牵引托板21，适于对传送至所述牵引托板21上的晶舟盒22中的晶圆23进行对齐操作，所述晶舟盒22包括设有晶圆出入端221，所述晶圆对齐装置至少包括：固定装置24、连接装置25和移动板26；其中，所述固定装置24的顶部固定于所述真空腔室20顶部的中心，且与所述真空腔室20的顶部相垂直；所述连接装置25的一端与所述固定装置24转动连接，另一端与所述移动板26转动连接；所述连接装置25与所述固定装置 24的夹角θ始终小于或等于90°；所述移动板26位于所述晶舟盒22的晶圆出入端221，且与所述牵引托板21的表面相垂直。

具体的，所述固定装置24可以为固定杆或固定板。

具体的，所述牵引托板21横截面的形状为半径为R₂的圆形，所述连接装置25的长度L₁要大于所述晶舟盒22的半径R₁，以确保连接于所述连接装置25一端的移动板26始终位于所述晶圆出入端221。所述连接装置25的长度L₁还应小于所述牵引托板21的半径R₂，以确保在所述牵引托板21上移至所述移动板26底部所在的高度时，所述移动板26的底部能够与所述牵引托板21相接触，使得所述移动板26能够在所述牵引托板21的作用下向上运动。同时，由于牵引托板21具有一个固定的行程，为了保证在所述牵引托板21推动所述晶舟盒22移动至最大行程处时所述移动板26至少能正好将偏出的晶圆推回原位，所述连接装置25的长度L₁还应该满足其中，x为所述牵引托板21的行程。因此，当所述牵引托板21的半径R₂大于所述牵引托板21的行程x时，所述连接装置25的长度L₁应该满足 当所述牵引托板21的半径R₂小于所述牵引托板21的行程x时，所述连接装置25的长度L₁应该满足R₁＜L₁≤R₂。

具体的，所述移动板26的长度L₂应远大于所述晶舟盒22的高度h，优选地，本实施例中，所述移动板26的长度L₂等于所述牵引托板21位于最小行程时上表面距离所述固定装置24底部的距离。

具体的，所述连接装置25为两个，所述两个连接装置25呈上下平行设置，且所述两个连接装置25之间具有预设间距。所述连接装置25可以为连接杆也可以为连接板。

具体的，所述连接装置25的一端与所述固定装置24的底部相连接，另一端与所述移动板26的顶部相连接。

具体的，所述移动板26可以为金属板、陶瓷板、塑料板等等，优选地，本实施例中，所述移动板26为塑料板。将所述移动板26设计为塑料板，是因为塑料本身的硬度较小，在所述移动板26与所述晶圆23接触的时候不会对所述晶圆23造成损坏。

具体的，所述移动板26至少靠近所述晶舟盒22的一面为光滑面。将所述移动板26至少靠近所述晶舟盒22的一面为光滑面，是为了在所述移动板26与滑出的晶圆23接触时，减小所述移动板26与所述晶圆23的作用力，减小所述移动板26对所述晶圆23的摩擦，防止对所述晶圆23造成不必要的损坏。

具体的，所述移动板26的表面为曲面，且所述移动板26的曲率半径大于所述晶圆23的半径。将所述移动板26的表面设计为曲面，且要求所述移动板26的曲率半径大于所述晶圆 23的半径，是为了在所述移动板26与所述晶圆23接触时，增加所述移动板26与所述晶圆23的接触面积，使得所述晶圆23的受力点更多，受力更加均匀，这样的设计可以放置所述晶圆23被所述移动板26推偏。

具体的，当所述移动板26在所述牵引托板21及所述连接装置25的共同作用下向上向内移动至将所述晶圆23推回至预定位置后，如果所述移动板26还继续向上向内移动，所述移动板26会对所述晶舟盒22施加作用力，如果此时所述晶舟盒22只是被放置在所述牵引托板21上，在所述移动板26的作用力下，所述晶舟盒22可能会发生倾斜。为了防止这一现象的发生，可以在所述固定装置24的底部设置一个弹性装置28。如图4所示，当所述晶舟盒22在所述牵引托板21的作用下向上运动并接触到所述弹性装置28以后，所述晶舟盒22会压缩所述弹性装置28，同时，所述弹性装置28会对所述晶舟盒22施加一个反向的作用力，这样，所述晶舟盒22会被所述弹性装置28压紧在所述牵引托板21上，即使此时所述晶舟盒22受到所述移动板26的作用力也不会发生倾斜。

具体的，所述真空腔室20的顶部和底部还设有位置侦测传感器，所述位置侦测传感器包括位置侦测传感器发射端291和位置侦测传感器接收端292。所述位置侦测传感器发射端291位于所述真空腔室20的顶部，所述位置侦测传感器接收端292位于所述真空腔室20的底部。且所述位置侦测传感器发射端与所述移动板26靠近所述晶舟盒22的一侧上下对齐，以确保所述位置侦测传感器发射端291发出的信号可以沿着所述移动板26靠近所述晶舟盒22一侧的表面传送。在所述真空腔室20的顶部和底部还设有所述位置侦测传感器发射端，且限定所述位置侦测传感器与所述移动板26靠近所述晶舟盒22的一侧上下对齐，可以在所述晶舟盒22随着所述牵引托板21向上运动之前，使用所述位置侦测传感器初步侦测一下所述晶舟盒22内的晶圆23的偏出情况，如果位于所述真空腔室20底部的位置侦测传感器接收端292接收不到位于所述真空腔室20顶部的位置侦测传感器发射端291发出的信号，说明有晶圆偏出至所述位置侦测传感器所对应的位置。由于所述位置传感器与所述移动板26靠近所述晶舟盒22的一侧上下对齐，据此可以推断，所述晶圆23此时也已经偏出至所述移动板26所对应的位置。如果此时继续使所述牵引托板21托动所述晶舟盒22向上运动，所述移动板26会碰到所述偏出的晶圆23，使得所述晶圆23从所述晶舟盒22中掉落而破损掉。如果所述位置侦测传感器侦测到有晶圆偏出，应该将所述晶舟盒22从所述真空腔室20内退出，人工将偏出的晶圆归位，再将所述晶舟盒22传送至所述真空腔室20内，直至所述位置侦测传感器没有侦测到有晶圆偏出，才启动所述牵引托板21向上运动。在所述真空腔室20的顶部和底部还设有位置侦测传感器，可以在有晶圆偏出位置严重时及时的侦测到，有效地避免了对晶圆造成的损坏。

请参阅图5至图6，其中，图5为所述固定装置24与所述连接装置25相连接的左视图，图6为所述晶圆对齐装置的俯视图。由图5和图6可知，所述固定装置24设有凹槽241，所述连接装置25为两个，所述连接装置25的一端转动连接于所述凹槽241靠近所述固定装置24的内壁上，且其中一个所述连接装置25的一端连接于所述凹槽241靠近所述固定装置24底部一侧的内壁上。所述连接装置25在转动连接于所述凹槽241的内壁上时，需要保证所述连接装置25只能围绕连接点上下转动，而不能在所述凹槽241内发生上下滑动。本实施例中，可以通过一螺栓242将所述连接装置25转动连接于所述凹槽241的内壁上。在所述固定装置24上设置凹槽241，并将一个所述连接装置25转动连接与所述凹槽241靠近所述固定装置24底部一侧的内壁上，可以确保所述移动板26在未接触牵引托板21时，在自身重力的作用下带动所述连接装置25向下运动至最低端时，所述连接装置25与所述固定装置24之间的最大夹角θ小于或等于90°。

具体的，如图6所示，所述连接装置25为连接板，所述连接板与所述移动板26相连接一端的宽度与所述移动板26的宽度相同。所述固定装置24可以与图6所示为固定杆，其宽度的小于所述移动板26的宽度，此时，所述连接板如图6中所示，为扇形结构。但所述固定装置24和所述连接板的结构并不仅限于这一种形式，所述固定装置24也可以为固定板，其宽度可以大于或等于所述移动板26的宽度，此时所述连接板连接所述移动板26一端的宽度和连接所述固定板一端的宽度可以相等。本实施例中，所述连接装置25为连接板，且所述连接板与所述移动板26相连接一端的宽度与所述移动板26的宽度相同，可以确保在所述移动板26受到所述牵引托板21向上推力的作用时，所述连接装置25施加给所述移动板26两侧向内拉的作用力是均匀的，有效地防止所述移动板26因受力不均匀发生一侧偏移，进而将偏出的晶圆23推偏掉。将所述连接装置25设计为上下平行的两个，可以使得所述移动板26在上下方向受力相对比较均匀，可以有效地防止由于所述移动板26底部受到摩擦力而使得所述移动板26上下两端不能同步移动现象的发生。

请结合图3参阅图7，所述晶舟盒22被传送至所述真空腔室20内以后需要进行量测来读取所述晶舟盒22内晶圆的信息，整个量测过程需要借助量测传感器27来完成。所量测传感器27设置于所述真空腔室20的两侧一定高度的位置处，在量测时，所述牵引托板21托动所晶舟盒22向上移动，当所述晶舟盒22经过所述量测传感器27所在的位置时，即可以被所述量测传感器27所发出的信号量测到。因此，为了不影响所述量测传感器27对所述晶舟盒22内晶圆23的量测，所述移动板26不能阻挡所述量测传感器27所发出的信号。为了实现这一目的，可以在所述移动板26的下部开设开口261，所述开口261的顶部高于所述量测传感器27所在的位置，以便于所述量测传感器27的信号始终穿过所述移动板26。

具体的，所述移动板26的底部可以设置有滑轮262，在所述移动板26的底部设置所述滑轮262，可以减小所述移动板26与所述牵引托板21之间的摩擦力，使得所述移动板26的底部与顶部始终保持同步运动，不会发生倾斜。优选地，本实施例中，所述滑轮262的个数为4个，分别位于所述移动板26底部的两侧及所述开口261的两侧。将所述滑轮262的个数为4个，并分别设置于所述移动板26底部的两侧及所述开口261的两侧，可以使所述移动板26在水平方向上的各点受到的向上的作用力更均匀，防止所述移动板26在向上移动的时候发生偏移。

所述晶圆对齐装置的工作原理可以参阅图3至图4，具体为：首先如图3所示，使用所述位置侦测传感器初步侦测所述晶圆23的偏出情况，如果侦测到有晶圆偏出，将所述晶舟盒22从所述真空腔室20内退出，人工将偏出的晶圆归位，再将所述晶舟盒22传送至所述真空腔室20内；如果所述位置侦测传感器没有侦测到有晶圆偏出，启动所述牵引托板21向上运动。当所述晶舟盒22在所述牵引托板21的作用下向上运动，所述牵引托板21未与所述移动板26相接触时，所述移动板26在自身重力的作用下呈自然下垂状态，此时，所述连接装置25在自身重力及所述移动板26的重力作用下被拉至最下端，所述连接装置25与所述固定装置24之间的夹角θ达到最大，为90°。接着，如图4所示，随着所述牵引托板21继续向上运动，所述牵引托板21与所述移动板26的底部相接触，并推动所述移动板26向上运动，根据动杆结构在进行轴向方向位移时会产生水平位移的原理，所述移动板26向上运动的同时，会在所述连接装置25的作用下同时向内运动，即向所述晶舟盒22的方向运动。随着所述移动板26向上向内运动，所述移动板26可以移动至与所述晶舟盒22中的所用晶圆23的边缘均相接触。在整个移动的过程中，如果有晶圆23偏出所述晶舟盒22，所述移动板26就可以将其推回至原来在所述晶舟盒22的位置，最终实现所有晶圆23的对齐。

综上所述，本实用新型提供一种晶圆对齐装置，所述晶圆对齐装置设有固定装置、移动板和连接所述固定装置和移动板的连接装置，当牵引托板托动所述晶舟盒向上运动进行量测的时候，移动板的底部接触到牵引托板以后，在所述牵引托板的作用力下，移动板随着所述牵引托板向上运动的同时向内移动并将滑出的晶圆推回至晶舟盒内；所述移动板设计为曲面，增加了移动板与滑出晶圆的接触面积，使得其对晶圆的作用力更均匀，放置将晶圆推偏；所述移动板靠近所述晶舟盒的一面为光滑面，减小了所述移动板在推动晶圆的过程中对晶圆的摩擦，防止对晶片造成损坏；所述移动板底部设有滑轮，减小了移动板在所述牵引托板上的摩擦力；所述固定装置设有弹性装置，所述弹性装置在所述移动板推动晶圆的时候会将所述晶舟盒压紧在所述牵引托板上，防止晶舟盒在所述移动板的作用下倾斜；所述真空室顶部和底部设有位置侦测传感器，可以在所述晶舟盒随牵引托板向上移动之前侦测晶圆的偏出情况， 放置晶圆偏出太严重以至于超出移动板所在位置时对晶圆造成损坏。所述晶圆对齐装置结构简单，便于操作，在完成晶圆量测的同时，即完成了晶圆的对齐，大大提高了工作效率。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (17)

1.一种晶圆对齐装置，位于一真空腔室内，所述真空腔室底部设有一牵引托板，适于对传送至所述牵引托板上的晶舟盒中的晶圆进行对齐操作，所述晶舟盒包括晶圆出入端，其特征在于，所述晶圆对齐装置至少包括：固定装置、连接装置和移动板；

其中，所述固定装置的顶部固定于所述真空腔室顶部的中心，且与所述真空腔室的顶部相垂直；

所述连接装置的一端与所述固定装置转动连接，另一端与所述移动板转动连接；所述连接装置与所述固定装置的夹角θ小于或等于90°；

所述移动板位于所述晶舟盒的晶圆出入端，且与所述牵引托板的表面相垂直。

2.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述固定装置为固定杆或固定板。

3.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述移动板的长度L₂大于所述晶舟盒的高度h。

4.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述牵引托板横截面的形状为半径为R₂的圆形，所述牵引托板在一固定的行程内上下移动；所述连接装置的长度L₁大于所述晶舟盒的半径R₁，且小于所述牵引托板的半径R₂与之间的最小值，其中，x为所述牵引托板的最大行程。

5.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述连接装置为两个，所述两个连接装置上下平行设置，且所述两个连接装置之间具有预设间距。

6.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述连接装置为连接杆或连接板。

7.根据权利要求6所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述连接装置为连接板，所述连接板与所述移动板相连接一端的宽度与所述移动板的宽度相同。

8.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述移动板为塑料移动板。

9.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述移动板靠近所述晶舟盒的一面为光滑面。

10.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述连接装置的一端与所述固定装置的底部相连接，另一端与所述移动板的顶部相连接。

11.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述固定装置设有凹槽，所述连接装置一端转动连接于所述凹槽靠近所述固定装置底部一侧的内壁上。

12.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述固定装置底端设有弹性装置，适于在所述移动板将所述晶舟盒里的晶圆对齐时，所述弹性装置将所述晶舟盒压紧在所述牵引托板上。

13.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述真空腔室顶部和底部设有位置侦测传感器，且所述位置侦测传感器与所述移动板靠近所述晶舟盒的一侧对齐。

14.根据权利要求1所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述真空腔室两侧设有量测传感器，所述移动板的下部设有开口，所述开口的顶部高于所述量测传感器所在的位置，以便于所述量测传感器的信号始终穿过所述移动板。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述移动板的表面为曲面，所述移动板曲面的曲率半径大于所述晶圆的半径。

16.根据权利要求15所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述移动板的底部设有滑轮。

17.根据权利要求16所述的晶圆对齐装置，其特征在于：所述滑轮的个数为4个，分别位于所述移动板底部的两侧。