CN202710683U - 静电测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种静电测试装置，包括测试探头和至少一个测距定位模块，测距定位模块和所述测试探头设置在静电测试装置的同一个面；至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块，所述第一测距定位模块包括第一激光发射头和第一激光接收头；所述第一激光发射头和第一激光接收头之间的距离为2L₁；第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L₁与α之间的关系满足下列关系式：L₁=H×ctgα；其中，H是静电测试装置的工作距离。在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。

Description

静电测试装置

技术领域

本实用新型涉及测试装置，尤其涉及静电测试装置。

背景技术

静电是半导体、液晶面板及其他精密工业生产中重要的管控因素。在液晶面板的生产过程中，玻璃基板所产生的静电会带来不利的影响，主要表现在两个方面，一方面玻璃基板的高静电会破坏玻璃基板表面的电路，另一方面带静电的玻璃基板会吸附空气中游荡的带电颗粒，造成产品不良。因此，需要对液晶面板生产过程中产生的静电进行管控，进行静电的测量和消除。

传统的静电测试装置分为接触式和非接触式。对玻璃基板表面进行静电测试时，因为玻璃基板表面有微米级别的微小电路，为防止破坏电路，不能采用接触式静电测试装置。非接触式静电测试装置，为了准确的测量静电值要求其在进行静电测试时静电测试装置的测试探头所在面需要与被测平面平行且之间保持一定的距离。传统的非接触式静电测试装置一般为光束相交式，即静电测试装置射出两束光线，射到被测平面上，待两束光线相交时认为达到了静电测试装置的工作距离，如图1所示，读取此时静电测试装置上的静电值示数。一方面，传统的非接触式静电测试装置本身存在不足，在两束光线相交时，只能说明两束光线发光点所在直线与被测平面平行，测试探头所在面与所述被测平面不一定平行且可能存在多种位置关系（即此时测试探头与被测平面的距离不确定），导致测试探头测出的静电值存在偏差。另一方面，在传统的非接触式静电测试装置的工作过程中，静电测试装置射出的两束光线照射到物体表面上发生漫反射，光漫反射后人眼才能看到光束，从而来判断光束是否相交。在液晶面板生产中的某些工艺阶段产品为透明的玻璃基板，玻璃基板表面光滑，射出的光线不能发生漫反射；并且光束透过玻璃基板，所以人眼看不到反射的光束，不能判断光束是否相交。因此传统的静电测试装置，对于透明的玻璃基板而言，不能准确地判断测试探头与被测平面的距离，进而不能准确透明的玻璃基板所携带的静电。

实用新型内容

本实用新型提供一种静电测试装置，通过测距定位模块，使得在进行静电测试时静电测试装置的测试探头所在面需要与被测平面平行且之间保持一定的距离，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面（包括透明的和不透明的被测平面）的静电值。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种静电测试装置，包括测试探头和至少一个测距定位模块，所述测距定位模块和所述测试探头设置在所述静电测试装置的同一个面；所述至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块，所述第一测距定位模块包括第一激光发射头和第一激光接收头；所述第一激光发射头和第一激光接收头之间的距离为2L₁；所述第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L₁与α之间的关系满足下列关系式：L₁=H×ctgα；其中，H是静电测试装置的工作距离。

优选的，所述至少一个测距定位模块还包括第二测距定位模块；

所述第二激光发射头和第二激光接收头之间的距离为2L₂；所述第二激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β；L₂与β之间的关系满足下列关系式：L₂=H×ctgβ。

优选的，所述静电测试装置的工作距离H为0.5厘米～5厘米。

优选的，α为30°～80°；β为30°～80°。

优选的，α=β。

优选的，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线之间的夹角是任意角度。

优选的，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线平行。

优选的，所述静电测试装置的工作距离H为2.5厘米；所述第一测距定位模块与所述第二测距定位模块在同一条直线上，α=β=60°。

优选的，所述静电测试装置的工作距离H为2.5厘米；所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线之间的夹角是90°，α=β=60°。

本实用新型的静电测试装置的有益效果如下：在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。根据反射原理，满足上述要求的静电测试装置，在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线。这样，第一测距定位模块使得测试探头所在面与被测平面之间距离为H，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面（包括透明的和不透明的被测平面）的静电值。

附图说明

图1为传统的非接触式静电测试装置的正常工作时的示意图；

图2为本实用新型的一个实施例的静电测试装置工作时的示意图；

图3为本实用新型的另一个实施例的静电测试装置工作时的示意图；

图4为图3所示的静电测试装置工作时的左视图；

图5为本实用新型的又一个实施例的静电测试装置工作时的示意图；

图6为图5所示的静电测试装置工作时的左视图。

主要元件符号说明：

100第一测距定位模块；110第一激光发射头；120第一激光接收头；

200第二测距定位模块；210第二激光发射头；220第二激光接收头；

300测试探头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

本实用新型的一个实施例的静电测试装置，如图2所示，包括测试探头和至少一个测距定位模块，测距定位模块和测试探头设置在静电测试装置的同一个面；

所述至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块100，第一测距定位模块100包括第一激光发射头110和第一激光接收头120；所述第一激光发射头110和第一激光接收头120之间的距离为2L₁；所述第一激光发射头110所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L₁与α之间的关系满足下列关系式：L₁=H×ctgα；

其中，H是静电测试装置的工作距离。

在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。在测试探头所在面与被测平面之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离H时，静电测试装置开始测试被测平面的静电值。根据反射原理，满足上述要求的静电测试装置，在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线；而在测试探头所在面与被测平面不平行或平行但之间距离不是H时，第一激光接收头接收不到与第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线。这样，第一测距定位模块使得测试探头所在面与被测平面之间距离为H，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。

无论被测平面是透明的被测平面还是不透明的被测平面，都会对激光进行反射，激光接收头通过接收反射光，能够有效定位测试探头所在面，使得测试探头所在面和被测平面（包括透明平面和不透明平面）与测试探头所在面平行且之间的距离为H，为测试探头准确测试静电值提供了条件。

静电测试装置还包括静电测试模块和显示模块。在使用静电测试装置对透明的玻璃基板进行静电测试时，将测试探头所在面平行靠近透明的玻璃基板表面，上下移动静电测试装置。当第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线，表明测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离，静电测试模块对静电进行测试，显示模块亮起且显示静电值；可以读取当前的静电值。当显示模块不亮，则需要继续调整测试探头所在面与被测平面之间的距离，直至显示模块亮起。

实施例二

如图3和图4所示，本实用新型的另一个实施例的静电测试装置，包括测试探头300，第一测距定位模块100和第二测距定位模块200；

第一测距定位模块100包括第一激光发射头110和第一激光接收头120，第二测距定位模块200包括第二激光发射头210和第二激光接收头220；

第一激光发射头110和第一激光接收头120之间的距离为2L₁；第一激光发射头110所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L₁与α之间的关系满足下列关系式：L₁=H×ctgα；

第二激光发射头210和第二激光接收头220之间的距离为2L₂；第二激光发射头210所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β；L₂与β之间的关系满足下列关系式：L₂=H×ctgβ，

其中，H是静电测试装置的工作距离。

在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。在测试探头所在面与被测平面之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离H时，静电测试装置开始测试被测平面的静电值。根据反射原理，满足上述要求的静电测试装置，在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线，同时第二激光接收头接收到由第二激光发射头发射经被测平面反射的反射线。这样，测距定位模块使得测试探头所在面与被测平面之间距离为H，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。第一测距定位模块100和第二测距定位模块200，使得本实施例的静电测试装置能够更加准确地将测试探头所在面定位，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。

作为一种可选的方式，如图3和图4所示，静电测试装置的工作距离H为2.5厘米；第一测距定位模块100与第二测距定位模块200在同一条直线上，α=β=60°。

在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H；之后，结合静电测试装置的尺寸，确定L₁和L₂；这样α和β也就随之确定。在确定L₁和L₂时，也要来考虑α和β，避免α和β过大或过小，以保证第一激光接收头和第二激光接收头能接收到足够强度的反射线。

作为一种可选的方式，如图5和图6所示，静电测试装置的工作距离H为2.5厘米；第一测距定位模块100所在直线与第二测距定位模块200所在直线之间的夹角是90°，α=β=60°。

作为一种可选的方式，静电测试装置的工作距离H为0.5厘米～5厘米。根据静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。

作为一种可选的方式，α为30°～80°；β为30°～80°。α和β在此范围内，能够保证第一激光接收头和第二激光接收头能接收到足够强度的反射线。

作为一种可选的方式，α=β。这样，可以简化静电测试装置生产的复杂程度。

作为一种可选的方式，第一测距定位模块所在直线与第二测距定位模块所在直线平行。根据静电测试装置的尺寸和布置，设置述第一测距定位模块所在直线与第二测距定位模块所在直线之间的位置关系。

作为一种可选的方式，第一测距定位模块所在直线与第二测距定位模块所在直线之间的夹角是任意角度。根据静电测试装置的尺寸和布置，设置述第一测距定位模块所在直线与第二测距定位模块所在直线之间的夹角。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种静电测试装置，包括测试探头，其特征在于，还包括：至少一个测距定位模块，所述测距定位模块和所述测试探头设置在所述静电测试装置的同一个面；

所述至少一个测距定位模块包括第一测距定位模块，所述第一测距定位模块包括第一激光发射头和第一激光接收头；所述第一激光发射头和第一激光接收头之间的距离为2L₁；所述第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L₁与α之间的关系满足下列关系式：L₁=H×ctgα；

其中，H是静电测试装置的工作距离。

2.如权利要求1所述的静电测试装置，其特征在于，所述至少一个测距定位模块还包括第二测距定位模块；

所述第二激光发射头和第二激光接收头之间的距离为2L₂；所述第二激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β；L₂与β之间的关系满足下列关系式：L₂=H×ctgβ。

3.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为0.5厘米～5厘米。

4.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，α为30°～80°；β为30°～80°。

5.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，α=β。

6.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线之间的夹角是任意角度。

7.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线平行。

8.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的 工作距离H为2.5厘米；所述第一测距定位模块与所述第二测距定位模块在同一条直线上，α=β=60°。

9.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为2.5厘米；所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位模块所在直线之间的夹角是90°，α=β=60°。 

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