CN103597122A

CN103597122A - 氟气生成装置

Info

Publication number: CN103597122A
Application number: CN201280028631.3A
Authority: CN
Inventors: 北拓也; 宫崎达夫; 八尾章史
Original assignee: Central Glass Co Ltd
Current assignee: Central Glass Co Ltd
Priority date: 2011-06-10
Filing date: 2012-05-17
Publication date: 2014-02-19
Also published as: WO2012169330A1; EP2719798A1; JP5757168B2; US20140083844A1; EP2719798A4; US9194050B2; JP2012255195A; KR20140013074A

Abstract

本发明提供一种氟气生成装置（100），该氟气生成装置（100）包括：筒状构件（31a），其使主产气体流通；气体导入口（51a），其用于将上述主产气体导入到筒状构件（31a）；气体导出口（52a），其用于从筒状构件（31a）导出主产气体；吸附剂保持器（201），其以形成用于确保在筒状构件（31a）中流通的主产气体流路的空间的方式配置；搅拌叶片（202），其用于搅拌从气体导入口（51a）流入的主产气体；以及气流引导筒（203），其用于使主产气体在筒状构件（31a）内的空间中循环或者扩散。

Description

氟气生成装置

技术领域

本发明涉及一种能够没有浪费地有效使用吸附剂的氟气生成装置。

背景技术

以往公知有一种这样的氟气生成装置：包括用于使氟化氢在由含有氟化氢的熔融盐构成的电解浴中电解的电解槽，使阳极侧产生以氟气为主要成分的主产气体，并且使阴极侧产生以氢气为主要成分的副产气体。

在这种氟气生成装置中，在从电解槽的阳极产生的氟气中混入了自熔融盐气化而成的氟化氢气体（HF）。因此，为了自从阳极产生的气体中分离氟化氢而精制氟气，设有精制装置，该精制装置包括填充有氟化钠（NaF）等吸附剂（除害剂）的除害塔。

在自电解槽产生的氟气、氢气中含有自电解槽中所含有的熔融盐气化而成的氟化氢、熔融盐自身的雾气成分，这些成分成为吸附剂劣化的原因。特别是，由于与浓度较高的氟化氢的接触而导致除害塔入口附近的吸附剂因熔化而固化、因体积膨胀而微粉化，存在因这些原因而发生吸附剂的堵塞的情况。若发生这样的堵塞，则会发生以下问题，气体的流动受到抑制，引起除害塔闭塞。

作为改善该问题点的技术，在专利文献1中公开了一种这样的技术：将在除害塔中填充有氟化钠（NaF）等吸附剂的氟气生成装置做成这样的结构，即，设有使气体导入口和吸附剂之间形成空间的隔离部件，使雾气成分的液滴扩散、沉降到该空间内，使熔融盐的雾气成分的液滴和吸附剂难以接触，抑制吸附剂的堵塞从而减少除害塔的维护频率。

专利文献1：日本特开2009－215588号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1所述的密实地填充有吸附剂的除害塔的结构中，一旦气体导入口附近的吸附剂发生堵塞，则不能使HF充分地吸附于气体导出口附近的吸附剂，除害塔会闭塞。一旦除害塔闭塞，则需要将除害塔解体而对填充在内部的吸附剂全部进行更换。

在将除害塔解体而更换吸附剂的情况下，从混入到吸附剂中的杂质等质量的观点考虑，通常是一旦使用过的吸附剂含有无法充分吸附HF的吸附剂，就要将吸附剂全部废弃、更换。

因此，在专利文献1的结构中，在更换吸附剂的过程中，存在由废弃全部吸附剂引起的未吸附HF的吸附剂的损失，存在难以没有浪费地有效使用填充在除害塔中的全部吸附剂这样的问题点。

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够没有浪费地有效使用用于吸附除去氟化氢的吸附剂的氟气生成装置。

用于解决问题的方案

即，本发明是一种氟气生成装置，其通过将含有氟化氢的熔融盐中的氟化氢电解而生成氟气，其特征在于，上述氟气生成装置包括：电解槽，其通过在由含有氟化氢的熔融盐构成的电解浴中将氟化氢电解而使阳极侧产生以氟气为主要成分的主产气体，并且使阴极侧产生以氢气为主要成分的副产气体；以及精制装置，其利用吸附剂除去混入到上述主产气体中的氟化氢，上述精制装置包括：筒状构件，其使上述主产气体流通；气体导入口，其用于将上述主产气体导入到上述筒状构件；气体导出口，其用于从上述筒状构件导出上述主产气体；吸附剂保持器，其以形成用于确保在上述筒状构件中流通的上述主产气体流路的空间的方式配置；搅拌部件，其用于搅拌从上述气体导入口流入的上述主产气体；以及气流引导筒，其用于使上述主产气体在上述筒状构件内的空间中循环或者扩散。

此外，本发明优选的是，上述气流引导筒是两端面开口的筒形状，其以沿着上述筒状构件的内周面延伸的方式设置。

此外，本发明优选的是，上述搅拌部件在从上述气体导入口流入的上述主产气体的流入方向上位于上述气体导入口和上述吸附剂保持器之间。

此外，本发明也可以是，设有循环路径，该循环路径使从上述筒状构件内排出来的上述主产气体的一部分循环并将其再次导入到上述筒状构件内。

发明的效果

采用本发明，由于供主产气体流通的筒状构件的内部空间被搅拌，在该内部空间中具有高效地使主产气体循环或者扩散的气流引导筒，因此，能够防止高浓度的氟化氢与吸附剂直接接触而使吸附剂劣化。因而，能够提供一种没有浪费地有效使用吸附剂的氟气生成装置。

附图说明

图1是本发明的实施方式的氟气生成装置的系统图。

图2是本发明的实施方式的精制装置的概略图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。参照图1对本发明的实施方式的氟气生成装置100进行说明。

氟气生成装置100通过将含有氟化氢的熔融盐电解而生成氟气，将生成的氟气供给到外部装置4。作为外部装置4，例如是半导体制造装置，在这种情况下，氟气例如在半导体的制造工序中用作清洁气体。

氟气生成装置100包括通过电解生成氟气的电解槽1、用于将自电解槽1生成的氟气供给到外部装置4的氟气供给系统2以及用于对随着氟气的生成而生成的副产气体进行处理的副产气体处理系统3。

首先，对电解槽1进行说明。在电解槽1中储存有含有氟化氢（HF）的熔融盐。通过改变储存在电解槽1中的熔融盐的组成，能够适当地改变自电解槽1产生的氟化合物气体的组成。作为熔融盐，可采用以通式KF·nHF（n＝0.5～5.0）表示的组成。例如在使用NH₄F·HF熔融盐的情况下能够得到三氟化氮（NF₃），或者在使用NH₄F·KF·HF熔融盐的情况下能够得到F₂和NF₃的混合物。下面，在本发明的实施方式中，使用氟化氢和氟化钾的混合熔融盐（KF·2HF）作为熔融盐来进行说明。

电解槽1的内部被浸渍在熔融盐中的区划壁6区划为阳极室11和阴极室12。在阳极室11的熔融盐中浸渍有阳极7，在阴极室12的熔融盐中浸渍有阴极8。通过从电源9向阳极7和阴极8之间供给电流，在阳极7处生成以氟气（F₂）为主要成分的主产气体，在阴极8处生成以氢气（H₂）为主要成分的副产气体。阳极7例如采用碳电极，阴极8采用熟铁（日语：軟鉄）、蒙乃尔合金或者镍。

在电解槽1内的熔融盐液面上，利用区划壁6以彼此的气体无法往来的方式区划有第1气室11a和第1气室12a，该第1气室11a用于导入在阳极7处生成的氟气，该第2气室12a用于导入在阴极8处生成的氢气。这样，为了防止由氟气和氢气的混合接触引起的反应而利用区划壁6完全隔离第1气室11a和第2气室12a。相对于此，阳极室11和阴极室12的熔融盐未被区划壁6隔离，而经由区划壁6的下方相连通。

由于KF·2HF的熔点为71.7℃，因此，优选将熔融盐的温度调节到91℃～93℃。氟化氢自熔融盐气化与蒸气压的量相当的量而分别混入自电解槽1的阳极7生成的氟气和自阴极8生成的氢气中。这样，在阳极7处生成且被导入到第1气室11a中的氟气及在阴极8处生成且被导入到第2气室12a中的氢气中均含有氟化氢气体。

接着，对氟气供给系统2进行说明。在第1气室11a上连接有用于将氟气向外部装置4供给的第1主通路15。

在第1主通路15中设有用于自第1气室11a导出氟气而输送该氟气的第1泵17。第1泵17可采用波纹管泵、隔膜泵等容积式泵。在第1主通路15中的第1泵17的上游设有用于收集混入到氟气中的氟化氢而精制氟气的精制装置20。精制装置20之后详细说明。

接着，对副产气体处理系统3进行说明。在第2气室12a上连接有用于将氢气向外部排出的第2主通路30。

在第2主通路30中设有用于自第2气室12a导出氢气而输送该氢气的第2泵31。在第2主通路30中的第2泵31的下游设有除害部34，由第2泵31输送来的氢气在除害部34中被吸附除去氟化氢，进行无害化后被排出。

氟气生成装置100还包括原料供给系统5，该原料供给系统5用于向电解槽1的熔融盐中供给补充作为氟气的原料的氟化氢。下面，对原料供给系统5进行说明。

电解槽1通过原料供给通路41与储存有用于向电解槽1中补充的氟化氢的氟化氢供给源40相连接。储存在氟化氢供给源40中的氟化氢经由原料供给通路41被供给到电解槽1的熔融盐中。

此外，在原料供给通路41上连接有载气供给通路46，该载气供给通路46用于将从载气供给源45供给来的载气引导到原料供给通路41内。载气是用于将氟化氢从氟化氢供给源40导入到熔融盐中的气体，可采用作为非活性气体的氮气。氮气与氟化氢一同被供给到阴极室12的熔融盐中，氮气几乎不溶解于熔融盐中而从第2气室12a经由第2主通路30被排出。

接着，对精制装置20进行说明。精制装置20是使混入到氟气中的氟化氢吸附于氟化钠（NaF）等吸附剂，除去混入到氟气中的氟化氢的装置。下面，参照图2详细说明本发明的精制装置20。

如图2所示，精制装置20包括能够使气体流通的筒状构件31a，在筒状构件31a上连接有用于导入在阳极7处生成的氟气的主产气体导入口51a以及用于导出氟气的主产气体导出口52a。此外，在筒状构件31a的内部还设有用于收容保持用于吸附氟化氢的吸附剂205的吸附剂保持器201、用于将流入的氟气搅拌混合的搅拌叶片202（搅拌部件）以及用于使氟气在筒状构件31a内的空间中有效地循环或者扩散的气流引导筒203。

吸附剂保持器201用于收容保持规定量的吸附剂205，其在筒状构件31a的内部以形成用于确保气体流路的空隙的方式配置。由此，成为即使在吸附剂205的一部分发生了堵塞的情况下也能够使气体流通而不会闭塞的构造。此外，吸附剂保持器201也可以空开某一恒定的间隔地设有多个。

并且，为了增大吸附剂205的与在筒状构件31a的内部流通的气体接触的表面积的比例，优选的是在吸附剂保持器201中设贯通孔（未图示）。这里所说的贯通孔只要是能够保持吸附剂205且孔的大小能够供气体通过，就没有特别的限制，能够适当地设计。此外，考虑到吸附剂205的与气体接触的表面积的比例，吸附剂保持器201优选为多孔状、网格状。

作为吸附剂保持器201的具体的形状，只要能够确保筒状构件31a的内部的气体流路且能够收容保持吸附剂205，就没有特别的限制，例如能够列举出向由金属丝网（网格状）制作的球状、圆筒状的笼型构件中填充吸附剂205的形式，向盆状的容器等盆状构件中填充吸附剂205的形式，在片状的金属（包含网格状）等中夹入吸附剂205的形式等。

就吸附剂保持器201设于筒状构件31a的内部的方法而言，只要以形成用于确保气体流路的空隙的方式配置，就没有特别的限制，例如能够列举出将吸附剂保持器201吊在筒状构件31a的内部空间内的方法，将吸附剂保持器201固定于筒状构件31a的内壁地设置的方法等。

考虑到在吸附剂保持器201中设贯通孔时的加工性、将吸附剂保持器201设置于筒状构件的容易性、填充吸附剂的容易性等实用方面的操作，吸附剂保持器201特别优选为盆状构件。这里所说的盆状构件表示能够收容物体的扁平的容器，只要能够收容吸附剂，就并不特别限定于大致圆形、大致四边形等形状，能够根据筒状构件的形状适当地设计。

气流引导筒203用于在搅拌叶片202的搅拌作用下使流入的氟气在筒状构件31a的内部空间中高效地循环或者扩散。气流引导筒203是两端面开口的筒形状，只要能够使气体循环或者扩散，形状就没有特别的限制，能够适当地设计。如图2所示，配置气流引导筒203的位置例如在筒状构件31a的长度方向上以气流引导筒203的外周面沿着筒状构件31a的内周面延伸的方式配置则较佳。通过做成该结构，如图2中的箭头所示，能够使氟气沿着气流引导筒203的内周面和外周面形成气流，因此能够更有效地使气体循环或者扩散。

此外，利用搅拌叶片202搅拌后的氟气经由气流引导筒203更有效地扩散或者循环。其结果，能够使氟化氢与吸附剂205充分地接触而将其充分地吸附除去。

就设置搅拌叶片202的位置而言，搅拌叶片202在从主产气体导入口51a流入的氟气的流入方向上位于主产气体导入口51a和吸附剂保持器201之间则较佳。采用本结构，能够防止含有高浓度的氟化氢的氟气与收容在吸附剂保持器201中的吸附剂205直接接触。其结果，能够更有效地防止吸附剂205因固化而劣化、因微粉化而发生堵塞。

搅拌叶片202的转速优选为300rpm～2000rpm，更优选为600rpm～1500rpm。在搅拌叶片202的转速小于300rpm的情况下，无法将筒状构件31a内的氟气均匀地混合而无法充分地吸附氟化氢，气体导出口51a处的氟化氢浓度升高，因此并不理想。另一方面，在搅拌叶片202的转速大于2000rpm的情况下，搅拌叶片202会发生轴抖动而无法搅拌，因此并不理想。另外，能够通过改变搅拌叶片202的转速来进行调整，在筒状构件31a的内部流通的气体的平均线速度优选为0.03m／秒～5.0m／秒，更优选为0.05m／秒～2.0m／秒。此外，在筒状构件31a的内部流通的气体的平均线速度使用通常的市面上销售的风速计来测定则就好。

搅拌叶片202只要能够将在筒状构件31a的内部流通的氟气搅拌混合，就没有特别的限制，例如作为具体的形状，能够列举出桨叶（平）型、涡轮型、螺杆型、带型等通常的形状。

此外，作为搅拌部件，除了利用搅拌叶片202进行搅拌混合之外，也可以做成使用搅拌棒进行搅拌混合的结构，另外设置泵使气体在内部循环来搅拌混合的结构，或者使筒状构件31a的内部产生温度梯度，利用该温度梯度在内部制造气流来进行搅拌混合的结构。其中，为了更加简便且高效地搅拌气体，优选使用搅拌叶片。

另外，在图2中，主产气体导入口51a和主产气体导出口52a之间的位置关系为均设于筒状构件31a的同一个面侧的结构，但该位置关系并没有特别的限定，例如也可以将主产气体导入口51a和主产气体导出口52a分别设于筒状构件31a的相对面侧，或者分别设于筒状构件31a的相邻的侧面。

氟气在筒状构件31a内的逗留时间应根据操作的装置的条件适当地设定，但作为通常的条件，优选为10分钟～100分钟，更优选为20分钟～75分钟。在逗留时间短于10分钟时，无法充分地确保与吸附剂205的接触时间，出口的HF浓度变高，无法充分发挥作为精制装置的功能。在逗留时间长于100分钟时，精制装置与对于气体处理量相对应地变得过大，因此并不适合。此外，筒状构件31a的容积应与主产气体的流量和主产气体在筒状构件31a内的逗留时间相结合地适当设计。

此外，这里所说的筒状构件表示的是这样的容器：在内部收容用于吸附氟化氢的吸附剂，使自电解槽1产生的氟气通过，用于吸附除去氟气中的氟化氢，形状等并没有特别的限制。作为筒状构件的材质，优选对于氟气和氟化氢气体具有抗性的材质，例如能够列举出不锈钢、蒙乃尔合金、镍等金属或者合金等。

吸附剂205可以采用由氟化钠（NaF）构成的颗粒状的物质（NaF颗粒）。由于氟化钠的吸附能力根据温度发生变化，因此，在筒状构件31a的周围作为用于调整筒状构件31a的内部温度的温度调节器设有加热器41a。温度调节器只要能够调整筒状构件31a的内部温度，就没有特别的限定，例如也可以使用加热器、蒸气加热、利用热介质或者冷却介质的加热冷却装置。

此外，作为吸附剂205所采用的药剂，也可以使用NaF、KF、RbF、CsF等碱金属氟化物，其中特别优选为NaF（氟化钠）。一般来讲，氟化钠的对氟化氢的吸附能力根据温度发生变化，越是低温，吸附能力越高。例如通常的设定温度被设定为20℃～100℃，在设定温度高于100℃的情况下，吸附剂无法充分地吸附HF。

就本发明的精制装置20而言，由于在筒状构件31a的内部流通的气体能够充分地循环或者扩散，含有高浓度的HF的氟气不会接触于吸附剂，因此，即使在20℃～30℃左右的常温下吸附HF，也能够抑制NaF颗粒因固化而劣化或微粉化。因此，本发明的精制装置20能够在将筒状构件31a的内部设定为常温程度的低温而提高了NaF颗粒的吸附能力的状态下高效地吸附HF。

其他的变形例

除了上述本发明的实施方式之外，作为其他的变形例，也可以设置使从筒状构件31a内排出来的主产气体的一部分循环并将其再次导入到筒状构件31a内的循环路径53a。

作为使从筒状构件31a排出来的主产气体的一部分循环的方法，没有特别的限定，但图2所示的使用压缩泵206或者鼓风机（未图示）等的方法，简便且普通而较为理想。此外，也可以适当地在循环路径53a中设置阀等（未图示）。

通过做成上述其他的变形例的结构，能够使在筒状构件31a内流通的主产气体更加均匀地混合，进一步没有浪费地高效使用吸附剂。

此外，作为另一个其他的变形例，也可以关于设置两个以上本发明的精制装置20，在利用NaF颗粒吸附HF之后接着通过加热使NaF颗粒再生（HF脱离）的一连串的精制工序，将各个精制装置切换地交替使用。

本发明并不限定于上述的实施方式，明显能够在该技术思想的范围内进行各种改变。

例如，精制装置也可以设于生成氟气的阳极侧和生成氢气的阴极侧，或者仅设于产生氢气的阴极侧。此外，例如当然也可以在本发明的精制装置的后段还另外设置精制装置来使用。

产业上的可利用性

本发明可以应用于生成氟气的装置。

实施例

下面，利用实施例详细说明本发明，但本发明并未被该实施例所限定。

对可以应用于图2所示的本发明的实施方式的精制装置进行了精制能力试验。作为精制能力试验，测定了反复使用的精制装置的气体导入口和气体导出口处的气体所含有的氟化氢浓度。

实施例1

在安装有使气体循环或者扩散的气流引导筒的直径200mmφ×长度1500mm的筒状构件（反应容积量15L）的内部，以在筒状构件的内部形成确保气体流路的空间的方式设置5层由网格（网眼间隔1mm）制作的托盘型容器（吸附剂保持器201）。另外，托盘型容器使用方形盆状的形状的器具，相对于高度20mm的容器，以颗粒状的氟化钠（NaF颗粒）的体积为50%的方式填充该氟化钠（NaF颗粒）。另外，气流引导筒和托盘型容器使用不锈钢制的器具。

如图2所示，气流引导筒是长度方向两端面开口的筒状，其一端侧具有大致圆锥状的锥形部，其另一端侧的开口部使用大致圆形状的形态。气流引导筒配置为，使该锥形部位于设于筒状构件的气体导入口侧的位置，筒状构件和气流引导筒的轴线方向相同，气流引导筒的外周面沿着筒状构件的内周面延伸。

并且，如图2所示，搅拌叶片以在从气体导入口流入的气体的流入方向上位于气体导入口和吸附剂保持器之间的方式配置在气流引导筒的一端侧的开口部。另外，搅拌叶片的直径是与气流引导筒的一端的开口部的大小实质上同等的大小（气流引导筒是将一端侧做成锥形状而将气体的流路缩窄至搅拌叶片的直径的结构），使用了直径100mm的螺杆型的构件。此外，将搅拌叶片的转速设定为每分钟600转，使筒状构件的内部的气体线速度为0.05m/s地实施气体搅拌。气体线速度是使用设置在托盘的第3层和第4层之间的位置的风速计测定的。

像上述那样，做成下面这样的结构进行了精制能力试验：在筒状构件的内部设置气流引导筒，利用搅拌叶片使流入到筒状构件的气体充分地循环或者扩散，高浓度的氟化氢不与吸附剂接触。

作为样本气体，使被氮气稀释了的9%的氟化氢气体以在筒状构件内部的逗留时间为30分钟的方式流通。此时，未将筒状构件加热。利用傅立叶变换红外光谱（FT－IR）对气体出口的氟化氢浓度进行了分析。

接着，利用设于筒状构件的外周的加热器将筒状构件的温度调整到250℃，使氮气以在筒状构件内部的逗留时间为3分钟的方式流通，对吸附于吸附剂（氟化钠）的氟化氢进行了脱附操作。

并且，将同样的使氟化氢吸附于吸附剂的吸附工序和氟化氢的脱附工序进行5次，在各个次数下测定了氟化氢浓度。在脱附工序结束之后，对内部的NaF颗粒实施了观察。反复试验使被氮气稀释了的9%的氟化氢气体以0.55L/min流通合计3000L。即使在5次的反复精制试验中，也没能发现内部填充的NaF颗粒的微粉化、粘连等。此外，5次全部的次数下的气体导出口的氟化氢浓度为5000ppm以下。

此外，在精制试验结束之后，对收容有吸附了HF的NaF颗粒的各个托盘容器的重量增加量实施测量（HF吸附之后的重量增加测定）时，发现各托盘的重量增加量为相同程度。

根据该结果，通过使用本发明的精制装置，能够在不对精制装置的筒状构件进行加热，而在常温且吸附性能力较高的状态下更高效地进行HF的吸附工序。此外，由于反复精制试验结束之后的各托盘容器的重量增加均是相同程度，因此，可知在本发明的精制装置中，不是在局部的部分吸附HF，而是在所有的托盘容器中大致均等地吸附HF，减小对吸附剂的负荷，能够将吸附剂高效地使用到最后。

比较例1

除了在筒状构件内不设置搅拌叶片和气流引导筒之外，在与实施例1同样的实验条件下进行了精制能力试验。

其结果，从气体刚刚开始流入之后，气体导出口的氟化氢浓度成为9000ppm左右，无法充分地吸附氟化氢，并未获得充分的精制能力。

此外，与实施例1同样，在使9%的氟化氢气体以0.55L/min流通了合计3000L之后，将筒状构件解体而观察收容保持在其内部的NaF颗粒时，收容在接近气体导入口的位置的NaF颗粒的一部分出现由粘连引起的固化，确认了吸附剂的劣化。

根据“实施例1”和“比较例1”可知，通过使精制装置的筒状构件内部处于搅拌状态并设置使气体循环或者扩散的引导筒，既能够确保充分的精制能力，又能够防止吸附剂的劣化，高效地完全用尽吸附剂直到最后。

附图标记说明

100、氟气生成装置；1、电解槽；2、氟气供给系统；3、副产气体供给系统；4、外部装置；5、原料供给系统；7、阳极；8、阴极；11a、第1气室；12a、第2气室；15、第1主通路；17、第1泵；20、精制装置；30、第2主通路；31、第2泵；51a、主产气体导入口；52a、主产气体导出口；201、吸附剂保持器；202、搅拌叶片；203、气流引导筒；205、吸附剂。

Claims

1.一种氟气生成装置，其通过将含有氟化氢的熔融盐中的氟化氢电解而生成氟气，其特征在于，

上述氟气生成装置包括：

电解槽，其通过在由含有氟化氢的熔融盐构成的电解浴中将氟化氢电解而使阳极侧产生以氟气为主要成分的主产气体，并且使阴极侧产生以氢气为主要成分的副产气体；以及精制装置，其利用吸附剂除去混入到上述主产气体中的氟化氢，

上述精制装置包括：

筒状构件，其使上述主产气体流通；

气体导入口，其用于将上述主产气体导入到上述筒状构件；

气体导出口，其用于从上述筒状构件导出上述主产气体；

吸附剂保持器，其以形成用于确保在上述筒状构件中流通的上述主产气体流路的空间的方式配置；

搅拌部件，其用于搅拌从上述气体导入口流入的上述主产气体；以及

气流引导筒，其用于使上述主产气体在上述筒状构件内的空间中循环或者扩散。

2.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其特征在于，

上述气流引导筒是两端面开口的筒形状，其以沿着上述筒状构件的内周面延伸的方式设置。

3.根据权利要求1或2所述的氟气生成装置，其特征在于，

上述搅拌部件在从上述气体导入口流入的上述主产气体的流入方向上位于上述气体导入口和上述吸附剂保持器之间。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氟气生成装置，其特征在于，

设有循环路径，该循环路径使从上述筒状构件内排出来的上述主产气体的一部分循环并将其再次导入到上述筒状构件内。