JP2012255195A - フッ素ガス生成装置 - Google Patents
フッ素ガス生成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012255195A JP2012255195A JP2011129663A JP2011129663A JP2012255195A JP 2012255195 A JP2012255195 A JP 2012255195A JP 2011129663 A JP2011129663 A JP 2011129663A JP 2011129663 A JP2011129663 A JP 2011129663A JP 2012255195 A JP2012255195 A JP 2012255195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cylindrical member
- adsorbent
- hydrogen fluoride
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25B1/00—Electrolytic production of inorganic compounds or non-metals
- C25B1/01—Products
- C25B1/24—Halogens or compounds thereof
- C25B1/245—Fluorine; Compounds thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25B9/00—Cells or assemblies of cells; Constructional parts of cells; Assemblies of constructional parts, e.g. electrode-diaphragm assemblies; Process-related cell features
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
- B01D53/685—Halogens or halogen compounds by treating the gases with solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B7/00—Halogens; Halogen acids
- C01B7/19—Fluorine; Hydrogen fluoride
- C01B7/20—Fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25B15/00—Operating or servicing cells
- C25B15/08—Supplying or removing reactants or electrolytes; Regeneration of electrolytes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/112—Metals or metal compounds not provided for in B01D2253/104 or B01D2253/106
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/26—Halogens or halogen compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
- B01D2257/204—Inorganic halogen compounds
- B01D2257/2047—Hydrofluoric acid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
【解決手段】主生ガスを流通させる筒状部材31aと、筒状部材31aに前記主生ガスを導入するガス導入口51aと、筒状部材31aから主生ガスを導出するガス導出口52aと、筒状部材31aを流通する主生ガスの流路を確保する空間を形成するように配置された吸着剤保持具201と、ガス導入口51aから流入した主生ガスを攪拌するための攪拌羽根202と、主生ガスを筒状部材31a内の空間に循環又は拡散させるためのガス流案内筒203と、を有することを特徴とするフッ素ガス生成装置100。
【選択図】図2
Description
上記の本発明の実施の形態以外に、他の変形例として、筒状部材31a内から排出される主生ガスの一部を循環させ、再び筒状部材31a内に導入させる循環経路53aを設けるようにしてもよい。
ガスを循環又は拡散させるガス流案内筒を装着した直径200mmφ×長さ1500mmの筒状部材(反応容積量15L)の内部に、メッシュ(網目間隔1mm)で作製したトレイ型容器(吸着剤保持具201)を、筒状部材の内部にガスの流路を確保する空間を形成するようにして5段設置した。なお、トレイ型容器には、角型盆状の形状のものを使用し、容器の高さ20mmに対して、ペレット状のフッ化ナトリウム(NaFペレット)の嵩が50%となるように充填した。なお、ガス流案内筒およびトレイ型容器はステンレス製のものを使用した。
筒状部材内に、攪拌羽根及びガス流案内筒を設置しない以外は実施例1と同様な実験条件で精製能力試験を行った。
1 電解槽
2 フッ素ガス供給系
3 副生ガス供給系
4 外部装置
5 原料供給系
7 陽極
8 陰極
11a 第1気室
12a 第2気室
15 第1メイン通路
17 第1ポンプ
20 精製装置
30 第2メイン通路
31 第2ポンプ
51a 主生ガス導入口
52a 主生ガス導出口
201 吸着剤保持具
202 攪拌羽根
203 ガス流案内筒
205 吸着剤
Claims (4)
- フッ化水素を含む溶融塩中のフッ化水素を電気分解することによって、フッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、
前記フッ素ガス生成装置は、
フッ化水素を含む溶融塩からなる電解浴中でフッ化水素を電解することによって陽極側にフッ素ガスを主成分とする主生ガスを発生させると共に、陰極側に水素ガスを主成分とする副生ガスを発生させる電解槽と、
前記主生ガスに混入したフッ化水素を吸着剤によって除去する精製装置と、を備え、
前記精製装置は、
前記主生ガスを流通させる筒状部材と、
前記筒状部材に前記主生ガスを導入するガス導入口と、
前記筒状部材から前記主生ガスを導出するガス導出口と、
前記筒状部材を流通する前記主生ガスの流路を確保する空間を形成するように配置された吸着剤保持具と、
前記ガス導入口から流入した前記主生ガスを攪拌するための攪拌手段と、
前記主生ガスを前記筒状部材内の空間に循環又は拡散させるためのガス流案内筒と、を有することを特徴とするフッ素ガス生成装置。 - 前記ガス流案内筒が、両端面が開口した筒形状であり、前記筒状部材の内周面に沿うように設けられたことを特徴とする請求項1に記載のフッ素ガス生成装置。
- 前記攪拌手段が、前記ガス導入口から流入する前記主生ガスの流入方向において、前記ガス導入口と前記吸着剤保持具の間に位置していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のフッ素ガス生成装置。
- 前記筒状部材内から排出される前記主生ガスの一部を循環させ、再び前記筒状部材内に導入させる循環経路を設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のフッ素ガス生成装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011129663A JP5757168B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | フッ素ガス生成装置 |
US14/112,850 US9194050B2 (en) | 2011-06-10 | 2012-05-17 | Fluorine gas generator |
CN201280028631.3A CN103597122A (zh) | 2011-06-10 | 2012-05-17 | 氟气生成装置 |
KR1020137033044A KR20140013074A (ko) | 2011-06-10 | 2012-05-17 | 불소 가스 생성 장치 |
PCT/JP2012/062592 WO2012169330A1 (ja) | 2011-06-10 | 2012-05-17 | フッ素ガス生成装置 |
EP12797054.9A EP2719798A4 (en) | 2011-06-10 | 2012-05-17 | FLUOR GAS GENERATOR |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011129663A JP5757168B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | フッ素ガス生成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012255195A true JP2012255195A (ja) | 2012-12-27 |
JP5757168B2 JP5757168B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=47295899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011129663A Active JP5757168B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | フッ素ガス生成装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9194050B2 (ja) |
EP (1) | EP2719798A4 (ja) |
JP (1) | JP5757168B2 (ja) |
KR (1) | KR20140013074A (ja) |
CN (1) | CN103597122A (ja) |
WO (1) | WO2012169330A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2021131816A1 (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-01 | ||
US20240157284A1 (en) | 2021-03-02 | 2024-05-16 | Resonac Corporation | Hydrogen fluoride gas removal device and method for removing hydrogen fluoride gas |
US20240139670A1 (en) | 2021-03-02 | 2024-05-02 | Resonac Corporation | Hydrogen fluoride gas removal device and method for removing hydrogen fluoride gas |
CN113880049B (zh) * | 2021-11-01 | 2023-05-26 | 衢州市鼎盛化工科技有限公司 | 一种回收氟化氢的方法及系统 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62171728A (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-28 | Babcock Hitachi Kk | ガス吸収分離装置 |
JPH09276649A (ja) * | 1996-04-12 | 1997-10-28 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 排ガス処理装置 |
US8147590B2 (en) | 2000-08-17 | 2012-04-03 | Bayne Carew | Fluid filter separator and method |
JP2002102649A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-09 | Kashiyama Kogyo Kk | ガス処理方法及びガス処理装置 |
US6468321B2 (en) * | 2001-01-10 | 2002-10-22 | John W. Kinsel | Blade and skirt assembly for directional gas cleaning and drying system |
JP3905433B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2007-04-18 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・ア・ディレクトワール・エ・コンセイユ・ドゥ・スールベイランス・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | フッ素ガス生成装置 |
JP2007190544A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-08-02 | Chiba Univ | 硫酸ピッチの処理方法およびその装置ならびに中和処理装置 |
JP5238299B2 (ja) | 2008-03-10 | 2013-07-17 | 東洋炭素株式会社 | フッ素ガス発生装置 |
JP5659491B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2015-01-28 | セントラル硝子株式会社 | フッ素ガス発生装置を含む半導体製造設備 |
JP5572981B2 (ja) * | 2009-04-01 | 2014-08-20 | セントラル硝子株式会社 | フッ素ガス生成装置 |
JP2011017077A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-01-27 | Central Glass Co Ltd | フッ素ガス生成装置 |
-
2011
- 2011-06-10 JP JP2011129663A patent/JP5757168B2/ja active Active
-
2012
- 2012-05-17 KR KR1020137033044A patent/KR20140013074A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-05-17 WO PCT/JP2012/062592 patent/WO2012169330A1/ja active Application Filing
- 2012-05-17 CN CN201280028631.3A patent/CN103597122A/zh active Pending
- 2012-05-17 US US14/112,850 patent/US9194050B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-05-17 EP EP12797054.9A patent/EP2719798A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012169330A1 (ja) | 2012-12-13 |
CN103597122A (zh) | 2014-02-19 |
EP2719798A1 (en) | 2014-04-16 |
JP5757168B2 (ja) | 2015-07-29 |
US20140083844A1 (en) | 2014-03-27 |
EP2719798A4 (en) | 2015-03-11 |
US9194050B2 (en) | 2015-11-24 |
KR20140013074A (ko) | 2014-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5757168B2 (ja) | フッ素ガス生成装置 | |
US9708720B2 (en) | Gas generation device | |
WO2011111538A1 (ja) | フッ素ガス生成装置 | |
WO2010143464A1 (ja) | フッ素ガス生成装置 | |
KR20160089338A (ko) | 수소-함유 기체 매질의 정제 시스템 및 이의 이용 방법 | |
JP6430772B2 (ja) | 炭酸ガス溶解水供給システム、炭酸ガス溶解水供給方法、およびイオン交換装置 | |
JP5238299B2 (ja) | フッ素ガス発生装置 | |
JP6427378B2 (ja) | アンモニア溶解水供給システム、アンモニア溶解水供給方法、およびイオン交換装置 | |
JP2005262146A (ja) | メタンガス濃縮装置 | |
JP5085574B2 (ja) | フッ素含有廃液の除害装置及び除害方法 | |
JPH0494723A (ja) | フッ化塩素を含む排ガスの乾式処理方法 | |
JP2012055836A (ja) | ガス処理方法 | |
JP2010207727A (ja) | ガス精製装置及びガス精製方法 | |
CN113874554B (zh) | 氟气的制造方法和氟气制造装置 | |
JP3568461B2 (ja) | メッキシステム及びそれに用いられるメッキ液分析装置 | |
KR200328331Y1 (ko) | 가스 정제기 및 이를 이용한 가스 정제 장치 | |
CN113906164B (zh) | 氟气的制造方法及氟气制造装置 | |
RU2550147C1 (ru) | Система очистки газовой среды от водорода, способ эксплуатации такой системы и реакторная установка с такой системой | |
CN113950542B (zh) | 氟气的制造方法及氟气制造装置 | |
JP2011073946A (ja) | 化学物質分解方法 | |
JP4010847B2 (ja) | 三弗化窒素ガスの精製方法 | |
JP2005230679A (ja) | 排ガスの浄化筒 | |
JP2015156346A (ja) | 燃料電池用の水素発生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5757168 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |