CN103575739B - 外观检查装置及外观检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及外观检查装置及外观检查方法。通过准确地拍摄工件来高精度地进行对工件的外观检查。工件的外观检查装置（20）对由多面体构成、且具有引线（Wa、Wb、Wc、Wd）的工件（W）进行外观检查。外观检查装置（20）包括：吸附工件（W）并进行输送的输送嘴（3）；对工件（W）照射照明光的照明机构（L1、L2、L3、L4、L5、L5x、L5y、L6）；和工件（W）的拍摄机构（N1、N2、N3、N4、N5、N6）。照明机构（L5x）从工件（W）的与基准面（Ws0）相反的一侧对面（Ws4）从斜向照射光，照明机构（L5y）从工件（W）的与基准面（Ws0）相反的一侧对面（Ws6）从斜向照射光。

Description

外观检查装置及外观检查方法

技术领域

本发明涉及对具有引线的部件一边输送一边对其拍摄来进行外观检查的外观检查装置及外观检查方法。

背景技术

公知有如下的进行外观检查的外观检查装置：对由多个面形成的片形电子部件（以下记作工件）一边输送，一边利用LED照明器等对工件的各面照射照明光，并利用照相机等进行拍摄，通过图像处理程序来判定所拍摄的图像是否合格。在这样的外观检查装置中，在输送工件时，希望尽量使作为拍摄对象的工件的各面露出。

作为实现这种外观检查装置的机构，公知有如下机构：例如通过输送嘴对载置于台上的工件的上面抽真空来吸附该面，使输送嘴上升后再使其沿水平方向移动。由此，如后所述，能够对除了由输送嘴吸附的面以外的所有面照射照明光来进行拍摄。

发明内容

但是，根据以往的外观检查装置，虽然能对工件的各面进行外观检查，但对设于工件的特定面的引线进行可靠地检查的技术尚未研发出来。

本发明是考虑到这些问题而做出的，其目的在于提供一种能够对于设于工件的特定面的引线高精度地可靠地进行外观检查的外观检查装置及外观检查方法。

本发明提供一种外观检查装置，对工件进行外观检查，所述工件由具有基准面的多面体构成，所述基准面包括第1边和与第1边相对的第2边，在基准面的第1边侧的区域设有与第1边平行的多个突起物，在基准面的第2边侧的区域设有与第2边平行的多个突起物，所述外观检查装置的特征在于，包括：输送工件的输送机构；对工件照射照明光的照明机构；和拍摄工件的突起物的拍摄机构，照明机构包括第1照明机构和第2照明机构，所述第1照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，所述第2照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，拍摄机构包括第1拍摄机构和第2拍摄机构，所述第1拍摄机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面及第1边侧的突起物进行拍摄，所述第2拍摄机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面及第2边侧的突起物进行拍摄。

本发明的外观检查装置中，突起物具有直线状的引线。

本发明的外观检查装置中，照明机构还具有第3照明机构和第4照明机构，所述第3照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光，所述第4照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光。

本发明的外观检查装置中，第1拍摄机构还对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面在由第3照明机构进行照射时进行拍摄，第2拍摄机构还对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面在由第4照明机构进行照射时进行拍摄。

本发明提供一种外观检查方法，对工件进行外观检查，所述工件由具有基准面的多面体构成，所述基准面包括第1边和与第1边相对的第2边，在基准面的第1边侧的区域设有与第1边平行的多个突起物，在基准面的第2边侧的区域设有与第2边平行的多个突起物，所述外观检查方法的特征在于，包括：由输送机构输送工件的输送工序；由照明机构对工件照射照明光的照明工序；和由拍摄机构对工件的突起物进行拍摄的拍摄工序，照明机构包括第1照明机构和第2照明机构，所述第1照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，所述第2照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，拍摄机构包括第1拍摄机构和第2拍摄机构，所述第1拍摄机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面及第1边侧的突起物进行拍摄，所述第2拍摄机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面及第2边侧的突起物进行拍摄。

本发明的外观检查方法中，突起物具有直线状的引线。

本发明的外观检查方法中，照明机构还具有第3照明机构和第4照明机构，所述第3照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光，所述第4照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光。

本发明的外观检查方法中，第1拍摄机构还对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面在由第3照明机构进行照射时进行拍摄，第2拍摄机构还对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面在由第4照明机构进行照射时进行拍摄。

如上所述，根据本发明，通过简单的照明方法，能够对作为拍摄对象的突起物可靠地照射照明光，因此对工件的拍摄结果准确，能够提高对工件的外观检查的精度。

附图说明

图1是应用了本发明的外观检查装置的俯视图。

图2是从图1的箭头J方向观察应用了本发明的第2外观检查部的示意图。

图3是图2的工件的箭头Jb方向的向视放大图。

图4（a）（b）是表示应用了本发明的对引线照射照明光的照射方法及引线的拍摄方法的图。

图5（a）（b）是应用了本发明的引线的外观检查的说明图。

图6是表示工件的立体图。

图7（a）（b）（c）是图6的工件的P1、P2、P3方向的向视图。

图8是表示工件的内部电路的图。

图9是作为比较例的外观检查装置的俯视图。

图10是图9的旋转圆板的箭头B方向的向视图。

图11（a）（b）（c）（d）（e）（f）是表示由线性送料器输送工件、直到接着由输送嘴吸附的说明图。

图12是图11（d）的工件和输送嘴的放大图。

图13（a）（b）（c）（d）是表示LED照明器的例子的说明图。

图14是使用LED照明器的工件的拍摄方法的示意图。

图15是从箭头H方向观察图1及图9的第1外观检查部的示意图。

图16（a）（b）（c）是工件方向变换部的动作说明图。

图17是从图9的箭头J方向观察比较例的第2外观检查部的示意图。

图18（a）（b）是表示工件的引线弯折的说明图。

图19（a）（b）（c）（d）是表示工件的引线弯曲检查的原理的说明图。

图20是比较例的引线弯曲了的工件的拍摄的说明图。

图21（a）（b）是图20的拍摄图像的说明图。

图22是比较例的姿势发生了变化的工件的拍摄的说明图。

图23（a）（b）是图22的拍摄图像的说明图。

附图标记的说明

1 基台，

2 旋转圆板，

3 输送嘴，

4 线性送料器，

5 分离载置台，

6 电特性测定部，

7 第1外观检查部，

8 工件方向变换部，

9 第2外观检查部，

10 不良工件排出部，

11 合格品工件排出部，

20 外观检查装置，

90 比较例的第2外观检查部，

100 比较例的外观检查装置，

L1，L2，L3，L4，L5，L5x，L5y，L6LED 照明器，

Ｍ1，Ｍ2，Ｍ5，Ｍ6 棱镜，

N1，N2，N3，N4，N5，N6 照相机，

W 工件，

Wa、Wb、Wc、Wd 引线。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

首先，如图1所示，外观检查装置20包括：水平设置的基台1；沿水平方向配置在基台1的垂直方向上方的旋转圆板2；和以等间隔设置在旋转圆板2的外周部的多个输送嘴3。其中，由旋转圆板2和输送嘴3构成输送机构。旋转圆板2与基台1之间由中心轴2a连接，利用未图示的驱动机构的作用，使旋转圆板2沿箭头A（顺时针）的方向绕中心轴2a间歇旋转。

图10表示旋转圆板2的箭头B方向的向视图。如图10所示，配置在旋转圆板2的外周部的输送嘴3，利用未图示的驱动机构的作用，在箭头C及箭头D的方向（垂直方向）自由升降。

此外，如后所述，输送嘴3利用未图示的抽真空机构的作用，在其下端吸附工件W。在该状态下，在图1中旋转圆板2向箭头A方向旋转时，吸附于输送嘴3下端的工件W被向箭头A方向输送。

在图1中，在基台1之上设置有通过振动将工件W呈一列地向箭头G方向输送的线性送料器4。线性送料器4的终端点达到旋转圆板2的外缘部，从该终端点观察在旋转圆板2的中心轴2a方向的位置设有逐个载置工件W的分离载置台5。

从分离载置台5沿旋转圆板2的旋转方向（箭头A方向）、即工件W的输送路径，依次设有：测定工件W的电特性的电特性测定部6；进行工件W的外观检查的第1外观检查部7；改变吸附于输送嘴3下端的工件W的面的方向的工件方向变换部8；进行工件W的外观检查的第2外观检查部9；将基于电特性的测定及外观检查的结果而判定为不良的工件排出的不良工件排出部10；和将基于电特性的测定及外观检查的结果而判定为合格品的工件排出的合格品工件排出部11。

在图1中，用黑圆点表示在下端吸附有工件W的输送嘴3，此外，用白圆点表示在下端未吸附工件W的输送嘴3。在从分离载置台5沿旋转圆板2的旋转方向（箭头A方向）到合格品工件排出部11的范围，输送嘴3在下端吸附有工件W。此外，外观检查装置20具有对构成装置的各部进行控制的控制部12。

图6示出工件W的立体图。工件W具有：由多面体构成的主体，该多面体由被非导电性的介电体覆盖的多个面构成；和作为从主体的一面即第1基准面（也简单记作基准面）Ws0突出的突起物的直线状的引线Wa、Wb、Wc、Wd。各引线Wa、Wb、Wc、Wd都是由导电性材料（例如铜等金属）构成。

构成工件W的主体的各面中的、相邻的面所成的角为大致直角。与第1基准面Ws0相邻的4个面包括位于引线Wc、Wd侧的第1面Ws1、位于引线Wa、Wb侧的第3面Ws3、位于引线Wb、Wd侧的第4面Ws4、位于引线Wa、Wc侧的第6面Ws6。第1面Ws1与第3面Ws3相对，同样，第4面Ws4与第6面Ws6相对。

此外，从与第1基准面Ws0相对的第5面Ws5朝向第1基准面Ws0地形成有凹部Wg。该凹部Wg贯穿第4面Ws4与第6面Ws6之间，由此，第5面Ws5被分割为面齐平的2个部分，即第5x面Ws5x和第5y面Ws5y。此外，将工件W以第1基准面Ws0朝上的方式从第6面Ws6侧（图6中的箭头P2方向）观察时的形状为，凹部Wg朝向下方。形成凹部Wg的内侧的面Wgx、Wgy及第2面Ws2也均是与其相邻的所有面呈大致直角。将从图6中的箭头P1、P2、P3的各方向观察以上的各面所得的图分别示于图7（a）、（b）、（c）。

如图6及图7所示，在作为第4面Ws4与第5x面Ws5x的边界的边及作为第4面Ws4与第5y面Ws5y的边界的边，沿倾斜方向实施微小的切削加工，即实施倒角做成Wsx、Wsy。由于工件W的形状是对称形状，因此为了区别引线Wa、Wc与引线Wb、Wd而实施该倒角。

由于倒角Wsx、Wsy的面积与构成工件W的各面的面积相比极小，因此第4面Ws4与第5x面Ws5x所成的角及第4面Ws4与第5y面Ws5y所成的角也可以说是大致直角。

图8示出工件W的内部电路。在图6及图7中，通过形成凹部Wg，从而在工件W形成2处突出部Wx、Wy。工件W的内部电路被收纳于这些突出部Wx、Wy内。在图8中，突出部Wx内的电路包括发光二极管Dw，其阳极与引线Wa连接，阴极与引线Wb连接。此外，突出部Wy内的电路包括光敏晶体管Qw，其集电极与引线Wc连接，发射极与引线Wd连接。而且，在图6中在凹部Wg内的相对的面Wgx与Wgy，设有未图示的孔，突出部Wx内的发光二极管Dw与突出部Wy内的光敏晶体管Qw的基极隔着这些孔而相对。

由此，在图8中，若在引线Wa与引线Wb之间施加电压以使引线Wa的电位高于引线Wb的电位，则发光二极管Dw发光，该光WL经由上述孔而传递到光敏晶体管Qw的基极，光敏晶体管Qw的集电极与发射极之间导通。即，若预先在引线Wc与引线Wd之间施加电压以使引线Wc的电位高于引线Wd的电位，则电流从引线Wc流向引线Wd。此外，若有不透光的物体进入凹部Wg内，则即使发光二极管Dw发光，该光被物体遮挡而无法传递到光敏晶体管Qw的基极，光敏晶体管Qw的集电极与发射极之间不导通。即，该工件W可以作为检测是否有物体进入工件W的凹部Wg内的传感器来使用。关于具有这种功能的工件W，在市场上以光断续器等名称销售。

接着，说明由这样的结构构成的外观检查装置20的作用。在图1中，工件W由线性送料器4输送，并被输送嘴3吸附。将从箭头F方向观察此时状态而得的立体图示于图11。在图11（a）中，工件W被供给到未图示的零件送料器，借助由控制部12的控制的未图示的转移机构的作用，被转移到线性送料器4，然后借助未图示的排列机构的作用而规整成面的方向都相同，在线性送料器4上成W0、W1、……的一列状态，通过振动沿箭头G的方向输送。

在该情况下，从图1的箭头F观察到的工件W的面为第6面Ws6，且第1基准面Ws0朝上。此外，在分离载置台5之上未载置工件W，输送嘴3在分离载置台5的上方离开、停止于初始位置。接着，在成一列状态输送的工件W0、W1、……的开头的工件W0到达线性送料器4的终端点、即分离载置台5的紧跟前位置时，如图11（b）所示，借助基于控制部12的控制的未图示的分离载置机构的作用，W0被从线性送料器4载置到分离载置台5。此时，线性送料器4的振动停止，线性送料器4上的后续工件W1、W2、……不被输送而保持停止状态。

接着，如图11（c）所示，借助基于控制部12的控制的未图示的驱动机构的作用，输送嘴3从初始位置向箭头C的方向下降，在输送嘴3的下端与载置于正下方的分离载置台5上的工件W0的第1基准面Ws0抵接的位置停止。

然后，如图11（d）所示，沿箭头E的方向进行抽真空，工件W0的第1基准面Ws0被输送嘴3的下端吸附。图12示出此时的工件W0与输送嘴3的放大图。在图12中，在输送嘴3内，形成有一端通过未图示的开关与真空源连通的吸引通路3a，吸引通路3a的另一端在输送嘴3的下端作为吸引孔3b而开口。

在图11（d）中，借助基于控制部12的控制的未图示的开关的作用，吸引通路3a与真空源连通，向图12的箭头E方向进行抽真空。由此，吸引孔3b吸附工件W0的第1基准面Ws0。

接着，如图11（e）所示，借助基于控制部12的控制的未图示的驱动机构的作用，输送嘴3向箭头D方向上升，返回到初始位置并停止。此时，由于正在向箭头E方向进行抽真空，因此工件W0保持着被输送嘴3吸附的状态上升。然后，借助基于控制部12的控制的未图示的驱动机构的作用，图1所示的旋转圆板2向箭头A的方向旋转。由此，如图11（f）所示，吸附着工件W0的输送嘴3向箭头A1的方向旋转，工件W0被输送到图9的电特性测定部6而停止。

同时，未吸附工件W的输送嘴3向箭头A2的方向旋转，到达分离载置台5的正上方，如图11（a）所示那样停止在初始位置。其后，重复图11（a）～（f）的动作。

如此被输送嘴3吸附的、图1中的工件W（在图11中为工件W0）被输送到电特性测定部6而停止。接着，借助基于控制部12的控制的未图示的驱动机构的作用，未图示的电压源及测定器与引线Wa、Wb、Wc、Wd连接，进行图8的突出部Wx内的电路（发光二极管Dw）及突出部Wy内的电路（光敏晶体管Qw）的电特性的测定。当测定结束时，在图1中，借助基于控制部12的控制的未图示的驱动机构的作用，旋转圆板2向箭头A的方向旋转，工件W被输送嘴3吸附并输送到第1外观检查部7而停止。

接着，在第1外观检查部7进行工件W的外观检查。关于外观检查的方法，以下详细说明。工件W的外观检查是对主体的各面中的作为检查对象的被检查面的检查及4根引线Wa、Wb、Wc、Wd的检查。图6及图7中列举了被检查面，为第1面Ws1、第2面Ws2、第3面Ws3、第4面Ws4、第5面Ws5（第5x面Ws5x和第5y面Ws5y）、第6面Ws6。这些被检查面及4根引线的外观检查是通过如下这样而进行：对作为检查对象的部位照射照明光，并利用照相机进行拍摄而取得拍摄图像，通过图像处理程序判断该拍摄图像是否合格。

作为照明器惯常使用的有使用发光二极管的LED照明器。图13示出其例子。图13（a）、（b）是以环状照明器的名称在市场上销售的LED照明器的主视图和侧视图。如图13（a）所示，LED照明器L是在中央部设置环状空间LH而形成的框Lf内，将许多发光二极管Le配置成多个（在此为2个）的同心圆状而形成。

此外，如图13（b）所示，各个发光二极管Le照射光的方向即光路Ra、Rb，相对于与空间LH的中心垂直的基准线Lo，以很小的角α向基准线Lo侧倾斜。由此，能够实现在基准线Lo附近聚光的明亮的照明，因此被广泛使用。

对于以同样的结构，以方型照明器的名称在市场上销售的LED照明器的例子，图13（c）、（d）分别示出其主视图和侧视图。如图13（c）所示，LED照明器Lv是在中央部设有正方形空间LHv而形成的框Lfv内，将许多发光二极管Le配置成多列（在此为2列）的正方形状而形成。此外，如图13（d）所示，各个发光二极管Le照射光的方向即光路Rav、Rbv与上述的LED照明器L同样，相对于与空间LH的中心垂直的基准线Lo，以很小的角α向基准线Lo侧倾斜。由此，能够实现在基准线Lo附近聚光的明亮的照明，因此被广泛使用。

作为示意图，图14示出使用LED照明器L的工件W的拍摄方法。在图14中，工件W如图11（f）所示，被输送嘴3吸附。此外，拍摄对象为工件W的第1面Ws1。

将LED照明器L配置在与作为拍摄对象面的第1面Ws1相对的成为工件主体外侧的位置，将照明光如光路Ra、Rb那样向第1面Ws1照射。并且，将作为拍摄机构的照相机N配置在从工件W观察比LED照明器L更远的位置，从照相机N穿过LED照明器L的中央部的空间LH，从与第1面Ws1相对的成为工件主体外侧的方向，由拍摄路径Np拍摄第1面Ws1。

由实现这样的拍摄方法的多个LED照明器及照相机构成图1的第1外观检查部7。

如上所述，在图1中载置于分离载置台5上的工件W如图11所示被输送嘴3吸附后，通过图1所示的旋转圆板2向箭头A方向的间歇旋转而被输送，经过电特性测定部6到达第1外观检查部7。

对于第1外观检查部7的结构和拍摄工件W进行外观检查的方法，在图15示出从箭头H方向观察图1的第1外观检查部7而得的示意图来进行说明。在图15中，单点划线所包围的部分是第1外观检查部7。在此，如上所述，工件W的面的方向被规整为：从图1的箭头F观察到的面为第6面Ws6、且第1基准面Ws0朝上。因此，对于如图11（e）那样被输送嘴3吸附的工件W，在图1中旋转圆板2向箭头A的方向间歇旋转而到达第1外观检查部7的时刻，图1的箭头Ha方向成为第1面Ws1（参照图15）。

在第1外观检查部7，被检查面即作为拍摄对象的工件W的面是第1面Ws1、第2面Ws2、第3面Ws3。

在图15中，在与第1面Ws1相对的成为工件W的主体外侧的位置，与图14同样地配置有作为照明机构的LED照明器L1和作为拍摄机构的照相机N1，该LED照明器L1对第1面Ws1照射照明光Ra1、Rb1，该照相机N1由拍摄路径N1p拍摄第1面Ws1。

此外，在工件W的下侧配置有作为照明机构的LED照明器L2和作为拍摄机构的照相机N2，所述LED照明器L2对第2面Ws2照射照明光Ra2、Rb2，所述照相机N2从与第2面Ws2相对的成为工件主体外侧的方向，由拍摄路径N2p拍摄第2面Ws2。

在此，与工件W的正下方的空间的大小、即图1中的基台1的上面与输送嘴3的下端之间的空间的大小相比，照相机N2的体积非常大，因此，无法在工件W的正下方的空间配置照相机N2。

为此，在工件W的正下方位置、即与第2面Ws2相对的成为工件W的主体外侧的位置仅配置LED照明器L2，照相机N2以与照相机N1沿同一方向并列的方式配置在照相机N1的大致正下方位置。与此对应地，在第2面Ws2的正下方位置，用于将第2面Ws2和照相机N2的拍摄路径N2p变换大致90°方向的直角棱镜Ｍ2配置在LED照明器L2的下侧。

此外，在与第3面Ws3相对的成为工件W的主体外侧的位置，配置有对第3面Ws3照射照明光Ra3、Rb3的作为照明机构的LED照明器L3。并且，出于与照相机N2同样的理由，由拍摄路径N3p拍摄第3面Ws3的作为拍摄机构的照相机N3，在图9中基台1的内部配置成朝向可拍摄上方的方向。与此对应地，在与第3面Ws3相对的成为工件W的主体外侧的位置，用于将第3面Ws3和照相机N3的拍摄路径N3p变换大致90°方向的直角棱镜Ｍ3配置在LED照明器L3的右侧。

以下记载通过具有以上结构的第1外观检查部7来拍摄工件W的各面、进行外观检查的顺序。

在图1中，当被输送嘴3吸附的工件W随着旋转圆板2的间歇旋转而到达第1外观检查部7并停止时，利用控制部12的控制，在图15中，LED照明器L1点亮，对第1面Ws1照射照明光Ra1、Rb1。然后，照相机N1由拍摄路径N1p拍摄第1面Ws1。在这期间，LED照明器L2及L3灭灯，照相机N2及N3不动作。

接着，利用图1中的控制部12的控制，在图15中，LED照明器L1灭灯，接着LED照明器L2点亮，对第2面Ws2照射照明光Ra2、Rb2。接着，照相机N2由拍摄路径N2p拍摄第2面Ws2。在这期间，LED照明器L1及L3灭灯，照相机N1及N3不动作。

接着，利用图1中的控制部12的控制，在图15中，LED照明器L2灭灯，接着LED照明器L3点亮，对第3面Ws3照射照明光Ra3、Rb3。接着，照相机N3由拍摄路径N3p拍摄第3面Ws3。在这期间，LED照明器L1及L2灭灯，照相机N1及N2不动作。

通过以上的顺序，工件W的第1面Ws1、第2面Ws2、第3面Ws3被拍摄。

拍摄到的各面的图像在图1中的控制部12的控制下被传送到未图示的图像处理机构，由图像处理程序判定是否合格，由此进行外观检查。

如此，在第1外观检查部7中工件W的第1面Ws1、第2面Ws2、第3面Ws3的外观检查结束时，利用图1的控制部12的控制，在图15中，第1外观检查部7的LED照明器L1、L2、L3全部灭灯，照相机N1、N2、N3全部停止动作。并且，在图1中，旋转圆板2向箭头A方向旋转，被输送嘴3吸附的工件W被朝向工件方向变换部8输送。工件W到达工件方向变换部8时，利用控制部12的控制，进行工件W的方向变换。

图16（a）示出在图1中工件W到达工件方向变换部8而旋转圆板2停止的状态下的区域I的放大透视图。对于被输送嘴3吸附的工件W以下述朝向停止：从箭头Ia的方向观察旋转圆板2的外方、即图1的工件方向变换部8时，可看到第1面Ws1。在此，利用未图示的驱动机构的作用，工件W经过图16（b）如图16（c）所示，被方向变换为：从箭头Ia的方向观察旋转圆板2的外方、即图1中的工件方向变换部8时，可看到第4面Ws4的朝向。

这样完成工件W的方向变换时，在图1中利用控制部12的控制，旋转圆板2向箭头A的方向旋转，被输送嘴3吸附的工件W到达第2外观检查部9而停止。接着，利用控制部12的控制，对工件W的各面中的、除了在第1外观检查部7进行过外观检查的面以外的面进行外观检查。图2示出从箭头J的方向观察第2外观检查部9而得的示意图。如上所述，利用在图1中工件方向变换部8的作用而变换了方向的工件W，在到达第2外观检查部9的时刻，从箭头Ja的方向观察时可看到第4面Ws4。在图2中单点划线所包围的部分是第2外观检查部9。

由第2外观检查部9进行外观检查的工件W的面即成为拍摄对象的被检查面是第4面Ws4、第5面Ws5、第6面Ws6。在图2中，关于作为对这些各面照射照明光的照明机构的LED照明器L4、L5、L6及作为拍摄各面的拍摄机构的照相机N4、N5、N6的配置，与图15所示的第1外观检查部7的LED照明器L1、L2、L3及照相机N1、N2、N3同样。此外，在图2中，棱镜Ｍ5、Ｍ6的配置也与图15所示的第1外观检查部7的棱镜Ｍ2、Ｍ3同样。并且，在图2中，拍摄第4面Ws4、第5面Ws5、第6面Ws6的顺序也与图15所示的第1外观检查部7的拍摄第1面Ws1、第2面Ws2、第3面Ws3的顺序同样。

在具有以上结构的第2外观检查部9中，进行对作为拍摄对象的所有面的拍摄及从第1基准面Ws0突出的4根引线Wa、Wb、Wc、Wd的拍摄，进行这些各面及各引线的外观检查。在此，对引线Wa、Wb、Wc、Wd的外观检查的必要性理由进行说明。

图18（a）是工件W的立体图，跟前是第6面Ws6，上面是第1基准面Ws0。该工件W在图1所示的外观检查装置20中结束外观检查时，如后所述从外观检查装置20排出。然后，安装于未图示的其他加工装置，通过该装置的作用，如图18（a）所示，引线Wa、Wb被朝向箭头S1的朝向弯折，引线Wc、Wd被朝向箭头S2的朝向弯折，如图18（b）所示，4根引线全部被加工成与第1基准面Ws0上接触的状态。为了容易进行该加工，引线Wa、Wb、Wc、Wd形成为容易向图18（a）的箭头S1、S2的方向弯折的薄板状。但是，由于这样形成为容易弯折的形状，因此有时在工件W的输送中，引线Wa、Wb、Wc、Wd在箭头R1、R2的方向受到某些力会稍微弯曲。若该弯曲的量超过预先设定的范围，则无法安装于加工装置，因此在图1的外观检查装置20中，进行拍摄引线Wa、Wb、Wc、Wd来检查弯曲量的外观检查，将弯曲量为上述预先设定的范围以下的工件W作为合格品而转移到加工装置。

以下说明关于拍摄引线Wa、Wb、Wc、Wd来检查弯曲量的外观检查的原理及顺序。图19（a）示出如下时的图像：在图2所示的第2外观检查部9中，使LED照明器L4（第3照明机构）点亮来对在第4面Ws4侧并列的引线Wb、Wd（图7（a））这组照射照明光Ra4、Rb4，利用照相机N4（第1拍摄机构）由拍摄路径N4p拍摄引线Wb、Wd这组。

在图19（a）的图像中，为了检查引线Wb的弯曲量，利用图像处理程序的作用，在引线Wb周围的一定范围设定区域T1。在图19（b）示出区域T1的放大图。区域T1内的图像中，仅是被图17的LED照明器L4的照明光照射的引线Wb为白色，背景为暗色。为了便于说明，在图19（a）、（b）的区域T1画网格线，用白色表示引线Wb。

接着，在图19（b）中，利用图像处理程序的作用，定义与被该照明光照射而成为白色图像的范围（以后记作白色区域）外切的矩形（以后记作外切矩形）Wbx。在图19（b）中，用虚线表示外切矩形Wbx。然后，利用图像处理程序的作用，测定外切矩形Wbx的横宽Tbx1。在引线Wb没有弯曲的情况下，外切矩形Wbx与引线Wb的外形大致一致，Tbx1的测定值与引线Wb的宽度大致一致。接着，说明引线Wb弯曲的情况。

图19（c）是在工件W的输送中引线Wb受到箭头Q3方向的力而弯曲了时的拍摄图像。在图19（c）中，利用图像处理程序的作用，设定与图19（a）相同的区域T1。图19（d）示出其放大图。

在图19（d）中，利用图像处理程序的作用，对白色区域定义以虚线所示的外切矩形Wbxe。在此，比较图19（b）的外切矩形Wbx与图19（d）的外切矩形Wbxe可知，在图19（d）中，由于引线Wb弯曲，因此白色区域倾斜，随之外切矩形Wbxe的横宽Tbx2变得比图19（b）的外切矩形Wbx的横宽Tbx1大。即，预先设定正实数ε作为区域T1内的白色区域的外切矩形的横宽Tbx的标准值，在Tbx＜ε时可以判定工件W为合格品。在此，ε是引线的弯曲量变大而变得无法将工件W安装于加工装置的临界值。

这样对引线Wb、Wd这组进行外观检查，与此同样地，在图2所示的第2外观检查部9，使LED照明器L6（第4照明机构）点亮而对在第6面Ws6侧并列的引线Wa、Wc（图7（a））这组照射照明光Ra6、Rb6，利用照相机N6（第2拍摄机构）由拍摄路径N6p拍摄引线Wa、Wc这组，从而对引线Wa、Wc这组进行外观检查。

另外，如图2所示，第2外观检查部9还包括LED照明器L5x、L5y，该LED照明器L5x、L5y对称地配置在设于工件W正下方的LED照明器L5的附近且从工件W的正下方沿水平方向朝向工件W的侧方移动的位置。LED照明器L5x（第1照明机构）朝向工件W的第5面Ws5和第4面Ws4及引线Wa、Wb、Wc、Wd（图7（a））照射照明光R5x，LED照明器L5y（第2照明机构）朝向工件W的第5面Ws5和第6面Ws6及引线Wa、Wb、Wc、Wd（图7（a））照射照明光R5y。该照明光R5x照射图7（a）的工件W的引线Wb、Wd，照明光R5y照射图7（a）的工件W的引线Wa、Wc。

以下详细说明该照射方法。首先，使用图3说明在工件W的第1基准面Ws0上的作为突起物的4根直线状的引线Wa、Wb、Wc、Wd的配置。图3表示在图2的第2外观检查部9停止的工件W的箭头Jb方向的向视放大图。其中，未记载输送嘴3。在图3中，第1基准面Ws0为长方形，具有2根对角线Di1、Di2。设该对角线Di1、Di2的交点为X0，由第1基准面Ws0和第4面Ws4形成的第1边为边Ed04，由第1基准面Ws0和第6面Ws6形成的第2边为边Ed06。边Ed04与边Ed06相对。此时，在对角线的交点X0与边Ed04之间、即箭头X1所示的区域，呈与边Ed04平行的列的方式配置2根引线Wb、Wd。

同样，在对角线的交点X0与边Ed06之间、即箭头X2所示的区域，呈与边Ed06平行的列的方式配置2根引线Wa、Wc。如此，与相对2个边的各边分别平行地各配置2根引线而构成多个列，对于这样的多列的引线Wa、Wb、Wc、Wd，使用图2的LED照明器L5x、L5y照射照明光R5x、R5y进行拍摄（参照图4（a）（b））。

在此，图4（a）示出从图2的LED照明器L5x对引线Wb、Wd照射照明光R5x的状况。标记阴影的部分是照明光R5x。在图2中配置LED照明器L5x的位置，是在图4（a）（b）中作为与第1基准面Ws0相对的第2基准面的第5面Ws5侧且从工件W的正下方沿水平方向朝向工件W的侧方移动后的位置。

并且，朝向位于第1基准面Ws0的边Ed04（图3）与第5面Ws5之间的作为第3基准面的第4面Ws4及引线Wa、Wb、Wc、Wd（图3）倾斜地照射照明光R5x。这样照射照明光R5x，则如图4（a）所示，照明光R5x的一部分、具体而言为照明光R5x中的向第5面Ws5及第4面Ws4照射的范围的照明光R5x0被工件W的主体遮挡。于是，仅是未被工件W的主体遮挡的范围的照明光R5x1照射到作为拍摄对象的引线Wb、Wd。

在此，照明光R5x1从上述的方向照射，且如图3所示，引线Wb、Wd配置成接近第4面Ws4的1列，引线Wa、Wc配置成同与第4面Ws4相对的第6面Ws6侧接近的1列。因此，在图4（a）中，照明光R5x1照射了引线Wb、Wd后，仅是朝向第1基准面Ws0的上方照射，而不照射引线Wa、Wc。

即，照明光R5x1，仅对在图3中由引线Wa、Wc及引线Wb、Wd分别构成的2列中的、由引线Wb、Wd构成的1列照射，未照射到由引线Wa、Wc构成的1列。

在该状态下，使用照相机N4，从与第4面Ws4相对的工件主体外侧的方向由拍摄路径N4p对构成被照明光照射到的1列的引线Wb、Wd进行拍摄。由此，仅是作为拍摄对象的引线Wb、Wd被拍摄，因此不会出现如后述的示出比较例的图21或图23那样，不是拍摄对象的引线被拍摄而使外观检查的精度变差。

同样，图4（b）示出从图2的LED照明器L5y向引线Wa、Wc照射照明光R5y的状况。标记阴影的部分是照明光R5y。在图2中配置LED照明器L5y的位置，是在图4中与第1基准面Ws0相对的作为第2基准面的第5面Ws5侧且从工件W的正下方沿水平方向朝向工件W的侧方移动后的位置。

并且，朝向位于第1基准面Ws0的边Ed06（图3）与第5面Ws5之间的作为第3基准面的第6面Ws6及引线Wa、Wb、Wc、Wd（图3）倾斜地照射照明光R5y。这样照射照明光R5y，则如图4（b）所示，照明光R5y的一部分、具体而言为照明光R5y中的向第5面Ws5及第6面Ws6照射的范围的照明光R5y0被工件W的主体遮挡。于是，仅是未被工件W的主体遮挡的范围的照明光R5y1照射到作为拍摄对象的引线Wa、Wc。

在此，照明光R5y1从上述的方向照射，且如图3所示，引线Wa、Wc配置成接近第6面Ws6的1列，引线Wb、Wd配置成同与第6面Ws6相对的第4面Ws4侧接近的1列。因此，在图4（b）中，照明光R5y1照射了引线Wa、Wc后，仅是朝向第1基准面Ws0的上方照射，而不照射引线Wb、Wd。

即，照明光R5y1仅对在图3中由引线Wa、Wc及引线Wb、Wd分别构成的2列中的、由引线Wa、Wc构成的1列照射，未照射到由引线Wb、Wd构成的1列。

在该状态下，使用照相机N6，从与第6面Ws6相对的工件主体外侧的方向由拍摄路径N6p对构成被照明光照射到的1列的引线Wa、Wc进行拍摄。由此，仅是作为拍摄对象的引线Wa、Wc被拍摄，因此不会出现不是拍摄对象的引线被拍摄而在外观检查中品质管理数据错误或引起误判定的情况。即，能够根据拍摄图像，使用图像处理程序正确地测定所拍摄的引线Wa、Wc有无弯曲。

例如，在对图20所示的引线Wa弯曲了的工件W照射图4（a）的照明光R5x并使用照相机N4由拍摄路径N4p拍摄时的拍摄图像如图5（a）所示。在图5（a）的拍摄图像中，在由图像处理程序设定的区域T1、T2，分别仅是拍摄到在图4（a）被照明光R5x照射的引线Wb、Wd。因此，图像处理程序能够正确定义区域T1、T2中的白色区域的外切矩形，其结果，能够正确测定外切矩形的横宽，判定为引线Wb、Wd均未弯曲。

此外，同样地使用图4（a）的照明光R5x及照相机N4由拍摄路径N4p对图22所示那样的存在后述的微小角度β的工件W进行拍摄时的拍摄图像如图5（b）所示。在该情况下，在区域T1、T2内，也是分别仅是拍摄到在图4（a）被照明光R5x照射的引线Wb、Wd。在该情况下，由于存在图22的微小角度β，因此引线Wb、Wd被从斜向拍摄。

因此，引线Wb、Wd的宽度被拍摄得比图5（a）稍大，随之白色区域的宽度也稍微变大，由图像处理程序定义的外切矩形的横宽比图5（a）稍大。但是，由于角度β微小，因此图5（b）的外切矩形的横宽是与标准值ε相比足够小的值，根据由图像处理程序得出的外切矩形的横宽的测定结果，可以正确地判定出引线Wb、Wd均不弯曲。

接着，详细说明图2所示的第2外观检查部9进行工件W的各面及引线的外观检查的顺序。

在图1中，当被输送嘴3吸附的工件W随着旋转圆板2的间歇旋转而到达第2外观检查部9并停止时，利用控制部12的控制，在图2中LED照明器L4点亮，向第4面Ws4照射照明光Ra4、Rb4。并且，照相机N4从与第4面Ws4相对的成为工件外侧的方向，由拍摄路径N4p拍摄第4面Ws4。在这期间，LED照明器L5、L5x、L5y、L6灭灯，照相机N5及N6不动作。接着，利用图1的控制部12的控制，在图2中LED照明器L4灭灯，接着，LED照明器L5点亮，向第5面Ws5照射照明光Ra5、Rb5。

然后，照相机N5从与第5面Ws5相对的成为工件外侧的方向，由拍摄路径N5p拍摄第5面Ws5。在这期间，LED照明器L4、L5x、L5y、L6灭灯，照相机N4及N6不动作。

接着，利用图1的控制部12的控制，在图2中LED照明器L5灭灯，接着LED照明器L6点亮，向第6面Ws6照射照明光Ra6、Rb6。然后，照相机N6从与第6面Ws6相对的成为工件外侧的方向，由拍摄路径N6p拍摄第6面Ws6。在这期间，LED照明器L4、L5、L5x、L5y灭灯，照相机N4及N5不动作。通过以上的顺序，工件W的第4面Ws4、第5面Ws5、第6面Ws6被拍摄。

利用图1的控制部12的控制，被拍摄到的各面的图像被传送到未图示的图像处理机构，通过图像处理程序判断是否合格，由此进行外观检查。

接着，利用图1的控制部12的控制，在图2中LED照明器L6灭灯，接着LED照明器L5x点亮，向在第4面Ws4侧并列的引线Wb、Wd（图7（a））这组照射照明光R5x，拍摄了第4面Ws4的照相机N4由与第4面Ws4相同的拍摄路径N4p拍摄引线Wb、Wd这组。在这期间，LED照明器L4、L5、L5y、L6灭灯，照相机N5及N6不动作。

接着，利用图1的控制部12的控制，在图2中LED照明器L5x灭灯，接着LED照明器L5y点亮，对在第6面Ws6侧并列的引线Wa、Wc（图7（a））这组照射照明光R5y，拍摄了第6面Ws6的照相机N6由与第6面Ws6相同的拍摄路径N6p拍摄引线Wa、Wc这组。在这期间，LED照明器L4、L5、L5x、L6灭灯，照相机N4及N5不动作。通过以上的顺序，工件W的引线Wb、Wd这组及引线Wa、Wc这组被拍摄。

利用图1的控制部12的控制，被拍摄到的各引线这组的图像被传送到未图示的图像处理机构，对引线Wb、Wd这组及引线Wa、Wc这组，通过上述的图像处理程序的作用进行外观检查。结果，对各引线的组进行是否合格的判定。

如上所述，在本发明中照射到引线的照明，可以通过用简单的机构将2个市场上销售的LED照明器固定而实现。此外，拍摄引线的照相机可以直接使用拍摄工件的面的照相机。此外，LED照明器的点亮/灭灯的控制也很简单。而且，利用工件的主体遮挡一部分照明光以避免照明光照射到不是拍摄对象的引线，不需另外设置遮挡用部件。因此，不会导致装置的部件数量或尺寸的大幅度增加、价格的大幅度上升，就能够提高外观检查的精度。

如上所述，工件W在图1中被输送嘴3吸附的状态下，通过旋转圆板2的间歇旋转而被依次输送到电特性测定部6、第1外观检查部7、工件方向变换部8、第2外观检查部9，在电特性测定部6进行电特性的测定，在第1外观检查部7及第2外观检查部9对作为外观检查对象的被检查面和4根引线进行外观检查。另外，在上述说明中，在电特性测定部6、第1外观检查部7、第2外观检查部9，对所有工件W进行电特性的测定及外观检查，但也可以基于电特性测定部6、第1外观检查部7、第2外观检查部9的测定结果或检查结果，在各测定部或检查部判定工件W是合格品还是不合格品，利用控制部12的控制，对判定为不合格品的工件W，不实施由配置在输送路径下游的检查部进行的检查。在第2外观检查部9中工件W的外观检查结束时，在图1中，利用控制部12的控制，旋转圆板2向箭头A的方向旋转，工件W被排出到不良工件排出部10。工件W在不良工件排出部10停止时，利用控制部12的控制，在该工件W为合格品的情况下，工件W保持该状态而旋转圆板2向箭头A的方向旋转，工件W被输送到合格品工件排出部11。此外，在该工件为不合格品的情况下，利用基于控制部12的控制的未图示的开关的作用，图12所示的输送嘴3内的吸引通路3a与真空源的连通被截断，箭头E所示的抽真空被解除。

由此，由吸引孔3b对工件W（在图12中为W0）的第1基准面Ws0的吸附被解除，工件W在重力作用下自然落下。在不良工件排出部10，在输送嘴3的正下方位置开设有未图示的排出孔，落下的工件W经由该排出孔，向未图示的不良工件排出箱导出。另一方面，关于在图1中保持原样通过了不良工件排出部10而输送到合格品工件排出部11的合格品的工件W，若旋转圆板2停止，则利用控制部12的控制，通过与在不良工件排出部10同样的方法，向未图示的合格品工件排出箱导出。在合格品工件排出部11，从所有输送嘴3排出工件W，成为空闲状态的输送嘴3随着旋转圆板2的间歇旋转而再次移动到分离载置台5的正上方位置，将载置于分离载置台5上的下一工件W吸附。然后，重复上述的工件W的输送、各种测定及检查以及排出等。

接着图9示出作为比较例的外观检查装置100，外观检查装置100包括图17所示的第2外观检查部90。图20示出在第2外观检查部90，从工件W的第1基准面Ws0（图7（a））侧观察对在工件W的第4面Ws4侧并列的引线Wb、Wd（图7（a））这组进行外观检查的状况而得的图。图20所示的工件W为作为拍摄对象的引线Wb不弯曲、不是拍摄对象的引线Wa弯曲的状态。此外，用单点划线Z表示图20的工件W的第1面Ws1的方向，单点划线Z与拍摄路径N4p大致平行。因此，不弯曲的2根引线Wd及Wc在基于拍摄路径N4p的拍摄中被大致重叠地拍摄。另一方面，从照相机N4观察位于比引线Wb更远的位置的引线Wa，其自身弯曲，因此，被LED照明器L4的照明光Ra4、Rb4照射，由此引线Wa与引线Wb一起被拍摄到。图21示出该拍摄图像。图21（a）表示图像整体，通过图像处理程序的作用，在引线Wb、Wd周围的一定范围分别设定区域T1、T2。图21（b）示出区域T1、T2附近的放大图。在图21（b）中，与图19（b）同样，利用图像处理程序定义对白色区域的外切矩形。此时，由于引线Wd和引线Wc都不弯曲，因此被大致重叠地拍摄，结果，在区域T2内可看到作为拍摄对象的引线Wd，而大致看不到不是拍摄对象的引线Wb。

因此，区域T2内的白色区域大致为引线Wd，外切矩形Wdx与引线Wd大致一致，Tdx1的测定值与引线Wd的宽度大致一致。与此相对，位于引线Wb背后的引线Wa弯曲，且由于该弯曲，图20的照射光Ra4、Rb4也照射到引线Wa，因此在图21（b）中在区域T1内成为如下图像：在作为拍摄对象的未弯曲的引线Wb的上端部附近的背后，可看到不是拍摄对象、且弯曲的引线Wa的上端部附近。即，区域T1内的白色区域由作为拍摄对象的引线Wb和不是拍摄对象的引线Wa这二者构成，且由于引线Wa弯曲，因此所定义的外切矩形Wbax的横宽Tbax2比引线Wb的横宽大。因此，当利用图像处理程序的作用而测定外切矩形Wbax的横宽Tbax2时，变得大于标准值ε，实际未弯曲的引线Wb被判断为发生弯曲。这意味着品质管理数据出现错误。

图22进一步示出比较例的问题。如图22所示，引线Wa、Wb、Wc、Wd均未弯曲的状态的工件W被输送嘴3吸附时的姿势，相对于照相机N4的拍摄路径Np4稍微倾斜。如图22所示，与图20相比，与照相机N4的拍摄路径Np4平行的单点划线Z和工件W的第1面Ws1所成的角不同。

在图20中，单点划线Z与第1面Ws1所成的角为0°，即但点划线Z和第1面Ws1位于同一平面上。与此相对，在图22中，第1面Ws1相对于单点划线Z倾斜微小角度β。这样产生角度β的原因在于，在图9的工件方向变换部8，如图16那样使工件W旋转90°时，有时旋转角度产生微小误差。由于倾斜该微小角度β，若由LED照明器L4将照明光Ra4、Rb4向引线Wb、Wd照射，利用使用照相机N4的拍摄路径Np4进行引线Wb、Wd的拍摄，则向未弯曲的引线Wb和Wa这二者照射照明光，结果，二者以一部分重叠的状态并列地被拍摄。同样，对未弯曲的引线Wd和Wc这二者照射照明光，结果，二者以一部分重叠的状态并列地被拍摄。将该拍摄图像示于图23（a）（b）。

图23（a）示出图像整体，通过图像处理程序的作用，在引线Wb、Wd周围的一定范围分别设定区域T1、T2。图23（b）示出区域T1、T2附近的放大图。在图23（b），与图19（b）同样，利用图像处理程序定义对白色区域的外切矩形。此时，引线Wb和引线Wa如上述那样一起被照明光照射而以重叠的状态并列地被拍摄到，因此区域T1内的白色区域由引线Wb和引线Wa这二者构成，宛如1个宽度宽的引线。因此，所定义的外切矩形Wbax的横宽Tbax3大于引线Wb的宽度，因此，利用图像处理程序的作用测定外切矩形Wbax的横宽Tbax3时，变得大于标准值ε，实际未弯曲的引线Wb被判断为发生了弯曲。此外，T2的白色区域也同样由引线Wd和引线Wc这二者构成，宛如1个宽度宽的引线。因此，所定义的外切矩形Wdcx的横宽Tdcx3大于引线Wd的宽度，因此利用图像处理程序的作用而测定外切矩形Wdcx的横宽Tdcx3时，变得大于标准值ε，实际未弯曲的引线Wb被判断为发生了弯曲。这些判定都是误判定。

在以上的说明中说明了在图17的第2外观检查部90，由LED照明器L4对在第4面Ws4侧并列的引线Wb、Wd（图7（a））这组照射照明光Ra4、Rb4，利用照相机N4由摄路径N4p对引线Wb、Wd这组拍摄的情况，但在由LED照明器L6对在第6面Ws6侧并列的作为拍摄对象的引线Wa、Wc（图7（a））这组照射照明光Ra6、Rb6，并利用照相机N6由拍摄路径N6p对引线Wa、Wc这组进行拍摄的情况下，同样对不是拍摄对象的引线的引线Wb、Wd也照射了照明光Ra6、Rb6，因此有时不是拍摄对象的引线被同时拍摄而产生同样的问题。

与此相对，根据本发明，通过使用工件遮挡一部分照明光以避免对不是拍摄对象的引线照射照明光，从而能够更加提高外观检查的精度。

Claims (8)

1.一种外观检查装置，对工件进行外观检查，所述工件由具有基准面的多面体构成，所述基准面包括第1边和与第1边相对的第2边，在基准面中的第1边侧的区域设有与第1边平行配置的多个突起物，在基准面中的第2边侧的区域设有与第2边平行配置的多个突起物，所述外观检查装置的特征在于，包括：

输送工件的输送机构；

对工件照射照明光的照明机构；和

拍摄工件的突起物的拍摄机构，

照明机构包括第1照明机构和第2照明机构，所述第1照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，仅将未被工件的主体遮挡的范围的照明光照射到在基准面中的第1边侧的区域与第1边平行配置的多个突起物，所述第2照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，仅将未被工件的主体遮挡的范围的照明光照射到在基准面中的第2边侧的区域与第2边平行配置的多个突起物，

拍摄机构包括第1拍摄机构和第2拍摄机构，所述第1拍摄机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面及第1边侧的突起物进行拍摄，所述第2拍摄机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面及第2边侧的突起物进行拍摄。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

突起物具有直线状的引线。

3.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

照明机构还具有第3照明机构和第4照明机构，所述第3照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光，所述第4照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光。

4.根据权利要求3所述的外观检查装置，其特征在于，

第1拍摄机构还对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面在由第3照明机构进行照射时进行拍摄，第2拍摄机构还对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面在由第4照明机构进行照射时进行拍摄。

5.一种外观检查方法，对工件进行外观检查，所述工件由具有基准面的多面体构成，所述基准面包括第1边和与第1边相对的第2边，在基准面中的第1边侧的区域设有与第1边平行配置的多个突起物，在基准面中的第2边侧的区域设有与第2边平行配置的多个突起物，所述外观检查方法的特征在于，包括：

由输送机构输送工件的输送工序；

由照明机构对工件照射照明光的照明工序；和

由拍摄机构对工件的突起物进行拍摄的拍摄工序，

照明机构包括第1照明机构和第2照明机构，所述第1照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，仅将未被工件的主体遮挡的范围的照明光照射到在基准面中的第1边侧的区域与第1边平行配置的多个突起物，所述第2照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，仅将未被工件的主体遮挡的范围的照明光照射到在基准面中的第2边侧的区域与第2边平行配置的多个突起物，

拍摄机构包括第1拍摄机构和第2拍摄机构，所述第1拍摄机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面及第1边侧的突起物进行拍摄，所述第2拍摄机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面及第2边侧的突起物进行拍摄。

6.根据权利要求5所述的外观检查方法，其特征在于，

突起物具有直线状的引线。

7.根据权利要求5所述的外观检查方法，其特征在于，

照明机构还具有第3照明机构和第4照明机构，所述第3照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光，所述第4照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从正面照射照明光。

8.根据权利要求7所述的外观检查方法，其特征在于，

第1拍摄机构还对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面在由第3照明机构进行照射时进行拍摄，第2拍摄机构还对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面在由第4照明机构进行照射时进行拍摄。