JP5812551B1 - 光学測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】発光素子の光学特性測定の精度を維持しつつ、小占有面積化を図った光学特性測定装置を提供する。【解決手段】光学測定装置１は、回転により発光素子Ｗを搬送する第２回転テーブル３を備える。第２回転テーブル３の上面には、発光素子Ｗを内部に収容するポケット３１を形成し、第２回転テーブル３の上面を不動のカバー３３で被覆する。更に、カバー３３を貫通する光放射孔３５と、第２回転テーブル３の下面側に配置され、第２回転テーブル３の下面から挿入移動して上面に至るプローブ３８と、第２回転テーブル３の上面側に配置される受光素子３９を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、発光素子の光学特性を測定する光学測定装置に関する。

ＬＥＤ等の発光素子は、その製造工程の後工程で電気特性、外観検査及び光学特性等の複合的な試験を経て、その良否が判断される。この後工程での各種試験は、給排気システムを備えて高度な空気清浄度が確保されたクリーンブースで行われることが多い。発光素子の製造コストに影響を与える給排気システムのランニングコストは、クリーンブースの容積に比例するため、クリーンブースは極力小容量であるほうが望ましい。

光学特性の試験に関しては、ＬＥＤ等の発光素子の光量を測定するため、積分球を備えた光量測定システムが一般的である。積分球は、球形の内部空間を有し、内壁面に拡散反射材料が塗布されている。光量測定システムでは、発光素子を積分球の内部空間に配置することでクリーンブース内の雰囲気光等の外乱光を遮光する。また、光量測定システムは、発光素子の放射光を積分球内で繰り返し反射させることで、積分球の内面を均一な照度として、発光素子の光量と積分球の内面から取得した光量との比例関係に基づき、発光素子の光量を測定する。その結果、光量測定システムは、外乱光、発光素子の入射位置依存性、発光素子の入射角依存性等を軽減して、高精度な測定が可能となる。

また、光量の測定の際には、発光素子の電極面とプローブとを確実に位置合わせして試験の最中は一定荷重で接触させるとともに不動とする。このため、光量測定システムは、発光素子を抑え込むクランプ手段を備えている。クランプ手段は、例えば、発光素子の発光面のうち、発光素子の縁部分に存在する非発光領域を上からレバー等で抑え込む態様、又は発光素子の側面をレバーで挟み込む態様等が提案されている。

実用新案登録第３１７３７３０号公報 特開２０１２−０２６８６８号公報

近年、クリーンブースの小容量化を目的として、電気特性や外観検査等の各装置の占有面積が小さくなってきている。しかしながら、光学特性を測定する装置に関しては、発光素子に対して断然に大きな積分球を必要とする以上、小占有面積化に限界が生じている。

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、発光素子の光学特性測定の精度を維持しつつ、小占有面積化を図った光学特性測定装置を提供することを目的とする。

本発明に係る光学測定装置は、発光素子の光学特性を測定する光学測定装置であって、回転により発光素子を搬送する回転テーブルと、前記回転テーブルの上面に形成され、発光素子を内部に収容するポケットと、前記回転テーブルの上面を被覆する不動のカバーと、前記ポケットの移動軌跡上に形成され、前記カバーを貫通する光放射孔と、前記光放射孔に対応して位置し、前記回転テーブルの下面側に配置され、前記回転テーブルの下面から挿入して前記ポケット内部に突出するプローブと、前記光放射孔に対応して位置し、前記回転テーブルの上面側に配置される撮像素子と、を備える。

そして、前記ポケットと前記カバーは、発光素子の遮光手段であることを特徴とする。

前記ポケットと前記カバーは、前記プローブに接触する発光素子を四方及び上方から支持する位置決め手段としてもよい。

発光素子を供給側から排出側まで搬送する別の回転テーブルと、前記別の回転テーブルに沿って配置され、発光素子を処理する一又は複数の処理手段と、を更に備え、前記回転テーブルは、前記別の回転テーブルと経路上連接し、前記別の回転テーブルから離脱した発光素子を回転により搬送し、該発光素子を前記別の回転テーブルに戻すようにしてもよい。

前記処理手段の一つとして、前記別の回転テーブルの周囲に、前記回転テーブルよりも回転方向上流に位置し、発光素子を加熱する加熱手段と、前記処理手段の一つとして、前記別の回転テーブルの周囲に、前記加熱手段と前記回転テーブルとの間に位置し、前記加熱手段により加熱された発光素子の電気特性を検査する電気特性測定手段と、前記回転テーブルの前記光放射孔到達前に設けられ、前記カバーで被覆された前記回転テーブルの内部で発光素子を冷却する冷却区間と、を備えるようにしてもよい。

本発明によれば、発光素子の光学特性の測定に必要であった積分球を省略でき、光学測定装置の小型化を達成できるため、クリーンブースの維持コストを削減できる。

本実施形態に係る光学測定装置の上面図であり、第１回転テーブルは透過させて外延を点線で示している。 本実施形態に係る光学測定装置の断面図である。 本実施形態に係る光学測定装置が備える第２回転テーブルのカバーを外した状態を示す上面図である。 本実施形態に係る光学測定装置が備える第２回転テーブルの側面断面図である。 本実施形態に係る光学測定装置による光学特性の測定時における発光素子の状態を示す側面断面図である。 変形例に係る光学測定装置の上面図である。

（第１の実施形態）
図１及び２に示す光学測定装置１は、発光素子Ｗを搬送しながら各種処理を行う。発光素子Ｗは、薄板状の外形を有し、対向する２平面が電極面と発光面とに分かれてなり、例えばＬＥＤチップである。発光面には一部に発光する領域と残部に非発光の領域とを有する。各種処理には、発光素子Ｗの光学特性の測定が少なくとも含まれる。光学特性は例えば光パワー、スペクトル、色度、光度等である。

光学測定装置１は、発光素子Ｗを保持しつつ周方向に回転する第１回転テーブル２及び第２回転テーブル３を架台１２上に経路上連接して配置している。この光学測定装置１は、第１回転テーブル２と第２回転テーブル３の外周に沿って発光素子Ｗを整列搬送する。第１回転テーブル２と第２回転テーブル３は、水平盤であり、一部が垂直方向で重なり合うように配置される。この重なり位置で発光素子Ｗが授受される。

また、光学測定装置１は、発光素子Ｗを処理する各種の処理手段を第１回転テーブル２と第２回転テーブル３の周囲に配置する。第１回転テーブル２の周囲には、発光素子Ｗを供給する供給ユニット４と、各種処理が終了した発光素子Ｗを収容する収容ユニット１０が配置される。供給ユニット４と収容ユニット１０との間には、搬送方向上流から、高温環境下を模擬すべく発光素子Ｗを加熱する加熱ユニット５、加熱した発光素子Ｗの電気特性を測定する電気特性測定ユニット６、及び発光素子Ｗの傷や汚れ等の外観を検査する外観検査ユニット９が第１回転テーブル２の外周真下に並設される。

第２回転テーブル３は、電気特性測定ユニット６と外観検査ユニット９との間で第１回転テーブル２と経路上連接する。第２回転テーブル３には、光学特性の測定のための各設備が配置される。すなわち、加熱された発光素子Ｗの冷却、測定時における発光素子Ｗの位置固定、測定時における外乱光の遮光、通電、及び受光のための各設備が配置される。

この光学測定装置１は、発光素子Ｗを第１回転テーブル２に供給して周方向に搬送し、第１回転テーブル２と第２回転テーブル３とが重なり合う位置で第１回転テーブル２から第２回転テーブル３に発光素子Ｗを移載して周方向に搬送し、第２回転テーブル３から第１回転テーブル２に発光素子Ｗを戻して周方向に搬送する。搬送中、光学測定装置１は、発光素子Ｗを加熱して高温環境下の電気特性を測定し、発光素子Ｗを冷却した上、光学特性測定ポジション３７で光学特性を測定し、発光素子Ｗを外観検査し、最後に発光素子Ｗを収容する。

各部について詳述すると、架台１２は、第１回転テーブル２、第２回転テーブル３及び各種の処理手段が設置される直方体の台である。この架台１２は、コンピュータやドライバ等の制御機器、電源、ケーブル類、真空ポンプや空気管等を内部に収容し、第１回転テーブル２や第２回転テーブル３や各種の処理手段の駆動を制御している。

第１回転テーブル２は、吸着ノズル２１を外周に有する水平盤であり、一点を中心にして放射状に拡がる円盤又は星形等の形状を有する。この第１回転テーブル２は、周方向に間欠的に所定角度ずつ回転する。第１回転テーブル２の動力源は、ダイレクトドライブモータ２２である。第１回転テーブル２は、ダイレクトドライブモータ２２を介して架台１２に設置される。

吸着ノズル２１は、発光素子Ｗを保持及び離脱させる保持手段の一例である。吸着ノズル２１は、第１回転テーブル２の外周に円周等配位置で、且つ第１回転テーブル２の中心から同一距離に複数取り付けられている。この吸着ノズル２１は内部が中空で一端が開口しており、開口端を下向きに設置される。吸着ノズル２１の内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。吸着ノズル２１は、空気圧回路の負圧発生により開口端で発光素子Ｗを吸着し、真空破壊や大気解放によって発光素子Ｗを離脱させる。

ダイレクトドライブモータ２２は、架台１２の上面に設置される。ダイレクトドライブモータ２２は、架台１２内のコンピュータやドライバの制御によって１ピッチずつ間欠回転する。そのピッチは、吸着ノズル２１の配置間隔に等しい。つまり、吸着ノズル２１は、第１回転テーブル２の間欠回転に伴って共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置で停止する。各処理手段は、吸着ノズル２１の停止位置に設置される。

図２に示すように、処理手段の設置位置には、第１回転テーブル２の直上に進退駆動装置２３が設置されている。進退駆動装置２３は、吸着ノズル２１を処理手段に向けて下降させる。例えば、吸着ノズル２１は、上下方向に軸線を有する筒状の軸受けを介して第１回転テーブル２に取り付けられ、軸受け内部を摺動して昇降可能となっている。この吸着ノズル２１は、圧縮バネ２３４により上方へ常時付勢されている。また、進退駆動装置２３は、吸着ノズル２１の頭部に向けて延びるロッド２３３と、ロッド２３３に軸線方向の推力を付与する回転モータ２３１及びカム機構２３２を備え、吸着ノズル２１を圧縮バネ２３４の付勢力に抗して押し下げる。

具体的には、進退駆動装置２３は、回転モータ２３１により推力を発生させ、その推力をカム機構２３２及びロッド２３３により吸着ノズル２１の軸線に沿った直線推力に変換し、ロッド２３３で圧縮バネ２３４の付勢力に抗するように吸着ノズル２１を押し込む。吸着ノズル２１が保持した発光素子Ｗは、吸着ノズル２１の下降によって処理手段のステージに載置され、処理手段の種類に応じた処理を受ける。回転モータ２３１の推力が解除されると、吸着ノズル２１は、発光素子Ｗを保持しつつ、圧縮バネ２３４の付勢力により元の位置に向けて上昇する。

供給ユニット４は、発光素子Ｗを取出し位置に移動させる。この供給ユニット４は、例えばＸＹステージ、パーツフィーダ、ウェハホルダである。ＸＹステージは、発光素子Ｗを２次元アレイ状に配置した平板状のトレイを有し、該トレイを平板の面が拡がる２次元方向に移動させる。パーツフィーダは、投入された個別の発光素子Ｗをレール上に整列させて取り出し位置に移動させる。リングホルダは、発光素子Ｗを２次元アレイ状に貼着したウェハリングを保持し、該ウェハリングをリング面が拡がる２次元方向に移動させる。

本実施形態の供給ユニット４は、第１回転テーブル２が拡がる水平面に対して垂直にウェハリングを保持するリングホルダである。リングホルダと第１回転テーブル２との間には、発光素子Ｗのピックアップユニット４１が介在する。ピックアップユニット４１は、リングホルダと第１回転テーブル２の発光素子Ｗの授受を仲介する。

このピックアップユニット４１は、吸着ノズル４１１を放射状に配置して構成される。吸着ノズル４１１は、リングホルダと第１回転テーブル２の両方に対して垂直な共通の回転面に配置され、放射半径方向外方に発光素子Ｗを吸着する開口を有する。ピックアップユニット４１は、リングホルダと対向した吸着ノズル４１１で発光素子Ｗを取り出し、その吸着ノズル４１１を上方に回転移動させることで第１回転テーブル２の吸着ノズル２１と対向させ、発光素子Ｗを第１回転テーブル２に引き渡す。

加熱ユニット５はヒーティングテーブル５１を有する。ヒーティングテーブル５１は、熱伝導性の金属により成る円盤であり、周方向に回転する。ヒーティングテーブル５１の上面には複数のポケットが設けられている。ポケットは、加熱対象の発光素子を収容する。このポケットはヒーティングテーブル５１の周に沿って一列に配設されている。各ポケットの配設位置を結んだ配設ラインと第１回転テーブル２の吸着ノズル２１の移動軌跡とは、１点で重複している。発光素子Ｗは、この重複点で受け渡しされる。

加熱ユニット５には、電力を熱に変換する伝熱コイル等のヒータが内蔵されている。ヒーティングテーブル５１は、ヒータによって加熱され、ポケット内の発光素子Ｗに伝熱する。ポケットに収納された発光素子Ｗは、ヒーティングテーブル５１の回転に従って配設ラインを一周して元の位置に戻るまでの間に、ヒーティングテーブル５１を介して電気特性の試験に適した所望の温度まで加熱される。

電気特性測定ユニット６は、発光素子Ｗの電極に対応して配置された金属板又はピン等の接触子を有する。接触子は、例えば銅又はベリリウム銅等の合金、ステンレス鋼、又は、タングステン又はその合金又は超合金からなる。この接触子は、第１回転テーブルの吸着ノズルによって電気特性測定ユニット６に搬送された発光素子Ｗの電極面と電気的に接触する。電気特性測定ユニット６は、接触子を介して発光素子Ｗに電流を流したり、電圧を印加したりすることで、発光素子Ｗの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する。印加と測定を共通の接触子で行うシングルコンタクト方式と、印加と測定を別々の接触子で行うケルビンコンタクト方式のどちらを採用してもよい。

図１及び図３に示すように、第２回転テーブル３は、円盤形状を有する。第２回転テーブル３には、上面に複数のポケット３１が形成されている。ポケット３１は、円周に沿って一列に並ぶ。第２回転テーブル３の下面中心はダイレクトドライブモータ３２に接続されている。第２回転テーブル３は、ダイレクトドライブモータ３２により周方向に間欠的に所定角度ずつ回転する。

第２回転テーブル３の回転ピッチ角とポケットの配置ピッチ角は同一である。すなわち、各ポケット３１は、同一位置で停止する。第２回転テーブル３は、第１回転テーブル２と平行であり、その高さは第１回転テーブル２より低い。第２回転テーブル３は、ポケット３１の停止位置のうちの一箇所を第１回転テーブル２が備える吸着ノズル２１の停止位置の一箇所に合致させ、第１回転テーブル２の下方に一部重なり合うように配置される。

発光素子Ｗは、ポケット３１と吸着ノズル２１の停止位置が重なる受渡位置７で受け渡される。受渡位置７には、第１回転テーブル２の上方に進退駆動装置２３が設置される。進退駆動装置２３による吸着ノズル２１の第２回転テーブル３への接近と接近終了時の吸引解除又は吸引力発生により、発光素子Ｗを受渡位置７のポケット３１に挿入し、又は発光素子Ｗを受渡位置７のポケット３１から取り上げる。

第２回転テーブル３において、ポケット３１の移動軌跡には、受渡位置７のほか、冷却区間３６と２点の光学特性測定ポジション３７が設定されている。２点の光学特性測定ポジション３７は、発光素子Ｗを発光させて光学特性を測定する。冷却区間３６は、加熱後の発光素子Ｗを光学特性測定ポジション３７に到達させる前に常温に向けて冷却するための滞在区間である。

図４に示すように、光学特性測定ポジション３７には、第２回転テーブルの上方にＣＭＯＳやＣＣＤ等の受光素子３９が配置されている。この受光素子３９は、架台１２内部の解析機器と信号線で接続されている。本実施形態の光学測定装置１は積分球を備えない。また、光学特性測定ポジション３７には、第２回転テーブル３の下方にプローブ３８が配置されている。プローブ３８は、導電性の長細棒であり、架台１２内部の解析機器と電力線で接続されている。解析機器は、架台１２内部の電源、ドライバ及びコンピュータであり、発光素子Ｗに電力を供給し、受光素子３９から受光結果を示す信号を受信し、該信号を解析して光学特性を得る。

このプローブ３８は、第２回転テーブル３の下方から第２回転テーブル３の下面に向けて、第２回転テーブル３の平面と直交するように延びている。各ポケット３１には挿入孔３１１が形成されている。プローブ３８は、第２回転テーブル３の下方から軸線方向に移動し、第２回転テーブル３の下面からポケット３１の挿入孔３１１に差し込まれて、ポケット３１内部の発光素子Ｗに達する。

すなわち、プローブ３８はスリーブ体３８１に固定されている。スリーブ体３８１は、第２回転テーブル３の平面と平行に延びた円筒状のカムフォロア３８２を有する。カムフォロア３８２は、カム３８３の周面と当接している。カム３８３は、カム軸を第２回転テーブル３の平面と平行に延ばし、カム軸とモータ３８４のモータ軸とを同軸状に接続している。カム３８３の周面はカム面となっており、カム面は狭径区間と広径区間を有する。

モータ３８４の回転に伴ってカムフォロア３８２をカム３８３の広径区間で従動させ、スリーブ体３８１を全体的に光学特性測定ポジション３７側に押し上げる。これにより、プローブ３８は、光学特性測定ポジション３７を向かって移動し、第２回転テーブル３のポケット３１に形成された挿入孔３１１に差し込まれ、プローブ３８をポケット３１内部に到達させ、ポケット３１内部の発光素子Ｗの電極面と接触する。

第２回転テーブル３の上面はカバー３３で被覆されている。カバー３３は、少なくとも、周方向に並ぶポケット３１を光学特性測定ポジション３７を除き完全に覆う。このカバー３３は、第２回転テーブル３と従動せずに不動に設置されている。カバー３３は、塵や埃がクリーンブースへ飛散するのを防止する。冷却区間３６では、このカバー３３とポケット３１とにより区画された内部空間で発光素子Ｗが冷却される。そのため、カバー３３は、高い放熱効果を有するステンレス等の金属製で組成されることが望ましい。

カバー３３には、厚み方向に該カバーを貫く出入口が受渡位置７に形成されている。この出入口は、第１回転テーブル２と第２回転テーブル３との間で発光素子Ｗを授受するために設けられている。そのため、出入口は、発光素子Ｗの外形と同一以上の大きさで拡がっている。

また、カバー３３には、厚み方向に該カバーを貫く光放射孔３５が光学特性測定ポジション３７に形成されている。この光放射孔３５は、発光素子Ｗの放射光をカバー３３の外部へ取り出すために設けられている。そのため、光放射孔３５は、発光素子Ｗの発光面に露出する発光領域と同一の大きさ及び形状で拡がっている。但し、このカバー３３は、光学特性の測定時の発光素子Ｗの位置固定手段にもなり、光放射孔３５は、非発光領域を含む発光素子Ｗの全体面積よりも狭い。

このような第２回転テーブル３において、第１回転テーブル２で搬送された発光素子Ｗがポケット３１に挿入されると、第２回転テーブル３は、複数回の間欠回転を繰り返し、発光素子Ｗに冷却区間３６を通過させる。冷却区間３６は、発光素子Ｗに対してポケット３１とカバー３３で囲まれた密閉空間内での冷却時間を与える。すなわち、発光素子Ｗは、カバー３３により吸熱されて常温に向けて冷却される。

第２回転テーブル３は、更に回転することで、発光素子Ｗを光学特性測定ポジション３７に到達させる。光学特性測定ポジション３７において、プローブ３８は、第２回転テーブル３の下面に向けて移動し、貫通孔３１１に先端を差し入れ、ポケット３１の内部に至る。プローブ３８は、更にポケット３１内部の発光素子Ｗを押し上げ、発光素子Ｗの非発光領域を光放射孔３５の縁に当接させる。このとき、図５に示すように、プローブ３８とカバー３３は、発光素子Ｗを上下で挟持して位置を固定し、ポケット３１は発光素子Ｗを四方で位置固定する。すなわち、カバー３３は、防塵手段及び冷却手段の他、発光素子Ｗのクランプ手段としても機能する。

プローブ３８による発光素子Ｗの電極面への接触、及びプローブ３８とカバー３３による発光素子Ｗの位置決め後、プローブ３８は発光素子Ｗに電力を供給する。光放射孔３５は、発光素子Ｗの光を受光素子３９に向けて通過させる。光放射孔３５は、発光領域のみを露出させ、カバー３３とポケット３１は、発光素子Ｗが収容されるポケット３１に外乱光が侵入することを阻止している。すなわち、カバー３３とポケット３１は、外乱光の遮光手段としても機能する。より遮光効果を高めるべく、カバー３３には、光放射孔３５の表側縁に反射率の低い塗料を塗布しておいてもよい。

受光素子３９は、受光量を示す信号を架台１２内部の解析機器に出力する。解析機器は、信号解析により発光素子Ｗの光学特性を得る。光学特性の測定終了の後、プローブ３８は、下方に移動して第２回転テーブル３から離脱する。プローブ３８の引き抜きによって、発光素子Ｗのカバー３３への当接は解除される。

発光素子Ｗの位置固定が解除された後、第２回転テーブル３は、再び複数回の間欠回転を繰り返し、光学特性の測定が済んだ発光素子Ｗを受渡位置７へ戻す。受渡位置７では、第１回転テーブル２の空の吸着ノズル２１が上方で待機している。すなわち、この待機中の吸着ノズル２１は、１ポジション先行して受渡位置７に移動したポケット３１に発光素子Ｗを挿入することで、発光素子Ｗの未保持となっている。

受渡位置７で待機中の空の吸着ノズル２１は、進退駆動装置２３により下降し、吸引力発生により光学特性の測定が済んだ発光素子Ｗを保持する。また、進退駆動装置２３が付与する下降力が解除されることにより、発光素子Ｗを保持した吸着ノズル２１は再上昇する。これにより、光学特性の測定が済んだ発光素子Ｗは再び第１回転テーブル２に戻される。受渡位置７に存在したポケット３１は空の状態となるため、次に受渡位置７に到達する吸着ノズル２１が発光素子Ｗを挿入することとなる。

第１回転テーブル２に戻った発光素子Ｗは、外観検査ユニット９を経る。外観検査ユニット９は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の受光素子を有するカメラを有し、発光素子Ｗを撮像する。撮像結果は、信号として架台１２内のコンピュータにより画像解析され、傷等の有無が判定される。

更に、第１回転テーブル２が回転すると、外観検査ユニット９を経た発光素子Ｗは収容ユニット１０に至る。収容ユニット１０は、発光素子Ｗの載置箇所を収容予定位置に移動させる装置である。例えば、ＸＹステージ、リングホルダ、発光素子Ｗを収容するポケットが形成されたテープを順次送り出すテーピングユニット等が挙げられる。本実施形態の収容ユニット１０は、テーピングユニットである。

以上のように、光学測定装置１は、回転により発光素子Ｗを搬送する第２回転テーブル３を備えるようにした。そして、この第２回転テーブル３の上面には、発光素子Ｗを内部に収容するポケット３１を形成し、第２回転テーブル３の上面を不動のカバー３３で被覆するようにした。更に、カバー３３を貫通する光放射孔３５と、第２回転テーブル３の下面側に配置され、第２回転テーブル３の下面から挿入移動して上面に至るプローブ３８と、第２回転テーブル３の上面側に配置される受光素子３９を備えるようにした。

これにより、発光素子Ｗは、発光領域が光放射孔３５によって露出されるほかは、ポケット３１とカバー３３によってポケット３１の内部空間に閉じ込められ、この内部空間には、ポケット３１とカバー３３により外乱光の侵入が防止される。すなわち、ポケット３１とカバー３３は遮光手段となる。また、ポケット３１とカバー３３は、プローブ３８に接触する発光素子Ｗの四方及び上方への位置ズレを阻止する位置決め手段となる。

そのため、本実施形態の光学測定装置１は、遮光手段として機能する積分球を必要としない。また、発光素子Ｗの入射位置や入射角を位置決めするクランプ手段を別途設ける必要がない。そのため、光学測定装置１において、従来必要であった大型の部品を排除でき、光学測定装置１の小型化を達成できる。

この光学測定装置１の占有面積の減少によれば、クリーンブースも小型化できる。そのため、クリーンブースの清浄維持等のコスト削減となり、発光素子Ｗの製造コストも削減できる。尚、光学測定装置１において外観検査等の他の処理を行わない場合には、第１回転テーブル２を排し、第２回転テーブル３の１機としてもよい。この場合、第２回転テーブル３の周囲に供給ユニット４と収容ユニット１０を配置すればよい。

但し、発光素子Ｗを供給側から排出側まで搬送する第１回転テーブル２を設け、第１回転テーブル２に沿って発光素子Ｗを処理する一又は複数の処理手段を配置することにより、電気特性の測定や外観の検査といった複数種類の処理を１台の光学測定装置１で達成できる。従って、各種処理のための設備が全体として小型化する。そうすると、クリーンブースの清浄維持のコストが更に削減され、発光素子Ｗの製造コストを更に低下させることができる。

特に、加熱ユニット５と電気特性測定ユニット６を光学測定装置１に設ける場合、光学特性測定ポジション３７に到達前の区間が、カバー３３とポケット３１で密閉された冷却区間として機能する。つまり、高温環境下の電気特性の測定と光学特性の測定の両方を１台の装置で賄うと、この光学測定装置１の構成では、特別な冷却装置が不要となる恩恵を受けることができる。そのため、設備全体としての占有面積が更に削減し、クリーンブースの清浄維持のコスト及び発光素子Ｗの製造コストを更に低下させることができる。

（変形例）
この光学測定装置１において、発光素子Ｗの外観検査では、３つの工程に分けて６面を検査するようにしてもよい。第１工程では発光素子Ｗの発光面の外観を検査する。第２工程と第３工程では、発光素子Ｗの電極面と発光素子の四方側面とを分けて検査する。すなわち、図６に示すように、光学測定装置１は、第２回転テーブル３の上方、第１回転テーブル２が備える吸着ノズル２１の２点の停止位置に各々撮像部１１ａ、１１ｂ、１１ｃを配置する。

第１回転テーブル２では、発光素子Ｗの発光面を吸着ノズル２１で吸着されているために、発光素子Ｗの表裏を反転する処理をしなければ発光面の外観検査ができない。しかしながら、この光学測定装置１において、第２回転テーブル３は、発光素子Ｗを上面に載置し、しかも発光面を上に向けて搬送しているため、カバー３３の一箇所に撮像光学系を通す貫通孔を設けておき、その貫通孔の上に撮像部１１ａを設置しておけば、表裏反転の必要なく、発光素子Ｗの発光面を外観検査することができる。

（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１ 光学測定装置
２ 第１回転テーブル
２１ 吸着ノズル
２２ ダイレクトドライブモータ
２３ 進退駆動装置
２３１ 回転モータ
２３２ カム機構
２３３ ロッド
２３４ 圧縮バネ
３ 第２回転テーブル
３１ ポケット
３１１ 挿入孔
３２ ダイレクトドライブモータ
３３ カバー
３５ 光放射孔
３６ 冷却区間
３７ 光学特性測定ポジション
３８ プローブ
３８１ スリーブ体
３８２ カムフォロア
３８３ カム
３８４ モータ
３９ 受光素子
４ 供給ユニット
４１ ピックアップユニット
４１１ 吸着ノズル
５ 加熱ユニット
５１ ヒーティングテーブル
６ 電気特性測定ユニット
７ 受渡位置
９ 外観検査ユニット
１０ 収容ユニット
１１ａ 撮像部
１１ｂ 撮像部
１１ｃ 撮像部
１２ 架台
Ｗ 発光素子

Claims (4)

1. 発光素子の光学特性を測定する光学測定装置であって、
   回転により発光素子を搬送する回転テーブルと、
   前記回転テーブルの上面に形成され、発光素子を内部に収容するポケットと、
   前記回転テーブルの上面を被覆する不動のカバーと、
   前記ポケットの移動軌跡上に形成され、前記カバーを貫通する光放射孔と、
   前記光放射孔に対応して位置し、前記回転テーブルの下面側に配置され、前記回転テーブルの下面から挿入して前記ポケット内部に突出するプローブと、
   前記光放射孔に対応して位置し、前記回転テーブルの上面側に配置される撮像素子と、
   を備え、
   前記ポケットと前記カバーは、発光素子の遮光手段であること、
   を特徴とする光学測定装置。
2. 前記ポケットと前記カバーは、更に、前記プローブに接触する発光素子を四方及び上方から支持する位置決め手段であること、
   を特徴とする請求項１記載の光学測定装置。
3. 発光素子を供給側から排出側まで搬送する別の回転テーブルと、
   前記別の回転テーブルに沿って配置され、発光素子を処理する一又は複数の処理手段と、
   を更に備え、
   前記回転テーブルは、前記別の回転テーブルと経路上連接し、前記別の回転テーブルから離脱した発光素子を回転により搬送し、該発光素子を前記別の回転テーブルに戻すこと、
   を特徴とする請求項１又は２に記載の光学測定装置。
4. 前記処理手段の一つとして、前記別の回転テーブルの周囲に、前記回転テーブルよりも回転方向上流に位置し、発光素子を加熱する加熱手段と、
   前記処理手段の一つとして、前記別の回転テーブルの周囲に、前記加熱手段と前記回転テーブルとの間に位置し、前記加熱手段により加熱された発光素子の電気特性を検査する電気特性測定手段と、
   前記回転テーブルの前記光放射孔到達前に設けられ、前記カバーで被覆された前記回転テーブルの内部で発光素子を冷却する冷却区間と、
   を備えること、
   を特徴とする請求項３記載の光学測定装置。

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