CN103426705B - 灯丝更换器和灯丝更换结构 - Google Patents

Abstract

本发明提供灯丝更换器和灯丝更换结构，不总是占用用于更换灯丝的多余的空间、且在灯丝更换时能减少辅助真空容器的装卸次数，该灯丝更换器包括辅助真空容器及操作杆，该操作杆贯穿所述辅助真空容器、且其前端部在辅助真空容器内安装于所述灯丝支承结构，在所述辅助真空容器内处于真空排气后的状态下，用于从所述真空室内拔出灯丝至所述辅助真空容器内，所述辅助真空容器包括：容器主体，形成有与所述真空室的外部接触且可装拆地安装在所述真空室的外部的、通过所述操作杆拔出的所述灯丝所通过的安装口及更换所述灯丝时所述灯丝所通过的灯丝取出口；以及盖体，可打开或关闭所述灯丝取出口。

Description

灯丝更换器和灯丝更换结构

技术领域

本发明涉及当更换在离子源或电子源等的真空室内使用的灯丝时使用的灯丝更换器和灯丝更换结构。

背景技术

例如在液晶显示器和半导体装置的制造中，使用离子注入装置，用于向液晶玻璃基板和半导体基板注入离子。在离子注入装置中设置有用于产生等离子体并引出离子束的离子源。

在所述离子源中，在与向基板照射离子束且保持为真空的处理室连通的等离子体生成室中突出设置有多个灯丝，通过从灯丝放出热电子使导入等离子体生成室中的气体电离而产生等离子体。

可是，伴随着所述离子源的运转时间的累积，所述灯丝有时劣化或损坏，所以需要定期更换灯丝。在更换所述灯丝时，如果所述处理室和所述等离子体生成室这样的真空室内恢复到大气压，则因为所述真空室的容积非常大，所以到将真空度恢复到原来的真空度从而重新运转离子注入装置为止需要花费很长时间，因此会导致装置的运转率降低。

因此，为了能够在不将所述等离子体生成室内对大气开放的状态下进行灯丝的更换，如图9所示，专利文献1公开了一种离子源300A：与等离子体生成室C相邻固定有小型真空箱1A，通过与所述等离子体生成室C连通的闸阀E从所述真空箱1A将支承臂62A所支承的灯丝61A设置在所述等离子体生成室C内。

对于所述真空源300A，首先对真空箱1A内进行真空排气，之后通过所述闸阀E将灯丝61A从等离子体生成室C移动至真空箱1A内，之后关闭闸阀E后打开真空箱1A内的盖，使真空箱1A向大气开放，从支承臂62A上取下灯丝61A。因此，只对小型的真空箱1A内进行真空排气以及使小型的真空箱1A向大气开放，与使等离子体生成室C对大气开放并更换灯丝61A的情况相比，能够缩短到离子注入装置重新运行为止所需的时间。

然而，如图9所示，所述真空箱1A处于突出在所述等离子体生成室C外侧的状态，总是占用一定的空间。例如，在离子源是等离子体生成室C内为多个灯丝61A排成一排设置的多灯丝型离子源300A时，需要对每个设置的灯丝分别设置所述真空箱1A，占用的空间将进一步扩大，并且使离子源300A整体也变得非常大。

另外，如图10所示，专利文献2公开了一种技术：不使所述真空箱1A与所述离子生成室C相邻地总是固定在所述离子生成室C上，而是使用相对于所述离子生成室C外表面可装拆的灯丝更换器100A进行灯丝61A的更换。

所述灯丝更换器100A包括：辅助真空容器1A，在前端面具有开口，该开口覆盖带凸缘的电流导入端子62A的外部露出部周围，并且呈大致长方体形状；以及操作杆2A，贯通所述辅助真空容器1A的内外，并与所述带凸缘的电流导入端子62A连接。

所述灯丝更换器100A的使用方法具体如下。首先，将所述辅助真空容器1A固定在安装有所述带凸缘的电流导入端子62A的固定结构5A上，使得包围所述带凸缘的电流导入端子62A，所述操作杆2A的前端也固定在所述带凸缘的电流导入端子62A上。然后，对所述辅助真空容器1A内进行真空排气之后，通过拔出操作杆2A将所述带凸缘的电流导入端子62A和灯丝61A拔到辅助真空容器1A内。然后，在关闭隔开所述辅助真空容器1A内和所述离子生成室C内的未图示的真空阀的状态下，通过打开未图示的通气阀使所述辅助真空容器1A内向大气开放。然后，从所述固定结构5A卸下所述辅助真空容器1A后，再从所述带凸缘的电流端子62A取下灯丝61A。

将新的灯丝61A安装到所述带凸缘的导入端子62A的前端之后，重新将所述辅助真空容器1A安装到所述固定结构5A上，并重复与上述步骤相反的步骤，最后卸下所述辅助真空容器1A。

按照所述的灯丝更换器100A，仅在进行灯丝更换时才安装于所述离子源300A，因此不会总是占有一定的空间。

然而，如所述的更换时的动作可知，为了完成一个灯丝的更换，需要分别重复两次把所述辅助真空容器1A安装到所述固定结构5A上以及把所述辅助真空容器1A从所述固定结构5A卸下。

为了使所述辅助真空容器1A在内部被进行真空排气时不被大气压压坏，所述辅助真空容器1A由金属体形成，因而重量重，所以多次重复辅助真空容器1A的安装及拆卸操作，会加大更换操作者的负担。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2008-234895号

专利文献2：日本专利公报特許3518320号

发明内容

为了一举解决所述的问题，本发明的目的是提供灯丝更换器和灯丝更换结构，不会总是占有用于灯丝更换的多余空间，能够使离子源和电子源等的结构紧凑，并且能够减少更换灯丝时的辅助真空容器的装拆次数从而能大幅减轻更换操作者的负担。

即，本发明提供一种灯丝更换器，在将设置在真空室内的灯丝取出至所述真空室外并进行更换时使用所述灯丝更换器，所述灯丝支承于灯丝支承结构，所述灯丝支承结构的一部分露在所述真空室的外部，所述灯丝更换器包括：辅助真空容器，形成有安装口，该安装口以覆盖所述灯丝支承结构的方式可装拆地安装于所述真空室外；以及操作杆，贯穿所述辅助真空容器，该操作杆的前端部在辅助真空容器内安装于所述灯丝支承结构，在所述辅助真空容器内处于真空排气后的状态下，用于经过所述安装口从所述真空室内拔出所述灯丝支承结构和所述灯丝至所述辅助真空容器内，所述辅助真空容器包括：容器主体，形成有所述安装口以及更换所述灯丝时用于取出所述灯丝的取出口；以及透明树脂制的盖体，能打开所述取出口或关闭所述取出口，所述灯丝更换器还包括托架，所述托架连接在所述操作杆的前端部和所述灯丝支承结构之间，所述容器主体沿所述操作杆的轴向延伸，在前端侧具有所述安装口，并且在位于与所述安装口的相反侧的所述轴向的基端侧具有突出的凸部，所述凸部在所述灯丝拔出至所述容器主体内的状态下收容所述托架，并且从所述轴向观察时，所述凸部和所述托架小于所述灯丝支承结构。

按照所述的灯丝更换器，所述辅助真空容器可装拆地安装于所述真空室的外部，因此除了进行灯丝更换时，其他时候能够卸下所述辅助真空容器，因此不会总是占用多余的空间作为更换灯丝用的空间。

此外，所述辅助真空容器包括所述容器主体和所述盖体，通过所述盖体可打开或关闭所述灯丝取出口，因此在所述安装口安装在所述真空室的外侧的状态下，能够用所述盖体关闭所述灯丝取出口从而密封所述辅助真空容器内进行真空排气。因此，能够在所述辅助真空容器内处于真空的状态下，将灯丝从所述真空室内拔出至所述辅助真空容器内，从而能够保持所述真空室内的真空度。

此外，当从所述辅助真空室内向外部取出并更换拔出的灯丝时，关闭隔开所述真空室和所述辅助真空容器的真空阀，并且在所述容器主体安装在所述真空室外表面的状态下，能够将所述盖体从所述灯丝取出口卸下并通过所述灯丝取出口用新的灯丝替换旧的灯丝并将新的灯丝安装到所述灯丝支承结构上。

此后，通过所述盖体关闭所述灯丝取出口，密封所述辅助真空容器并对内部进行真空排气后，开放所述真空阀使所述辅助真空容器内和所述真空室内连通，并利用所述操作杆将所述灯丝支承结构和灯丝推入真空室内，由此能够将新的灯丝送入所述真空室内而不破坏所述真空室内的真空度。

如上所述，通过开关所述盖体，能够在所述容器主体安装在所述真空室的外侧的状态下进行旧的灯丝与新的灯丝的更换，因此在更换一个灯丝时，所述辅助真空容器针对所述真空室外侧的安装及拆卸分别只进行一次即可，从而能够大幅减少更换操作者的负担。

在所述辅助真空容器内用新的灯丝替换旧的灯丝并将新的灯丝安装到所述灯丝支承结构上时，为了易于将手或工具等从所述灯丝取出口放入到内部从而易于进行更换操作，优选的是，所述盖体可装拆地安装于所述容器主体。按照该结构，能够使所述灯丝取出口打开得最宽广。

为了能够使所述辅助真空容器内的容积最小化从而能够缩短灯丝更换时对所述辅助真空容器内进行真空排气所需要的时间，优选的是，所述灯丝更换器还包括托架，所述托架连接在所述操作杆的前端部和所述灯丝支承结构之间，所述容器主体沿所述操作杆的轴向延伸，在前端侧具有所述安装口，并且在位于与所述安装口的相反侧的所述轴向的基端侧具有突出的凸部，所述凸部在所述灯丝拔出至所述容器主体内的状态下收容所述托架，并且从所述轴向观察时，所述凸部和所述托架小于所述灯丝支承结构。

为了利用所述操作杆从所述真空室内拔出所述灯丝支承结构和所述灯丝，或为了防止灯丝在回到所述真空室内时因为转动等接触壁等而导致破损，优选的是，所述灯丝更换器还包括引导件，所述引导件包括导轨和滑块，所述导轨安装在所述容器主体内，沿轴向延伸，所述滑块安装在所述导轨上且可滑动，所述滑块与所述灯丝支承结构连接。按照该结构，能够使所述灯丝支承结构和所述灯丝总是沿着所述导轨移动而不会发生旋转等，因此能够更安全地进行灯丝的更换。

在灯丝更换时，为了易于将所述灯丝更换器搬运至真空室，优选的是，在所述容器主体的外表面上设置有搬运用的把手。

在灯丝更换时，在进行使所述灯丝支承结构能够从所述真空室卸下的预先准备等时，为了使所述灯丝更换器能够安全地放置从而不倒，在所述容器主体的外表面上设置有两个脚部，在放置时所述两个脚部与所述把手构成三点支承。

为了不在所述灯丝更换器上安装真空排气用的配管等，并且为了在所述真空室的外侧安装所述灯丝更换器时不被配管等妨碍从而易于进行操作，本发明还提供一种灯丝更换结构，所述灯丝更换结构包括：所述的灯丝更换器；以及固定结构，设置在所述真空室的外侧，固定所述灯丝支承结构，所述固定结构包括：真空排气用阀，用于对所述灯丝更换器内进行真空排气；以及排气流路，当所述灯丝更换器以包围所述灯丝支承结构的方式安装时，该排气流路连通所述真空排气用阀和所述辅助真空容器内。

按照所述的本发明的灯丝更换器和灯丝更换结构，所述灯丝更换器相对于所述真空室的外侧可装拆，因此无须总是设置只有在更换灯丝时才使用的用于辅助真空室的空间。因此，不会大量占用真空室周围的空间。此外，设置有所述盖体，因此能够在所述容器主体安装在所述真空室外侧的状态下，打开所述灯丝取出口进行灯丝更换。因此，在一次灯丝更换中，仅分别进行一次把所述灯丝更换器安装到真空室的外侧及从真空室的外侧卸下所述灯丝更换器，因此能够减少更换操作者的负担。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式的灯丝更换器的使用例的示意图。

图2是表示与图1为相同实施方式的灯丝更换器的立体示意图。

图3是表示与图1为相同实施方式的灯丝更换器与固定结构分离状态的立体示意图。

图4是表示与图1为相同实施方式的灯丝更换器安装在固定结构上的状态的立体示意图。

图5是表示与图1为相同实施方式的灯丝更换器安装在带凸缘的电流导入端子上的状态的示意图。

图6是表示与图1为相同实施方式的带凸缘的电流导入端子和灯丝的移动方式的立体示意图。

图7是表示与图1为相同实施方式的灯丝从真空室内拔出时的灯丝更换器的状态的示意性剖视图。

图8是表示从与图1为相同实施方式的灯丝更换器内取下灯丝的状态的立体示意图。

图9是表示现有的灯丝更换机构的示意图。

图10是表示另一种现有的灯丝更换器的示意图。

附图标记说明

1辅助真空容器

11容器主体

11a安装口

11b灯丝取出口

11c凸部

12盖体

21操作杆

22引导件

23托架

42脚部

51真空排气用阀

53排气流路

61灯丝

62带凸缘的电流导入端子(灯丝支承结构)

100灯丝更换器

200灯丝更换结构

C真空室

具体实施方式

参照附图对本发明一个实施方式的灯丝更换器100以及灯丝更换结构200进行说明。

本实施方式的灯丝更换器100用于更换离子源300的灯丝61，所述离子源300例如在制造液晶显示器或半导体装置中，生成用于向液晶玻璃基板或半导体基板注入离子的离子束。此外，灯丝更换器100也能用于更换生成电子束的电子源的灯丝61。下面以配置在作为离子源300的真空室C的等离子体生成室中的灯丝61的更换为例进行说明。

例如如图1所示，所述离子源300是在上下方向上配置有多个灯丝61的多灯丝型离子源。更具体而言，带凸缘的电流导入端子62露在所述离子源300的真空室C的外侧，所述带凸缘的电流导入端子62是用于将所述灯丝61支承在所述真空室C内的灯丝支承结构，多个所述带凸缘的电流导入端子62在上下方向上排成2列设置。此外，各个带凸缘的电流导入端子62固定在各固定结构5上，所述各固定结构5设置在所述离子源300上。如图1、图3、图5的(b)等所示，所述固定结构5包括：真空阀54，能处于隔开真空室C内部和外部的封闭状态或使内部和外部连通的开放状态；更换器安装孔52，用于安装所述灯丝更换器100；真空排气用阀51，用于对所述灯丝更换器100内进行真空排气；以及排气流路53，连通所述真空排气用阀51和所述灯丝更换器100内。各真空排气用阀51通过排气管互相连接，通过切换阀的开关，能够从任意一个所述真空排气用阀51对所安装的灯丝更换器100内进行真空排气。

如图1中的虚线所示，各带凸缘的电流导入端子62的外部露出侧在通常使用时没有安装所述灯丝更换器100，如实线所示，所述灯丝更换器100仅安装在固定有需要进行更换操作的灯丝61的所述固定结构5上，进行灯丝61的更换操作。此外，在新的灯丝61被送到所述真空室C内完成更换之后，将所述灯丝更换器100从所述固定结构5卸下。

如图2、图3所示，所述灯丝更换器100是中空的且呈大致长的长方体形状，通过前端面的开口能够覆盖露在所述固定结构5的中央部的带凸缘的电流导入端子62的头部。此外，前端面的周围四个部位设置有安装螺丝S1，安装螺丝S1用于安装在所述带凸缘的电流导入端子62的周围四个部位的更换器安装孔52中。即，所述灯丝更换器100相对于所述固定结构5可装拆，并且如图4所示，所述灯丝更换器100可在所述带凸缘的电流导入端子62的外侧形成区别于所述真空室C的另外的密封空间。

所述灯丝更换器100的主要构成部件包括：大致长方体形状的辅助真空容器1，在所述灯丝更换器100安装在所述带凸缘的电流导入端子62的周围时形成密封空间；拔出机构2，用于将位于所述真空室C内的灯丝61拔出至辅助真空容器1内；以及压力调节机构3，调节所述辅助真空容器1内的压力。

以下对各部件进行说明。

如图2所示，所述辅助真空容器1包括：容器主体11，呈大致长方体形状，是在前端面和侧面分别具有开口的金属制箱体；以及透明树脂制的盖体12，用于打开或关闭所述容器主体11侧面的开口。

所述容器主体11在前端面形成有安装口11a，该安装口11a用于包围所述带凸缘的电流导入端子62周围，与所述固定结构5接触并安装于所述固定结构5，所述容器主体11在侧面形成有大于所述安装口11a的灯丝取出口11b，所述容器主体11在基端面侧形成有凸部11c。

从长边方向观察时，所述安装口11a的开口与所述带凸缘的电流导入端子62的大小大致相同。

所述灯丝取出口11b形成有大致长方形的开口，短边为人的手能够进入程度的大小，并且以包围开口周围的方式设置有作为密封用密封结构SL的O形环。与形成有所述灯丝取出口11b的侧面相邻的上下侧面上分别设置有搬运所述灯丝更换器100的把手41。此外，还分别设置有两个脚部42，与所述把手41构成三点支承，在放置时使得上下侧面稳定。此外，在上下侧面的四个部位分别设置有金属安装配件43，用于由所述盖体12边按压所述O形环边封闭所述灯丝取出口11b。

所述盖体12为大致长方形的平板，并且在侧面的四个部位设置有与所述金属安装配件43卡合的安装部，此外在中央部设置有拆卸用把手12a。参照图2等可知，所述盖体12能够从所述容器主体11完全分离，在进行灯丝61的更换操作时，所述盖体12可以不妨碍更换操作者从所述灯丝取出口11b将手伸进内部。

所述拔出机构2包括：操作杆21，贯穿所述凸部11c且沿所述辅助真空容器1内的长边方向延伸；托架23，连接所述操作杆21的前端部和所述带凸缘的电流导入端子62的头部；以及引导件22，引导所述托架23，使所述托架23只沿所述操作杆21的轴向移动。

所述操作杆21包括：T形的把手部21b，位于所述辅助真空容器1的外部，由更换操作者握住使所述操作杆21进退；以及杆部21a，连接在所述把手部21b与所述托架23之间。所述杆部21a与所述凸部11c之间的滑动部也形成有密封结构，通过滑动部防止所述辅助真空容器1内外的空气出入。

所述引导件22包括：导轨22a，在所述容器主体11的内侧面上沿所述操作杆21的轴向延伸；以及，滑块22b，安装在所述导轨22a上，可以滑动。所述滑块22b与所述托架23的侧面连接，使得所述托架23和所述带凸缘的电流导入端子62仅直线移动而不发生转动。因此，所述辅助真空容器1的容积即使是与所述带凸缘的电流导入端子62的大小匹配的容积，也能够使灯丝61在移动时能安全地移动而不会接触壁面。

当所述操作杆21拔出至最大位置时，所述托架23收容于所述凸部11c的内部。换言之，在所述灯丝61拔出至所述容器主体11内的状态下，所述凸部11c收容所述托架23，并且从所述轴向观察时，所述凸部11c与所述托架23比所述带凸缘的电流导入端子62小。

所述压力调节机构3的各构成部件配置在所述辅助真空容器1的基端面上没有形成所述凸部11c的平面部分。即，用于检测所述辅助真空容器1内的压力的压力表32和用于将所述辅助真空容器1内从处于真空排气的状态变成向大气压开放的通气阀31设置在基端面上。

以下，对使用如上所述结构的灯丝更换器100进行灯丝61的更换操作的工序进行说明。

首先，更换操作者事先取下安装在所述固定结构5上的所述带凸缘的电流导入端子62的紧固螺丝。此时，与大气压相比真空室C内的压力非常低，因此所述带凸缘的电流导入端子62因大气压而被向所述真空室C内部一侧按压，因此不会轻易脱落。

之后，如图3、图4所示，通过所述安装口11a以包围所述带凸缘的电流导入端子62的头部的方式，将所述灯丝更换器100安装到所述离子源300的所述固定结构5上。

接着，如图5的(a)所示，从所述容器主体11卸下所述盖体12，将所述托架23与所述带凸缘的电流导入端子62的头部拧紧固定，之后再次将所述盖体12安装到容器主体11上从而密封所述辅助真空容器1内。在关闭设置在凸部11c侧的所述通气阀31的状态下，如图5的(b)所示，利用所述固定结构5所具备的所述真空排气用阀51，并通过所述固定结构5内的排气流路53，对所述辅助真空容器1内进行真空排气。所述真空排气持续至设置于所述凸部11c侧的压力表32指示变成规定的真空度为止。

若所述辅助真空容器1内减压至与所述真空室C内几乎相同的真空度，则如图6所示，更换操作者通过向所述凸部11c侧拔出所述操作杆21，使所述带凸缘的电流导入端子62和灯丝61经过所述安装口11a移动至所述辅助真空容器1内。此时，所述托架23与所述引导件22的滑块22b连接，因此所述托架23只进行直线移动，并且如图6的(a)所示，所述带凸缘的电流导入端子62和所述灯丝61边仅进行平行移动边在所述辅助真空容器1内从前端侧移动至基端侧。所述盖体12是透明树脂制的，因此更换操作者能够通过所述灯丝取出口11b随时确认所述带凸缘的电流导入端子62和灯丝61的移动状态，能够防止灯丝61在所述辅助真空容器1内接触到壁而导致破损等事态的发生。

此外，如图6的(b)、图7的剖视图所示，若所述托架23收容于所述凸部11c内结束移动，则成为所述灯丝61整体收容于所述辅助真空容器1内的状态。如图7所示，作为所述带凸缘的电流导入端子62不经过的区域的所述凸部11c具有所需要的足够的用于仅收容所述托架23的容积，因此能够使所述辅助真空容器1内的容量减小，能够缩短真空排气所需要的时间。

之后，通过封闭设置在所述固定结构5上的真空阀54，将所述真空室C内和所述辅助真空容器1内完全隔开。然后开放所述通气阀31使所述辅助真空容器1内的压力恢复到大气压，然后如图8所示，从所述容器主体11卸下所述盖体12使所述灯丝取出口11b敞开。由图8可知，在所述安装口11a安装在所述固定结构5上的状态下，从所述容器主体11卸下所述盖体12。此外，更换操作者从所述灯丝取出口11b将手伸入所述辅助真空容器1内卸下安装在所述带凸缘的电流导入端子62的前端的所述灯丝61，并将所述灯丝61从所述辅助真空容器1内取出。此后，更换操作者从所述灯丝取出口11b将新的灯丝61放入所述辅助真空容器1内，并将其安装在所述带凸缘的电流导入端子62的前端。如上所述，在所述灯丝更换器100的大部分的构成部件安装在所述固定结构5上的状态下，通过卸下所述盖体12能够轻松地进行所述灯丝61的更换。

之后，通过进行所述卸下灯丝61时的操作工序的逆向工序，能够将新的灯丝61安装到所述真空室C内，并且最后能够从所述固定结构5卸下所述灯丝更换器100。

按照本发明的灯丝更换器100及灯丝更换结构200，因为有用于打开或关闭所述灯丝取出口11b的所述盖体12，所以在更换一个灯丝61时所述灯丝更换器100的安装及拆卸分别只进行一次即可。

由此，与现有的为更换一个灯丝61需要分别进行两次将灯丝更换器100安装在固定结构5上以及从固定结构5拆卸下灯丝更换器100的技术相比，能够大幅减少安装及拆卸操作的时间和劳力。即，能够使灯丝更换操作者举起和放下作为重物的所述灯丝更换器100的次数比以往少，由此能够减轻更换操作者的负担。

此外，所述灯丝更换器100相对于所述固定结构5可装拆，因此在通常使用时能够将所述灯丝更换器100从离子源300卸下来，能够使所述离子源300周围的空间在通常使用时更加宽阔。这种效果在图1所示的多灯丝型的离子源300中特别显著。此外，所述固定结构5上不是总设置有灯丝61更换用的小型的真空室C，因此在进行灯丝更换操作时没有从固定结构5突出的其他的部件，能够使用宽阔的空间因而易于进行灯丝更换操作。

此外，灯丝结构200不是对所述灯丝更换器100本身连接用于对内部进行真空排气的配管，而是利用由所述固定结构5的真空排气用阀51和排气流路53构成的排气结构对内部进行真空排气。因此，无需进行在灯丝更换器100本身上直接连接真空排气用的配管等的操作，并且在进行灯丝更换器100的安装、拆卸操作时没有配管造成妨碍，所以能够进一步减轻操作负担。

以下，对其他的实施方式进行说明。

在所述实施方式中，以配置在离子源的真空室内的灯丝的更换作为例子，但也可以在例如用于生成电子束的电子源的真空室内所配置的灯丝的更换中使用本发明的灯丝更换器。

所述灯丝更换器在辅助真空容器内设置有用于限制所述带凸缘的电流导入端子和灯丝的移动的引导件，但是根据情况也可以不设置引导件而仅用所述操作杆拔出。

在所述实施方式中，使用设置在所述固定结构的真空排气用阀对所述辅助真空容器内进行真空排气，但也可以将排气用阀与所述灯丝更换器本身直接连接。

所述盖体能够从所述容器主体完全卸下从而使所述灯丝取出口完全敞开，但也可以例如利用合叶等连接所述盖体与所述容器主体，而使所述盖体不能从所述容器主体完全卸下。

另外，也可以在不违反本发明的技术思想的范围内进行各种变形及对实施方式进行组合。

Claims (6)

1.一种灯丝更换器，在将设置在真空室内的灯丝取出至所述真空室外并进行更换时使用所述灯丝更换器，所述灯丝支承于灯丝支承结构，所述灯丝支承结构的一部分露在所述真空室的外部，

所述灯丝更换器包括：

辅助真空容器，形成有安装口，该安装口以覆盖所述灯丝支承结构的方式可装拆地安装于所述真空室外；以及

操作杆，贯穿所述辅助真空容器，该操作杆的前端部在辅助真空容器内安装于所述灯丝支承结构，在所述辅助真空容器内处于真空排气后的状态下，用于经过所述安装口从所述真空室内拔出所述灯丝支承结构和所述灯丝至所述辅助真空容器内，

所述辅助真空容器包括：

容器主体，形成有所述安装口以及更换所述灯丝时用于取出所述灯丝的取出口；以及

透明树脂制的盖体，能打开所述取出口或关闭所述取出口，

所述灯丝更换器的特征在于，

所述灯丝更换器还包括托架，所述托架连接在所述操作杆的前端部和所述灯丝支承结构之间，

所述容器主体沿所述操作杆的轴向延伸，在前端侧具有所述安装口，并且在位于与所述安装口的相反侧的所述轴向的基端侧具有突出的凸部，

所述凸部在所述灯丝拔出至所述容器主体内的状态下收容所述托架，并且从所述轴向观察时，所述凸部和所述托架小于所述灯丝支承结构。

2.根据权利要求1所述的灯丝更换器，其特征在于，所述盖体可装拆地安装于所述容器主体。

3.根据权利要求1或2所述的灯丝更换器，其特征在于，

所述灯丝更换器还包括引导件，所述引导件包括导轨和滑块，所述导轨安装在所述容器主体内，沿轴向延伸，所述滑块安装在所述导轨上且可滑动，

所述滑块与所述灯丝支承结构连接。

4.根据权利要求1或2所述的灯丝更换器，其特征在于，在所述容器主体的外表面上设置有搬运用的把手。

5.根据权利要求4所述的灯丝更换器，其特征在于，在所述容器主体的外表面上设置有两个脚部，在放置时所述两个脚部与所述把手构成三点支承。

6.一种灯丝更换结构，其特征在于，

所述灯丝更换结构包括：

权利要求1至5中任意一项所述的灯丝更换器；以及

固定结构，设置在所述真空室的外侧，固定所述灯丝支承结构，

所述固定结构包括：真空排气用阀，用于对所述灯丝更换器内进行真空排气；以及排气流路，当所述灯丝更换器以包围所述灯丝支承结构的方式安装时，该排气流路连通所述真空排气用阀和所述辅助真空容器内。