JPS61104538A - イオン源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、イオン源のメンテナンスが簡単に出来る方法
に係り、特に、プラズマ室ケースとプラズマ室カバーを
ヒンジ取合にした構造に関する。

〔発明の背景〕

従来のイオン源は、特開昭５７−７８８００号公報に記
載のように、プラズマ室ケースとプラズマ室カバーをボ
ルト締構造としていた。しかし、イオン源の使用目的が
多様化し、連続使用される場合は、メンテナンスの頻度
が増え、簡単にあけられる開口部が必要になってきた。

従来のイオン源はこの点について配慮されていなかった
。

すなわち、イオン源は多用化して来ており装置も大形に
なり、１２０時間に１回という頻度でメンテナンスを行
なう必要があり、メンテナンスは短時間で、イオン源の
中が開口出来て、開口作業はハンドルをゆるめ、扉をあ
ける様に簡単に出来ることが要求される。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、プラズマ室ケースとプラズマ室カバー
の取合いをヒンジ取合にして短時間のうちに簡単に開口
部が得られるイオン源を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の要点は、ハンドルをゆるめるだけで、プラズマ
室カバーを吊りあげたり傾動装置により支えることなく
、ヒンジを付けることにより開閉可能としたことにある
。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

プラズマ室カバー２には、フィラメント電流を導き、フ
ィラメント４を加熱するだめの電流導入端子３と、水素
やアルゴンなどのガスを導入するだめのガス導入口５が
ある。プラズマ室ケース１はプラズマ室カバー２と、ヒ
ンジ６により取合いハンドル７で締付固定される。イオ
ンを加速するだめの電極８に耐着するスパッターの清掃
のための取外作業及び、フィラメント４の交換作業は、
ハンドル７をゆるめプラズマ室ケース１とプラズマ室カ
バー２を簡単に開放して行なえる。本実施例によれば、
イオン源のメンテナンスが短時間で出来る。

本発明によれば、単純作業で正確で早い作業性が可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるイオン源の側面図、第２図は第１
図の平面図を示す。 １・・・プラズマ室ケース、２・・・プラズマ室カバー
、７・・・ハンドル、８・・・電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ガスを注入し、フィラメントを加熱して、プラズマ
   状態を作る、プラズマ室とイオンを加速する数個の電極
   を備えたイオン源において、前記プラズマ室とプラズマ
   室カバーをヒンジ取合にしてハンドルにより前記プラズ
   マ室カバーを締付開口出来るようにしたことを特徴とす
   るイオン源。