JPS61104538A - イオン源 - Google Patents
イオン源Info
- Publication number
- JPS61104538A JPS61104538A JP59224024A JP22402484A JPS61104538A JP S61104538 A JPS61104538 A JP S61104538A JP 59224024 A JP59224024 A JP 59224024A JP 22402484 A JP22402484 A JP 22402484A JP S61104538 A JPS61104538 A JP S61104538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma chamber
- chamber cover
- ion source
- filament
- introducing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/022—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、イオン源のメンテナンスが簡単に出来る方法
に係り、特に、プラズマ室ケースとプラズマ室カバーを
ヒンジ取合にした構造に関する。
に係り、特に、プラズマ室ケースとプラズマ室カバーを
ヒンジ取合にした構造に関する。
従来のイオン源は、特開昭57−78800号公報に記
載のように、プラズマ室ケースとプラズマ室カバーをボ
ルト締構造としていた。しかし、イオン源の使用目的が
多様化し、連続使用される場合は、メンテナンスの頻度
が増え、簡単にあけられる開口部が必要になってきた。
載のように、プラズマ室ケースとプラズマ室カバーをボ
ルト締構造としていた。しかし、イオン源の使用目的が
多様化し、連続使用される場合は、メンテナンスの頻度
が増え、簡単にあけられる開口部が必要になってきた。
従来のイオン源はこの点について配慮されていなかった
。
。
すなわち、イオン源は多用化して来ており装置も大形に
なり、120時間に1回という頻度でメンテナンスを行
なう必要があり、メンテナンスは短時間で、イオン源の
中が開口出来て、開口作業はハンドルをゆるめ、扉をあ
ける様に簡単に出来ることが要求される。
なり、120時間に1回という頻度でメンテナンスを行
なう必要があり、メンテナンスは短時間で、イオン源の
中が開口出来て、開口作業はハンドルをゆるめ、扉をあ
ける様に簡単に出来ることが要求される。
本発明の目的は、プラズマ室ケースとプラズマ室カバー
の取合いをヒンジ取合にして短時間のうちに簡単に開口
部が得られるイオン源を提供することにある。
の取合いをヒンジ取合にして短時間のうちに簡単に開口
部が得られるイオン源を提供することにある。
本発明の要点は、ハンドルをゆるめるだけで、プラズマ
室カバーを吊りあげたり傾動装置により支えることなく
、ヒンジを付けることにより開閉可能としたことにある
。
室カバーを吊りあげたり傾動装置により支えることなく
、ヒンジを付けることにより開閉可能としたことにある
。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。
プラズマ室カバー2には、フィラメント電流を導き、フ
ィラメント4を加熱するだめの電流導入端子3と、水素
やアルゴンなどのガスを導入するだめのガス導入口5が
ある。プラズマ室ケース1はプラズマ室カバー2と、ヒ
ンジ6により取合いハンドル7で締付固定される。イオ
ンを加速するだめの電極8に耐着するスパッターの清掃
のための取外作業及び、フィラメント4の交換作業は、
ハンドル7をゆるめプラズマ室ケース1とプラズマ室カ
バー2を簡単に開放して行なえる。本実施例によれば、
イオン源のメンテナンスが短時間で出来る。
ィラメント4を加熱するだめの電流導入端子3と、水素
やアルゴンなどのガスを導入するだめのガス導入口5が
ある。プラズマ室ケース1はプラズマ室カバー2と、ヒ
ンジ6により取合いハンドル7で締付固定される。イオ
ンを加速するだめの電極8に耐着するスパッターの清掃
のための取外作業及び、フィラメント4の交換作業は、
ハンドル7をゆるめプラズマ室ケース1とプラズマ室カ
バー2を簡単に開放して行なえる。本実施例によれば、
イオン源のメンテナンスが短時間で出来る。
本発明によれば、単純作業で正確で早い作業性が可能と
なる。
なる。
第1図は本発明によるイオン源の側面図、第2図は第1
図の平面図を示す。 1・・・プラズマ室ケース、2・・・プラズマ室カバー
、7・・・ハンドル、8・・・電極。
図の平面図を示す。 1・・・プラズマ室ケース、2・・・プラズマ室カバー
、7・・・ハンドル、8・・・電極。
Claims (1)
- 1、ガスを注入し、フィラメントを加熱して、プラズマ
状態を作る、プラズマ室とイオンを加速する数個の電極
を備えたイオン源において、前記プラズマ室とプラズマ
室カバーをヒンジ取合にしてハンドルにより前記プラズ
マ室カバーを締付開口出来るようにしたことを特徴とす
るイオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59224024A JPS61104538A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59224024A JPS61104538A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | イオン源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61104538A true JPS61104538A (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=16807390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59224024A Pending JPS61104538A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | イオン源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61104538A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103426705A (zh) * | 2012-05-22 | 2013-12-04 | 日新离子机器株式会社 | 灯丝更换器和灯丝更换结构 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57105943A (en) * | 1980-12-22 | 1982-07-01 | Hitachi Ltd | Ion source for neutron particle injector |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP59224024A patent/JPS61104538A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57105943A (en) * | 1980-12-22 | 1982-07-01 | Hitachi Ltd | Ion source for neutron particle injector |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103426705A (zh) * | 2012-05-22 | 2013-12-04 | 日新离子机器株式会社 | 灯丝更换器和灯丝更换结构 |
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