SU1466260A1 - Устройство для обработки подложек в вакууме - Google Patents
Устройство для обработки подложек в вакуумеInfo
- Publication number
- SU1466260A1 SU1466260A1 SU4106775/21A SU4106775A SU1466260A1 SU 1466260 A1 SU1466260 A1 SU 1466260A1 SU 4106775/21 A SU4106775/21 A SU 4106775/21A SU 4106775 A SU4106775 A SU 4106775A SU 1466260 A1 SU1466260 A1 SU 1466260A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- discharge
- cathode
- anode
- source
- substrate
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к технике упрочнения режущего инструмента и деталей машин методом вакуумно-плазменной технологии. Цель изобретения - упрощение конструкции. В вакуумной камере 1 размещен изолированный подложкодержатель 2 для подложек 3. Экран 6 служит для формирования границы металлической плазмы между катодом электродугового испарителя и анодом 4. Источник (И) 7 постоянного тока отрицательного полюсом соединен с катодом соединен с катодом 5, а положительным с общим выводом двухпозиционного переключателя 8, два позиционных вывода которого подключены к подложкодержателю 2 и аноду 4 соответственно. Управление переключателем 8 производится с помощью регулятора 9 температуры. Благодаря наличию границы металлической плазмы, являющейся плазменным катодом не самостоятельного газового разряда, возможно применение одного И 7. В этом случае две разнородные в физическом отношении области дугового разряда в парах металла катода 5 и не самостоятельного газового разряда включены в цепь И 7 последовательно. Использование устройства позволяет провести быстрый нагрев подложки 3, когда анодом разряда является подложка 3. Кроме того, возможно проведение процесса химикотермической обработки в необходимом температурном интервале при максимально активной газовой среде (ток разряда в процессе поддержания температуры на необходимом уровне остается постоянным). 2 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4106775/21A SU1466260A1 (ru) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | Устройство для обработки подложек в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4106775/21A SU1466260A1 (ru) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | Устройство для обработки подложек в вакууме |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1466260A1 true SU1466260A1 (ru) | 1996-01-10 |
Family
ID=60534538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4106775/21A SU1466260A1 (ru) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | Устройство для обработки подложек в вакууме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1466260A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2453628C1 (ru) * | 2011-01-12 | 2012-06-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУ ВПО "КубГТУ") | Устройство для нанесения покрытий на диэлектрики в разряде |
RU2599950C1 (ru) * | 2015-06-02 | 2016-10-20 | Владимир Николаевич Климов | Способ ионно-плазменного азотирования деталей из инструментальных сталей |
-
1986
- 1986-08-04 SU SU4106775/21A patent/SU1466260A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2453628C1 (ru) * | 2011-01-12 | 2012-06-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУ ВПО "КубГТУ") | Устройство для нанесения покрытий на диэлектрики в разряде |
RU2599950C1 (ru) * | 2015-06-02 | 2016-10-20 | Владимир Николаевич Климов | Способ ионно-плазменного азотирования деталей из инструментальных сталей |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU6708296A (en) | An electrolytic process for cleaning electrically conducting surfaces | |
BR0012892A (pt) | Processos para limpar e para revestir uma superfìcie eletricamente condutora, conjunto de anodo, e, aparelho para limpar e/ou revestir uma superfìcie eletricamente condutora | |
DK304386A (da) | Fremgangsmaade og apparat til udfaeldning | |
GB1446500A (en) | Corona discharge method of depleting alkali metal ions from a glass surface region | |
FR2464309B1 (fr) | Procede de realisation de revetements couleur or | |
BR8807357A (pt) | Aparelho de eletrodos | |
DE69528935D1 (de) | Verfahren zum Plasma-Schmelzen und Plasmaschmelzofen | |
AU5920190A (en) | Electrolytic cell for electrolytic processes in which gas is evolved | |
SU1466260A1 (ru) | Устройство для обработки подложек в вакууме | |
JPS5241103A (en) | Equipment for electrolysis of metal suspension | |
SE8401750D0 (sv) | Schaltanordnung fur direktes wermen einer ionenschmelze, vor allem von glas durch durchgang eines elektrischen wechselstromes einer niedrigeren frequenz als 50 hz | |
FR2403645A2 (fr) | Four pour le traitement thermochimique, en continu, de pieces metalliques, par bombardement ionique | |
WO1999010563A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zum energiesparenden gleichzeitigen elektrolytischen behandeln von mehreren werkstücken | |
WO2002090624A3 (en) | A process and apparatus for cleaning and/or coating metal surfaces | |
RU1441991C (ru) | Способ очистки поверхности изделия | |
JPS5533719A (en) | Electron gun | |
JPS57102027A (en) | Processing of amorphous thin film | |
JPS57196520A (en) | Rinsing method for epitaxial growing apparatus | |
FR2385290A1 (fr) | Four pour traitement thermo-ionique a multicathodes | |
PL160761B2 (pl) | Urzadzenie do jonowej cieplno-chemicznej obróbki zwlaszcza wyrobów ze stopów zelaza PL | |
JPS5521846A (en) | Hollow cathode ion source | |
JPS5521525A (en) | Treating method for surface of brazer aluminum product | |
JPS57126999A (en) | Electrolytic treatment of strip like metal plate | |
JPS5538946A (en) | Sputtering apparatus | |
JPS57132924A (en) | Method and jig for chamfering hole of electroconductive workpiece |