CN103375996A - 热风循环式加热装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供一种能对基板状的被加热物在其面内均匀地进行热处理的热风循环式加热装置。本发明的热风循环式加热装置包括：箱体，该箱体收容有被加热物；空气循环机构，该空气循环机构产生在箱体的内部循环的空气，并能对该空气循环的方向进行切换；加热机构，该加热机构对箱体的内部的空气进行加热；以及四个第一气门，这四个第一气门以将收容于箱体的被加热物的周围围住的方式配置于四个方向上，并与利用空气循环机构切换空气在箱体的内部循环的方向相配合地，在所述四个方向上依次切换空气输送至被加热物的方向和从被加热物吸入空气的方向。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于对被加热物进行热处理的热风循环式加热装置。
背景技术
日本专利特开平8－336907号公报公开了一种以空气作为介质对收容于主体内部的被加热物进行热处理的现有的热风循环式加热装置。图6是表示日本专利特开平8－336907号公报中记载的现有的热风循环式加热装置的结构的图。
图6所示的现有的热风循环式加热装置包括：垂直管道63、64，该垂直管道63、64分别与供被加热物62收容的主体61的相对的两壁连接；第一连接管道65及第二连接管道66，该第一连接管道65及第二连接管道66分别将垂直管道63、64的中间部及下端部彼此连接；送风机67，该送风机67设于第一连接管道65的中间部与第二连接管道66的中间部之间；加热器68、69，该加热器68、69分别设于垂直管道63、64的上部；第一切换气门D1及第二切换气门D2，该第一切换气门D1及第二切换气门D2设于第一连结管道65的内部；以及第三切换气门D3及第四切换气门D4，该第三切换气门D3及第四切换气门D4设于第二连结管道66的内部。送风机67与第一连接管道65的中间部连接，在该中间部的两侧分别设有第一切换气门D1和第二切换气门D2。另外，送风机67也与第二连接管道66的中间部连接，在该第二连接管道66的中间部的两侧分别设有第三切换气门D3和第四切换气门D4。
该现有的热风循环式加热装置分别以规定的周期切换第一切换气门D1、第二切换气门D2、第三切换气门D3、第四切换气门D4的打开关闭状态，以将流向被加热物62的热风的方向交替地切换为－x方向和＋x方向。具体而言，当第一切换气门D1及第四切换气门D4关闭、第二切换气门D2及第三切换气门D3打开时，在主体61的内部形成有朝－x方向输送的空气(热风)的流动。另一方面，当第二切换气门D2及第三切换气门D3关闭、第一切换气门D1及第四切换气门D4打开时，在主体61的内部形成有朝＋x方向输送的空气(热风)的流动。
然而，在上述现有的热风循环式加热装置对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物进行完热处理的情况下，在该被加热物的面内会产生温度不均。其原因是，如图7(a)所示，被输送至被加热物71的空气(热风)逃逸至阻力更少的被加热物的周围，因此，如图7(b)所示，在从构成被加热物71的矩形外形的边中靠气流的上游侧的边朝该被加热物71的中心突出的区域(以阴影线所示的区域)中，被加热物71的温度上升得较快，另一方面，在该区域以外的区域、即气流的中央两侧的区域和气流的下游侧的区域中，被加热物71的温度上升较慢。即便空气(热风)被输送至被加热物的方向在将被加热物夹住的两个方向(－x方向和＋x方向)上交替地切换，在气流的中央两侧的区域被加热物的温度上升较慢这点没有产生变化，因此，在被加热物的面内产生温度偏差。
图7示出了上述现有的热风循环式加热装置在使空气(热风)朝－x方向流动至具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物71之后，使空气(热风)朝＋x方向流动至该被加热物71以对被加热物71进行热处理的情况下的流向被加热物71的气流和被加热物71的温度状态。具体而言，图7(a)用箭头示出了空气(热风)朝－x方向流动至被加热物71时的气流。另外，图7(b)用阴影线示出了因空气(热风)朝－x方向流动至被加热物71而使温度上升的区域。另外，图7(c)用箭头示出了空气(热风)朝＋x方向流动至被加热物71时的气流。另外，图7(d)用阴影线示出了在空气(温风)朝－x方向流动至被加热物71之后、因空气(温风)朝＋x方向流动至该被加热物71而使温度上升的区域。
如图7(a)及图7(c)所示，被输送至被加热物71的空气朝阻力更少的被加热物71的周围逃逸。因此，即便在空气(热风)被输送至被加热物71的方向交替地切换为－x方向和＋x方向的情况下，如图7(b)及图7(d)所示，在气流的中央两侧的区域，被加热物71的温度上升也较慢。因此，在被加热物71的面内产生温度不均。
如上所述，在上述现有的热风循环式加热装置对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物进行完热处理的情况下，在该被加热物的面内会产生温度不均。由此，在上述现有的热风循环式加热装置中，难以确保被加热物的稳定的品质。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种能对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物在其面内均匀地进行热处理的热风循环式加热装置。
本发明的热风循环式加热装置利用热风对被加热物进行加热，其包括：箱体，该箱体收容有被加热物；空气循环机构，该空气循环机构产生在上述箱体的内部循环的空气，并能对该空气循环的方向进行切换；加热机构，该加热机构对上述箱体的内部的空气进行加热；以及四个第一气门，这四个第一气门以将收容于上述箱体的上述被加热物的周围围住的方式配置于四个方向上，并与利用上述空气循环机构切换空气在上述箱体的内部循环的方向相配合地，在上述四个方向上依次切换空气被输送至上述被加热物的方向和从上述被加热物吸入空气的方向。
在上述本发明的热风循环式加热装置中，上述空气循环机构也可包括：空气吹出部，该空气吹出部在上述四个方向上具有开口，并从这些开口吹出空气；四个第二气门，这四个第二气门对上述空气吹出部的四个开口的打开关闭进行控制；空气吸入部，该空气吸入部在上述四个方向上具有开口，并从这些开口吸入空气；以及四个第三气门，这四个第三气门对上述空气吸入部的四个开口的打开关闭进行控制。
上述本发明的热风循环式加热装置还可在上述箱体的内部在上述四个方向上包括独立的四个管道。
在上述本发明的热风循环式加热装置中，上述第一气门也可依次在上述四个方向上切换空气朝一个方向流动至上述被加热物的状态。
在上述本发明的热风循环式加热装置中，上述第一气门也可依次在上述四个方向上切换空气从正交的两个方向输送至上述被加热物、并从上述被加热物朝正交的两个方向吸入空气的状态。
在上述本发明的热风循环式加热装置中，上述第一气门也可具有用于对流向上述被加热物的气流进行控制的叶片和用于使上述叶片打开关闭的转轴，以空气流动至上述被加热物的上表面和下表面的方式使上述叶片相对于上述被加热物朝外侧转动。
在上述本发明的热风循环式加热装置中，上述箱体也可构成为能在多个层上收容多个被加热物。
上述本发明的热风循环式加热装置也可采用以下结构：上述热风循环式加热装置还在各层上包括压力传感器，该压力传感器分别设置于流向收容于上述箱体的上述被加热物的气流的上游侧和下游侧，上述热风循环式加热装置对上述第一气门的开度进行调节，以使上游侧的压力传感器的检测值与下游侧的压力传感器的检测值的差和流动至上述被加热物的空气的截面积的积在各层上相同，从而使流动至上述被加热物的空气的风量在各层上相同。
在上述本发明的热风循环式加热装置中，也可采用以下结构：当仅在上述箱体的一部分层上收容有上述被加热物时，上述热风循环式加热装置将未收容有上述被加热物的层的上述第一气门全部关闭，以使流动至收容有上述被加热物的层的空气的风量达到与在上述箱体的全部层上都收容有上述被加热物时的风量相同的风量，且上述空气循环机构使循环风量比在上述箱体的全部层上都收容有上述被加热物时的循环风量少。
根据本发明，空气输送至被加热物的方向和从被加热物吸入空气的方向依次在四个方向上切换。藉此，能对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物在其面内均匀地进行热处理。
附图说明
图1是示意地表示本发明实施方式的热风循环式加热装置的一结构例的大致结构的剖视图。
图2是表示本发明实施方式的热风循环式加热装置中的流向被加热物的气流的一例和该被加热物的温度状态的一例的图。
图3是表示本发明实施方式的热风循环式加热装置中的流向被加热物的气流的另一例和该被加热物的温度状态的另一例的图。
图4是用于对本发明实施方式的热风循环式加热装置所包括的气门的开度调节进行说明的剖视图。
图5是用于对本发明实施方式的热风循环式加热装置所包括的气门的叶片的转动方向进行说明的剖视图。
图6是表示现有的热风循环式加热装置的结构的图。
图7是表示现有的热风循环式加热装置中的流向被加热物的气流和该被加热物的温度状态的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。然而，对于相同的构成要素标注相同的符号，并省略重复的说明。另外，为了容易理解附图，示意地示出了各构成要素。此外，图示出的各构成要素的厚度、长度等考虑到制图方便，与实际情况有所不同。另外，以下实施方式所示的各构成要素的材质、形状、尺寸等是一例，并不被特别限定，能根据本发明的效果在实质不脱离的范围中进行各种变更。
图1是示意地表示本发明实施方式的热风循环式加热装置10的一结构例的大致结构的剖视图。详细而言，图1(a)示出了沿着图1(a)所示的z方向剖开热风循环式加热装置10的截面。
该热风循环式加热装置10包括主体11以作为箱体的一例。主体11形成由玻璃棉等绝热材料围起的密封空间。在该密封空间中，作为被加热物的一例收容有基板状的工件12。工件12具有俯视观察时的形状为矩形的外形。例如，工件12是尺寸为1000mm×1500mm×3mm左右的太阳电池面板用的基板。主体11也可构成为能在z方向上分多层收容多个工件12。图1(a)例示出了构成为能在z方向上分五层收容工件12的主体11。
该热风循环式加热装置10包括空气循环机构，该空气循环机构产生在主体11的内部循环的空气，并可对该空气循环的方向进行切换。以下，使用图1对该实施方式的空气循环机构进行说明。然而，空气循环机构并不限定于以下说明的结构。
如图1(a)所示，空气循环机构也可包括风扇13、使风扇13旋转的电动机15及作为该电动机15的转轴的轴14，以作为用于生成在主体11的内部循环的空气的构成要素。
风扇13设于轴14的前端。电动机15配置于主体11的外部。轴14从电动机15朝主体11的内部突出。风扇13配置于主体11的内部。风扇13例如是西洛克风扇、涡轮风扇。通过电动机15使风扇13旋转，使空气在热风循环式加热装置10的主体11的内部循环。也可利用未图示的控制装置以预先设定的条件对电动机15的旋转进行控制。
另外，在该热风循环式加热装置10的主体11的内部设有用于对主体11内部的空气进行加热的加热器16，以作为加热机构的一例。也可根据设于主体11内部的温度传感器的测定值(测定温度)来控制该加热器16的温度。这样的话，能稳定地使工件12的温度达到目标温度。在该实施方式中，在热风循环式加热装置10的主体11的内部设有用于对主体11内部的空气的温度进行测定的四个温度传感器d1、d2、d3、d4，根据由这四个温度传感器d1、d2、d3、d4测定出的温度(测定值)来控制加热器16的温度。例如，根据四个温度传感器d1、d2、d3、d4的测定值(测定温度)，利用继电器电路(未图示)对供给至加热器16的电力进行PID控制。
例如，根据配置于流向工件12的气流的上游侧的温度传感器的测定值对加热器16的温度、即供给至加热器16的电力进行控制，以使该气流的上游侧的温度达到规定温度。这样的话，能通过以空气为介质的热传递使工件12的温度达到目标温度。此处，上述规定温度例如被设定为涂布于工件12表面的树脂的固化温度(例如摄氏140度～摄氏160度左右)。
另外，由于单位时间的工件12的温度上升的大小不同，因此，也可以根据配置于流向工件12的气流的上游侧的温度传感器的测定值和分别配置于该气流的上游侧和下游侧的温度传感器的测定值的差，来对加热器16的温度、即供给至加热器16的电力进行控制。另外，当利用空气循环机构来对空气在主体11的内部循环的方向进行切换时，也可根据将四个温度传感器d1～d4的测定值平均后获得的值对加热器16的温度、即供给至加热器16的电力进行控制。
为了对空气在主体11的内部循环的方向进行切换，该热风循环式加热装置10的空气循环机构也可在主体11的内部包括朝规定的四个方向具有开口的风扇吹出壳体17和四个风扇吹出方向切换气门a1、a2、a3、a4。风扇吹出方向切换气门a1、a2、a3、a4对风扇吹出壳体17的四个开口的打开关闭进行控制。风扇吹出壳体17是空气吹出部的一例。
在该实施方式中，风扇吹出壳体17的四个开口朝向＋x方向、－y方向、－x方向、＋y方向。＋x方向和－x方向是彼此相反的方向，它们与＋y方向及－y方向正交。同样地，＋y方向和－y方向是彼此相反的方向，它们与＋x方向及－x方向正交。风扇吹出方向切换气门a1～a4也可被例如未图示的电动机等驱动装置打开关闭，该驱动装置的动作也可被未图示的控制装置以预先设定的条件进行控制。
在该风扇吹出壳体17内配置有风扇13，通过使风扇13旋转，从风扇吹出壳体17的四个开口中的风扇吹出方向切换气门打开的开口吹出空气。
此外，为了在主体11的内部使空气朝规定方向稳定地循环，热风循环式加热装置10的空气循环机构也可在主体11的内部包括在与风扇吹出壳体17相同的四个方向上具有开口并与风扇吹出壳体17连通的风扇吸入壳体18、四个风扇吸入方向切换气门b1、b2、b3、b4。风扇吸入方向切换气门b1、b2、b3、b4对风扇吸入壳体18的四个开口的打开关闭进行控制。风扇吸入壳体18是空气吸入部的一例。
风扇吸入壳体18与风扇吹出壳体17在z方向上连通是较为理想的，在风扇13的下方连通是更为理想的。风扇吸入方向切换气门b1～b4也可被例如未图示的电动机等驱动装置打开关闭，该驱动装置的动作也可被未图示的控制装置以预先设定的条件进行控制。
在该实施方式中，加热器16配置于风扇吸入壳体18的内部、风扇吹出壳体17与风扇吸入壳体18连通的部位的下方。不过，配置加热器16的位置并未被特别限定。
另外，该实施方式的热风循环式加热装置10包括对加热器16进行支承的支承台19。加热器16设于形成于该支承台19的凸部。另外，在该热风循环式加热装置10中，风扇吹出壳体17和风扇吹出方向切换气门a1～a4固定于主体11内侧的顶板面(内壁)，风扇吸入壳体18和风扇吸入方向切换气门b1～b4固定于支承台19。另外，风扇吹出壳体17和风扇吸入壳体18也可彼此接合而构成一个壳体。在该情况下，风扇吹出壳体17和风扇吸入壳体18也可一体形成。
另外，热风循环式加热装置10包括将载置工件12的各层在z方向上分隔开的四个架子部。各架子部的下表面成为各架子部下一层的顶板面。在最上层，支承台19的下表面成为最上层的顶板面。在最下层，主体11的内侧底面(内壁)成为最下层的底面。另外，如图1(a)所示，工件12载置于远离各层底面的位置是较为理想的。这样的话，能使温风朝工件12的上表面侧及下表面侧流动。此外，藉此，能高效地加热工件12。图1(a)例示出了利用从各层的底面突出的支承部在远离各层的底面的位置支承工件12的结构。
图1(b)是沿图1(a)所示的A－A线将热风循环式加热装置10剖开的剖视图，示出了风扇吹出壳体17的截面。如图1(b)所示，在风扇吹出壳体17的四个开口设有风扇吹出方向切换气门a1、a2、a3、a4。根据风扇吹出方向切换气门a1、a2、a3、a4的打开关闭状态来确定从风扇吹出壳体17吹出空气的方向。图1(b)例示出了气门a1打开、气门a2、a3、a4关闭以从风扇吹出壳体17朝＋x方向吹出空气的情况。
图1(d)是沿图1(a)所示的B－B线将热风循环式加热装置10剖开的剖视图，示出了风扇吸入壳体18的截面。不过，图1(d)仅例示出了风扇吸入壳体18。另外，在图1(d)中用假想线(双点划线)示出了风扇13的投影图。
如图1(d)所示，在风扇吸入壳体18的四个开口设有风扇吸入方向切换气门b1、b2、b3、b4。根据风扇吸入方向切换气门b1、b2、b3、b4的打开关闭状态来确定空气朝风扇吸入壳体18的内部吸入的方向。图1(d)例示出了气门b3打开、气门b1、b2、b4关闭以从朝向－x方向的风扇吸入壳体18的开口朝风扇吸入壳体18的内部吸入空气的情况。即，空气被朝＋x方向吸入。
另外，风扇吹出壳体17的四个开口中彼此朝相反一侧开口的开口彼此以与它们的投影区域不重叠的方式配置是较为理想的。同样地，风扇吸入壳体18的四个开口中彼此朝相反一侧开口的开口彼此也以与它们的投影区域不重叠的方式配置是较为理想的。
如上所述，通过使用风扇吹出壳体17和风扇吸入壳体18来控制风扇吹出方向切换气门a1、a2、a3、a4和风扇吸入方向切换气门b1、b2、b3、b4各自的打开关闭，从而能稳定地控制流向工件12的气流和朝工件12流动的空气温度。
另外，如图1(b)所示，热风循环式加热装置10以从风扇吹出壳体17吹出的空气同样地循环的方式在主体11的内部沿上述规定的四个方向包括彼此独立的四个管道e1、e2、e3、e4是较为理想的。管道e1～e4沿着主体11内侧的侧面在z方向上从主体11内侧的底面延伸至顶板面是较为理想的。能利用该管道e1～e4防止在规定的方向上流动的空气朝其它方向流入。由此，能进一步稳定地控制流向工件12的气流和朝工件12流动的空气的温度。
图1(c)是沿图1(a)所示的C－C线将热风循环式加热装置10剖开的剖视图，从上侧图示出收容于最上层的工件12。如图1(c)所示，在收容于主体11的内部的工件12的周围，以将工件12围住的方式配置有工件气流方向切换气门c1、c2、c3、c4，这些工件气流方向切换气门c1、c2、c3、c4用于在上述规定的四个方向(＋x方向、－y方向、－x方向、＋y方向)上依次切换朝工件12输送空气的方向和从工件12吸入空气的方向。因此，工件气流方向切换气门c1、c2、c3、c4配置于上述规定的四个方向上。通过控制这些工件气流方向切换气门c1、c2、c3、c4的打开关闭状态来确定空气朝工件12流动的方向。与利用空气循环机构对空气在主体11的内部循环的方向进行切换相一致地控制工件气流方向切换气门c1、c2、c3、c4的打开关闭。在该实施方式中，根据上述风扇吹出方向切换气门a1～a4及风扇吸入方向切换气门b1～b4的打开关闭，来控制工件气流方向切换气门c1、c2、c3、c4的打开关闭。工件气流方向切换气门c1～c4也可被例如未图示的电动机等驱动装置打开关闭，该驱动装置的动作也可被未图示的控制装置以预先设定的条件进行控制。
如图1(c)所示，具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的工件12以空气朝工件12输送的方向成为与工件12的矩形的外形各边垂直的方向的方式载置于主体11的内部是较为理想的。
图1(c)图示出了配置于＋x方向的气门c1及与气门c1相对地配置于－x方向的气门c3打开、配置于－y方向的气门c2及配置于＋y方向的气门c4关闭，以使空气朝－x方向流动的情况。配置有工件12的其它层的结构也与如图1(c)所示的结构相同，因此，省略其说明。
上述温度传感器d1、d2、d3、d4也配置于上述规定的四个方向(＋x方向、－y方向、－x方向、＋y方向)是较为理想的。在该实施方式中，如图1(c)所示，温度传感器d1、d2、d3、d4配置于上述管道e1、e2、e3、e4内。另外，温度传感器的数量也未限定为四个。
接着，关于空气朝工件12流动的方向，如图1所示，以在所有层上收容有工件12且空气朝－x方向流动至工件12的情况为例进行说明。在以下的表1中示出了该情况下的各气门的打开关闭状态。
(表1)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 打开 | 关闭 | 关闭 | 关闭 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 关闭 | 关闭 | 打开 | 关闭 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 打开 | 关闭 | 打开 | 关闭 |
即，风扇吹出方向切换气门a1打开，其它风扇吹出方向切换气门a2～a4关闭，风扇吸入方向切换气门b3打开，其它风扇吸入方向切换气门b1、b2及b4关闭，各层的工件气流方向切换气门c1及c3打开，各层的工件气流方向切换气门c2及c4关闭。
当各气门的打开关闭状态被如上所述控制时，空气朝－x方向流向各层的工件12。即，从风扇吸入壳体18的朝向－x方向的开口朝风扇吸入壳体18的内部吸入空气。该吸入的空气被加热器16加热，并经由风扇13从风扇吹出壳体17朝＋x方向吹出。从风扇吹出壳体17吹出的空气(温风)流过管道e1，并在各层从工件气流方向切换气门c1向工件气流方向切换气门c3朝－x方向流动，以流过工件12的周围。此时，配置于与气流方向(－x方向)垂直的方向上的各层的气门c2及气门c4关闭。流过各层的工件气流方向切换气门c3的空气经由管道e3而返回至风扇吸入壳体18，并从风扇吸入壳体18的朝向－x方向的开口朝风扇吸入壳体18的内部吸入。
接着，对该实施方式的热风循环式加热装置10的动作进行说明。通过对风扇吹出方向切换气门a1～a4、风扇吸入方向切换气门b1～b4及各层的工件气流方向切换气门c1～c4各自的打开关闭状态进行控制，热风循环式加热装置10在上述规定的四个方向(＋x方向、－y方向、－x方向、＋y方向)上依次切换空气(热风)朝一个方向流动至工件12的状态，以使工件12的温度达到目标温度。
图2是表示空气(温风)朝一个方向流动至工件12的状态在上述规定的四个方向(＋x方向、－y方向、－x方向、＋y方向)上依次切换的情况下的、流向工件12的气流和工件12的温度状态的图。详细而言，图2示出了空气(温风)流动至工件12的方向依次切换为－x方向、＋y方向、＋x方向、－y方向的情况下的、流向工件12的气流和工件12的温度状态。在该实施方式中，依次从与工件12的矩形的外形各边垂直的方向朝该各边输送温风。
在以下的表2～表5中示出了空气(温风)朝一个方向流动至工件12的状态在上述规定的四个方向上依次切换的情况下的各气门的打开关闭状态。在以下表2～表5中，“打开”是指气门完全打开的状态，“关闭”是指气门完全关闭的状态。
表2示出了空气朝－x方向流动至工件12时的各气门的打开关闭状态。
(表2)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 打开 | 关闭 | 关闭 | 关闭 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 关闭 | 关闭 | 打开 | 关闭 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 打开 | 关闭 | 打开 | 关闭 |
表3示出了空气朝＋y方向流动至工件12时的各气门的打开关闭状态。
(表3)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 关闭 | 打开 | 关闭 | 关闭 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 关闭 | 关闭 | 关闭 | 打开 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 关闭 | 打开 | 关闭 | 打开 |
表4示出了空气朝＋x方向流动至工件12时的各气门的打开关闭状态。
(表4)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 关闭 | 关闭 | 打开 | 关闭 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 打开 | 关闭 | 关闭 | 关闭 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 打开 | 关闭 | 打开 | 关闭 |
表5示出了空气朝－y方向流动至工件12时的各气门的打开关闭状态。
(表5)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 关闭 | 关闭 | 关闭 | 打开 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 关闭 | 打开 | 关闭 | 关闭 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 关闭 | 打开 | 关闭 | 打开 |
首先，热风循环式加热装置10使空气(温风)朝－x方向流动至工件12。图2(a)用箭头示出了使空气朝－x方向流动至工件12时的流向工件12的气流。另外，图2(b)用阴影线示出了因空气(温风)朝－x方向流动至工件12而使温度上升的区域。
如图2(a)所示，被输送至工件12的空气朝阻力更少的工件12的周围逃逸。此时，进行空气(温风)与工件12的热交换。因此，如图2(b)所示，在从构成工件12的矩形外形的边中的靠气流的上游侧的边(与气门c1相对的边)朝工件12的中心突出的区域中，工件12的温度上升得较快。另一方面，在该区域以外的区域、即气流的中央两侧的区域和气流的下游侧的区域中，工件12的温度上升得较慢。
接着，热风循环式加热装置10将空气(温风)流动的方向切换90度，以使空气(温风)朝＋y方向流动至工件12。即，气流方向向左旋转90度。图2(c)用箭头示出了使空气朝＋y方向流动至工件12时的流向工件12的气流。如图2(c)所示，空气朝阻力更少的工件12的周围逃逸。另外，图2(d)用阴影线示出了在使空气(温风)朝－x方向流动至工件12之后、使空气(温风)朝＋y方向流动至该工件12而使温度上升的区域。
如图2(d)所示，在使空气(温风)朝－x方向流动至工件12之后，使空气(温风)朝＋y方向流动至该工件12，从而使工件12的温度状态成为在图2(b)所示的温度上升区域中加上因朝＋y方向流动的空气而使温度上升的区域后的状态。此外，如图2(d)所示，空气朝＋y方向流动的情况也与空气朝－x方向流动的情况相同，在从构成工件12的矩形外形的边中的靠气流的上游侧的边(与气门c2相对的边)朝工件12的中心突出的区域中，工件12的温度上升得较快，在该区域以外的区域、即气流的中央两侧的区域和气流的下游侧的区域中，工件12的温度上升较慢。
以后，同样地使气流方向每次旋转90度。即，热风循环式加热装置10在如图2(e)所示使空气(温风)朝＋x方向流动至工件12之后，如图2(g)所示，使空气(温风)朝－y方向流动至工件12。其结果是，如图2(f)所示，与空气朝－x方向流动的情况相同，在从构成工件12的矩形外形的边中的靠气流的上游侧的边(与气门c3相对的边)朝工件12的中心突出的区域中，利用朝＋x方向流动的空气(温风)使工件12的温度上升，如图2(h)所示，与空气朝－x方向流动的情况相同，在从构成工件12的矩形外形的边中的靠气流的上游侧的边(与气门c4相对的边)朝工件12的中心突出的区域中，利用朝－y方向流动的空气(温风)使工件12的温度上升。
因此，在热风循环式加热装置10使空气朝一个方向流动至工件12的情况下，通过使空气(热风)流动的方向相对于工件12旋转一圈，如图2(h)所示能使工件12的温度状态变得均匀。
接着，对热风循环式加热装置10切换空气流动的方向的周期进行说明。例如，在五片尺寸为1000mm×1500mm×3mm的玻璃基板收容于主体11的内部，以摄氏150度的空气对该五片玻璃基板进行加热的情况下，可知在从构成玻璃基板的矩形外形的边中靠气流的上游侧的边朝该玻璃基板的中心突出的区域中，玻璃基板的温度在十秒钟内上升1摄氏度。在该情况下，气门的打开关闭状态切换的周期被设定为十秒，当热风循环式加热装置10进行四次气门的打开关闭状态的切换动作，以使空气流动的方向相对于玻璃基板旋转一圈时，玻璃基板的面内的温度偏差在4摄氏度以内。热风循环式加热装置10反复进行该气门的打开关闭状态的切换动作，直至玻璃基板达到150摄氏度。
另外，也可在工件12的升温过程的初期，将加热器16的温度设定为比工件12的目标温度(在上述例子中为150摄氏度)高的温度，而在工件12的温度靠近目标温度的升温过程的中期及后期，将加热器16的温度改变为与工件12的目标温度(在上述例子中为150摄氏度)相同的温度。藉此，在升温过程的初期，即便在工件12的温度较低的情况下，也能使工件12较快地升温。
以上说明的在上述规定的四个方向上依次切换使空气(温风)朝一个方向流动至工件12的状态的动作在欲使基板状的工件12的矩形外形的各边的中央部附近最快升温的情况下是特别有效的。
接着，对该实施方式的热风循环式加热装置10的其它动作进行说明。热风循环式加热装置10也可通过对风扇吹出方向切换气门a1～a4、风扇吸入方向切换气门b1～b4及各层的工件气流方向切换气门c1～c4各自的打开关闭状态进行控制，在上述规定的四个方向(＋x方向、－y方向、－x方向、＋y方向)上依次切换从与工件12正交的两个方向输送空气(温风)并从工件12朝正交的两个方向吸入空气的状态，以使工件12的温度达到目标温度。
图3是表示空气(温风)被输送至工件12的矩形外形的隔着角部的两边、并从隔着与该角部相对的工件12的矩形外形的另一角部的两边吸入空气的状态依次在上述规定的四个方向上切换的情况下的流向工件12的气流和工件12的温度状态的图。在该情况下，热风循环式加热装置10也使空气(温风)输送至工件12的方向和从工件12吸入空气的方向相对于工件12旋转一圈。
在以下的表6～表9中示出了空气(温风)输送至工件12的矩形外形的隔着角部的两边、并从隔着与该角部相对的工件12的矩形外形的另一角部的两边吸入空气的状态依次在上述规定的四个方向上切换的情况下的各气门的打开关闭状态。在以下表6～表9中，“50％打开”是指气门打开一半的状态，“关闭”是指气门完全关闭的状态。
表6示出了空气从－x方向和＋y方向输送至工件12并从工件12朝＋y方向和－x方向吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。即，表6示出了朝构成基板状的工件12的矩形外形的各边中与气门c1及气门c2相对的边输送空气、并从与气门c4及气门c3相对的边吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。
(表6)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 50％打开 | 50％打开 | 关闭 | 关闭 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 关闭 | 关闭 | 50％打开 | 50％打开 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 |
表7示出了空气从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。即，表7示出了朝构成基板状的工件12的矩形外形的各边中与气门c2及气门c3相对的边输送空气、并从与气门c1及气门c4相对的边吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。
(表7)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 关闭 | 50％打开 | 50％打开 | 关闭 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 50％打开 | 关闭 | 关闭 | 50％打开 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 |
表8示出了空气从＋x方向和－y方向输送至工件12并从工件12朝－y方向和＋x方向吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。即，表8示出了朝构成基板状的工件12的矩形外形的各边中与气门c3及气门c4相对的边输送空气、并从与气门c2及气门c1相对的边吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。
(表8)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 关闭 | 关闭 | 50％打开 | 50％打开 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 50％打开 | 50％打开 | 关闭 | 关闭 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 |
表9示出了空气从－y方向和－x方向输送至工件12并从工件12朝－x方向和－y方向吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。即，表9示出了朝构成基板状的工件12的矩形外形的各边中与气门c4及气门c1相对的边输送空气、并从与气门c3及气门c2相对的边吸入空气的情况下的各气门的打开关闭状态。
(表9)
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 风扇吹出方向切换气门 | a | 50％打开 | 关闭 | 关闭 | 50％打开 |
| 风扇吸入方向切换气门 | b | 关闭 | 50％打开 | 50％打开 | 关闭 |
| 工件气流方向切换气门 | c | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 | 50％打开 |
首先，热风循环式加热装置10对各气门的打开关闭状态进行控制，以将空气(温风)从－x方向和＋y方向输送至工件12，并从工件12朝＋y方向和－x方向吸入空气。图3(a)用箭头表示空气(温风)从－x方向和＋y方向输送至工件12并从工件12朝＋y方向和－x方向吸入空气的情况下的流向工件12的气流。另外，图3(b)用阴影线示出了因空气(温风)从－x方向和＋y方向输送至工件12并从工件12朝＋y方向和－x方向吸入空气而使温度上升的区域。
如图3(a)所示，当朝基板状的工件12的矩形外形的隔着角部的两边输送空气，并从隔着与该角部相对的基板状的工件12的矩形外形的另一角部的两边吸入空气时，在工件12的区域内，以沿着与将输送有空气的两边所夹住的角部和吸入空气的两边所夹住的角部连接的对角线平行的方向的方式，使朝－x方向流动的空气(温风)朝＋y方向流动，并使朝＋y方向流动的空气(温风)朝－x方向流动。其结果是，如图3(b)所示，因流动方向从－x方向朝＋y方向变化的空气(温风)的流动和流动方向从＋y方向朝－x方向变化的空气(温风)的流动而在从输送有空气的两边所夹住的角部呈圆弧状或扇状地扩大至工件12的中心或其附近的区域中使工件12的温度上升得较快。
接着，热风循环式加热装置10对各气门的打开关闭状态进行控制，以使空气(温风)输送至工件12的方向和从工件12吸入空气的方向切换90度。藉此，空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12，并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气。图3(c)用箭头表示空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气的情况下的流向工件12的气流。另外，图3(d)用阴影线表示在空气(温风)从－x方向和＋y方向输送至工件12并从工件12朝＋y方向和－x方向吸入空气之后，将空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气而使温度上升的区域。
如图3(c)所示，将空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气的情况也与图3(a)所示的气流相同，在工件12的区域内，以沿着与将输送有空气的两边所夹住的角部和吸入空气的两边所夹住的角部连接的对角线平行的方向的方式，使朝＋y方向流动的空气朝＋x方向流动，并使朝＋x方向流动的空气朝＋y方向流动。
另外，如图3(d)所示，在空气(温风)从－x方向和＋y方向输送至工件12并从工件12朝＋y方向和－x方向吸入空气之后，将空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气而使工件12的温度状态成为以下状态，该状态是在图3(b)所示的温度上升区域上加上因空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气而使温度上升的区域的状态。此外，如图3(d)所示，空气(温风)从＋y方向和＋x方向输送至工件12并从工件12朝＋x方向和＋y方向吸入空气的情况也与图3(b)所示的温度上升区域相同，在从输送有空气的两边所夹住的角部呈圆弧状或扇状地扩大至工件12的中心或其附近的区域中，工件12的温度上升得较快。
以下，同样地，热风循环式加热装置10依次使空气(温风)输送至工件12的方向和从工件12吸入空气的方向每次旋转90度。即，如图3(e)所示，热风循环式加热装置10通过将空气(温风)从＋x方向和－y方向输送至工件12并从工件12朝－y方向和＋x方向吸入空气来形成流动方向从＋x方向朝－y方向变化的空气(温风)的流动和流动方向从－y方向朝＋x方向变化的空气(温风)的流动。藉此，与图3(b)所示的温度上升区域相同，如图3(f)所示，在从输送有空气的两边所夹住的角部呈圆弧状或扇状地扩大至工件12的中心或其附近的区域中，工件12的温度上升得较快。然后，如图3(g)所示，热风循环式加热装置10通过将空气(温风)从－y方向和－x方向输送至工件12并从工件12朝－x方向和－y方向吸入空气来形成流动方向从－y方向朝－x方向变化的空气(温风)的流动和流动方向从－x方向朝－y方向变化的空气(温风)的流动。藉此，与图3(b)所示的温度上升区域相同，如图3(h)所示，在从输送有空气的两边所夹住的角部呈圆弧状或扇状地扩大至工件12的中心或其附近的区域中，工件12的温度上升得较快。
因此，在将空气(温风)从正交的两个方向输送至工件12并从工件12朝正交的两个方向吸入空气的情况下，热风循环式加热装置10也能通过使空气(温风)输送至工件2的方向和从工件12吸入空气的方向相对于工件12旋转一圈，来如图3(h)所示使工件12的温度状态均匀。
如上所述，通过朝工件12的矩形外形的隔着角部的两边输送空气(温风)、并从隔着与该角部相对的工件12的矩形外形的另一角部的两边吸入空气，在工件12的区域内，以沿着与将输送有空气的两边所夹住的角部和吸入空气的两边所夹住的角部连接的对角线平行的方向的方式，使空气(温风)的流动从输送空气的方向朝与该输送空气的方向正交的方向变化。其结果是，在从输送有空气的两边所夹住的角部呈圆弧状或扇状地扩大至工件12的中心或其附近的区域中，能使工件12的温度上升。因此，通过使空气(温风)输送至工件12的方向和从工件12吸入空气的方向相对于工件12旋转一圈，能使工件12的面内的温度不均减少，从而能使工件12的面内的温度均匀。
另外，如上所述，朝基板状的工件12的矩形外形的隔着角部的两边输送空气(温风)的动作在欲使工件12的各角部及其附近最快升温的情况下是有效的。
接着，使用图4，对用于使收容于多层的多个工件12的温度状态在各层之间的偏差减少的结构进行说明。图4(a)是表示图1所示的热风循环式加热装置10的一部分的剖视图。详细而言，图4(a)示出了将图1所示的热风循环式加热装置10沿图4(a)所示的z方向剖开的截面中供工件12收容的部分。
另外，此处，以工件12沿z方向收容于五个层的情况为例进行说明。以下，按照靠近风扇13的顺序称为第一层、第二层、第三层、第四层、第五层。另外，此处，以空气(温风)朝－x方向流动至各工件12的情况为例进行说明。在该情况下，空气经由形成于热风循环式加热装置10的主体11内部的管道e1和管道e3而在主体11的内部循环。
如图4(a)所示，在空气朝－x方向流动至各工件12的情况下，朝各工件12输送空气一侧的管道e1内的压力在第一层为最大的正压力，在第五层为最小的正压力。这是因为在管道e1内随着朝－z方向前进风量会减小，从而使管道e1内的压力损失减小的缘故。另外，从各工件12吸入空气一侧的管道e3内的压力也在第一层为最大的负压力，在第五层为最小的负压力。这是因为在管道e3内随着朝＋z方向前进风量会增大，从而使管道e3内的压力损失增大的缘故。由此，朝工件12流动的空气的风速在第一层最大，而在第五层最小。因此，在多个层上收容有工件12的情况下，工件12的温度状态在各层之间会产生偏差。
另一方面，空气的风速、压力及截面积之间的关系由下式表示。
风速＝(压力×截面积×系数)1/2
由该式可知，若各层的“压力×截面积”的数值(积)相同，则各层的风速相同。因此，如图4(b)所示，热风循环式加热装置10也可包括分别配置在流向收容于各层的工件12的气流的上游侧和下游侧的压力传感器f1、f2、f3、f4、f5及压力传感器g1、g2、g3、g4、g5，并基于各层的上游侧的压力传感器f1、f2、f3、f4、f5的检测值和下游侧的压力传感器g1、g2、g3、g4、g5的检测值之间的差值，对气门c1和气门c3的开度(气门的叶片的打开角度)进行调节，以使各层的“压力(上游侧的压力传感器的检测值与下游侧的压力传感器的检测值之间的差值)×截面积”的数值相同。另外，如图4(b)所示，也可将压力传感器f1～f5和压力传感器g1～g5设置于管道e1和管道e3。
这样的话，如图4(b)所示，在管道e1及管道e3中，第一层的压力最大，因此，第一层的气门c1及气门c3的叶片的打开角度最小，第一层的朝－x方向流动的空气的截面积变得最小。另一方面，在管道e1及管道e3中，第五层的压力最小，因此，第五层的气门c1及气门c3的叶片的打开角度最大，第五层的朝－x方向流动的空气的截面积变得最大。
以上，以空气朝－x方向流动的情况为例进行了说明，但空气朝其它方向流动至工件12的情况也是相同的，热风循环式加热装置10只需包括分别设置在流向工件12的气流的上游侧和下游侧的压力传感器，并基于该上游侧的压力传感器的检测值与下游侧的压力传感器的检测值的差值，分别对气流上游侧的气门的开度和气流下游侧的气门的开度进行调节，以使各层的“压力(上游侧的压力传感器的检测值与下游侧的压力传感器的检测值之间的差值)×截面积”的数值(积)相同即可。因此，在该实施方式中，压力传感器只需相对于各层的工件12设置于气门c1、c2、c3、c4的外侧(例如管道e1、e2、e3、e4内)即可。
如上所述，通过调节各层的气门的开度以使“压力×截面积”的数值在各层之间一定，从而使风速在各层之间相同。因此，工件12的各层之间的温度偏差会降低。另外，例如也可利用未图示的电动机等驱动装置来调节工件气流方向切换气门c1～c4的叶片的打开角度，未图示的控制装置也可根据分别配置于流向工件12的空气(温风)流动的上游侧和下游侧的压力传感器的检测值依据预先设定的条件控制该驱动装置的动作。
另外，在工件12仅收容于一部分层的情况下，热风循环式加热装置10将未收容有工件12的层的气门c1～c4关闭、且使循环风量比在全部层上都收容有工件12时的循环风量少是较为理想的。这样的话，能使流动至收容有工件12的层的空气的风量达到与在全部层上都收容有工件12的情况下相同的风量。另外，例如也可通过调节风扇13的转速(旋转速度)来控制循环风量。
接着，使用图5，以空气(温风)朝－x方向流动至工件12的情况为例，对将工件12围住的工件气流方向切换气门c1～c4的叶片的转动方向(打开方向)进行说明。
图5(a)示出了工件气流方向切换气门包括转轴20和仅朝该转轴20的一侧突出的叶片21，叶片21以靠近工件12的方式朝供工件12收容的层的内侧打开(转动)的情况。在该情况下，工件气流方向切换气门的转轴20被配置成远离工件12，以当叶片21打开时，该叶片21不会与工件12抵接。另外，工件气流方向切换气门的转轴20配置于供工件12收容的层的底面22。
如图5(a)所示，当空气(温风)朝－x方向流动至工件12时，在气门c1的叶片21和气门c3的叶片21朝靠近工件12的方向转动的情况下，空气被沿着气门c1的叶片21朝工件12输送，因此，沿着气门c1的叶片21朝收容有工件12的层的顶板面23侧流动的空气(温风)仅在工件12的上表面流过。因此，空气(温风)难以在工件12的下侧流动，仅从工件12的一侧的面进行工件12的加热，因而加热的效率较差。
与此相对，图5(b)示出了工件气流方向切换气门的转轴20靠近工件12配置，叶片21以远离工件12的方式朝供工件12收容的层的外侧打开的情况。
如图5(b)所示，当空气(温风)朝－x方向流动至工件12时，在气门c1的叶片21和气门c3的叶片21朝远离工件12的方向转动的情况下，产生沿着气门c1的叶片21朝收容有工件12的层的地板面22侧流动的空气(温风)的流动和沿着收容有工件12的层的顶板面23流动的空气(温风)的流动，使得空气(温风)在工件12的上表面及下表面这两个表面上流过。因此，能从工件12的两面对工件12进行加热，提高了加热的效率。
这样，较为理想的是，将工件12围住的工件气流方向切换气门c1～c4的转轴20配置于靠近工件12的位置，并使用于对流向工件12的气流进行控制的叶片21朝远离工件12的方向转动。另外，该气门c1～c4的叶片的转动适于以“压力×截面积”的数值在各层之间一定的方式对各层的气门的开度进行调节，从而使风速在各层之间相同的结构。
Claims (9)
1.一种热风循环式加热装置，利用热风对被加热物进行加热，其特征在于，包括：
箱体，该箱体收容有被加热物；
空气循环机构，该空气循环机构产生在所述箱体的内部循环的空气，并能对该空气循环的方向进行切换；
加热机构，该加热机构对所述箱体的内部的空气进行加热；以及
四个第一气门，这四个第一气门以将收容于所述箱体的所述被加热物的周围围住的方式配置于四个方向上，并与利用所述空气循环机构切换空气在所述箱体的内部循环的方向相配合地，在所述四个方向上依次切换空气输送至所述被加热物的方向和从所述被加热物吸入空气的方向。
2.如权利要求1所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
所述空气循环机构包括：
空气吹出部，该空气吹出部在所述四个方向上具有开口，并从这些开口吹出空气；
四个第二气门，这四个第二气门对所述空气吹出部的四个开口的打开关闭进行控制；
空气吸入部，该空气吸入部在所述四个方向上具有开口，并从这些开口吸入空气；以及
四个第三气门，这四个第三气门对所述空气吸入部的四个开口的打开关闭进行控制。
3.如权利要求1所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
还在所述箱体的内部，在所述四个方向上包括独立的四个管道。
4.如权利要求1所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
所述第一气门依次在所述四个方向上切换空气朝一个方向流动至所述被加热物的状态。
5.如权利要求1所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
所述第一气门依次在所述四个方向上切换空气从正交的两个方向输送至所述被加热物、并从所述被加热物朝正交的两个方向吸入空气的状态。
6.如权利要求1所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
所述第一气门具有用于对流向所述被加热物的气流进行控制的叶片和用于使所述叶片打开关闭的转轴，并以空气能流动至所述被加热物的上表面和下表面的方式，使所述叶片相对于所述被加热物朝外侧转动。
7.如权利要求1所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
所述箱体构成为能在多个层上收容多个被加热物。
8.如权利要求7所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
所述热风循环式加热装置还在各层上包括压力传感器，该压力传感器分别设置于流向收容于所述箱体的所述被加热物的气流的上游侧和下游侧，
所述热风循环式加热装置对所述第一气门的开度进行调节，以使上游侧的压力传感器的检测值与下游侧的压力传感器的检测值的差和流动至所述被加热物的空气的截面积的积在各层上相同，从而使流动至所述被加热物的空气的风量在各层上相同。
9.如权利要求7所述的热风循环式加热装置，其特征在于，
当仅在所述箱体的一部分层上收容有所述被加热物时，所述热风循环式加热装置将未收容有所述被加热物的层的所述第一气门全部关闭，以使流动至收容有所述被加热物的层的空气的风量达到与在所述箱体的全部层上都收容有所述被加热物时的风量相同的风量，且所述空气循环机构使循环风量比在所述箱体的全部层上都收容有所述被加热物时的循环风量少。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104654787A (zh) * | 2015-02-12 | 2015-05-27 | 浙江省长兴精工电炉制造有限公司 | 一种箱式炉 |
| CN112791690A (zh) * | 2019-11-13 | 2021-05-14 | 北京晶瓷医疗器械有限公司 | 一种复合树脂的固化反应装置 |
| CN113970245A (zh) * | 2020-07-22 | 2022-01-25 | 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 | 烤箱 |
| CN114993040A (zh) * | 2021-03-02 | 2022-09-02 | 光洋热系统株式会社 | 热处理装置 |
| CN116475034A (zh) * | 2022-01-24 | 2023-07-25 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 热处理装置及热处理方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE102016119703A1 (de) | 2016-10-17 | 2018-04-19 | Kraussmaffei Technologies Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Formteilen mit einem Halbzeug |
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| JP7286843B2 (ja) * | 2018-09-10 | 2023-06-05 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 熱処理装置 |
| JP2020041737A (ja) * | 2018-09-10 | 2020-03-19 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08336907A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Noritake Co Ltd | 繊維強化熱可塑性樹脂成形品の再加熱炉 |
| CN101611158A (zh) * | 2007-04-20 | 2009-12-23 | 株式会社日立产机系统 | 铁心退火炉 |
| CN102235826A (zh) * | 2011-05-05 | 2011-11-09 | 天龙科技炉业(无锡)有限公司 | 锥式反向导流炉气循环装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR800001186B1 (ko) * | 1974-07-11 | 1980-10-20 | 아끼다께 모리이찌 | 터널 킬른(Tunnel-Kiln) |
| JPS58103695U (ja) * | 1982-01-08 | 1983-07-14 | シャープ株式会社 | 熱風吹きつけ式オ−ブン |
| JP3082327B2 (ja) * | 1991-07-10 | 2000-08-28 | 大同特殊鋼株式会社 | 熱風循環炉 |
| JP3794269B2 (ja) * | 2001-01-24 | 2006-07-05 | シャープ株式会社 | 太陽電池モジュールの製造方法およびそれに用いる太陽電池モジュール製造用オーブン |
| JP2008095977A (ja) | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Canon Chemicals Inc | 熱風炉 |
| JP4896952B2 (ja) * | 2008-12-04 | 2012-03-14 | エスペック株式会社 | 熱処理装置 |
-
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08336907A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Noritake Co Ltd | 繊維強化熱可塑性樹脂成形品の再加熱炉 |
| CN101611158A (zh) * | 2007-04-20 | 2009-12-23 | 株式会社日立产机系统 | 铁心退火炉 |
| CN102235826A (zh) * | 2011-05-05 | 2011-11-09 | 天龙科技炉业(无锡)有限公司 | 锥式反向导流炉气循环装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104654787A (zh) * | 2015-02-12 | 2015-05-27 | 浙江省长兴精工电炉制造有限公司 | 一种箱式炉 |
| CN112791690A (zh) * | 2019-11-13 | 2021-05-14 | 北京晶瓷医疗器械有限公司 | 一种复合树脂的固化反应装置 |
| CN112791690B (zh) * | 2019-11-13 | 2024-03-29 | 北京晶瓷医疗器械有限公司 | 一种复合树脂的固化反应装置 |
| CN113970245A (zh) * | 2020-07-22 | 2022-01-25 | 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 | 烤箱 |
| CN114993040A (zh) * | 2021-03-02 | 2022-09-02 | 光洋热系统株式会社 | 热处理装置 |
| CN116475034A (zh) * | 2022-01-24 | 2023-07-25 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 热处理装置及热处理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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