CN103361206B - 洗净液组合物及基板的洗净方法 - Google Patents
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Abstract
本发明是揭露一种洗净液组合物及基板的洗净方法。此洗净液组合物包含碱性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)、多羟基羧酸化合物(C)以及水(D)。在式(I)及式(2)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，而BO为丁氧基；m为3～100的数；n为0～0.2×m的数；p为3～100的数；q为0至0.2×p的数；x为1或2；且y为1或2。此洗净液组合物的洗净力佳且消泡性佳，可有效洗净玻璃基板。
Description
技术领域
本发明是有关于一种洗净液组合物及基板的洗净方法，且特别是有关于一种针对玻璃基板，具洗净力佳且消泡性佳的洗净液组合物。
背景技术
以往，作为电视、个人计算机、钟表等液晶显示用的玻璃基板，如钠钙玻璃、硼硅玻璃、硅玻璃、无碱玻璃等，可经熔融成形工程制得玻璃母板，并切割成任意尺寸以供使用。
另外，近年来常用于彩色液晶显示器、传感器及色分解装置等的彩色滤光片，亦于透明玻璃基板上形成黑色矩阵及红、绿、蓝的象素画像，并使用分散颜料用的感光性树脂，以一般微影制程(photolithography)制得。
然而，上述玻璃基板在切割时，玻璃切削粉(glass cullet)常附着于基板上而妨碍后续的精密的研磨制程、膜处理制程等。此外，彩色滤光片于制造时，飞散的微粒或前制程使用的感光性树脂的残渣等亦会附着于基板上，其不仅造成制品良率的低下，且当彩色滤光片与TFT阵列（array）贴合时甚至可能产生共同短路(common short)的情形。
因此，上述制程中导入了玻璃基板的洗净制程，而基板的制造及加工厂商为了提高制造良率，亦致力于洗净技术的提升。特别是近年来，对于制品高度信赖性的需求，以及彩色滤光片的高精度化的走向，玻璃基板清净化的要求变得愈来愈高。
为有效清除上述基板上残存的附着物，目前业界改善的方式，乃采用特定的洗净液组合物清洗玻璃基板。日本特开2009-084565号公开特许公报揭示，使用含非离子型界面活性剂、水、特定酸(或其盐类)及碱剂的碱型非离子界面活性剂组合物等。然而，使用上述洗净液组合物清洗玻璃基板时，仍有洗净力不佳、消泡性不佳的问题，造成成本提高。
有鉴于此，亟需提出一种洗净液组合物及基板的洗净方法，藉以改善已知的洗净液组合物洗净力不佳、消泡性不佳等缺点。
发明内容
因此，本发明的目的之一在于提供一种洗净力佳且消泡性佳的洗净液组合物，该洗净液组合物至少包含碱性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)、多羟基羧酸化合物(C)以及水(D)。
本发明的另一目的是在于提供一种基板的洗净方法，其是利用上述洗净液组合物清洗基板。
本发明的洗净液组合物包括碱性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)、多羟基羧酸化合物(C)以及水(D)，以下析述之。
碱性化合物(A)
本发明的碱性化合物(A)包含无机碱性化合物(A-1)及/或有机碱性化合物(A-2)。
上述无机碱性化合物(A-1)的具体例，如：氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵等的碱金属氢氧化物；磷酸氢二铵、磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸二氢铵、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾等的碱金属或铵的磷酸盐类；硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾等的碱金属硅酸盐类；碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等的碱金属碳酸盐类；硼酸锂、硼酸钠、硼酸钾等的碱金属硼酸盐类。其中，以碱金属氢氧化物为较佳。上述的无机碱性化合物(A-1)可以单独一种使用或者混合多种使用。
本发明的有机碱性化合物(A-2)包含氢氧四级铵基盐类化合物及有机胺类的有机碱性化合物。上述氢氧四级铵基盐类化合物的具体例，如：氢氧四甲铵(tetramethyl ammonium hydroxide)、氢氧四乙胺、氢氧四丙胺、氢氧四丁胺、2-羟基-氢氧三甲铵(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有机胺类的具体例如：单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺(monoisopropylamine)、二-异丙胺(di-isopropylamine)、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy)ethanol)、单异丙醇胺(monoisopropanol-amine)、二异丙醇胺、三异丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethyl ethanolamine)、正丁基乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethyl ethanolamine)、N,N-二甲基丙醇胺、N,N-二甲基异丙醇胺(N,N-dimethyl isopropanolamine)、环己胺、吗啉(morpholine)等化合物。上述的有机碱性化合物(A-2)可以单独一种使用或者混合多种使用。
本发明的有机碱性化合物(A-2)，于制造上因不含有金属离子，故对于薄膜晶体管等半导体元件较不易产生残影等不良影响。其中，乃以单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及单异丙醇胺为较佳。
非离子型界面活性剂(B)
本发明的非离子型界面活性剂(B)是具有如式(I)或式(II)所示的结构：
在式(I)及式(II)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，且BO为丁氧基；m为3～100的数；n为0～0.2×m的数；p为3～100的数；q为0至0.2×p的数；x为1或2；且y为1或2。
其次，在式(I)及式(II)中，m与p为平均加成摩尔数，m与p可互为不同，且n与q可互为不同。当AO为PO时，n与q为PO的平均加成摩尔数；当AO为BO时，n与q为BO的平均加成摩尔数；当AO包含PO及BO时，n与q则为PO的平均加成摩尔数以及BO的平均加成摩尔数的总和。在式(I)的(EO)m(AO)n以及式(II)的(EO)p(AO)q中，其各自的EO与AO的排列可为嵌段或随机。当式(I)及式(II)的AO包含PO及BO时，PO与BO的排列可为嵌段或随机。EO亦可为嵌段或随机排列的方式插入由PO及/或BO构成的排列中。上述的平均加成摩尔数可利用1H-核磁共振光谱仪(1H-NMRspectroscopy)测定。
当EO与AO为嵌段排列时，只要各个平均加成摩尔数在上述范围之内，则EO的嵌段数与AO的嵌段数可分别为1个或分别为2个以上。其次，当EO构成的嵌段数为2个以上时，各嵌段中EO的重复数可互为相同或不同。当EO以嵌段排列的方式插入由PO及/或BO构成的排列时亦然，EO的嵌段数可为1个或2个以上。当EO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中EO的重复数可互为相同或不同。
当AO包含PO及BO时，PO与BO可为嵌段排列，只要PO的嵌段数与BO的嵌段数的各个平均加成摩尔数在上述范围内即可，可分别为1个或分别为2个以上。其次，当PO构成的嵌段数为2个以上时，各嵌段中PO的重复数可互为相同或不同。当BO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中BO的重复数可互为相同或不同。
再者，基于确保非离子型界面活性剂(B)具有适当的水溶性的考虑下，式(I)及式(II)构成醚键的氧原子(O)以与EO键结为较佳。
又，为了提高玻璃基板表面附着的树脂污垢的剥离性，因此式(I)与式(II)的m与p较佳分别为3至70的数，更佳分别为3至50的数；n较佳为0至0.1×m的数，更佳为0；而q较佳为0至0.1×p的数，更佳为0。
本发明的非离子型界面活性剂(B)中，较佳为m为5至50的数且n为0的聚乙氧基二苯乙烯化苯醚，如聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为13)、聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19)、聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为64)、商品化的EMULGEN A-60、EMULGEN A-90、EMULGEN A-500(花王制)、Sinopol607、Sinopol609、Sinopol610、Sinopol614、Sinopol620、Sinopol623(中日合成化学制)等；p为5至50的数且q为0的聚乙氧基三芐基化苯醚，如聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(EO个数为14)、商品化的EMULGEN B-66(花王制)等。其中，更佳为聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19)、聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为64)、EMULGEN A-60、EMULGEN A-90、Sinopol607、Sinopol609、Sinopol620、Sinopol623、聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(EO个数为14)以及EMULGEN B-66。
上述的非离子型界面活性剂(B)可以单独一种使用或者混合多种使用。
本发明的洗净液组合物中，基于碱性化合物(A)100重量份，非离子型界面活性剂(B)的使用量通常为10至300重量份，较佳为15至250重量份，更佳为20至200重量份。若不使用非离子型界面活性剂(B)，则会因湿润性不佳而造成洗净力不佳的问题。
多羟基羧酸化合物(C)
本发明的多羟基羧酸化合物(C)可包含2个或2个以上的羟基，例如酒石酸(盐)、甘油酸(盐)、咖啡酸(盐)(caffeic acid)、二羟基苯甲酸(dihydroxy-benzoic acid)、二羟基苯乙酸(盐)(dihydroxyphenylacetic acid)、3-羟基苯乙醇酸(盐)、二羟基-2-二萘甲酸(盐)(3,5-dihydroxy-2-naphthalenecarboxylic acid)等包含2个羟基的多羟基羧酸化合物；没食子酸(盐)、莽草酸(盐)(shikimic acid)、三羟基棕榈酸(盐)(trihydroxy palmitic acid)、二羟基苯乙醇酸(盐)等包含3个羟基的多羟基羧酸化合物；粘液酸(盐)(mucic acid)、氨基葡萄糖酸(盐)、二羟基酒石酸(盐)、阿糖酸(盐)等包含4个羟基的多羟基羧酸化合物；葡萄糖酸(盐)(gluconic acid)、半乳糖酸(盐)(galactonic acid)、葡庚糖酸(盐)(glucoheptonic acid)等碱金属盐或低级胺盐等包含5个羟基以上的多羟基羧酸化合物。
上述的多羟基羧酸化合物(C)可以单独一种使用或者混合多种使用。
基于碱性化合物(A)100重量份，多羟基羧酸化合物(C)的使用量通常为10重量份至300重量份，较佳为15重量份至250重量份，更佳为20重量份至200重量份。若不使用多羟基羧酸化合物(C)，则会有泡沫过多造成水垢容易累积的问题。当多羟基羧酸化合物(C)含3个或3个以上的羟基时，则可进一步提升消泡性，并减缓水垢的产生。
另外，在不影响本发明的洗净液的消泡性质下，亦可选择性并用单羟基羧酸化合物，其具体例如：乳酸(盐)、苹果酸(盐)、柠檬酸(盐)、水杨酸(盐)、乙醇酸(盐)、羟基丁酸(盐)、羟基庚酸(盐)、羟基辛酸(盐)、羟基壬酸(盐)、羟基癸酸(盐)、羟基苯乙酸(盐)、羟基苯丙酸(盐)、羟基环丙烷羧酸(盐)、羟基环己烷羧酸(盐)等。
水(D)
本发明中所使用的水(D)并无特别限制。其具体例如：蒸馏水、纯水(经离子交换树脂等行脱盐处理而得的水)、超纯水(除无机离子外，不含有机物、生菌、微粒子及溶解气体)及近年来被提案的各种机能水等。基于金属离子对电子控制回路具不佳影响，本发明中所使用的水(D)较佳为纯水或超纯水，更佳为超纯水。其中，上述超纯水可藉由将自来水通过活性碳、离子交换处理、蒸馏处理后，必要时以紫外光照射杀菌，或者通过过滤器而得。根据25℃的电阻值来区分，电阻值在1MΩ．cm以上即可称为纯水，电阻值在10MΩ．cm以上即可称为超纯水。
本发明的洗净液组合物中，基于碱性化合物(A)100重量份，水(D)的使用量通常为300重量份至25,000重量份，较佳为400重量份至20,000重量份，更佳为500重量份至15,000重量份。当水(D)的使用量介于300重量份至25,000重量份时，较不易有洗剂残留及洗净力下降的问题。
添加剂(E)
本发明的洗净液组合物可进一步选择性加入添加剂(E)，例如：pH调整剂、有机溶剂、消泡剂、抗氧化剂、防腐剂等。
上述pH调整剂的具体例如：盐酸、硫酸、硝酸、磺胺酸、磷酸等的无机酸；氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾等的无机碱等。上述的pH调整剂可单独一种或混合多种以上使用。
上述的有机溶剂以于20℃时对水的溶解度以3(g/100g)以上为佳，然以10以上为更佳，其具体例如：二甲基亚砜、环丁砜、3-甲基环丁砜、2,4-二甲基环丁砜等的亚砜类；二甲砜、二乙砜、双(2-羟乙基)砜等的砜类；N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基丙酼胺等的酰胺类；N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-羟甲基-2-吡咯烷酮等的内酰胺类；β-丙内酯、β-丁内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯等的内酯类；甲醇、乙醇、异丙醇等的醇类；乙二醇、乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、二乙二醇、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚、二乙二醇单己基醚、二乙二醇单苯基醚、三乙二醇单甲基醚、丙二醇、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、1,3-丁二醇、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇三乙基醚等的乙二醇及乙二醇醚类；N-甲基-2-恶唑烷酮、3,5-二甲基-2-恶唑烷酮等的恶唑烷酮(oxazolidinone)类；乙腈、丙腈、丁腈、丙烯腈、甲基丙烯腈、苯甲腈等的腈(nitrile)类；碳酸盐类；（碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等）；丙酮、二乙酮、苯乙酮、甲乙酮、环己酮、环戊酮、二丙酮醇等的酮类；四氢呋喃、四氢吡喃等的环醚类等。上述的有机溶剂可单独一种或混合多种以上使用。
上述消泡剂的具体例如：聚硅氧系、高级醇系、聚醚系、脂肪酸酯系、聚乙二醇系、矿物油系及包含下述结构式(III)所表示的化合物：
在式(III)中，z表示1或2的整数，R表示下述式(IV)所表示的官能基：
在式(IV)中，w表示3至7的整数。
上述的结构式(III)所表示的化合物的具体例如：商品名Surfynol MD-20、Surfynol MD-30(Air Products and Chemicals公司制)。
上述的消泡剂可单独一种或混合多种以上使用。
上述抗氧化剂的具体例如：2,6-二-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲氧基苯酚、2,4-二甲基-6-叔丁基苯酚等的苯酚系；单辛基二苯胺、单壬基二苯胺、4,4’-二丁基二苯胺、4,4’-二戊基二苯胺、四丁基二苯胺、四己基二苯胺、α-萘胺、苯基-α-萘胺等的胺系；吩噻嗪(phenothiazine)、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、双(3,5-叔丁基-4-羟基芐基)硫醚(bis(3,5-t-butyl-4-hydroxybenzyl)sulfide)等的硫系；二亚磷酸双(2,4-二-叔丁基苯基)季戊四醇酯、亚磷酸一苯二异葵酯、亚磷酸二苯二异辛酯、亚磷酸三苯酯等的磷系等。上述的抗氧化剂可单独一种或混合多种以上使用。
上述防腐剂的具体例如：六氢-1,3,5-三(羟乙基)-s-三嗪等的三嗪(triazine)衍生物；1,2-苯并异噻唑啉-3-酮、2-甲基-4-异噻唑啉-3-酮、5-氯-2-甲基-4-异噻唑啉-3-酮等的异噻唑啉(isothiazolin)衍生物；4-(2-硝基丁基)吗啉、4,4-(2-乙基-2-硝基三亚甲基)二吗啉等的吗啉衍生物；2-(4-噻唑基)苯并咪唑等的苯并咪唑(benzimidazole)衍生物等。上述的防腐剂可单独一种或混合多种以上使用。
本发明的洗净液组合物中，基于碱性化合物(A)100重量份，添加剂(F)的使用量视种类而异；消泡剂的使用量通常为1重量份至10重量份，较佳为2重量份至9重量份，更佳为3重量份至8重量份；抗氧化剂、及防腐剂的使用量通常为10重量份以下，较佳为8重量份以下，更佳为5重量份以下；pH调整剂的使用量通常为90重量份以下，较佳为85重量份以下，更佳为80重量份以下；有机溶剂的使用量通常为500重量份以下，较佳为400重量份以下，更佳为300重量份以下。
本发明的洗净液组合物在25℃时的表面张力通常为25dyne/cm至60dyne/cm，较佳为25dyne/cm至50dyne/cm，更佳为25dyne/cm至40dyne/cm。当洗净液组合物在25℃时的表面张力为25dyne/cm至60dyne/cm时，则有湿润性佳、洗净力强的优点。
洗净液组合物的制备
本发明的洗净液组合物的制备，一般是将上述碱性化合物(A)、非离子型界面活性剂(B)、多羟基羧酸化合物(C)以及水(D)，并可视需要添加pH调整剂、有机溶剂、消泡剂、抗氧化剂、防腐剂等添加剂(E)，于搅拌器中搅拌，使其均匀混合成溶液状态，即可获得洗净液组合物。
基板的洗净方法
本发明进一步提供一种基板的洗净方法，该洗净方法是使用前述所得的洗净液组合物清洗基板；具体的洗净手段包括但不限于浸泡法、冲淋法、刷洗法、超音波洗净法及泡沫洗净法等方法。其中，浸泡法是于浸泡槽内填满洗净液组合物，再将基板浸入洗净液组合物内；冲淋法是将洗净液组合物以冲淋、喷雾、喷射等方式清洗基板；刷洗法是将洗净液组合物利用海绵、刷子等工具对基板进行清洗。
本发明的洗净液组合物，可应用于钠钙玻璃、硼硅玻璃、二氧化硅玻璃及无碱玻璃等玻璃基板的洗净。
以下利用数个实施方式以说明本发明的应用，然其并非用以限定本发明，本发明技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。
具体实施方式
制备洗净液组合物
以下是根据表1制备实施例1至9以及比较例1至4的洗净液组合物。
实施例1
将100重量份的氢氧化钾(potassium hydroxide，以下简称A-1)、80重量份的聚乙氧基-3.5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19；以下简称B-1)、150重量份的酒石酸(以下简称C-1)以及3000重量份的水。上述各成份以摇动式搅拌器混合均匀，即可获得洗净液组合物。所得的洗净液组合物以下列各评价方式进行评价，其结果如表1所述，其中表面张力、洗净力以及消泡性的检测方法容后再述。
实施例2至9
同实施例1的洗净液组合物的制作方法，不同处在于实施例2至9是改变洗净液组合物中原料的种类及使用量，其配方以及检测结果如表1所示，此处不另赘述。
比较例1至4
同实施例1洗净液组合物的制作方法，不同处在于比较例1至4所制得的洗净液组合物并未同时使用非离子型界面活性剂(B)及多羟基羧酸化合物(C)，其配方及检测结果亦如表1所示。
评价方式
1.表面张力：
以恒温水槽控制洗净液组合物在25℃，并使用表面张力仪(TensiometerModel CBVP-A2，协和界面科学制)测量表面张力。(单位：dyne/cm)。测量所得的表面张力如表1的所述。
2.洗净力
将钠钙玻璃(Soda Lime Glass)粉碎，并将碎粉(粒径介于10μm至100μm）均匀分散于水中后，涂布于一玻璃基板上(20mm×100mm)。接着，于110℃下干燥30分钟后，浸泡在洗净液组合物中，并以恒温水槽控制在25℃。于浸泡3分钟后，以500mL纯水洗净，然后以高压空气吹干。之后，利用以显微镜(放大倍率为50倍)观察玻璃基板的表面状态，并根据以下基准进行评价：
○：无切削粉残留。
╳：有明显的切削粉残留。
3.消泡性
取50mL的实施例1至9以及比较例1至4所制得的各种洗净液组合物，倒入100mL量筒，上下震荡20回后，测量泡沫高度(T1)，静置30秒后，再次测量泡沫高度(T2)，并根据下式(III)进行评价：
消泡率(%)＝[(T1－T2)／(T1)]×100(V)
◎：90％≦消泡率。
○：80％≦消泡率＜90%。
△：50％≦消泡率＜80%。
╳：消泡率＜50%。
前述实施例所得的洗净液组合物，其表面张力、洗净力以及消泡性的评估结果如表1所示。
由表1的结果可知，当同时使用非离子型表面活性剂(B)及多羟基羧酸化合物(C)，所制得的洗净液组合物具有较佳的洗净力与较佳的消泡性。其次，当同时使用非离子型界面活性剂(B)及含有3个羟基的多羟基羧酸化合物(C)时，可获致更佳的消泡性，故确实可达到本发明的目的。
比较例5
此外，取100重量份的氢氧化钾、83重量份的非离子型界面活性剂(商品名EMALGEN LS-110；花王制)、83重量份的对甲苯磺酸钠(sodium p-toluenesulfonic acid)以及3900重量份的水。上述各成份以摇动式搅拌器混合均匀，即可获得洗净液组合物，所得的洗净液组合物亦以上列各评价方式进行评价。以上述各评价方式进行效能评估后，所得的洗净力以及消泡性皆为╳。
需补充的是，本发明虽以特定的化合物、组成、反应条件、制程、分析方法或特定仪器作为例示，说明本发明的洗净液组合物及基板的洗净方法，惟本发明所属技术领域中任何具有通常知识者可知，本发明并不限于此，在不脱离本发明的精神和范围内，本发明的洗净液组合物及基板的洗净方法亦可使用其它的化合物、组成、反应条件、制程、分析方法或仪器进行。
虽然本发明已以实施方式揭露如上，然其并非用以限定本发明，在本发明所属技术领域中任何具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
表1
A-1-1 氢氧化钾 Potassium hydroxide
A-1-2 氢氧化钠 Sodium hydroxide
A-2-1 单乙醇胺 Monoethanolamine
A-2-2 氢氧化四甲胺 Tetramethyl ammonium hydroxide
B-1 聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19) Polyoxyethylene-3,5-bis(1-phenylethyl)phenylether(m=19)
B-2 Sinopol620(中日合成化学制)
B-3 聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(EO个数为14) Polyoxyethylene-2,4,6-tris(1-phenylmethyl)phenylether (m=14)
B-4 EMULGENB-66(花王制)
C-1 酒石酸 Tartaric acid
C-2 没食子酸 Gallic acid
C-3 葡萄糖酸钠 Sodium gluconate
C-4 粘液酸 Galactaric acid
E-1 磷酸 Phosphoric acid
E-2 γ-戊内酯 γ-Methylbutyrolactone
Claims (8)
1.一种洗净液组合物，其由：
碱性化合物(A)；
如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)；
在式(I)及式(II)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，且BO为丁氧基；m为3～100的数；n为0～0.2×m的数；p为3～100的数；q为0至0.2×p的数；x为1或2；且y为1或2；
多羟基羧酸化合物(C)；以及
水(D)组成。
2.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述非离子型界面活性剂(B)的EO与AO为嵌段排列或随机排列。
3.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述非离子型界面活性剂(B)的AO中，PO与BO为嵌段排列或随机排列。
4.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述多羟基羧酸化合物(C)含有3个或3个以上羟基。
5.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述多羟基羧酸化合物(C)含有4个或4个以上羟基。
6.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中基于所述碱性化合物(A)为100重量份，所述非离子型界面活性剂(B)的使用量为10重量份至300重量份，所述多羟基羧酸化合物(C)的使用量为10重量份至300重量份，且所述水(D)的使用量为500重量份至30,000重量份。
7.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述洗净液组合物的表面张力为25dyne/cm至60dyne/cm。
8.一种清洗基板的方法，其是使用如权利要求1至7中任一项所述的洗净液组合物清洗一基板。
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