CN103358200A - 玻璃基板的端面磨削装置和端面磨削方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种玻璃基板的端面磨削装置和端面磨削方法，即使玻璃基板端面的中心从一次端面磨削部的砂轮的槽的中央位置偏离，也能够将玻璃基板端面磨削加工处理成规定的形状。玻璃基板端面磨削装置的特征在于，从玻璃基板搬运路径的上游侧起依次具有一次端面磨削部和二次端面磨削部，在一次端面磨削部和二次端面磨削部分别具备圆柱形状的砂轮，该砂轮在侧面上沿着圆周方向形成有槽，形成于砂轮的槽的剖面形状具有从槽的底部侧向砂轮表面侧逐渐变宽的形状，形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比设置在二次端面磨削部的端面磨削用砂轮上的槽的开口角度大，设置在一次端面磨削部的砂轮上的槽的底部成为向底部侧凸出的曲线。

Description

玻璃基板的端面磨削装置和端面磨削方法

技术领域

本发明涉及玻璃基板的端面磨削装置、玻璃基板的端面磨削方法及玻璃基板的制造方法。

背景技术

平板玻璃或液晶面板等玻璃基板切断加工成规定的尺寸之后，对于四边的端面进行磨削及倒角加工，由此加工成产品外径尺寸的玻璃基板。

进行磨削及倒角加工的磨削加工处理中，使圆柱形状的砂轮旋转，使作为被磨削体的玻璃基板的端面与沿着圆周形成在砂轮侧面上的槽接触，并同时搬运玻璃基板，由此，对应于槽的形状而进行倒角、磨削。

尤其是近年来为了提高玻璃基板的生产率，在进行磨削加工处理时，采取如下方法：在玻璃基板的搬运路径上配置多个砂轮，由此减少各砂轮的负荷而加快玻璃基板的进给速度（例如，专利文献1）。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2006-247768号公报

以往，如上述那样在玻璃基板的搬运路径上配置多个砂轮而对玻璃基板端面进行磨削时，在各砂轮的侧面形成的槽为相同形状。

因此，例如在通过前段的砂轮对玻璃基板端面进行磨削时，若玻璃基板端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离，则即使利用后段的砂轮进行磨削，在玻璃基板端面上也残留有前段的磨削（加工）面，端面形状有时会偏离规定的形状。

另外，若定期地使砂轮的槽位置对合，则调整花费时间，因此端面磨削装置的运转率下降而生产率存在问题。

而且，在利用前段的砂轮进行磨削加工处理时，若由于玻璃基板端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离而在玻璃基板的端面残留有角，则存在对后段的砂轮的负荷增大而容易发生品质不良的问题。

发明内容

本发明鉴于上述现有技术存在的问题，目的在于提供一种玻璃基板的端面磨削装置，其在利用多个砂轮对玻璃基板的端面进行磨削加工处理时，即使玻璃基板端面的板厚方向的中心在前段（一次端面磨削部）的砂轮的槽中从砂轮厚度方向的中央位置偏离，也能除去玻璃基板端面的角部，从而能够磨削加工处理成规定的形状。

为了解决上述课题，根据本发明的一观点，提供一种玻璃基板端面磨削装置，其特征在于，从玻璃基板搬运路径的上游侧起依次具有一次端面磨削部和二次端面磨削部，在所述一次端面磨削部和所述二次端面磨削部分别具备圆柱形状的砂轮，该砂轮在侧面上沿着圆周方向形成有槽，将所述圆柱形状的砂轮利用包含该砂轮的中心轴的面剖切时的所述槽的剖面形状具有从槽的底部侧向砂轮表面侧逐渐变宽的形状，形成在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比设置在所述二次端面磨削部的端面磨削用砂轮上的槽的开口角度大，设置在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的底部成为向底部侧凸出的曲线。

【发明效果】

根据本发明的玻璃基板端面磨削装置，即使在一次端面磨削部中玻璃基板端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离而进行磨削加工处理，在二次端面磨削部中也能够不残留由一次端面磨削部磨削的磨削面而进行玻璃基板的端面的磨削加工处理。因此，与现有技术相比，能够提高成品率。

另外，由于在一次端面磨削部中能够不残留玻璃基板端面的角部而进行磨削，因此能够减少对二次端面磨削部的负荷，在该点上也能够提高产品的成品率。

此外，一次端面磨削部及二次端面磨削部各自的砂轮的位置调整无需像现有技术那样以高精度进行，能够缩短位置调整所需的时间，因此能够提高端面磨削装置的运转率。

附图说明

图1a是本发明的第一实施方式的玻璃基板的端面磨削装置的侧视图。

图1b是本发明的第一实施方式的玻璃基板的端面磨削装置的俯视图。

图2是本发明的第一实施方式的玻璃基板的端面磨削装置中设于端面磨削部的砂轮的侧视图。

图3a是本发明的第一实施方式的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图3b是本发明的第一实施方式的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图3c是本发明的第一实施方式的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图3d是本发明的第一实施方式的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图4a是本发明的实施例1的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图4b是本发明的实施例1的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图4c是本发明的实施例1的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图4d是本发明的实施例1的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图5a是本发明的实施例2的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图5b是本发明的实施例2的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图5c是本发明的实施例2的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图5d是本发明的实施例2的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图6a是本发明的实施例3的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图6b是本发明的实施例3的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图7a是比较例1的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图7b是比较例1的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图7c是比较例1的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图8a是比较例2的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图8b是比较例2的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图9a是比较例3的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图9b是比较例3的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图9c是比较例3的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图9d是比较例3的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图10a是比较例4的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图10b是比较例4的形成于砂轮侧面的槽的剖面形状的说明图。

图10c是比较例4的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图10d是比较例4的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

图10e是比较例4的玻璃基板端面的磨削状态的说明图。

【标号说明】

13一次端面磨削部

23二次端面磨削部

132、232砂轮

133、233槽

33切口部

具体实施方式

以下，参照附图，说明用于实施本发明的方式，但本发明并未限定为下述的实施方式，能够不脱离本发明的范围，而对于下述的实施方式施加各种变形及调换。

[第一实施方式]

在本实施方式中，对本发明的玻璃基板的端面磨削装置进行说明。

首先，使用图1a、图1b、图2，说明玻璃基板的端面磨削装置的结构例。

图1a、图1b是玻璃基板的端面磨削装置10的简图，图1a表示侧视图，图1b表示俯视图。

成为磨削对象的矩形形状的工件W（玻璃基板）以端面从保持单元11露出的状态可拆装地保持在保持单元11上。

在此，关于工件W（玻璃基板）的材料、制造方法、板厚，并未特别限定，可以使用各种玻璃基板。例如，作为工件W的材料（材质），可以使用液晶显示器用玻璃基板用的实质上不含有碱金属氧化物的无碱玻璃、碱石灰玻璃、石英玻璃等。

另外，关于成为工件W的玻璃基板的成形方法并未限定，可以使用通过一般的方法成形的玻璃基板，例如通过浮法、熔化下拉法、狭缝下拉法、再拉法等成形的玻璃基板。

并且，关于工件W（玻璃基板）的板厚，并未限定，只要工件W的板厚、形成于砂轮侧面的槽的尺寸、形状适合即可。但是，若过厚，则由于玻璃基板的载荷而难以搬运，而且，若过薄，则在搬运玻璃基板时容易破损，因此工件W的板厚优选为0.3mm以上且6mm以下，更优选为0.3mm以上且3mm以下。

接下来，保持单元11配置在沿着图1a、图1b中左右方向（图1a、图1b中的箭头方向）能够移动的移动体S上，通过搬运机构12，经由移动体S能够将工件W沿着图1a、图1b中左右方向搬运。而且，搬运机构12通过未图示的控制器（控制部）能够控制工件W的搬运速度（进给速度）。

保持在保持单元11上的工件W由搬运机构12向设有一次端面磨削部13的位置搬运，关于工件W的两端面部分，进行磨削及倒角处理（以下，简称为“磨削加工处理”）。接下来，向设有二次端面磨削部23的位置搬运，并同样地对于工件W的两端面部分进行磨削加工处理。

图1b中，示出了将一次端面磨削部13、二次端面磨削部23在搬运机构12的左右（与工件W的搬运方向正交的正交方向）各配置一个的例子（在图1a中为了容易理解结构而仅记载各一个），此外，为了对工件W的端面进行镜面精加工，也可以在工件搬运方向下游侧设置端面研磨部。

需要说明的是，在图1a、图1b中，记载了仅配置了对于工件中的2边的端面的一次端面磨削部13、二次端面磨削部23的例子，但对于其余的2边也可以进行磨削加工处理。例如可以在工件的搬运方向的上游或下游设置改变工件W的方向的旋转台、同样地对于其余的两边的一次端面磨削部、二次端面磨削部。

如图1b所示，一次端面磨削部13、二次端面磨削部23分别在内部配置有圆柱形状的端面磨削用砂轮（以下，简称为“砂轮”）132、232和在磨削加工处理时以砂轮132、232的中心轴为旋转轴而驱动砂轮132、232旋转的电动机131、231。而且，磨削时，冷却液供给机构14、24、吸引机构15、25可以与各个端面磨削部连接，该冷却液供给机构14、24用于向砂轮132、232与工件W接触的部分周边供给冷却液（冷却剂），该吸引机构15、25经由通道L而引入使用完的冷却液。

关于砂轮的种类，可以根据要求的磨削量（或加工量）等来选择。而且，关于砂轮的粗糙度，可以根据在一次端面磨削部、二次端面磨削部要求的磨削量的比率、玻璃基板的精加工面的表面粗糙度等进行选择。例如，若在一次端面磨削部、二次端面磨削部的磨削量为相同程度，则可以使两者的砂轮的粒度号（粗糙度）相同。在玻璃基板的制造工序中，采用通常随着朝向玻璃基板的加工工序的下游侧而使用砂轮的粒度号大的（颗粒细的）砂轮，将磨削（研磨）面精加工为平滑的表面（镜面）的方法。因此，在本发明中，一次端面磨削部的磨削用砂轮的粒度号可以小于二次端面磨削部的砂轮的粒度号。即，可以使二次端面磨削部的砂轮的颗粒比一次端面磨削部的砂轮细。

在本发明的情况下，即使如上述那样选择砂轮的粒度号时，如后述那样，也能够通过二次端面磨削部不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而进行磨削，因此能够不像现有技术那样在局部残留有表面粗糙度粗糙的面而进行精加工。

在砂轮132、232的侧面（周面）上，从图2所示的砂轮的侧视图可知，沿着圆周方向形成有槽133、233，使工件W的端面与该槽接触并同时搬运工件W，由此进行工件W的端面的磨削加工处理。此时，对应于槽的形状而进行工件W的端面的倒角。在图2中，示出了将槽133、233沿着中心轴方向（砂轮的厚度方向）隔开规定间隔设置3个的例子，这是为了不更换砂轮，对应于磨削量（或加工量）而改变槽来实施磨削。需要说明的是，槽的个数并未限定，可以根据砂轮、槽的尺寸等进行选择。

接下来，使用图3a～图3d，说明形成于砂轮侧面的槽的形状。

图3a表示形成在一次端面磨削部的砂轮132的侧面上的槽133的剖面形状的例子，图3b～图3d表示形成在二次端面磨削部的砂轮232的侧面上的槽233的剖面形状的例子。

在此所说的槽的剖面形状是指将圆柱形状的砂轮利用包含该砂轮的中心轴的面（与砂轮侧面的切线正交的面）切断（使砂轮为一半）时的槽的剖面形状。需要说明的是，中心轴是指将圆柱形状的砂轮的上表面与底面的圆的中心连结的线（轴）。

另外，图3a～图3d中，各槽所示的单点划线表示各槽的剖面形状中从槽的宽度方向（砂轮的厚度方向）观察时的中央位置（中央部）。在关于槽而记载的其他的图中，也同样地通过单点划线来表示中央位置。

从与图2的关系可知，具有开口部的上部侧为砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧，槽的底部侧配置在砂轮的中心侧。

如图3a～图3d所示，一次、二次端面磨削部中，槽的剖面形状均具有从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮的侧面部的表面）侧逐渐扩开的形状（前端打开形状）。

这是为了进行玻璃基板的倒角，将玻璃基板的端部向砂轮的槽插入，对应于形成在砂轮上的槽的形状而进行玻璃基板端部的角部分的倒角。

并且，关于槽（的剖面形状）的开口角度，形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比设置在二次端面磨削部的端面磨削用砂轮上的槽的开口角度大。

在此，槽的开口角度在图3a中是指由31表示的角度，在图3b～图3d中是指由32表示的角度，是在槽的两侧面部间形成的角度。

由于开口角度满足上述关系，因此例如若将图3a、图3b比较，则一次端面磨削部的槽侧面的倾斜角度比二次端面磨削部的槽侧面的倾斜角度平缓。因此，与形成在一次端面磨削部及二次端面磨削部的砂轮上的槽形状相同的现有技术相比，通过二次端面磨削部能够更可靠地除去通过一次端面磨削部对玻璃基板的端面赋予的加工面。

而且，设置在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽（的剖面形状）的底部成为向底部侧凸出的曲线。即，槽的剖面形状成为凹形状的曲线，如图3a所示，可以使设置在一次端面磨削部的砂轮上的槽成为例如抛物线形状、半圆形状等。

在所述槽的底设置的向底部侧凸出的曲线的曲率半径并未特别限定，可以适当选择。例如图3c所示，关于二次端面磨削部的砂轮的槽，将该槽的底部也同样地形成为向底部侧凸出的曲线时，优选使一次端面磨削部的砂轮的槽的底部的曲线的曲率半径大于二次端面磨削部的砂轮的槽的底部的曲线的曲率半径。

通过将一次端面磨削部的砂轮的槽形成为上述形状，在通过一次端面磨削部进行磨削时，即使工件W端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离，也能够可靠地除去工件W的端面的角部。

关于设置在二次端面磨削部的砂轮上的槽的剖面形状，只要满足上述要件即可，并未特别限定。关于二次端面磨削部，优选以成为产品要求的形状或接近该形状的方式选择槽的形状、尺寸。

具体而言，例如图3b所示，也可以使槽的底部平坦。

另外，如图3c所示，可以与一次端面磨削部的砂轮的槽同样地形成向砂轮的槽的底部侧凸出的曲线，即，将槽的形状形成为抛物线形状、半圆形形状等。

并且，如图3d所示，形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的剖面形状优选是在开口端部形成切口部33的形状。

如上所述，在对工件W的端面进行磨削加工处理时，边向砂轮与工件W接触的部分周边供给冷却液，边进行磨削，但尤其是形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度小，因此冷却液未充分进入槽，可能会产生腐蚀变色（haze）。因此，为了容易地将冷却液导入到形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽内，而优选在槽的开口端部设置切口部。

作为切口部的尺寸，并未特别限定，可以考虑槽间的宽度、形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度、工件W的板厚等进行选择。例如，切口部上端的槽的开口部的宽度34相对于工件W的板厚优选为1.5倍以上且2.5倍以下，更优选为1.8倍以上且2.1倍以下。这是因为，通过使切口部的大小具有上述范围，特别容易将冷却液导入槽内，能够将腐蚀变色的发生抑制得较低。

切口部可以仅设置在槽的开口部的一方的端部，但如图3d所示，设置在槽的开口部的两端的方式由于冷却液容易均匀地进入槽内而更优选。

关于切口部的具体的形状并未限定，只要形成为冷却液容易进入的形状即可。例如可以像图3d那样在槽设置倾斜的切口部。这种情况下，槽的侧面部的倾斜角度以两阶段的方式变化，在以砂轮表面（砂轮侧面部的表面）为基准时，优选槽的上端侧（切口部）的倾斜角比槽的底部侧的倾斜角平缓。需要说明的是，这种情况下，形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的2个倾斜角度中的、底部侧的槽的开口角度大。

在此，说明了在二次端面磨削部的砂轮的槽设有切口部的情况，但同样地也可以在一次端面磨削部的砂轮的槽设置用于容易地导入冷却液的切口部。

根据以上说明的本发明的玻璃基板的端面磨削装置，能够扩大如下的范围，即：在一次端面磨削部中即使工件W（玻璃基板）端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离而进行磨削加工处理，在二次端面磨削部中也能不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而进行工件的端面的磨削加工处理这样的范围（即，一次端面磨削部中的工件端面的板厚方向的中心与槽的砂轮厚度方向的中央位置之间的偏离宽度的容许范围）。

另外，由于在一次端面磨削部中不保留工件端面的角部而能够进行磨削，因此能够减轻对二次端面磨削部的负荷。从这些理由出发，能够提高产品的成品率。

而且，如上述那样即使以不如现有技术高的精度进行一次端面磨削部及二次端面磨削部各自的砂轮的位置调整，也能够将工件端面磨削加工处理成规定的形状，因此能够缩短砂轮的位置调整所需的时间。因此，能够提高端面磨削装置的运转率。

[第二实施方式]

在本实施方式中，说明本发明的玻璃基板的端面磨削方法。

本发明的玻璃基板的端面磨削方法，对于玻璃基板的端面，利用一次端面磨削部进行了磨削之后，在二次端面磨削部中进行磨削，所述玻璃基板的端面磨削方法的特征在于，在所述一次端面磨削部和所述二次端面磨削部分别具备圆柱形状的砂轮，该砂轮在侧面上沿着圆周方向形成有槽，将所述圆柱形状的砂轮利用包含该砂轮的中心轴的面剖切时的所述槽的剖面形状具有从槽的底部侧向砂轮表面侧逐渐变宽的形状，形成在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比设置在所述二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度大，设置在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的底部成为向底部侧凸出的曲线。

根据本发明的玻璃基板的端面磨削方法，能够扩大如下的范围，即：在一次端面磨削部中即使工件W端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离而进行磨削加工处理，在二次端面磨削部中也能不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而进行工件的端面的磨削加工处理这样的范围（即，一次端面磨削部中的工件端面的板厚方向的中心与槽的砂轮厚度方向的中央位置之间的偏离宽度的容许范围）。

另外，由于在一次端面磨削部中能够不残留玻璃基板端面的角部而进行磨削，因此能够减少对二次端面磨削部的负荷。从这些理由出发，能够提高产品的成品率。

而且，如上述那样即使以不如现有技术高的精度进行一次端面磨削部及二次端面磨削部各自的砂轮的位置调整，也能够将玻璃基板端面磨削加工处理成规定的形状，因此能够缩短砂轮的位置调整所需的时间。因此，能够提高端面磨削装置的运转率。

上述玻璃基板端面的磨削方法通过例如在第一实施方式中说明的玻璃基板的端面磨削装置能够实施。因此，对于装置的结构，由于与第一实施方式重复，因此这里将其省略，但尤其是一次端面磨削部的砂轮的粒度号优选比二次端面磨削部的砂轮的粒度号小。即，二次端面磨削部的砂轮的颗粒优选比一次端面磨削部的砂轮的颗粒细。

这是因为，即使如上述那样选择砂轮的粒度号，也能够不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而通过二次端面磨削部进行磨削，能够不像现有技术那样在局部残留有表面粗糙度粗糙的面而进行精加工。而且，根据所述结构，通过一次端面磨削部能确保充分的磨削量（加工量），通过二次端面磨削部能够对玻璃基板的端面的表面进行精加工，因此能够提高磨削的效率。

需要说明的是，如第一实施方式中叙述那样，可以根据一次端面磨削部、二次端面磨削部的磨削量而选择砂轮的粒度号，例如可以设为相同的粒度号的砂轮。

另外，尤其是如图3d所示，形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的剖面形状优选为在开口端部形成有切口部33的形状。

关于此也如第一实施方式中说明那样，在对工件W（玻璃基板）的端面进行磨削时，边向砂轮的磨削部周边供给冷却液边进行磨削，但尤其是形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度小，因此冷却液未充分进入槽，可能会发生腐蚀变色。因此，优选在槽的开口端部设置切口部，以便于容易地将冷却液导入到形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽内。

作为切口部33的尺寸并未特别限定，可以考虑槽间的宽度、形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度、工件W的板厚等进行选择。例如，槽的开口部的宽度34相对于工件W的板厚优选为1.5倍以上且2.5倍以下，更优选为1.8倍以上且2.1倍以下。

切口部可以仅设置在开口部的一方的端部，但如图3d所示设置在开口部的两端能够使冷却液均匀地进入，因此优选。

关于切口部的具体的形状，并未限定，只要是冷却液容易进入的形状即可。例如图3d所示可以在槽设置倾斜的切口部。这种情况下，槽的侧面部的倾斜角度以两阶段变化，在以砂轮表面（砂轮侧面部的表面）为基准时，槽的上端侧（切口部）的倾斜角优选比槽的底部侧的倾斜角平缓。需要说明的是，这种情况下，形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度大于形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的2个倾斜角度中的底部侧的槽的开口角度。

在此，说明了在二次端面磨削部的砂轮的槽设置切口部的情况，但也可以同样地在一次端面磨削部的砂轮的槽设置用于容易地导入冷却液的切口部。

并且，在本实施方式中说明的玻璃基板的端面磨削方法可以优选适用于玻璃基板的制造方法中的玻璃基板的端面磨削工序。即，可以设为使用了在第二实施方式中说明的玻璃基板的端面磨削方法的玻璃基板的制造方法。

根据所述玻璃基板的制造方法，在玻璃基板的端面磨削工序中，能够扩大如下的范围，即：在一次端面磨削部中即使工件W端面的板厚方向的中心从槽的砂轮厚度方向的中央位置偏离而进行磨削加工处理，在二次端面磨削部中也能不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而进行工件的端面的磨削加工处理这样的范围（即，一次端面磨削部中的工件端面的板厚方向的中心与槽的砂轮厚度方向的中央位置之间的偏离宽度的容许范围）。

另外，由于在一次端面磨削部中能够不残留玻璃基板端面的角部而进行磨削，因此能够减少对二次端面磨削部的负荷。

此外，如上述那样即使以不如现有技术高的精度进行一次端面磨削部及二次端面磨削部各自的砂轮的位置调整，也能够将玻璃基板端面磨削加工处理成规定的形状，因此能够缩短砂轮的位置调整所需的时间。

因此，根据所述玻璃基板的制造方法，能够在端面磨削工序中降低不良品的发生率，因此能够提高产品的成品率。而且，端面磨削装置的调整所需的时间比以往减少，因此能够提高运转率，从而能够提高制造工序整体的生产率。

【实施例】

以下，列举具体的实施例、比较例进行说明，但本发明并未限定为这些实施例。

[实施例1]

在图1所示的玻璃基板的端面磨削装置中，作为一次端面磨削部、二次端面磨削部的砂轮，使用了在一次端面磨削部、二次端面磨削部的侧面上分别形成有图4a、图4b所示的形状的槽的圆柱形状的砂轮进行玻璃基板端面的磨削。

形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽如图4a所示，从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽，槽的底部成为曲率半径42为0.5mm的向底部侧凸出的曲线。而且，槽的开口角度41为75度。

并且，形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽如图4b所示从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽，具有在槽的底面设有平坦部的形状。底面的平坦部的宽度43为作为磨削对象的玻璃基板的板厚的32%，形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度44为52度。而且，在槽的上端部设有切口部46。需要说明的是，二次端面磨削部的砂轮的切口部的开口角度45为80度。

并且，如图4c所示，在一次端面磨削部中，在玻璃基板端面的板厚方向的中心（以下，简称为“玻璃基板端面的中心”）从砂轮的槽的砂轮的厚度方向的中央位置（以下，简称为“槽的中央位置”）向图4c中左侧偏离的状态下进行玻璃基板端面的磨削加工处理。需要说明的是，图4c中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。与玻璃基板端面的中心处于槽的中央位置时的偏离宽度47为玻璃基板的板厚的14%。从图4c可知，尽管玻璃基板端面的中心从槽的中央位置偏离，还能对应于槽的形状而如斜线所示那样磨削玻璃基板的端面部分整个面，对于玻璃基板的角部也能进行磨削。

接下来，如图4d所示，对于通过一次端面磨削部进行了磨削加工处理的玻璃基板，以成为规定的磨削量48的方式通过二次端面磨削部进行磨削加工处理。此时，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行磨削加工处理。图4d中，斜线所示的49的部分由二次端面磨削部磨削、除去。即，可确认到，即使在玻璃基板端面的中心与一次端面磨削部的砂轮的槽的中央位置不一致的情况下，由一次端面磨削部形成的磨削面也能够全部不残留地由二次端面磨削部磨削。

[实施例2]

在本实施例中，形成在二次端面磨削部的砂轮的侧面上的槽的形状与一次端面磨削部的砂轮同样地，除了形成为抛物线形状的槽这一点以外，与实施例1同样地进行。

具体而言，形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽如图5a所示是与实施例1的情况相同的形状，从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽，槽的底部成为曲率半径52为0.5mm的向底部侧凸出的曲线。而且，槽的开口角度51为75度。

形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽如图5b所示从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽，槽的底部成为曲率半径54为0.356mm的向底部侧凸出的曲线，槽的开口角度53为60度。

并且，如图5c所示，在一次端面磨削部中，在玻璃基板端面的中心从砂轮的槽的中央位置向图5c中左侧偏离的状态下进行玻璃基板端面的磨削加工处理。需要说明的是，图5c中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。与玻璃基板端面的中心处于槽的中央位置时的偏离宽度55为玻璃基板的板厚的14%。从图5c可知，在本实施例中，尽管玻璃基板端面的中心从槽的中央位置偏离，还能对应于槽的形状而如斜线所示那样磨削端面部分整个面，对于玻璃基板的角部也能进行磨削。

接下来，如图5d所示，对于通过一次端面磨削部进行了磨削加工处理的玻璃基板，以成为规定的磨削量56的方式通过二次端面磨削部进行磨削加工处理。此时，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行磨削加工处理。图5d中，斜线所示的57的部分由二次端面磨削部磨削、除去。即，可确认到，即使在玻璃基板端面的中心与一次端面磨削部的砂轮的槽的中央位置不一致的情况下，在本实施例中由一次端面磨削部形成的磨削面也能够全部不残留地由二次端面磨削部磨削。

[实施例3]

在本实施例中，作为一次端面磨削部的砂轮、二次端面磨削部的砂轮，使用形成了与实施例2相同的槽的砂轮（即，一次端面磨削部的砂轮使用形成了图5a的槽的砂轮，二次端面磨削部的砂轮使用形成了图5b的槽的砂轮）。

并且，如图6a所示，在一次端面磨削部中，在玻璃基板端面的中心从砂轮的槽的中央位置向图6a中左侧偏离的状态下进行玻璃基板端面的磨削加工处理。需要说明的是，图6a中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。这种情况下，与玻璃基板端面的中心处于槽的中央位置时的偏离宽度61为板厚的21%。从图6a可知，尽管玻璃基板端面从槽的中央位置偏离，还能对应于槽的形状而如斜线所示那样磨削端面部分整个面，对于玻璃基板的角部也能进行磨削。

接下来，如图6b所示，对于由一次端面磨削部进行了磨削加工处理的玻璃基板，以成为规定的磨削量62的方式由二次端面磨削部进行磨削加工处理。此时，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行磨削加工处理。图6b中，斜线表示的63的部分由二次端面磨削部磨削、除去。即，可确认到，即使在玻璃基板端面的中心与一次端面磨削部的砂轮的槽的中心位置不一致的情况下，由一次端面磨削部形成的磨削面也能够全部不残留地由二次端面磨削部磨削。

[比较例1]

在本比较例中，与实施例1同样地，使用图1所示的玻璃基板的端面磨削装置进行了玻璃基板端面的磨削。作为一次端面磨削部、二次端面磨削部的砂轮，均使用在砂轮的侧面分别形成有图7a所示的形状的槽的砂轮进行了玻璃基板端面的磨削加工处理。

形成在一次端面磨削部、二次端面磨削部的砂轮上的槽如图7a所示，具有从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽且在底面设有平坦部的形状。而且，底面的平坦部的宽度71成为玻璃基板的板厚的32%，槽的开口角度72成为52度。

并且，如图7b所示，在一次端面磨削部中，在玻璃基板的中心从砂轮的槽的中央位置向图7b中左侧偏离的状态下进行了玻璃基板端面的磨削。需要说明的是，图7b中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。与玻璃基板端面的中心处于槽的中央位置时的偏离宽度73为板厚的14%。

这种情况下，从图7b可知，玻璃基板对应于槽的形状而端面部分如斜线所示那样被磨削，对于玻璃基板的角部也进行磨削。

接下来，如图7c所示，对于通过一次端面磨削部进行了磨削加工处理后的玻璃基板，以成为规定的磨削量74的方式通过二次端面磨削部进行了磨削加工处理。以磨削量74成为与实施例1的磨削量48相同的量的方式进行，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行了磨削加工处理。图7c中，斜线表示的75的部分由二次端面磨削部磨削、除去。然而，在所述磨削量中，玻璃基板端面中的由76表示的部分与砂轮的槽未接触，因此无法磨削而残留有由一次端面磨削部形成的磨削面。

[比较例2]

在本比较例中，作为一次端面磨削部的砂轮、二次端面磨削部的砂轮，使用了形成有与形成在实施例2的二次端面磨削部上的槽相同的槽的砂轮（即，一次端面磨削部、二次端面磨削部的砂轮均使用了形成有图5b的槽的砂轮）。

并且，如图8a所示，在一次端面磨削部中，以玻璃基板端面的中心从砂轮的槽的中央位置向图8a中左侧偏离的状态进行了玻璃基板端面的磨削加工处理。需要说明的是，图8a中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。这种情况下，与玻璃基板的中心处于砂轮的槽的中央位置时的偏离宽度81为板厚的14%。从图8a可知，玻璃基板端面对应于槽的形状而端面部分整个面如斜线所示那样被磨削，对于玻璃基板的角部也进行磨削。

接下来，如图8b所示，对于通过一次端面磨削部进行了磨削加工处理后的玻璃基板，以成为规定的磨削量82的方式，通过二次端面磨削部进行了磨削加工处理。以磨削量82成为与实施例2的磨削量56相同的量的方式进行，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行了磨削加工处理。图8b中，斜线表示的83的部分由二次端面磨削部磨削、除去。然而，在所述磨削量中，由于玻璃基板端面中的由84表示的部分与砂轮的槽未接触，因此未磨削而残留有由一次端面磨削部形成的磨削面。

[比较例3]

在本比较例中，作为一次端面磨削部、二次端面磨削部的砂轮，使用在砂轮的侧面分别形成有图9a、图9b所示的形状的槽的砂轮进行了玻璃基板端面的磨削加工处理。

形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽如图9a所示具有从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽且在底面设有平坦部的形状。而且，底面的平坦部的宽度91成为玻璃基板的板厚的61%，槽的开口角度92为60度。

并且，形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽如图9b所示具有从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽且在底面设有平坦部的形状。而且，底面的平坦部的宽度93成为玻璃基板的板厚的32%，槽的开口角度94为52度。

并且，如图9c所示，在一次端面磨削部中，以玻璃基板端面的中心从砂轮的槽的中央位置向图9c中左侧偏离的状态如斜线所示那样进行了玻璃基板端面的磨削。需要说明的是，图9c中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。与玻璃基板的中心处于砂轮的槽的中央位置时的偏离宽度95为板厚的14%。

这种情况下，如图9c所示，在一次端面磨削部中，玻璃基板的角部96未被磨削而残留，在通过二次端面磨削部进行磨削加工时，对砂轮的负荷大。

并且，如图9d所示，对于通过一次端面磨削部进行了磨削加工处理的玻璃基板，以成为规定的磨削量97的方式通过二次端面磨削部进行了磨削加工处理。以此时的磨削量97成为与实施例1的磨削量48相同的量的方式进行，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行了磨削加工处理。图9d中，斜线表示的98的部分由二次端面磨削部磨削、除去。

在本比较例中，在二次端面磨削部中，虽然能够不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而进行磨削，但存在在一次端面磨削部中进行磨削加工处理时玻璃基板的角部残留的问题。因此，在二次端面磨削部中进行磨削时作用有负荷，容易产生品质不良的产品，成品率下降。

[比较例4]

在本比较例中，作为一次端面磨削部、二次端面磨削部的砂轮，使用在砂轮的侧面分别形成有图10a、图10b所示的形状的槽的砂轮进行了玻璃基板端面的磨削加工处理。

形成在一次端面磨削部的砂轮上的槽如图10a所示具有从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽的形状，且具有在底面设有平坦部的形状。而且，底面的平坦部的宽度101为玻璃基板的板厚的54%，槽的开口角度102为52度。

形成在二次端面磨削部的砂轮上的槽如图10b所示具有从槽的底部侧向砂轮表面（砂轮侧面部的表面）侧逐渐变宽且在底面设有平坦部的形状。并且，底面的平坦部的宽度103为玻璃基板的板厚的32%，槽的开口角度104为52度。

如图10c所示，在一次端面磨削部中，以玻璃基板端面的中心从砂轮的槽的中央位置向图10c中左侧偏离的状态如斜线所示那样进行了玻璃基板端面的磨削加工处理。需要说明的是，图10c中，玻璃板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的玻璃板的位置由虚线表示。与玻璃基板端面的中心处于砂轮的槽的中央位置时的偏离宽度105为板厚的14%。

并且，如图10d所示，对于通过一次端面磨削部进行了磨削加工处理后的玻璃基板，以成为规定的磨削量106的方式通过二次端面磨削部进行了磨削加工处理。此时，在砂轮的槽的中央位置与玻璃基板端面的中心一致的状态下进行了磨削。图10d中，斜线表示的107的部分由二次端面磨削部磨削、除去。

为了表示通过二次端面磨削部磨削时的砂轮的槽的表面与玻璃基板表面的接触状态，而图10e表示图10d的由虚线109表示的部分的放大图。

从图10e可知，在本比较例中，在二次端面磨削部中，由一次端面磨削部形成的磨削面的一部分108未被磨削而残留。

可知，在以上的比较例中，均是在一次端面磨削部中玻璃基板的位置偏离与实施例相同的程度时，由一次端面磨削部形成的磨削面在二次端面磨削部中未被磨削而残留，或玻璃基板的角部残留。

相对于此，根据本发明的玻璃基板端面研磨装置、玻璃基板端面研磨方法即实施例，即使在一次端面磨削部中玻璃基板端面的中心位置从砂轮的槽的中央位置偏离，在二次端面磨削部中，也能够不残留由一次端面磨削部形成的磨削面而进行玻璃基板的端面的磨削。因此，与现有技术相比，能够提高成品率。

另外，由于在一次端面磨削部中能够不残留玻璃基板端面的角部而进行磨削，因此能够减少对二次端面磨削部的负荷，在该点上也能够提高产品的成品率。

此外，在本发明中，与现有技术相比，一次端面磨削部及二次端面磨削部各自的砂轮的位置调整无需以像现有技术那样高的精度进行，能够缩短位置调整所需的时间，因此能够提高端面磨削装置的运转率。

Claims (7)

1.一种玻璃基板端面磨削装置，其特征在于，

从玻璃基板搬运路径的上游侧起依次具有一次端面磨削部和二次端面磨削部，

在所述一次端面磨削部和所述二次端面磨削部分别具备圆柱形状的砂轮，该砂轮在侧面上沿着圆周方向形成有槽，

将所述圆柱形状的砂轮利用包含该砂轮的中心轴的面剖切时的所述槽的剖面形状具有从槽的底部侧向砂轮表面侧逐渐变宽的形状，形成在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比设置在所述二次端面磨削部的端面磨削用砂轮上的槽的开口角度大，设置在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的底部成为向底部侧凸出的曲线。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板端面磨削装置，其特征在于，

形成在所述二次端面磨削部的砂轮上的槽的剖面形状是在开口端部形成有切口部的形状。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板端面磨削装置，其特征在于，

一次端面磨削部的砂轮的粒度号比二次端面磨削部的砂轮的粒度号小。

4.一种玻璃基板的端面磨削方法，对于玻璃基板的端面，利用一次端面磨削部进行了磨削之后，在二次端面磨削部中进行磨削，所述玻璃基板的端面磨削方法的特征在于，

在所述一次端面磨削部和所述二次端面磨削部分别具备圆柱形状的砂轮，该砂轮在侧面上沿着圆周方向形成有槽，

将所述圆柱形状的砂轮利用包含该砂轮的中心轴的面剖切时的所述槽的剖面形状具有从槽的底部侧向砂轮表面侧逐渐变宽的形状，形成在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度比设置在所述二次端面磨削部的砂轮上的槽的开口角度大，设置在所述一次端面磨削部的砂轮上的槽的底部成为向底部侧凸出的曲线。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板的端面磨削方法，其特征在于，

形成在所述二次端面磨削部的砂轮上的槽的剖面形状是在开口端部形成有切口部的形状。

6.根据权利要求4或5所述的玻璃基板的端面磨削方法，其特征在于，

一次端面磨削部的砂轮的粒度号比二次端面磨削部的砂轮的粒度号小。

7.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，使用权利要求4～6中任一项所述的玻璃基板的端面磨削方法。

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