CN103292934B - 一种承载物检测系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种承载物检测系统，用以实现一种能够检测真空环境中的承载物完整性的系统。所述系统包括：第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置；所述第二载物台位于所述第一载物台上方；每个压力检测装置包括固定于所述第一载物台上与所述控制器信号连接的压力传感器、位于所述压力传感器的正上方且穿过所述第二载物台的支撑杆；所述报警装置与所述控制器信号连接。

Description

一种承载物检测系统
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种承载物检测系统。
背景技术
在显示技术领域，产品在制作过程中质量要求非常严格，一个完整的产品需要经过几十道甚至上百道工艺才能制作完成，由于产品是批量生产，在任何一道工序中出现问题，如果没有及时发现补救或停止作业会导致该批次的产品的部分或全部出现不良或者报废。
在制作显示产品的过程中，好多道工序是在真空环境下完成的。例如，真空镀膜工艺，在镀膜之前需要将承载物置于真空环境中，通过机械手将承载物置于镀膜设备上的合适位置。镀膜完成之后，需要通过机械手将承载物从真空环境中取出。
承载物在机械手取放的过程中可能被损坏，因此需要在镀膜之前对承载物的完整性进行检测、位置放置进行检测，镀膜之后还需要再次对承载物的质量进行检测，以便进行下一道工序。由于真空环境下很难放置一些检测设备，尤其是在高温环境下很难使用光电器件等装置实时检测真空环境下产品的工作状态、产品是否明显破损，以及产品是否放置合适等。
检测装置设置在真空腔体内部，真空腔体内部条件苛刻，无法使用光电器件（如光电传感器）等装置实时判断承载物在腔体内部的情况，承载物处于非监控状态，如果承载物破损、承载物位置偏移、支撑杆未完全移动到位、支撑杆破损等问题无法及时发现和预警，会导致批量生产的产品出现不良，严重时会造成该批次产品严重报废。
发明内容
本发明实施例提供了一种承载物检测系统，用以实现一种能够在真空环境下检测承载物完整性的承载物检测系统。
本发明实施例提供了一种承载物检测系统，包括：
第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置；
所述第二载物台位于所述第一载物台上方；
每个所述压力检测装置包括：固定于所述第一载物台上与所述控制器信号连接的压力传感器，和位于所述压力传感器的正上方且穿过所述第二载物台的支撑杆；该支撑杆用于承载位于所述支撑杆顶部的承载物，所述压力传感器用于检测所述支撑杆底部支撑点的压力，将检测到的压力信息反馈给所述控制器；
所述报警装置与所述控制器信号连接；所述控制器用于当任一压力检测装置中的压力传感器反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，输出报警信息，控制所述报警装置实施报警。
较佳地，还包括：与所述控制器信号连接的驱动装置和位于所述第二载物台下方与该第二载物台固定连接的升降杆；
所述升降杆与所述驱动装置信号连接；所述控制器控制所述驱动装置驱动所述升降杆，使得该升降杆带动所述第二载物台相对所述第一载物台上下移动。
较佳地，各压力检测装置中的支撑杆还包括：位于所述支撑杆顶部与支撑杆固定连接的杆盖。
较佳地，所述驱动装置为电机。
较佳地，还包括：位于所述各压力检测装置中的支撑杆和第二载物台之间的多个活动滚珠。
较佳地，所述活动滚珠固定于所述支撑杆上。
较佳地，还包括：位于所述升降杆和所述第一载物台之间的多个活动滚珠。
较佳地，所述活动滚珠固定于所述升降杆上。
较佳地，还包括：位于所述第一载物台下方与该第一载物台固定连接的支架。
较佳地，所述承载物为规则图形，位于所述承载物的任一边的垂直平分线或承载物的中心轴线的两侧的各压力检测装置对称设置。
本发明实施例提供的承载物检测系统，包括：第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置；所述压力检测装置包括固定于所述第一载物台上与所述控制器信号连接的压力传感器，和位于所述压力传感器的正上方且穿过所述第二载物台的支撑杆；该支撑杆用于承载位于所述支撑杆顶部的承载物，所述压力传感器用于检测所述支撑杆底部支撑点的压力，将检测到的压力信息反馈给所述控制器；所述控制器用于当任一压力检测装置中的压力传感器反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，输出报警信息，控制所述报警装置实施报警。工作人员根据报警信息暂停后续工艺流程及时对承载物进行处理，避免了不良产品的发生。
附图说明
图1为本发明实施例提供的承载物检测系统结构示意图之一；
图2为本发明实施例提供的承载物检测系统结构示意图之二；
图3为图2所示的系统在第一载物台和第二载物台上具有滚珠的结构示意图；
图4为图3所示的系统在支撑杆上支撑承载物的结构示意图；
图5为图3所示的系统在第二载物台上支撑承载物的结构示意图；
图6为图3所示的系统在第一载物台上设置有支架的结构示意图；
图7为设置有四个支撑杆对应的支撑杆相对玻璃基板的分布示意图；
图8为设置有八个支撑杆对应的支撑杆相对玻璃基板的分布示意图；
图9为设置有十个支撑杆对应的支撑杆相对玻璃基板的分布示意图。
具体实施方式
本发明实施例提供一种承载物检测系统，用以实现一种能够在真空环境下检测承载物完整性的承载物检测系统。
本发明实施例所述的承载物可以为任何不方便人工操作的承载物，例如可以为任何位于真空环境中的比较规则的承载物。真空环境中的承载物例如可以为显示或照明领域中的真空环境中的各种基板，或者为半导体领域中的真空环境中的晶片等。
本发明实施例提供的承载物检测系统包括多个结构相同的压力检测装置，各压力检测装置用于检测位于其上方的承载物对压力传感器的压力，将检测到的压力信息反馈给所述控制器；所述控制器用于当任一压力检测装置中的压力传感器反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，输出报警信息，控制所述报警装置实施报警。工作人员根据报警信息暂停后续工艺流程及时对承载物进行处理，避免了不良产品的发生。
本发明所述承载物检测系统主要用于检测承载物是否存在缺失部分。当承载物某一区域存在缺失时，压力检测装置无法检测到对应区域承载物对压力传感器的压力值，会及时报警。
本发明中涉及的上方、下方等方向仅是示例性，并不限定本发明的范围。
以下将以显示技术领域中的玻璃基板为例，详细说明本发明提供的承载物检测系统。
参见图1为本发明实施例提供的承载物检测系统，包括：
第一载物台1、第二载物台2、多个压力检测装置3、控制器4和报警装置5；
第二载物台2位于第一载物台1上方；
每个压力检测装置3包括：固定于第一载物台1上与控制器4信号连接的压力传感器31，和位于压力传感器31的正上方且穿过第二载物台2上的过孔的支撑杆32；该支撑杆32用于承载位于支撑杆32顶部的承载物；各压力检测装置3中的压力传感器31用于检测支撑杆32底部与压力传感器之间的支撑点的压力，将检测到的压力信息反馈给控制器4；
报警装置5与控制器4信号连接；控制器4用于当任一压力检测装置3中的压力传感器31反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，输出报警信息，控制报警装置5实施报警。
也就是说，本发明实施例提供的承载物检测系统，当控制器4接收到的任一压力检测装置3中的压力传感器31反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，说明玻璃基板上与输出压力值不满足预设条件的压力检测装置3对应的区域有部分缺失的情况，该玻璃基板不适合制作合格的产品，控制器4及时输出报警信息，控制报警装置5实施报警。工作人员根据报警及时对玻璃基板进行操作。
所述支撑杆上的玻璃基板通过机械手取放，支撑杆穿过所述第二载物台，为了方便机械手将玻璃基板置于支撑杆上，需要保持第二载物台和支撑杆顶部的距离；当玻璃基板在真空环境中执行生产工艺时，需要使用所述第二载物台将所述支撑杆上的玻璃基板托起到一定高度。
为实现上述目的，参见图2，本发明实施例提供的承载物检测系统，还包括：
与控制器4信号连接的驱动装置6；
位于第二载物台2下方与该第二载物台2固定连接的升降杆21，该升降杆21与驱动装置6信号连接；控制器4控制驱动装置6驱动升降杆21带动第二载物台2相对于第一载物台1上下移动。为节约空间起见，该升降杆21最好穿过第一载物台1与驱动装置6信号连接。
当检测承载物是否存在缺失之前，控制器4控制驱动装置6驱动升降杆21带动第二载物台2相对于第一载物台1向下移动设定距离，使得机械手可以顺利将玻璃基板放置于支撑杆32上。
当承载物检测完之后，进行生产工艺之前，控制器4控制驱动装置6驱动升降杆21带动第二载物台2相对于第一载物台1向上移动设定距离，使得支撑杆32脱离压力传感器31，此时，玻璃基板完全置于第二载物台2上，便于进行后续工艺流程。
当真空环境中的工艺流程完成后，控制器4控制驱动装置6驱动升降杆21带动第二载物台2相对于第一载物台1向下移动设定距离，使得机械手可以顺利将玻璃基板从支撑杆32上取下。
较佳地，支撑杆32脱离压力传感器31时，与第二载物台之间存在摩擦力，不会掉下来，为了防止支撑杆32因摩擦力减小导致掉落。参见图1，本发明实施例提供的支撑杆还包括：位于支撑杆顶部与支撑杆固定连接的杆盖33。
较佳地，参见图3，为了减少支撑杆32和第二载物台2之间的摩擦力，还包括：位于支撑杆32和第二载物台2之间的多个活动滚珠7。该多个活动滚珠7可以固定设置于第二载物台2上，也可以固定设置在支撑杆32上。较佳地，设置在支撑杆32上以方便实现。
较佳地，参见图3，为了减少升降杆21和第一载物台1之间的摩擦力，还包括：位于升降杆21和第一载物台1之间的多个活动滚珠8。该多个活动滚珠8可以固定设置于第一载物台1上，也可以固定设置在升降杆21上。较佳地，设置在升降杆21上以方便实现。
较佳地，各压力检测装置中的支撑杆的长度相等，保证玻璃基板水平放置。
较佳地，所述驱动装置可以是电机，更具体地，可以是伺服电机。
较佳地，所述压力传感器可以是电流式压力传感器、电压式压力传感器、数字式压力传感器等。
以下将结合图2具体说明本发明实施例提供的承载物检测系统检测承载物有无缺失的过程。
第一、控制器4控制驱动装置6驱动升降杆21带动第二载物台2相对于第一载物台1向下移动，直到各支撑杆32的底部与第一载物台1上的压力传感器31接触，且第二载物台2与延伸至其上方的支撑杆32的顶部相距一定距离，保证机械手能够顺利将玻璃基板放置到支撑杆32的顶部。此时，承载物检测系统如图4所示。
第二、机械手将玻璃基板9放置到支撑杆32的顶部，然后离开。
第三、压力传感器31将感受到的来自其正上方的支撑杆32的压力信息反馈给控制器4。
如果控制器4接收到的各压力传感器31反馈的压力值在误差范围内相等且非零时，控制器4确定玻璃基板完好无损。
如果控制器4接收到的各压力传感器31反馈的压力值在误差范围内不完全相等，且其中少数或其中之一压力传感器31反馈的压力值与其他压力传感器31反馈的压力值相差甚远时，确定玻璃基板与反馈的压力值较小的压力传感器31对应的玻璃基板的区域有缺失，输出报警信息，控制报警装置执行报警。
如果控制器确定玻璃基板完好无损，则进行下一步骤：
第四、控制器4控制驱动装置6驱动升降杆21带动第二载物台2相对于第一载物台1向上移动设定距离，使得支撑杆32脱离压力传感器31，此时，玻璃基板9完全置于第二载物台2上，如图5所示，便于进行后续工艺流程。
较佳地，图1所示的第一载物台和第二载物台可以固定在真空环境中的设备上，或可以在真空环境中按要求移动。承载物检测系统固定在真空环境中时，第一载物台1的两端可以与真空环境中的腔体固定。承载物检测系统在真空环境中随时移动时，还包括如图6所示的位于第一载物台1下方与该第一载物台1固定连接的支架11。
较佳地，本发明实施例提供的所述承载物为规则图形，位于所述承载物的任一边的垂直平分线或承载物的中心轴线的两侧的各压力检测装置对称设置。
所述承载物的图形为规则的多边形，如正三角形、正方形、矩形等；也可以为圆或椭圆等。
当所述承载物的图形为规则的多边形时，位于所述承载物的任一边的垂直平分线两侧的各压力检测装置对称设置。
当所述承载物的图形为圆或椭圆时，位于所述承载物的中心轴线两侧的压力检测装置对称设置。
本发明压力检测装置与支撑杆一一对应设置。
以矩形状的玻璃基板为例，可以将支撑杆32设置于与玻璃基板对应的四个角附近，四个支撑杆围城的图像为矩形，且各距离玻璃基板四个角的最短距离相等。玻璃基板任一边的垂直平分线两侧的各压力检测装置对称设置。
如图7所示，为四个支撑杆的分布位置，四个支撑杆的分布位置对应玻璃基板9上的位置为s1、s2、s3、和s4。此时，该四个位置对应的压力传感器感受到的压力值分别为F1、F2、F3、F4，且各压力值相等，F1=F2=F3=F4。F1=F2=F3=F4为与位置s1、s2、s3、和s4处各压力传感器对应的第一预设条件。玻璃基板靠上一个边（a边）的垂直平分线（对应图7中的虚线A）两侧的支撑杆对称设置。即s1和s2处的支撑杆对称设置，s3和s4的支撑杆对称设置。
还可以是图8所示的八个支撑杆的设置方式。包括图7所示的四个支撑杆的设置方式，还包括位于s1和s2连线中点的s5、位于s2和s3连线中点的s6、位于s3和s4连线中点的s7，以及位于s4和s1连线中点的s8。
由于s5和s7两个位置关于玻璃基板靠左的边（b边）的垂直平分线B对称设置，对应的压力F5=F7。F5=F7为与位置s5和s7处各压力传感器对应的第二预设条件。
s6和s8两个位置关于垂直平分线A对称设置，对应的压力值F6=F8。F6=F8为与位置s6和s8处各压力传感器对应的第三预设条件。
或者还可以是图9所示的十个支撑杆的设置方式，包括图8所示的八个支撑杆的设置方式，以及位于位置s1～s8围城的矩形内的位置关于垂直平分线A对称设置的两个位置s9和s10，对应的压力值F9=F10。F9=F10为与位置s9和s10处各压力传感器对应的第四预设条件。
上述各预设条件以及与各压力值对应的压力传感器可以预设在控制器中。
本发明仅是通过图7至图9所示的玻璃基板上对应的支撑杆的位置个数做示意性说明，不限于图7至图9所示的实施例。
较佳地，为了便于精确检测玻璃基板上面积较小的碎玻璃片，可以设置更多个支撑杆，支撑杆设置越密集，检测玻璃基板破损的精度越高，支撑杆设置越稀疏，检测玻璃基板破损的精度越低，或者只能检测面积较大的破损情况。
较佳地，支撑杆也可以呈阵列式分布，即各压力检测装置呈阵列式分布。
以图9所示的支撑杆（或压力检测装置）的分布方式为例，简单介绍本发明实施例提供的检测玻璃基板有无缺陷的方法，包括：
1、当真空腔体中的设备处于工作状态时，控制器控制电机使得第二载物台下降至距离第一载物台预设位置处，保证机械手可以顺利伸进腔体将玻璃基板放到支撑杆上。
2、承载物检测系统进入检测程序，承载物检测系统上有多根支撑杆支撑着玻璃基板，支撑杆的分布特点如图9所示，利用理想条件下支撑杆的相对位置受力情况相等原理即：F1=F2=F3=F4；F5=F7；F6=F8；F9=F10。
综上所述，本发明实施例提供的承载物检测系统，包括：第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置；所述压力检测装置包括固定于所述第一载物台上与所述控制器信号连接的压力传感器，和位于所述压力传感器的正上方且穿过所述第二载物台的支撑杆；该支撑杆用于承载位于所述支撑杆顶部的承载物，所述压力传感器用于检测所述支撑杆底部支撑点的压力，将检测到的压力信息反馈给所述控制器；所述控制器用于当任一压力检测装置中的压力传感器反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，输出报警信息，控制所述报警装置实施报警。工作人员根据报警信息暂停后续工艺流程及时对承载物进行处理，避免了不良产品的发生。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种承载物检测系统，其特征在于，包括：
第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置；
所述第二载物台位于所述第一载物台上方；
每个所述压力检测装置包括：固定于所述第一载物台上与所述控制器信号连接的压力传感器，和位于所述压力传感器的正上方且穿过所述第二载物台的支撑杆；该支撑杆用于承载位于所述支撑杆顶部的承载物，所述压力传感器用于检测所述支撑杆底部支撑点的压力，将检测到的压力信息反馈给所述控制器；
所述报警装置与所述控制器信号连接；所述控制器用于当任一压力检测装置中的压力传感器反馈的压力值不满足与该压力传感器对应的预设条件时，输出报警信息，控制所述报警装置实施报警；
与所述控制器信号连接的驱动装置和位于所述第二载物台下方与该第二载物台固定连接的升降杆；
所述升降杆与所述驱动装置信号连接；所述控制器控制所述驱动装置驱动所述升降杆，使得该升降杆带动所述第二载物台相对所述第一载物台上下移动。
2.根据权利要求1所示的系统，其特征在于，各压力检测装置中的支撑杆还包括：位于所述支撑杆顶部与支撑杆固定连接的杆盖。
3.根据权利要求1所示的系统，其特征在于，所述驱动装置为电机。
4.根据权利要求1所示的系统，其特征在于，还包括：位于所述各压力检测装置中的支撑杆和第二载物台之间的多个活动滚珠。
5.根据权利要求4所示的系统，其特征在于，所述活动滚珠固定于所述支撑杆上。
6.根据权利要求1或4所示的系统，其特征在于，还包括：位于所述升降杆和所述第一载物台之间的多个活动滚珠。
7.根据权利要求6所示的系统，其特征在于，位于所述升降杆和所述第一载物台之间的多个活动滚珠固定于所述升降杆上。
8.根据权利要求1所示的系统，其特征在于，还包括：位于所述第一载物台下方与该第一载物台固定连接的支架。
9.根据权利要求1所示的系统，其特征在于，所述承载物为规则图形，位于所述承载物的任一边的垂直平分线或承载物的中心轴线的两侧的各压力检测装置对称设置。
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