CN103261698A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种检测泵分解的真空泵。

背景技术

在涡轮分子泵中，形成有涡轮叶片(旋转叶片)的转子相对于固定侧的涡轮叶片(固定叶片)高速旋转，对气体进行排气。这些固定侧的涡轮叶片和转子配置在形成有吸气口凸缘的泵外壳内(参照专利文献1)。

一般，在使用涡轮分子泵的情况下，需要定期地进行维护、检修。例如，在由机械轴承支承的类型的涡轮分子泵中，必须定期更换机械轴承。另外，在磁轴承式的涡轮分子泵中，作为辅助轴承而使用的机械轴承由于泵的长期使用而磨损，有时需要更换。进而，在涡轮分子泵使用于对腐蚀性气体进行排气那样的装置中的情况下，在泵内的气体流路中粘着有生成物，对泵运转造成障碍，因此需要进行用于除去生成物的维护。

在真空泵的分解和组装作业中，不需要特殊的工具等，因此也能够将维护委托给泵制造厂商、指定的维护业者以外的业者，或者由使用者自身进行维护。但是，不限于涡轮分子泵，在真空泵的组装时，为了确保真空性能、安全性，要求严格的组装精度。为此，由受过训练的专业的作业人员、即由泵制造厂商、指定的维护业者这样的作业人员来进行随真空泵的分解和组装而来的维护。

专利文献1：日本特开2008-038844号公报

发明内容

发明要解决的问题

在真空泵的分解和组装作业中，当将维护委托给泵制造厂商、指定的维护业者以外的业者或者由使用者自身进行维护时，有可能不能正确地进行维护作业。当不能正确地进行维护作业时，不仅存在泵性能降低或泵寿命缩短这样的问题，还存在发生故障或损害安全性这样的问题。

用于解决问题的方案

根据本发明的第一方式，真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；以及泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。

根据本发明的第二方式，优选的是第一方式的真空泵具备：泵单元，其具有转子，进行真空排气；以及控制单元，其进行包括转子的旋转驱动在内的泵单元的驱动控制，其中，泵单元具有：泵分解检测电路；以及保持电路，其在由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，保持与分解历史记录相应的状态，控制单元具有泵运转禁止电路，在控制单元启动时由保持电路保持着与分解历史记录相应的状态的情况下，泵运转禁止电路判定为由泵分解检测电路检测出分解状态，禁止控制单元进行泵单元的驱动控制。

根据本发明的第三方式，优选的是在第二方式的真空泵中，控制单元具有输入部，该输入部用于输入解除由保持电路保持的与分解历史记录相应的状态的解除指令，泵单元具有复位电路，在通过控制单元输入了解除指令的情况下，该复位电路对保持电路所保持的与分解历史记录相应的状态进行复位。

根据本发明的第四方式，优选的是在第二方式的真空泵中，泵单元具有磁轴承，该磁轴承使转子磁悬浮，在控制单元启动时由保持电路保持着与分解历史记录相应的状态的情况是由保持电路保持着与磁轴承控制参数的值不同的其它数据的情况，其中，该磁轴承控制参数用于磁轴承使转子磁悬浮，在由保持电路保持的其它数据与被控制单元预先输入的磁轴承控制参数的值不一致的情况下，泵运转禁止电路判定为由泵分解检测电路检测出分解状态，禁止控制单元进行泵单元的驱动控制，保持电路预先存储磁轴承控制参数的值，在由泵分解检测部检测出分解状态的情况下，将预先存储的磁轴承控制参数的值替换为其它数据。

根据本发明的第五方式，优选的是在第一方式的真空泵中，具备：泵单元，其具有转子，进行真空排气；以及控制单元，其能够与泵单元分离地固定于泵单元，进行包括转子的旋转驱动在内的泵单元的驱动控制，其中，如果控制单元被从泵单元分离，则泵分解检测电路检测出分解状态。

根据本发明的第六方式，优选的是在第五方式的真空泵中，泵单元和控制单元分别具备将泵单元与控制单元进行电连接的连接器，如果在控制单元被从泵单元分离时连接器被分离，则泵分解检测电路检测出分解状态。

根据本发明的第七方式，优选的是在第一方式～第六方式中的任一个方式的真空泵中，还具备警报装置，在通过泵运转禁止电路判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，该警报装置产生警报。

发明效果

根据本发明，在由泵分解检测电路检测出泵分解的情况下，通过泵运转禁止电路禁止转子的旋转驱动，因此，能够实现提高真空泵的安全性。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的真空泵的第一实施方式的图。

图2是表示分解检测部的一个例子的框图。

图3是表示泵分解检测构造的第一例的图。

图4是表示泵分解检测构造的第二例的图。

图5是说明分解检测开关的开闭动作的图。

图6是表示启动时的分解历史记录确认的控制的流程图。

图7是说明变形例的分解检测开关的开闭动作的图。

图8是表示分解确认控制的其它例子的流程图。

图9是表示泵分解检测构造的其它例子的图。

图10是表示泵分解检测构造的其它例子的图。

图11是表示泵分解检测构造的其它例子的图。

图12是表示第二实施方式的分解检测部的结构的图。

图13是表示检查保持电路的一个例子的图。

图14是表示检查保持电路的真值表和状态迁移表的图。

图15是表示复位电路的一个例子的图。

图16是表示复位电路的真值表的图。

图17是表示控制单元启动时的动作的流程图。

图18是说明第三实施方式的图。

图19是表示分解检测开关的一个例子和替代例的图。

图20是表示分解检测开关的其它结构的图。

具体实施方式

第一实施方式

图1是表示本发明所涉及的真空泵的第一实施方式的图，示出磁轴承式涡轮分子泵的泵单元1和控制单元30的概要结构。参照了图1的泵单元1的说明中的“上”和“下”这样的记载分别对应于图1的“上”和“下”。

通过设置在基座4的电磁铁51、52非接触地支承安装有转子2的传动轴3。通过设置在基座4的径向位移传感器71和轴向位移传感器72检测传动轴3的悬浮位置。由构成径向磁轴承的电磁铁51、构成轴向磁轴承的电磁铁52以及位移传感器71、72构成五轴控制型磁轴承。即，五轴控制型磁轴承使传动轴3与转子2一起磁悬浮。此外，在磁轴承不动作的状态下，通过机械轴承27、28支承传动轴3。

在传动轴3的下端设置有圆形的盘41，以从上下夹着该盘41的方式设置有电磁铁52。而且，通过上下的电磁铁52分别吸引盘41，从而传动轴3在轴向方向悬浮。盘41被螺母构件42固定在传动轴3的下端部。分解检测部45设置在基座4侧。将在后面说明分解检测部45的详细内容。在基座4的底面螺栓固定有在泵分解时被卸下的后盖43。通过圆环44密封后盖43与基座4之间的间隙。

在转子2在旋转轴方向上形成有多段的旋转叶片8。在上下排列的旋转叶片8之间分别配设有固定叶片9。由这些旋转叶片8和固定叶片9构成泵单元1的涡轮叶片段。以被垫片10从上下夹住的方式保持各固定叶片9。垫片10具有保持固定叶片9的功能，并且具有将固定叶片9之间的间隙维持为规定间隔的功能。

进而，在固定叶片9的后级(图示的下方)设置有构成拖曳泵段的螺杆定子11，在螺杆定子11的内周面与转子2的圆筒部12之间形成有间隙。转子2和被垫片10保持的固定叶片9被容纳于形成有吸气口13a的泵外壳13内。在使得安装有转子2的传动轴3被电磁铁51、52非接触地支承并且被马达6旋转驱动时，将吸气口13a侧的气体向排气口26侧排气，通过与排气口26连接的辅助泵排出。

通过与设置在基座4的外周面的泵连接器49连接的控制单元30对泵单元1进行驱动控制。在控制单元30中，除了主控制部31以外，还设置有对磁轴承进行驱动控制的磁轴承驱动控制部32和对马达6进行驱动控制的马达驱动控制部33。如后述那样，在分解检测部45中设置有存储备份数据的数据存储部，该备份数据包含控制参数等泵运转所需的数据、用于泵识别的序列号的数据等。根据存储在该数据存储部中的备份数据，主控制部31控制磁轴承驱动控制部32、马达驱动控制部33等，来进行泵运转。控制单元30的警报部34在无法进行泵启动的情况下，输出警报。在警报部34中设置有产生警告音的扬声器、显示警告的显示装置等。

在对泵单元1进行检修时，卸下固定后盖43的螺栓(未图示)，卸下配置在后盖侧的推力控制用的电磁铁52。而且，通过卸下将转子盘41固定在传动轴3上的螺母构件42，从传动轴3拔出转子盘41，能够从泵单元1内卸下由转子2和传动轴3构成的旋转体。例如，在除去紧贴在转子2上的生成物的情况下，从传动轴3卸下转子2来进行除去作业。在进行再次组装时，在将转子2组装到传动轴3后进行取衡，按照与上述过程相反的过程将旋转体安装到泵单元1内。进行这样的涡轮分子泵的分解/组装作业需要特殊的技能，因此通常由制造商进行维护作业。

但是，在从泵单元1卸下转子2、传动轴3的作业中不需要特殊的工具，因此用户能够容易地进行分解/组装作业。在用户进行组装的情况下，有时旋转体失衡，或者无法确保部件之间的间隙。在这样的情况下，有时旋转体和固定部在运转中接触而发生故障，存在安全性的问题。因此，在本实施方式的涡轮分子泵中，如图1所示那样在泵单元1内设置有分解检测部45，在执行泵单元1的分解的情况下，只要没有完成规定的步骤，则无法进行再次组装后的泵启动动作。

图2是表示构成图1所示的涡轮分子泵的分解检测部45的电路的一个例子的框图。分解检测部45包括分解检测开关451、数据存储部452以及作为数据存储部452的电压保持部而发挥功能的电源453。分解检测开关451是以在泵被分解时成为电路断开的状态而在泵被组装时成为电路闭合的状态的方式进行动作的开关。作为分解检测开关451，例如使用机械式的自动复原触点的开关。

在数据存储部452中存储有包含控制参数等泵运转所需的数据的备份数据。作为数据存储部452，例如使用SRAM等，将电源453用作备份数据存储用的电源。设置在控制单元30的主控制部31(参照图1)根据存储在数据存储部452中的备份数据进行泵运转。在分解检测开关451的触点断开时，中断对数据存储部452的电源供给，删除存储在数据存储部452中的备份数据。

作为用于能够进行分解检测开关451的泵分解检测的构造例，例如有图3、图4所示那样的构造。在图3所示的例子中，在通过将后盖43固定在基座4而形成的空间中，容纳有构成分解检测部45的部件、即分解检测开关451、电源452以及数据存储部453。在分解检测开关451设置有按钮451a。在后盖43的内面侧，在与分解检测开关451的按钮451a相对的位置形成有凸部43a。因此，在将后盖43固定在基座4时，成为分解检测开关451的按钮451a被凸部43a按入的状态。

图5是说明分解检测开关451的电路开闭动作的图。分解检测开关451是常开型的开关。在如图3的(a)所示那样按钮451a被后盖43的凸部43a按入时，如图5的(a)所示那样，分解检测开关451的触点闭合。即，分解检测开关451成为闭合状态，未检测出涡轮分子泵的分解状态。其结果是从电源453向数据存储部452供给电源，原样保持存储在数据存储部452中的备份数据。

另一方面，在为了进行泵维护作业而如图3的(b)所示那样卸下后盖43时，从按钮451a卸下按住按钮451a的凸部43a。其结果是如图5的(b)所示那样分解检测开关451成为断开状态，检测出涡轮分子泵的分解状态，中断从电源453向数据存储部452的电源供给，删除存储在数据存储部452中的备份数据。

在维护涡轮分子泵时卸下转子2时，也将泵外壳13从基座4卸下(参照图1)。在图4所示的构造例中，将分解检测开关451配置在泵外壳13的凸缘部13b与基座4之间。分解检测开关451被设置在基座4上。在凸缘部13b，在与分解检测开关451相对的区域形成有凹部130。

如图4的(a)所示，在将泵外壳13固定在基座4的状态下，分解检测开关451的按钮451a成为被凹部130的底面按入的状态。即，分解检测开关451成为闭合状态，因此未检测出涡轮分子泵的分解状态。另一方面，在如图4的(b)所示那样卸下泵外壳13时，从按钮451a卸下按住按钮451a的凹部130，分解检测开关451成为断开状态，检测出涡轮分子泵的分解状态。这时，中断从电源453向数据存储部452的电源供给，删除存储在数据存储部452中的备份数据。

图6是表示上述那样的设置有分解检测部45的涡轮分子泵的分解历史记录确认的控制的流程图。例如在接通控制单元30的电源时，由主控制部31执行与图6所示的处理有关的程序。在步骤S101中，主控制部31读入存储在数据存储部452中的备份数据。

在步骤S102中，主控制部31根据读入的备份数据，判断泵是否被分解、即是否有分解历史记录。在上述的例子中，预先将规定的分解识别用数据作为控制参数之一存储在数据存储部452和主控制部31的存储器中。如图5所示，是以下的构造，即由于泵分解而停止从电源453向数据存储部的电源供给，删除由数据存储部的存储元件(SRAM)存储的备份数据。即，在有分解历史记录的情况下，在数据存储部452中不存在备份数据，因此，主控制部31读入由数据存储部452保持的不定数据。该不定数据是表示由数据存储部452保持着存在分解历史记录的状态的数据，通常与存储在主控制部31的存储器中的规定的分解识别用数据不一致。在步骤S102中，主控制部31根据从数据存储部452读入的分解识别用数据与主控制部31所存储的分解识别用数据是否一致，来判断泵是否被分解。

主控制部31在步骤S102中判定为有分解历史记录时，使处理进入到步骤S103。判定为有分解历史记录就是判定为由分解检测开关451检测出涡轮分子泵的分解状态。在该情况下，主控制部31不执行步骤S104所示的通常的泵启动动作处理，如步骤S103所示那样，通过警报部34产生通知泵发生了分解的警报。警报部34可以通过显示来产生通知泵发生了分解的该警报，也可以通过声音来产生通知泵发生了分解的该警报。另一方面，主控制部31在步骤S102中判定为没有分解历史记录时，使处理进入到步骤S104，执行通常的泵启动动作处理。通过进行这样的控制，在用户进行了非正规的泵分解的情况下，禁止泵启动，因此能够确保与泵运转有关的安全。

在有分解历史记录而禁止了启动动作的情况下，在由制造厂商确认了泵组装状态后，向数据存储部452写入上述规定的分解识别用数据。在该情况下，用专用的线缆将专用的数据写入装置、安装有写入用软件的PC等与泵单元1连接，从而直接访问数据存储部452而写入规定的分解识别用数据。该将规定的分解识别用数据写入到数据存储部452的作业是只能够由制造厂商、指定的服务公司进行的写入作业，是用户不会的写入作业，因此用户无法任意地进行该写入作业。

此外，在图6所示的控制例中，将规定的分解识别用数据预先存储在数据存储部452和主控制部31的存储器中，对它们进行比较，从而判断分解历史记录，但也可以使用在泵运转中使用的控制参数之一来代替分解识别用数据。例如，也能够使用使转子2和传动轴3磁悬浮的五轴控制型磁轴承的磁轴承控制的控制参数作为分解识别用数据。在该情况下，在由于泵分解而删除了控制参数时，无法进行正常的磁悬浮，自动地成为泵不可启动状态，因此即使不采用图6所示那样的控制，也能够在进行了非正规的泵分解的情况下禁止泵启动。另外，也可以是与马达驱动有关的控制参数。在该情况下，在由于泵分解而删除了控制参数时无法进行马达驱动，因此与上述的情况同样地自动成为不可启动状态。

(变形例)

图7是表示上述实施方式的变形例的图，是表示分解检测开关451的动作的图。在该变形例中，分解检测开关451是常关型的开关。在泵组装状态下，如图7的(a)所示那样分解检测开关451的触点成为断开状态，在泵分解时如图7的(b)所示那样触点成为闭合状态。

在图7所示的结构的情况下，构成为在分解检测开关451的触点闭合时，在设置在数据存储部452的存储器中，向固定的地址写入固定的数据，由此变更内部的数据。或者，也可以构成为使设置在数据存储部452的存储器具有在分解检测开关451的触点闭合时将存储器内容移至其它地址的功能，向本来的存储器地址位置写入伪数据。

具体地说，在数据存储部具有SPI(Serial Peripheral Interface)存储元件的情况下，构成为SIP由时钟、数据、片选构成，但是在始终使能片选、事先设为使数据线发送固定数据的状态来供给电源的情况下，通过时钟动作来导入数据。另外，数据存储部452也可以是具有存储器功能的CPU、连接有存储器的CPU等。在该情况下，如果供给电源则CPU启动，具有依照CPU程序由CPU删除存储器内容的功能、或将存储器内容移至其它地址的功能即可。

在图5中，也可以不配置数据存储部452，而由主控制部31直接检测分解检测开关451的开闭状态。该情况下的主控制部31在检测出分解检测开关451的断开状态时，判定为由分解检测开关451检测出涡轮分子泵的分解状态，不执行图6的步骤S104所示的通常的启动动作处理。

(分解确认控制的其它例子)

图8是表示泵启动时的分解历史记录确认控制的其它例子的流程图。在此，示出以下的情况，即构成为在数据存储部452的存储器的地址0000存储有序列号(S/N)，在涡轮分子泵被分解时，将存储在该地址0000中的数据从序列号(S/N)变更为值“0001”。在控制单元30的电源接通时，首先在步骤S201中，主控制部31读入存储在0000号地址中的数据。在步骤S202中，主控制部31判断读入的数据的内容是否为值“0001”。在步骤S202中做了肯定判定时，主控制部31使得不执行步骤S204所示的通常的泵启动动作处理，使处理进入到步骤S205，通过警报部34产生通知进行了泵分解的警报。

另一方面，在步骤S202中做了否定判定时，主控制部31使处理进入到步骤S203，判断读入的数据的格式是否符合序列号的数据格式。序列号通过使用表示英文字母的X和表示数字等的Y，例如用XXXXYYYY这样的数据格式来表示。在判定为在步骤S201中读入的数据格式符合序列号的数据格式的情况下，主控制部31使处理从步骤S203进入到步骤S204，执行通常的泵启动动作处理。另外，在步骤S203中，当判定为在步骤S201中读入的数据格式不符合序列号的数据格式时，主控制部31使处理进入到步骤S205。

在上述若干个变形例的情况下，也变更数据存储部452的存储器内容，因此在泵组装后，进行与上述实施方式的情况同样的规定的分解识别用数据写入作业。另外，在使用图7所示那样的结构的分解检测开关451的情况下，在涡轮分子泵没有分解而进行通常动作的期间，电源453是大致不运转的状态，因此具有在电源453中使用的电池是小型的电池即可这样的优点。

此外，需要使用户无法读出存储在数据存储部452中的数据。因此，优选的是设为在读出数据时通过密码进行认证的方式。进而，对存储在数据存储部452中的数据自身进行加密，或者例如使用以下这样的互锁，即如果通过使用存储在地址0000中的数据和存储在地址0001中的数据进行规定的运算所得到的运算值与规定的值一致则判定为正常。由此，与使用户无法读出存储在数据存储部452中的数据有关的可靠性变高。

此外，作为使用机械的分解检测开关451检测泵分解的构造，在图3、4中示出了两种结构，但在图9～11中示出其它例子。图9示出利用对在泵分解时需要卸下的构件进行固定的螺栓使分解检测开关451的触点闭合/断开的结构。

在图9所示的结构中，利用将后盖43固定在基座4的螺栓431。分解检测开关451被设置在基座4内的拧入螺栓431的螺孔的底部，朝向螺孔开口方向(图9的下方)配置按钮451a。因此，在用螺栓431固定后盖43时，按钮451a被螺栓431的前端按入。而且，在泵分解时卸下螺栓431时，变为按钮451a未被按入的状态。能够将与螺栓431同样的结构还应用于例如图4所示的固定泵外壳13的螺栓14。

在图10所示的其它结构中，在后盖43配置有构成分解检测部45的分解检测开关451、数据存储部452以及电源453。在该情况下，在后盖43的内面侧形成凹部430，在该凹部430配置上述部件。用于按入分解检测开关451的按钮451a的凸部4a设置在基座4侧。图10所示的结构的优点在于，即使在泵分解时要维持按入按钮451a的状态，也成为按钮451a的顶端陷入凹部430内的状态，因此难以进行这样的不正确的作业。

另外，也可以利用光学开关、例如光学传感器代替使用上述那样的机械开关作为分解检测开关451来检测泵分解。例如，如图3所示的分解检测开关451那样将光电晶体管、光电二极管那样的光传感器配置在后盖43的内侧空间。在泵分解时卸下后盖43时，光入射到光传感器，因此能够检测出卸下了后盖43。对于分解检测后的备份数据的删除、改写，进行与上述的机械式的分解检测开关451的情况同样的处理。另外，也可以利用使用了红外线、磁铁的接近开关。

在图11所示的其它结构中，为在图10所示的后盖43与基座4之间进一步设置有隔板46的构造。通过圆环44密封隔板46与基座4之间的间隙，通过圆环47密封隔板46与后盖43之间的间隙。在隔板46形成有用于按入分解检测开关451的按钮451a的凸部46a。另外，在隔板46设置有密封型的连接器46b，经由该连接器46b将数据存储部452与设置在图1的基座外周面的泵连接器49连接。

通过设为这样的构造，通过隔板46隔离后盖43的凹部430内的空间和泵内部空间。因此，在通过涡轮分子泵对腐蚀性气体进行排气的情况下，能够防止构成分解检测部45的部件受到腐蚀性气体的影响，提高泵分解检测的可靠性。

第二实施方式

在上述第一实施方式的涡轮分子泵中，在进行了泵的再次组装后，使用专用的设备将规定的分解识别用数据写入到数据存储部452中。在第二实施方式的涡轮分子泵中，在泵被分解后，能够通过控制单元容易地将数据存储部452的状态复位为原始的状态，使得削减用于将泵设为能够再次运转的状态的作业。

图12是表示第二实施方式的涡轮分子泵的分解检测部45的结构的图。分解检测部45包括开关454、检查保持电路455、复位电路456以及上拉电阻R。分解检测部45的输出信号a输入到控制单元30的主控制部31。输入信号c是n比特的信号，输出信号a是1比特的信号。控制单元30在控制单元30的通电启动时读取该信号，识别与控制单元30连接的泵单元1是否为有分解历史记录的泵。开关454构成为在泵组装状态下维持闭合状态，在泵分解时成为断开状态。

即，在组装了泵的状态下，开关454始终为闭合状态，输入信号a的值为“0”。在泵分解时，开关454断开，通过上拉电阻R被上拉而输入“1”作为输入信号a的值。检查保持电路455如后述那样，在输入“1”作为输入信号a的值时，保持该信息，输出“1”作为输出信号d的值。而且，即使组装泵而输入信号a的值恢复为“0”，也不解除而维持输出信号d的值为“1”的状态。即，通过检查保持电路455保持分解历史记录。

图13是表示检查保持电路455的一个例子的图，图15是表示复位电路456的一个例子的图。此外，这些是一个例子，能够使用数字电路实现具有相同功能的各种结构。

在图13所示的检查保持电路455中，为了保持输入信号a的“1”输入，使用RS触发器455b。其中，RS触发器455b禁止输入R=1、S=1的输入，因此在RS触发器455b的前级设置有将R=1、S=1的输入变换为R=0、S=0的输入的输入电路455a。

图14的(a)示出检查保持电路455的真值表，图14的(b)示出状态转移表。图13所示的输入电路455a在输入信号(a，b)是(0,0)、(0,1)以及(1,0)的情况下，直接输出输入信号。例如如果输入信号(a，b)是(0,0)，则向RS触发器455b的S端子输入“0”，向R端子输入“0”。另一方面，在输入信号(a，b)是(1,1)的情况下，通过输入电路455a变换为(0,0)，向S端子和R端子输入“0”。

其结果是如14的(a)所示那样，来自Q端子的输出信号d在输入信号(a，b)是(0,0)和(1,1)的情况下不变化，保持上一状态。另一方面，在输入信号(a，b)是(0,1)的情况下，输出信号d的值为“0”，在输入信号(a，b)是(1,0)的情况下，输出信号d的值为“1”。

图14的(b)的状态转移表示出Q端子的输出信号d的当前的状态Q(n)相对于四种输入信号(a，b)怎样变化。状态Q(n+1)表示输入了四种输入信号(a，b)后的状态。在输入信号(a，b)是(0,0)和(1,1)的情况下，状态不变化，Q(n+1)=Q(n)。另一方面，在输入信号(a，b)是(0,1)的情况下，当前的状态Q(n)与是“1”还是“0”无关，由检查保持电路455设定为Q(n+1)=0。相反，在输入信号(a，b)是(1,0)的情况下，与当前的状态Q(n)无关地，由检查保持电路455设定为Q(n+1)=1。

作为从主控制部31输入n比特的输入信号c的复位电路456的一个例子，图15示出n=4的情况下的例子。复位电路456只在输入了n比特的输入信号c可取的2的n次方种信号中的某一种信号的情况下，输出“1”作为输出信号b的值。在泵组装后，在向检查保持电路455输入该输出信号b的值“1”作为输入信号b的值时，检查保持电路455被复位。用户输入适当的信号而偶然被复位的概率为2的n次方分之一，因此优选的是多准备输入信号c的比特数n、即从主控制部31延伸至复位电路456的信号线的根数。

图16示出图15所示的复位电路456的真值表。在将四比特的输入信号c表示为c=C₃C₂C₁C₀时，根据C₃、C₂、C₁、C₀的值作为复位电路456的输出信号b而输出的状态Q的值例如为图16的真值表那样的值。在本例中，在输入信号c=C₃C₂C₁C₀的值为“1010”时，输出信号b的值为“1”，在其它的情况下，输出信号b的值为“0”。复位电路456通常在没有任何输入的情况下，输出“0”作为输出信号b的值。

在厂商中组装涡轮分子泵时，在泵组装后从主控制部31向复位电路456输入信号值“1010”的信号作为输入信号c，复位电路456输出“1”作为输出信号b的值，该输出信号b作为输入信号b输入到检查保持电路455。这时，由于是泵组装后的状态，因此如上述那样给检查保持电路455的输入信号a的值是“0”。因而，如图14的(a)所示那样，这时的来自Q端子的输出信号d的值是“0”。这样，检查保持电路455为被复位的状态。然后，在停止从主控制部31向复位电路456输入输入信号c时，没有向复位电路456进行任何输入，因此如上述那样，复位电路456输出“0”作为输出信号b的值，该输出信号b作为输入信号b输入到检查保持电路455。这时，由于是泵组装后的状态，因此如上述那样给检查保持电路455的输入信号a的值是“0”。即，在泵出厂时，检查保持电路455的输入信号a、b的值都为“0”，输出信号d的值也为“0”。输出信号d的值为“0”表示由检查保持电路455保持的与泵分解历史记录相应的状态被解除了。

另一方面，在由用户进行了泵分解时开关454断开，通过上拉电阻R进行上拉而输入信号a的值为“1”。在该情况下，如图14的(b)所示，针对输入信号ab的值为“10”，当前状态Q(n)为“0”，因此Q(n+1)=1，输出信号d的值从“0”变为“1”。然后，在进行泵的再次组装时，开关454闭合，输入信号a的值恢复为“0”。在该情况下，如图14的(b)所示，针对输入信号ab的值为“00”，当前状态Q(n)为“1”，因此保持再次组装后的状态，Q(n+1)=1。

即，即使由于泵分解后的再次组装而输入信号a的值从“1”变为“0”，输出信号d的值也一直保持为“1”。通过这样设置检查保持电路455，一旦对泵进行了分解，则输出信号d变为“1”，即使进行再次组装，也维持输出信号d=1，因此该输出信号d表示对泵进行了分解。即，检查保持电路455能够将与泵分解历史记录相应的状态保持为输出信号d的值。因而，主控制部31能够通过参照由检查保持电路455保持的输出信号d，判断由检查保持电路455检测出泵分解状态。

接着，参照图17的流程图说明将泵单元1与控制单元30连接时的控制单元30的主控制部31的动作。在控制单元30启动时开始图17所示的处理的程序。在步骤S301中，主控制部31判断来自泵单元的输出信号d是否满足d=1。在没有泵分解历史记录的情况下，输出信号d的值是“0”，因此，在输出信号d不满足d=1时，主控制部31判定为检查保持电路455没有检测出泵分解状态。这时，主控制部31在步骤S301中做了否定判定，使处理进入到步骤S303。在步骤S303中，进行通常的泵启动动作处理。

另一方面，主控制部31在步骤S301中做了肯定判定的情况下，即判定为输出信号d满足d=1的情况下，使得不执行步骤S303所示的通常的泵启动动作处理，使处理进入到步骤S302。在步骤S302中，主控制部31通过警报部34产生表示泵不能启动的警报，将涡轮分子泵设为启动禁止状态。在步骤S304中，主控制部31判断是否向主控制部31输入了解除信号。例如由泵制造厂商的作业者从外部输入解除信号。而且，在输入了解除信号的情况下，主控制部31使处理从步骤S304进入到步骤S305，向泵单元1内的复位电路456输入上述复位信号作为输入信号c。解除信号也可以是上述复位信号自身。在该情况下，将输入到主控制部31的解除信号直接输入到复位电路456。在没有从主控制部31的外部输入解除信号或与解除信号相等的复位信号的情况下，不向复位电路456输入复位信号。如果步骤S305的处理结束，则处理返回到步骤S301。

通常，不向用户告知解除信号，因此用户无法解除泵运转禁止状态。因此，防止在由用户进行了泵分解的没有可靠性的状态下泵运转，确保泵运转的安全。在成为这样的泵运转禁止状态的情况下，由制造厂商的作业者或获得制造厂商的许可的作业者在确认了泵状态后，进行泵运转禁止状态的解除操作。另外，该解除操作只是由上述作业者向控制单元30的主控制部31输入解除信号，不需要用于解除的特殊的装置、工具等，因此能够实现提高解除操作的作业性。通过由作业者对设置在控制单元30的按键等输入装置进行操作，来进行解除信号的输入。

此外，如果只有获得涡轮分子泵的制造厂商的许可的作业者掌握并管理上述解除信号和复位信号这两者，则由没有获得制造厂商的许可的作业者进行了分解和再次组装的泵无法运转，确保了运转的泵的安全性。

第三实施方式

上述实施方式是分开地设置泵单元1和控制单元30的情况下的实施方式，但作为第三实施方式的涡轮分子泵，说明一体地构成泵单元和控制单元的一体型的涡轮分子泵。

图18是说明第三实施方式的涡轮分子泵的图，示出涡轮分子泵整体的外观图。涡轮分子泵100包括泵单元110和控制单元120。将泵单元110螺栓固定在控制单元120的上面，由此使泵单元110和控制单元120一体化。图18示出卸下固定用的螺栓140使泵单元110和控制单元120分离的状态。

泵单元110具有与图1所示的泵单元1相同的结构，具有基座114和外壳113。另外，控制单元120的结构也是与图1所示的控制单元30相同的结构。在泵单元110的基座114设置有用于连接辅助泵的排气端口112。通过将设置在泵单元110的底面侧的连接器131和设置在控制单元120的上面侧的连接器132连接，来进行泵单元110与控制单元120之间的电连接。控制单元120设置有显示运转状态等的显示部122、用于进行电源开关、其它作业的开关121。

在进行泵单元110的维护的情况下，在将泵单元110和控制单元120分离时，如图18所示那样卸下螺栓140，并且分离连接器131、132，将泵单元110和控制单元120分离，然后进行泵单元110的分解作业。因此，在本实施方式中，将图2所示的分解检测开关451设置在泵单元110与控制单元120之间。这样，分解检测开关451在连接器131和132分离时，检测出泵单元110和控制单元120分离。对于该分解检测开关451，能够与第一实施方式同样地应用在第一实施方式的说明中描述过的机械的开关、使用了光传感器的开关。

图19示出分解检测开关451的一个例子和代替例子。图19的(a)所示的分解检测开关451具有与图9所示的结构相同的结构，构成为利用将泵单元110固定在控制单元120上的螺栓140来进行分解检测开关451的开关。在通过螺栓140使泵单元110和控制单元120一体化时，分解检测开关451的按钮451a被螺栓140的顶端按入，分解检测开关451成为闭合状态。另一方面，在卸下螺栓140时，被按入的按钮451a突出，分解检测开关451成为断开状态。

另外，在图19的(b)所示的例子中，使用光传感器125来代替分解检测开关451，光传感器125检测泵单元110和控制单元120的分离。在泵单元110和控制单元120分离时，设置在控制单元120的上面侧的光传感器125露出，光入射到光传感器125。根据光是否入射到光传感器125，光传感器125检测泵单元110和控制单元120是否分离。

图20是表示分解检测开关451的其它结构的图。分解检测开关451利用连接器131、132检测泵单元110的分离。图20的(a)是表示成为分离状态的涡轮分子泵100的整体的图，图20的(b)是表示分解检测部45的结构的框图。在本实施方式的涡轮分子泵中，分解检测部45的数据存储部452和数据保持用的电源453设置在控制单元120，但也可以与第一实施方式的涡轮分子泵同样地，设置在泵单元110。图20的(b)所示的框图示出与图2所示的框图相同的结构，但在图20的(b)所示的框图中，在分解检测开关451中利用连接器131、132这一点与图2所示的框图不同。

分解检测部45的电路构成为经由连接器131、132。电路的一部分与包含在连接器132中的一对引脚连接，这一对引脚与包含在连接器131中的一对引脚嵌合。包含在连接器131中的一对引脚通过布线131a相互连接。因此，在连接器131、132相互连接时，电路闭合，在连接器131和连接器132分离时，电路断开。即，连接器131、132作为分解检测开关451而发挥功能。在该情况下，不需要新追加开关作为分解检测开关451，因此抑制了成本上升。

此外，在第三实施方式中，也能够应用在第一实施方式和第二实施方式中记载的结构作为进行分解历史记录的保持的结构、进行解除的结构。在将在第一实施方式中记载的结构应用于第三实施方式的情况下，例如在控制单元120的电源接通时，控制单元120的主控制部读入存储在数据存储部452中的备份数据。主控制部根据读入的备份数据，判断泵是否被分解、即是否有分解历史记录。其构造为由于泵分解而停止从电源453向数据存储部452的电源供给，删除由数据存储部存储的备份数据。即，在有分解历史记录的情况下，数据存储部452中不存在备份数据，因此主控制部读入由数据存储部452保持的不定数据。该不定数据是表示由数据存储部452保持着存在分解历史记录的状态的数据，通常与存储在主控制部的存储器中的规定的分解识别用数据不一致。主控制部根据从数据存储部452读入的分解识别用数据与主控制部所存储的分解识别用数据是否一致，来判断泵是否被分解。主控制部在判定为有分解历史记录时，使得不执行通常的泵启动动作处理，通过警报部产生通知进行了泵分解的警报。主控制部在判定为没有分解历史记录时，执行通常的泵启动动作处理。

此外，第三实施方式的分解检测部45也可以具有图12所示的第二实施方式的分解检测部45的电路结构。在该情况下，连接器131和132作为开关454而发挥功能。

在如本实施方式那样，是一体型的涡轮分子泵的情况下，在泵分解时一定进行泵单元110和控制单元120的分离，因此能够通过检测它们的分离来检测是否进行了泵分解。而且，在进行了非正规的泵分解的情况下，在由厂商作业者确认了泵状态后，进行分解历史记录的解除，由此能够进行再次组装后的泵运转。

如上所述，在本发明中，形成有真空排气功能部的使转子旋转来进行真空排气的真空泵、例如如涡轮分子泵那样形成有旋转叶片8的转子2、如拖曳泵那样形成有螺槽式的排气流路的转子高速旋转的真空泵具有以下的结构。即，真空泵具有：作为泵分解检测电路的分解检测部45，其在泵分解时，根据后盖43、泵外壳13以及一体型泵的情况下的连接器131和132等真空泵构成部件组装后的组装状态，检测真空泵被分解为构成部件的非组装状态。另外，真空泵具有控制单元30的主控制部31，作为在由分解检测部45检测出非组装状态的情况下禁止转子2的旋转驱动的泵运转禁止电路。真空泵具有这样的结构，由此在进行了不适当的泵分解的情况下，禁止泵运转，因此能够确保真空泵的安全性。

上述实施方式可以是分别单独的，或者也可以组合起来使用。能够起到各个实施方式单独的效果，并且通过组合使用各个实施方式还能够起到相乘的效果。另外，只要不损害本发明的特征，本发明就完全不限于上述实施方式。例如，在上述实施方式的说明中，作为真空泵以磁轴承式涡轮分子泵为例子进行了说明，但作为本发明的实施方式的真空泵也可以不是磁轴承式涡轮分子泵。例如，可以是拖曳泵那样的真空泵。

如上所述，说明了各种实施方式和变形例，但本发明并不限于上述的内容。

以下的优先权基础申请的公开内容作为引用文被纳入于此。

日本专利申请2010年第281909号(2010年12月17日申请)

Claims (7)

1.一种真空泵，具备：

转子，其进行旋转来进行真空排气；

泵分解检测电路，其检测上述真空泵被分解的分解状态；以及

泵运转禁止电路，其在判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，禁止上述转子的旋转驱动。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备：

泵单元，其具有上述转子，进行真空排气；以及

控制单元，其进行包括上述转子的上述旋转驱动在内的上述泵单元的驱动控制，

其中，上述泵单元具有：上述泵分解检测电路；以及保持电路，其在由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，保持与分解历史记录相应的状态，

上述控制单元具有上述泵运转禁止电路，

在上述控制单元启动时由上述保持电路保持着上述与分解历史记录相应的状态的情况下，上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态，禁止上述控制单元进行上述泵单元的上述驱动控制。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

上述控制单元具有输入部，该输入部用于输入解除由上述保持电路保持的上述与分解历史记录相应的状态的解除指令，

上述泵单元具有复位电路，在通过上述控制单元输入了上述解除指令的情况下，该复位电路对上述保持电路所保持的上述与分解历史记录相应的状态进行复位。

4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

上述泵单元具有磁轴承，该磁轴承使上述转子磁悬浮，

在上述控制单元启动时由上述保持电路保持着上述与分解历史记录相应的状态的情况是由上述保持电路保持着与磁轴承控制参数的值不同的其它数据的情况，其中，该磁轴承控制参数用于上述磁轴承使上述转子磁悬浮，

在由上述保持电路保持的上述其它数据与被上述控制单元预先输入的上述磁轴承控制参数的值不一致的情况下，上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态，禁止上述控制单元进行上述泵单元的上述驱动控制，

上述保持电路预先存储上述磁轴承控制参数的值，在由上述泵分解检测部检测出上述分解状态的情况下，将预先存储的上述磁轴承控制参数的值替换为上述其它数据。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备：

泵单元，其具有上述转子，进行真空排气；以及

控制单元，其能够与上述泵单元分离地固定于上述泵单元，进行包括上述转子的上述旋转驱动在内的上述泵单元的驱动控制，

其中，如果上述控制单元被从上述泵单元分离，则上述泵分解检测电路检测出上述分解状态。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

上述泵单元和上述控制单元分别具备将上述泵单元与上述控制单元进行电连接的连接器，

如果在上述控制单元被从上述泵单元分离时上述连接器被分离，则上述泵分解检测电路检测出上述分解状态。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

还具备警报装置，在通过上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，该警报装置产生警报。

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