JP7035959B2 - 真空ポンプ起動制御システム、コントローラ、情報サーバ、真空ポンプ起動制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、真空ポンプ本体を起動する際、信頼性のある真空ポンプ本体の起動であるか否かを確認する機能を実現するための真空ポンプ起動制御システム、コントローラ、情報サーバ、真空ポンプ起動制御方法に関する。

特許文献１に記載のターボ分子ポンプにおいては、ポンプロータを支持する磁気軸受本体の機種を容易にチェックすることができ、また、磁気軸受本体を制御するためのパラメータの確認と調整を自動的に行うことができる構成となっている。
磁気浮上型軸受装置を有するターボ分子ポンプでは、回転体の外径寸法が磁気浮上制御に大きく影響を与えるため、ポンプごとに制御パラメータを設定する必要がある。特許文献１に開示されている技術を採用することにより、異なる制御パラメータ（諸特性値）を使用して磁気軸受本体を駆動してしまうことが防止される。同様に、数万回転で回転する回転体を有するターボ分子ポンプにおいては、モータ回転制御に使用するパラメータをポンプごとに設定して最適な回転制御を行う必要があることも知られている。

特許第３１３０８９０号公報

ターボ分子ポンプ等のポンプロータを高速回転させて真空排気を行う真空ポンプでは、ポンプロータを高速回転させるので、ポンプ状態が適切でない場合に起動させるのは好ましくない。例えば、ポンプメンテナンス等により部品を組み直したり交換したりした場合、組付け誤差や部品の寸法誤差等によりポンプ運転に関係するパラメータが変化することがある。
しかしながら、特許文献１に記載のターボ分子ポンプでは、予めポンプ側に格納されているパラメータに従って磁気軸受制御を行うだけなので、上述のような分解等に伴うパラメータの変化があって起動が好ましくない場合であっても、起動してしまうおそれがある。

本発明の好ましい態様による真空ポンプ起動制御システムは、起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得部と、登録されている複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定部と、前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていると判定された場合、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する許可部とを備える。
さらに好ましい態様では、前記取得部は、前記起動対象の真空ポンプ本体から、前記個体識別情報に加えてポンプ分解履歴情報を取得し、前記判定部は、一致する個体識別情報が登録されていると判定した場合、前記取得部が取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判定し、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致すると判定された場合、前記許可部は、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致しないと判定された場合、前記許可部は、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する。
さらに好ましい態様では、前記真空ポンプ起動制御システムが、前記真空ポンプ本体を制御するコントローラと、前記コントローラと接続される情報サーバとを備え、前記情報サーバは、起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の前記個体識別情報を登録する第１記憶部を有し、前記コントローラは、前記取得部と、前記取得部によって取得された個体識別情報を前記情報サーバに送信する第１送信部とを有し、前記情報サーバは、前記第１送信部から送信された個体識別情報が、前記第１記憶部に登録されているか否かを判断し、登録有無の回答信号を、前記コントローラに送信する第２送信部をさらに有し、前記コントローラは、前記第２送信部からの回答信号を参照することにより、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する前記判定部と、前記許可部と、をさらに有する。
さらに好ましい態様では、前記真空ポンプ起動制御システムが、前記真空ポンプ本体を制御するコントローラと、前記コントローラと接続される情報サーバとを備え、前記情報サーバは、起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報と、前記個体識別情報に対応付けて分解履歴情報とを登録する第１記憶部を有し、前記コントローラは、前記取得部と、前記取得部によって取得された個体識別情報および分解履歴情報を、前記情報サーバに送信する第１送信部とを有し、前記情報サーバは、前記第１送信部から送信された個体識別情報が、前記第１記憶部に登録されているか否かを判断し、登録されている場合には、前記第１送信部から送信された分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判断し、登録有無およびポンプ分解履歴についての回答信号を、前記コントローラに送信する第２送信部をさらに有し、前記コントローラは、前記第２送信部からの回答信号を参照することにより、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否か、および、前記取得部で取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かを判定する前記判定部と、前記許可部と、をさらに有する。
さらに好ましい態様では、前記真空ポンプ本体はポンプ制御情報に基づき駆動制御されるものであり、前記第１記憶部は、前記個体識別情報に対応付けて、前記ポンプ制御情報をさらに登録し、前記第２送信部は、前記第１送信部から送信された個体識別情報に対応付けて前記第１記憶部に登録されている前記ポンプ制御情報を読み出して、前記コントローラにさらに送信し、前記コントローラは、前記第２送信部から送信された前記ポンプ制御情報を使用して、前記真空ポンプ本体を制御する。
本発明の好ましい態様によるコントローラは、前記真空ポンプ起動制御システムに適用される。
本発明の好ましい態様による情報サーバは、前記真空ポンプ起動制御システムに適用される。
本発明の好ましい態様による真空ポンプ起動制御方法は、起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得ステップと、登録されている複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得ステップで取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップによって一致する個体識別情報が登録されていると判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定ステップによって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止するステップとを含む。

本発明によれば、真空ポンプをより安全に起動することができる。

図１は、真空ポンプ制御システムの概略構成を示すブロック図である。 図２は、ポンプ本体の起動処理の一例を示すフローチャートである。 図３は、ポンプ本体の一例を示す断面図である。 図４は、分解検出器が設けられている部分の拡大図である。 図５は、第２の実施の形態における起動処理の一例を示すフローチャートである。 図６は、第３の実施の形態における起動処理の一例を示すフローチャートである。 図７は、交換前後のシャフトとラジアル電磁石との関係を示す図である。 図８は、ナット部材の斜視図である。 図９は、回転信号とモータ駆動時の転流タイミングとの関係を説明する図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
－第１の実施の形態－
図１は本発明の第１の実施の形態を説明する図であり、真空ポンプ制御システムの概略構成を示すブロック図である。真空ポンプ本体１０は真空ポンプ制御システム１により制御される。真空ポンプ制御システム１は、真空ポンプ本体１０を駆動制御するポンプコントローラ２０と、ポンプコントローラ２０と情報の授受を行う情報サーバ３０とを備えている。真空ポンプ本体１０は、不図示のポンプロータを磁気浮上支持する磁気軸受１１と、ポンプロータを回転駆動するモータ１２と、真空ポンプ本体１０を識別するための個体識別情報を記憶する記憶部１３とを備えている。真空ポンプ本体１０とポンプコントローラ２０は真空ポンプ装置を構成する。

個体識別情報は、例えばＩＤナンバー（identification number）で表される。本実施の形態では、同一のメーカーにより製造された複数の真空ポンプ本体１０には、機種に関係なく全て異なるＩＤナンバーが付されているものとする。すなわち、個体を識別する情報であるＩＤナンバーによって、複数のポンプ本体の各々が一意に特定できる。以下では個体識別情報のことをＩＤナンバーと呼ぶことにする。

ポンプコントローラ２０は、磁気軸受１１を駆動制御する軸受制御部２１と、モータ１２を駆動制御するモータ制御部２２と、記憶部２３と、表示部２４と、通信部２５とを備えている。記憶部２３はポンプ制御に必要なデータを記憶する。また、記憶部２３は、真空ポンプ本体１０の記憶部１３に記憶されているＩＤナンバーや、情報サーバ３０から取得したＩＤナンバーを記憶する。通信部２５は、ポンプコントローラ２０と真空ポンプ本体１０および情報サーバ３０との間で情報の授受を行う。ポンプコントローラ２０と真空ポンプ本体１０とは、電力ライン２６１と信号ライン２６２とを有するケーブル２６により接続されている。

情報サーバ３０は、処理部３１と、記憶部３２と、通信部３３とを備えている。ポンプコントローラ２０は、通信ライン３４を介して情報サーバ３０と情報の授受を行う。通信ライン３４は無線方式でも良いし有線方式でも良い。
情報サーバ３０は、ポンプコントローラ２０とは別の場所に設置され、インターネットなどの通信回線を介してポンプコントローラ２０と接続されていても良い。情報サーバ３０は、ユーザの管理下でユーザの施設に設置したり、ポンプメーカーの管理下でメーカーの施設に設置してもよい。その他、メンテナンス業者の施設にユーザの管理下で設置してもよい。

ユーザの管理下で情報サーバ３０が管理される場合、記憶部３２には、ユーザが所有する同一メーカーで製造された全ての真空ポンプ本体１０のポンプ情報が登録される。メーカーの施設に設置された情報サーバ３０がメーカーの管理下で使用される場合、記憶部３２には、メーカーで製造された全ての真空ポンプ本体１０のポンプ情報が登録され、真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーとは別にユーザを識別するユーザ識別情報も記憶される。以下では、情報サーバ３０がユーザからの委託の下、メーカーの施設に設置されて運用されるものとして説明する。ポンプ情報には、ポンプ本体のＩＤナンバー、運転が可能であることを示す情報、運転が不可であることを示す情報などが含まれる。

例えば、工場出荷時にメーカーによって真空ポンプ本体１０に固有のＩＤナンバーが情報サーバ３０の記憶部３２に登録される。出荷後にユーザでの運用が始まると、指定サービスマンないしはユーザ管理者により、記憶部３２に真空ポンプ本体１０の識別番号が記憶される。

記憶部３２には、ＩＤナンバーに紐付けられてポンプ本体の運転可能情報、運転不可情報、各種パラメータ、諸特性値などが登録される。登録後に、真空ポンプ本体１０に大きな外的衝撃が加わって故障した場合、修理不可で廃棄された場合には、その真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーに紐付けられて故障中であること、廃棄物であることなどが記録される。廃棄された場合は情報サーバ３０の記憶部３２から当該ＩＤナンバーを削除してもよい。修理を行って運転可能な状態になった場合には、当該ＩＤナンバーの故障中の情報を運転可能情報に更新される。
このように、情報サーバ３０へＩＤナンバーを登録する権限、ＩＤナンバーに付加される情報を更新する権限、ＩＤナンバーを削除する権限は、特定の管理者、例えば、真空ポンプ本体１０を製造しユーザから委託されたポンプメーカーのサービスマンや、真空ポンプ本体１０の修理やメンテナンスをメーカーから許可された業者のサービスマンに限定されるものとする。以下、メーカーのサービスマン、および、メーカーが認定するメンテナンス業者のサービスマンを指定サービスマンと呼ぶ。

図２は真空ポンプ本体１０の起動処理の一例を示すフローチャートである。図２（ａ）に示すフローチャートはポンプコントローラ２０によって実行され、図２（ｂ）に示すフローチャートは情報サーバ３０の処理部３１によって実行される。ポンプコントローラ２０の電源がオンされると、図２（ａ）の処理がスタートする。

ステップＳ１０１では、通信部２５により、信号ライン２６２を介して真空ポンプ本体１０の記憶部１３からＩＤナンバーが取得される。ステップＳ１０２では、取得されたＩＤナンバーがポンプコントローラ２０の記憶部２３に記憶されているＩＤナンバーと一致するか否かの判定が行われる。ステップＳ１０２で一致（ＹＥＳ）と判定されると、ステップＳ１０８へ進んで真空ポンプ本体１０の起動を許可する。その結果、真空ポンプ本体１０は起動する。

一方、ステップＳ１０２で不一致（ＮＯ）と判定されるとステップＳ１０３へ進む。ステップＳ１０２が否定されるのは例えば次の状況である。ポンプコントローラ２０に接続されていた真空ポンプ本体１０が故障して別の真空ポンプ本体１０に変更された場合、ポンプ起動時にポンプコントローラ２０には以前に接続されていた真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーが登録されている。そのため、ＩＤナンバーが不一致となる。
ステップＳ１０２が否定されてステップＳ１０３に進むと、真空ポンプ本体１０から取得したＩＤナンバーが情報サーバ３０の記憶部３２に登録されているか否かを確認する確認信号を、情報サーバ３０へ送信する。ステップＳ１０４では、確認信号に対する回答信号を情報サーバ３０から受信したか否かを判定する。ステップＳ１０４で受信して（ＹＥＳ）と判定されるとステップＳ１０５へ進む。ステップＳ１０５では、回答信号の内容が登録有りなのか登録無しなのかを判定し、登録有り（ＹＥＳ）の場合にはステップＳ１０６へ進み、登録無し（ＮＯ）の場合にはステップＳ１０７へ進む。

起動対象の真空ポンプ本体１０に該当するＩＤナンバーが情報サーバ３０に登録されていないのは、たとえば次のような状況である。
起動対象である真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーは、メーカーが当該ポンプ本体を出荷する際に情報サーバ３０に登録される。その後、指定サービスマンが当該ポンプ本体の点検をしたところ故障が判明し、その指定サービスマンが情報サーバ３０にアクセスし、登録済みのＩＤナンバーを無効化したような状況である。無効化とは、ＩＤナンバー自体のデータを削除し、あるいは、当該ＩＤナンバーは削除せずに真空ポンプ本体１０の使用を禁止する情報を付加することである。使用禁止情報が付されたＩＤナンバーも登録無しと判定される。この例では、指定サービスマンによって修理が完了すると、無効化したＩＤナンバーを有効化する。有効化されると登録有と判定される。

ステップＳ１０５で登録有り（ＹＥＳ）と判定されてステップＳ１０６へ進んだ場合には、ステップＳ１０６において、記憶部２３に記憶されているＩＤナンバーを取得したＩＤナンバーで書き換える。ステップＳ１０８では、ポンプコントローラ２０に接続されている真空ポンプ本体１０は運転可能と判断して通常通りの起動を許可する。起動許可により、真空ポンプ本体１０は起動する。ステップＳ１０５で登録無し（ＮＯ）と判定されてステップＳ１０７へ進んだ場合には、運転をロックして真空ポンプ本体１０の起動を禁止し、運転不可であること報知する表示を表示部２４に表示するロック動作を行う。ロック状態ではオペレータが運転を促す指令をポンプコントローラ２０に入力しても、ポンプが起動しないので真空ポンプ本体１０の安全が確実に確保される。
ロック動作とは、ポンプ起動指令が出力されてもポンプの起動を禁止すること、あるいは、ポンプ起動指令を無効化することなどである。
なお、本実施形態では、運転不可をポンプコントローラ２０の表示部２４に表示したが、真空ポンプ本体１０に表示部を設けてその表示部に運転不可を表示するようにしても良い。

図２（ｂ）は処理部３１で実行される確認処理を示すフローチャートであり、図２（ａ）のステップＳ１０２の処理によって送信された確認信号を情報サーバ３０が受信すると処理を開始する。ステップＳ２０１では、受信したＩＤナンバーと記憶部３２に登録されているＩＤナンバーとを比較し、一致するＩＤナンバーを検索する。ステップＳ２０２では、ステップＳ２０１の検索の結果、登録されているＩＤナンバーに一致するものがあるか否かを判定する。ステップＳ２０２で一致するものが有ると判定されるとステップＳ２０３へ進んで登録有りの信号を回答信号としてセットし、一致するものが無いと判定されるとステップＳ２０４へ進んで登録無しの信号を回答信号としてセットする。ステップＳ２０５では、ステップＳ２０３またはステップＳ２０４でセットされた回答信号をポンプコントローラ２０へ送信する。

なお、図２（ａ）の処理では、電源オン前後で真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーが変化した場合のみ、ステップＳ１０３からステップＳ１０７およびステップＳ１０８までの処理（以下ではアクティベート処理と呼ぶ）を実行するようにした。ユーザが電源オフした直後に真空ポンプ本体１０とポンプコントローラ２０との組み合わせを変更することなく再び電源オンするような場合、当然、電源オン前後のＩＤナンバーに変化はない。このように真空ポンプ本体１０とポンプコントローラ２０との組み合わせを変更することなく正常に使用していて、電源オフと電源オンとの期間で真空ポンプ本体１０の状態が変化しないような状況においては、真空ポンプ本体１０が運転可能か否かを電源ＯＮのたびに確認する必要性がない。図２（ａ）では、記憶部１３に記憶されているＩＤナンバーとポンプコントローラ２０の記憶部２３に記憶されているＩＤナンバーとが一致している場合にはステップＳ１０２からステップＳ１０８へ進むので、上述のアクティベート処理が省略されて直ちに真空ポンプ本体１０が起動される。
この実施の形態におけるアクティベート処理とは、真空ポンプ本体１０の起動に際し、起動対象である真空ポンプ本体１０が信頼できるポンプであるか否かの確認を行う処理である。

もちろん、真空ポンプ本体１０の記憶部１３に記憶されているＩＤナンバーとポンプコントローラ２０の記憶部２３に記憶されているＩＤナンバーとが一致しているか否かに関わらず、アクティベート処理を行うようにしても良い。

なお、図１に示す例では情報サーバ３０には１台のポンプコントローラ２０しか接続されていないが、情報サーバ３０には複数のポンプコントローラ２０が接続可能であり、情報サーバ３０は複数のポンプコントローラ２０の各々に対して図２（ｂ）に示す処理を行うことができる。

以上説明した第１の実施の形態の真空ポンプ制御システムをまとめると以下のようである。
真空ポンプ本体１０の記憶部１３のＩＤナンバーと、ポンプコントローラ２０の記憶部２３のＩＤナンバーが一致していないときは、次の手順により、真空ポンプ本体１０の起動処理を実行する。まず、真空ポンプ本体１０の記憶部１３に格納されているＩＤナンバーを情報サーバ３０に送信する。情報サーバ３０内の記憶部３２に同一のＩＤナンバーが存在するか否か、すなわち登録されているか否かを判別する。登録されていると判定されると、真空ポンプ本体１０の記憶部１３に格納されているＩＤナンバーでコントローラの記憶部２３の記憶内容を更新記録する。その後、起動許可フラグを設定する。真空ポンプ本体１０の記憶部１３に格納されているＩＤナンバーが情報サーバ３０の記憶部３２にないと判定されると、ポンプコントローラ２０はロック動作処理を実行する。

以上の処理により、起動対象である真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーが指定サービスマンにより無効化されている場合など、情報サーバ３０の記憶部３２に運転可能なポンプ情報がないと判定されているときは、ポンプコントローラ２０が起動指令を受信しても真空ポンプ本体１０が起動されない。

－第２の実施の形態－
上述した第１の実施の形態では、情報サーバ３０の記憶部３２には、真空ポンプ本体１０のポンプ情報として個体識別情報であるＩＤナンバーが登録されていた。第２の実施の形態では、ＩＤナンバーに加えて分解履歴情報もポンプ情報として登録される場合について説明する。
第２の実施の形態における真空ポンプ制御システム１は、真空ポンプ本体１０の構成と、ポンプコントローラ２０と情報サーバ３０の処理が異なるので、相違点を主に説明する。

図３は真空ポンプ本体１０の一例を示す断面図である。図３に示す真空ポンプ本体１０は、ターボ分子ポンプのポンプ本体を示している。複数の回転翼段２Ａおよび円筒部２Ｂを備えるポンプロータ２は、磁気軸受１１（図３参照）によって磁気浮上支持されるシャフト５に締結されている。なお、磁気軸受１１が作動していない状態では、シャフト５はメカニカルベアリング３ａ，３ｂによって支持される。

ポンプロータ２の軸方向上下に並んだ回転翼段２Ａに対して、複数の固定翼段４Ａが交互に配設されている。これらの回転翼段２Ａと固定翼段４Ａにより、真空ポンプ本体１０のタービン翼段が構成される。固定翼段４Ａの後段（図示下方）には、回転する円筒部２Ｂと共にドラッグポンプ段を構成するネジステータ４Ｂが設けられている。

磁気軸受１１は、図３に示すラジアル電磁石１１１，１１２およびアキシャル電磁石１１３と、ラジアル変位センサ１１１ａ，１１２ａおよびアキシャル変位センサ１１３ａとを備えている。真空ポンプ本体１０のベース４に設けられたラジアル変位センサ１１１ａ，１１２ａおよびアキシャル変位センサ１１３ａによって、シャフト５の浮上位置が検出される。アキシャル電磁石１１３は、シャフト５の下端に設けられた円形のディスク１１８を上下に挟むように設けられている。

ディスク１１８はナット部材１１５によりシャフト５の下端部に固定されている。ナット部材１１５は、アキシャル変位センサ１１３ａおよび回転センサ１１６のターゲットとしても機能している。回転センサ１１６は、シャフト５の回転を検出するためのセンサである。ベース４の裏蓋１１９で覆われた空間には、分解検出器１１７が設けられている。

図４は、分解検出器１１７が設けられている部分の拡大図である。図４（ａ）はベース４に裏蓋１１９を固定した閉状態を示す、図４（ｂ）はベース４から裏蓋１１９を外した開状態を示す。裏蓋１１９をベース４に固定することによって形成される空間に、分解検出器１１７および図１に示した記憶部１３が収納されている。分解検出器１１７は、検出スイッチ１１７ａと回路部１１７ｂとを備えている。裏蓋１１９には、検出スイッチ１１７ａのプッシュボタン１１７０と対向する位置に凸部１１９ａが形成されている。

図４（ａ）のように裏蓋１１９をベース４に固定すると、検出スイッチ１１７ａのプッシュボタン１１７０が凸部１１９ａにより押し込まれた状態（オン状態）となる。一方、図４（ｂ）に示すようにベース４から裏蓋１１９を取り外すと、プッシュボタン１１７０の押し込みが解除（オフ状態）される。

例えば、真空ポンプ本体１０をオーバーホールする場合には、図４（ａ）のように裏蓋１１９を外して、ナット部材１１５やアキシャル電磁石１１３にアクセスする。ディスク１１８をシャフト５に固定しているナット部材１１５を外して、ディスク１１８をシャフト５から抜き取ることで、ポンプロータ２およびシャフト５からなる回転体を真空ポンプ本体１０から取り外すことが可能となる。

例えば、ポンプロータ２に固着した生成物を除去するような場合には、ポンプロータ２をシャフト５から外して除去作業を行う。再組み立てを行う際には、ポンプロータ２をシャフト５に組み付けた後にバランス取りを行い、上述した手順とは逆の手順で回転体を真空ポンプ本体１０に取り付ける。このような分解・組み立て作業を行うには特殊な技能を必要とするため、通常は、上述した指定サービスマンがメンテナンス作業を行う。

本実施の形態では、メーカーや指定されたメンテナンス業者以外の業者によって不適切なメンテナンスが行われるのを防止するために、分解検出器１１７の検出スイッチ１１７ａがオフになったタイミングを検出することで、裏蓋１１９の取り外し、すなわち、ポンプ分解を検出するようにした。例えば、回路部１１７ｂにタイマーを設けて、検出スイッチ１１７ａがオフになった日時をタイマーにより計測し、計測された日時を記憶部１３に記憶する。その場合、分解の度に取得される日時の全てを記憶部１３に記憶しても良いし、記憶部１３に記憶されている日時に取得した日時を上書きしても良い。後者の場合、最新の分解日時だけが記憶部１３に記憶されることになる。

また、分解日時に代えて分解回数を記憶部１３に記憶するようにしても良い。例えば、検出スイッチ１１７ａのオンオフに基づいてHigh/Low信号を回路部１１７ｂで生成し、High/Low信号がHigh（オン）からLow（オフ）に切り替わるタイミングをカウントし、カウント数を分解回数として記憶部１３に記憶する。製品出荷時にはカウント数はゼロで、分解する度にカウント数が１ずつ増加する。

メンテナンス作業が終了したときに、指定サービスマンは記憶部１３に記憶されている分解日時または分解回数を読み出し、情報サーバ３０にアクセスして分解履歴情報（分解日時または分解回数）の登録作業を行う。情報サーバ３０の記憶部３２には、運転可能な真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーとその真空ポンプ本体１０の分解履歴情報とがセットで、ポンプ情報として登録されている。例えば、製品出荷直後の真空ポンプ本体１０に関しては「日時データ無し」または「分解回数＝０」というデータが分解履歴情報として登録されている。分解後、指定サービスマンなどにより「分解日時」または「分解回数＝１」が分解履歴情報として登録される。指定サービスマンは情報サーバ３０の記憶部３２にアクセスして、メンテナンスをした真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーと一致するＩＤナンバーに対して、分解日時または分解回数を分解履歴情報として登録する。
指定サービスマン以外の作業者は、情報サーバ３０へのアクセス権限がない。そのため、裏蓋１９が開となった結果のみが情報サーバ３０に登録される。これは、ポンプコントローラ２０が自動的に裏蓋開検知信号を送信して行われる。

図５は、第２の実施の形態における真空ポンプ本体１０の起動処理の一例を示すフローチャートである。図５（ａ）に示すフローチャートはポンプコントローラ２０によって実行され、図５（ｂ）に示すフローチャートは情報サーバ３０の処理部３１によって実行される。ポンプコントローラ２０の電源がオンされると、図５（ａ）の処理がスタートする。
なお、電源オン前に指定サービスマンがポンプ分解を伴うメンテナンス作業を行った場合、指定サービスマンは、情報サーバ３０の記憶部３２へＩＤナンバーおよび分解履歴情報を登録する。ここでは、指定サービスマンによりこのような登録作業が既に終了しているものとして説明する。

ステップＳ３０１では、通信部２５により、ポンプコントローラ２０は信号ライン２６２を介して真空ポンプ本体１０の記憶部１３からＩＤナンバーおよび分解履歴情報が取得される。ステップＳ３０２では、取得したＩＤナンバーおよび分解履歴情報が情報サーバ３０の記憶部３２に登録されているか否かの確認信号を情報サーバ３０へ送信する。ステップＳ３０３では、確認信号に対する回答信号を情報サーバ３０から受信したか否かを判定する。ステップＳ３０３で受信（ＹＥＳ）と判定されるとステップＳ３０４へ進む。ステップＳ３０４では、回答信号の内容が登録有りなのか登録無しなのかを判定し、登録有り（ＹＥＳ）の場合にはステップＳ３０５へ進み、登録無し（ＮＯ）の場合にはステップＳ３０６へ進む。

ステップＳ３０４で登録有り（ＹＥＳ）と判定されてステップＳ３０５へ進んだ場合には、ステップＳ３０５において、記憶部２３に記憶されているＩＤナンバーを取得したＩＤナンバーで書き換える。ステップＳ３０７では、ポンプコントローラ２０に接続されている真空ポンプ本体１０は運転可能と判断して通常通りの起動を許可する。起動許可により、真空ポンプ本体１０は起動する。一方、ステップＳ３０４で登録無し（ＮＯ）と判定されてステップＳ３０６へ進んだ場合には、真空ポンプ本体１０の運転をロックして起動を禁止し、運転不可であること報知する表示を表示部２４に表示するロック動作を行う。ロック状態ではオペレータが運転を促す指令をポンプコントローラ２０に入力しても真空ポンプ本体１０は起動しない。

図５（ｂ）は情報サーバ３０の処理部３１で実行される確認処理を示すフローチャートであり、図５（ａ）のステップＳ３０２の処理によって送信された確認信号を情報サーバ３０が受信すると処理を開始する。ステップＳ４０１では、受信したＩＤナンバーと記憶部３２に登録されているＩＤナンバーとを比較し、一致するＩＤナンバーを検索する。ステップＳ４０２では、ステップＳ４０１の検索の結果、登録されているＩＤナンバーに一致するものがあるか否かを判定する。ステップＳ４０２で一致するものが有ると判定されるとステップＳ４０３へ進み、一方、一致するものが無いと判定されるとステップＳ４０４へ進んで登録無しの信号を回答信号としてセットする。

ステップＳ４０３では、検索されたＩＤナンバーとセットで記憶されている分解履歴情報の分解日時と、ポンプコントローラ２０から受信した分解履歴情報と分解日時とが一致するか否かを判定する。ステップＳ４０３で一致あり（ＹＥＳ）と判定されるとステップＳ４０５へ進んで登録有りの信号を回答信号としてセットし、一方、一致無し（ＮＯ）と判定されるとステップＳ４０４へ進んで登録無しの信号を回答信号としてセットする。ステップＳ４０６では、ステップＳ４０４またはステップＳ４０５でセットされた回答信号をポンプコントローラ２０へ送信する。

以上説明した第２の実施の形態の真空ポンプ制御システムをまとめると以下のようである。
ポンプ起動時、ポンプコントローラ２０は、真空ポンプ本体１０の記憶部１３のＩＤナンバーと分解履歴情報とを取得し、これら２つを情報サーバ３０に送信する。情報サーバ３０は、受信したＩＤナンバーと分解履歴情報とが一致すると情報有り信号をポンプコントローラ２０に送り返す。ポンプコントローラ２０は、情報サーバ３０から受信した情報有り信号に基づいて、情報サーバ３０に登録されていたＩＤナンバーを記憶部２３に記憶する。その後、ポンプコントローラ２０は、起動許可フラグをセットする。情報サーバ３０は、受信したＩＤナンバーと分解履歴情報のいずれか一方が一致しない場合は情報無し信号をポンプコントローラ２０に送り返す。ポンプコントローラ２０は、情報サーバ３０から受信した情報無し信号に基づいて、起動禁止フラグをセットしてポンプの起動動作をロックする。

以上の処理により、起動対象である真空ポンプ本体１０に対して分解を伴う保守作業が行われたとき、真空ポンプ本体１０の記憶部１３の分解履歴情報が自動的に更新される。また、指定サービスマンによる保守作業であれば、保守作業を行った指定サービスマンにより、真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーと分解履歴情報が情報サーバ３０に登録される。
指定サービスマンによる保守作業が行われた場合、その後に真空ポンプ本体１０に対して起動処理が実行された際、真空ポンプ本体１０の記憶部１３から読み出したＩＤナンバーと分解履歴情報と一致するデータが情報サーバ３０に登録されており、真空ポンプ本体１０の起動が許可される。

一方、指定サービスマン以外の作業者が分解を伴う保守作業を行った場合、真空ポンプ本体１０の記憶部１３の分解履歴情報は自動的に更新される、しかし、その作業者は情報サーバ３０へのアクセス権限を持たないので、保守作業後にＩＤナンバーと分解履歴情報を情報サーバ３０に登録することができない。したがって、その後に真空ポンプ本体１０に対して起動処理が実行された際、真空ポンプ本体１０の記憶部１３から読み出したＩＤナンバーと分解履歴情報と一致するデータが情報サーバ３０に登録されていないので、真空ポンプ本体１０の起動が禁止される。

－第３の実施の形態－
上述した第２の実施の形態では、情報サーバ３０の記憶部３２には、真空ポンプ本体１０のポンプ情報としてＩＤナンバー（個体識別情報）と分解履歴情報とが登録されていたが、以下で説明する第３の実施の形態では、情報サーバ３０はポンプメーカーの管理下にあり、ポンプ情報としてＩＤナンバー、分解履歴情報および真空ポンプ本体１０の制御情報が記憶部３２に登録される。そして、アクティベート処理時には、記憶部３２に登録されている制御情報をコントローラ側に取り込み、取り込んだ制御情報に基づいて真空ポンプ本体１０の制御（軸受制御およびモータ制御）を行うようにした。真空ポンプ本体１０の制御情報とは真空ポンプ本体１０のばらつきを含む数値であり、例えば、（Ａ）ポンプ部品の加工寸法、（Ｂ）ポンプ組み立て時の隙間寸法、（Ｃ）センサの出力特性などがある。これらの諸特性値、パラメータを用いてモータ制御、磁気浮上型軸受制御が行われる。
第３の実施の形態におけるポンプ制御システムの構成は第２の実施の形態の構成と同一である。ポンプコントローラ２０と情報サーバ３０の処理が異なるので、相違点を主に説明する。

以下の説明に際して、真空ポンプ本体１０を指定サービスマンが分解し、ロータシャフトを交換した場合を一例として説明する。指定サービスマンは交換したロータシャフトの外径寸法、ナット部材１１５の取付位相角αを実測し、これらの値を真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーと紐づけて情報サーバ３０に登録しているものとする。

図６は、第３の実施の形態における起動処理を説明するフローチャートである。図６（ａ）のフローチャートは図５（ａ）のステップＳ３０５をステップＳ５１０で置き換えたものであり、図６（ｂ）のフローチャートは図５（ｂ）のステップＳ４０５をステップＳ６１０で置き換えたものである。その他のステップの処理は、図５の同一ステップの処理と同様である。

情報サーバ３０は、図６（ａ）のステップＳ３０２において送信された確認信号を受信すると、図６（ｂ）のステップＳ４０１からステップＳ４０３までの処理を実行する。そして、ステップＳ４０３において分解履歴情報が一致すると判定されるとステップＳ６１０へ進み、登録有りの信号と、受信したＩＤナンバーとセットで登録されている制御情報とを回答信号としてセットする。なお、ステップＳ４０２およびステップＳ４０３でＮｏと判定された場合には、すなわちＩＤナンバーまたは分解履歴情報が一致しない場合には、第２の実施の形態の場合と同様にステップＳ４０４へ進んで登録無しの信号を回答信号としてセットする。

ポンプコントローラ２０は、情報サーバ３０から回答信号を受信すると、図６（ａ）のステップＳ３０４において登録の有無を判定する。ステップＳ３０４で登録無しと判定されると、第２実施の形態の場合と同様にステップＳ３０６へ進んでロック動作を行う。一方、ステップＳ３０４で登録有りと判定されると、ステップＳ５１０へ進んで、真空ポンプ本体１０から取得したＩＤナンバーおよび情報サーバ３０から受信した制御情報を記憶部２３に記憶する。ポンプコントローラ２０は、記憶部２３に記憶した制御情報に基づいて真空ポンプ本体１０を制御する。

（軸受制御に関する制御情報の例）
情報サーバ３０から取得する制御情報の一例として、軸受制御に関係するシャフト５とステータ側との間のギャップ寸法について説明する。真空ポンプ本体１０の分解修理によって、例えば、ポンプロータ２とシャフト５とから成る回転体を交換した場合には、シャフト５の径寸法のばらつきによって、シャフト５とステータ側との間、例えばシャフト５とラジアル電磁石１１１，１１２およびラジアル変位センサ１１１Ａ，１１２Ａとの間のギャップ寸法が変化する。

図７はシャフト５とラジアル電磁石１１１との関係を示す図である。シャフト５の軸心方向（ｚ軸方向）と直交する２方向をｘ軸方向とｙ軸方向と定義する。また、ｘ軸マイナス方向をｘｍ方向、ｘ軸プラス方向をｘｐ方向とする。なお、ラジアル電磁石１１１は、ｘ軸方向に配置された一対の電磁石１１１ｘｐ，１１１ｘｍとｙ軸方向に配置された一対の電磁石１１１ｙｐ，１１１ｙｍ（いずれも不図示）とで構成されている。ラジアル変位センサ１１１ａも電磁石に対応して、４つの変位センサ１１１ａｘｐ，１１１ａｘｍ，１１１ａｙｐ，１１１ａｙｍ（いずれも不図示）で構成されている。

図７（ａ）は交換前のシャフト５とラジアル電磁石１１１との関係を示す図で、図７（ｂ）は交換後のシャフト５とラジアル電磁石１１１との関係を示す図である。シャフト５に対して一対の電磁石１１１ｘｐ，１１１ｘｍと一対の変位センサ１１１ａｘｐ，１１１ａｘｍとが配置されており、可動範囲Ｘmax1，Ｘmax2は、シャフト５が４つの電磁石１１１ｘｐ，１１１ｘｍ，１１１ｙｐ，１１１ｙｍの中心位置にある場合のギャップ寸法である。一般には、この中心位置が目標浮上位置とされる。交換後のシャフト径ｒ２（＝ｒ１＋Δｒ）が交換前のシャフト径ｒ１よりも大きい場合、シャフト５の可動範囲はＸmax1＞Ｘmax2のように小さくなる。

図７（ｃ）は、シャフト５が、目標浮上位置から電磁石１１１ｘｍのｘｍ方向にΔｄｘだけ変位した場合の電磁石電流を示したものである。なお、変位Δｄｘは電磁石１１１ｘｐ側に変位した場合を正とする。図７（ｃ）では、シャフト５は電磁石１１１ｘｐから遠ざかって電磁石１１１ｘｍに近づくので、ポンプコントローラ２０の軸受制御部２１（図１参照）は電磁石１１１ｘｍの電流を減らすとともに電磁石１１１ｘｐの電流を増加させてシャフト５を目標浮上位置へ戻すように制御する。

電磁石電流には、シャフト５を所定の磁気力で目標浮上位置に支持するためのバイアス電流Ｉと、目標浮上位置からのずれを解消するための制御電流Δｉとが電流成分として含まれている。例えば、シャフト５が目標浮上位置にある場合にはΔｉ＝０で、図７（ｃ）の場合には電磁石１１１ｘｐの電流はＩ＋Δｉ、電磁石１１１ｘｍの電流はＩ－Δｉのように制御される。変位Δｄｘと制御電流Δｉは、ゲインＧを用いて次式（１）のように表される。
Δｉ＝－Ｇ・Δｄｘ …（１）
図７（ｃ）の場合にはΔｄｘ＜０なので、Δｉ＞０である。

一般に、シャフト径が図７（ａ），（ｂ）のようにばらついている場合でも、シャフト５と電磁石とのギャップＸｇ（不図示）が等しいときにはシャフト５を目標浮上位置へ戻そうとする吸引力がほぼ等しくなるようにゲインＧは設定される。そのため、式（１）のゲインＧは可動範囲Ｘmaxが小さい場合ほど大きく設定される。

例えば、電磁石中心位置（目標浮上位置）から電磁石１１１ｘｐまでの距離をｒ０としたとき、図７（ａ），（ｂ）におけるギャップＸｇが等しい場合には、図７（ａ）における変位Δｄx1と図７（ｂ）における変位Δｄx2との間には、次式（２）のような関係が成立している。また、図７（ａ）の場合のゲインおよび制御電流をＧ１およびΔｉ1、図７（ｂ）の場合のゲインおよび制御電流をＧ２およびΔｉ2とすると、Δｉ1およびΔｉ2は次式（３），（４）で表される。
Δｄx1＝Δｄx2＋（ｒ２－ｒ１） …（２）
Δｉ1＝－Ｇ１・Δｄx1 …（３）
Δｉ2＝－Ｇ２・Δｄx2 …（４）

吸引力は制御電流の大きさに比例するので、式（３），（４）の制御電流Δｉ1，Δｉ2が等しくなるためには、ゲインＧ１，Ｇ２を次式（５）のように設定すれば良く、Ｇ１＜Ｇ２となることが分かる。
Ｇ２・Δｄx2＝Ｇ１｛Δｄx2＋（ｒ２－ｒ１）｝ …（５）
式（５）ではＧ１とＧ２との関係が変位Δｄx2に依存するので、例えば、Δｄx2が最大限まで変位したとき、すなわち、Δｄx2＝ｒ０－ｒ２のときの制御電流Δｉ1，Δｉ2を一致させるように設定する場合を考えると、ゲインＧ２は式(６)のように表される。
Ｇ２＝Ｇ１（ｒ０－ｒ１）/（ｒ０－ｒ２） …（６）

情報サーバ３０の記憶部３２には、軸受制御に関する制御情報の一例として寸法ｒ０、ｒ１、ｒ２が記憶されている。なお、寸法ｒ１は真空ポンプ本体１０と同一の機種におけるシャフト５の標準寸法であり、寸法ｒ２は真空ポンプ本体１０に固有の寸法である。例えば、メンテナンスによってシャフト５が交換された場合には、指定サービスマンによって交換後のシャフト５の寸法ｒ２が情報サーバ３０の記憶部３２に登録される。ポンプコントローラ２０は、情報サーバ３０から取得した寸法ｒ０，ｒ１，ｒ２に基づき式（６）を用いてゲインＧを設定し、そのゲインＧを用いて軸受制御を行う。そのため、メンテナンス後の真空ポンプ本体１０の状態に応じた適切な軸受制御を行うことが可能となる。

（モータ制御に関する制御情報の例）
情報サーバ３０から取得する制御情報の他の例として、モータ制御に関係する制御情報の一例について説明する。ポンプコントローラ２０のモータ制御部２２は回転センサ１１６の検出信号に基づいてモータ１２の回転を制御する。図３に示すように、回転センサ１１６は、ディスク１１８をシャフト５に固定しているナット部材１１５に対向するように設けられている。回転センサ１１６は、ナット部材１１５のターゲット面との距離を検出する距離センサであり、例えば、インダクタンス式のセンサが用いられる。

図８は、ナット部材１１５の斜視図である。ナット部材１１５のターゲット面（回転センサ１１６が対向する面）は段差ｈの凹凸面となっている。凸面１１５ａおよび凹面１１５ｂは、それぞれ回転角度に関して１８０度ずつに振り分けられている。回転センサ１１６からは、段差ｈによるインダクタンスの変化に応じた信号が出力される。モータ制御部２２では、このインダクタンス変化を表す信号に基づいて回転信号が生成される。

図９は回転信号とモータ駆動時の転流タイミングとの関係を説明する図であり、（ａ）は回転信号Ｓの時間的変化を示し、（ｂ）は回転するモータ磁極の変化を示す。図９（ａ）において、回転センサ１１６が凸面１１５ａと対向すると回転信号ＳはHigh状態となり、回転センサ１１６が凹面１１５ｂと対向すると回転信号ＳはLow状態となる。図８に示すように凸面１１５ａおよび凹面１１５ｂはそれぞれ回転角度に関して１８０度ずつなので、回転信号Ｓは、図９（ａ）のように半周期ごとにHigh状態とLow状態が繰り返し現れる。これに対して、モータ磁極（２極モータの場合）のＳ極・Ｎ極はΔｔだけ遅れて現れる。そして、モータ駆動時の転流タイミングＴは次式（７）で表される。
Ｔ＝ｔ０＋Δｔ …（７）

ずれ時間Δｔは、ディスク１１８をナット部材１１５によりシャフト５に固定する際の、ナット部材１１５の位相角αによって変化する。位相角αを用いると式（７）は次式（８）のように書き換えられる。
Ｔ＝ｔ０＋α/ω …（８）
式（８）において、ωはモータ１２の回転速度(rad/sec)であり、例えば、回転信号Ｓの周期から求まる。この位相角αは真空ポンプ本体１０の出荷時に、ポンプ駆動時に用いる制御情報として真空ポンプ本体１０の記憶部２３に格納されるとともに、情報サーバ３０の記憶部３２にも登録される。また、上述したように、メンテナンス作業で分解した場合にも、指定サービスマンはこの位相角αを情報サーバ３０に登録する。

ポンプ分解時にナット部材１１５を取り外した場合、再度組み立てたときのモータ磁極位置に対するナット部材１１５の相対的な位相角αが変化する。メンテナンス後は、ナット部材１１５の位相角αを計測し、その計測結果を情報サーバ３０の記憶部３２に制御情報として登録する。メンテナンス後に、真空ポンプ本体１０にポンプコントローラ２０を接続してポンプコントローラ２０の電源をオンすると、図６に示す起動処理が行われ、情報サーバ３０の記憶部３２に登録されている制御情報（位相角α）がポンプコントローラ２０の記憶部２３に記憶される。ポンプコントローラ２０のモータ制御部２２は記憶部２３に記憶した制御情報（位相角α）に基づいてモータ回転を制御するので、メンテナンス後の真空ポンプ本体１０の状態に応じた適切なモータ制御を行うことが可能となる。

上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）実施の形態の真空ポンプ制御システムは、起動対象の真空ポンプ本体１０から個体識別情報を取得する取得部(ポンプコントローラ２０に実装したステップＳ１０１)と、登録されている複数の真空ポンプ本体１０の個体識別情報の中で、ポンプコントローラ２０に実装された取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定部(実施の形態ではポンプコントローラ２０に実装したステップＳ１０５、または、情報サーバ３０に実装したステップＳ２０２)と、判定部によって一致する個体識別情報が登録されていると判定された場合、起動対象の真空ポンプ本体１０の起動を許可し、判定部によって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、起動対象の真空ポンプ本体１０の起動を禁止する許可部とを備える。

例えば、故障等で真空ポンプ本体１０が運転可能でなくなった場合には、アクセス権限のある者によって、その真空ポンプ本体１０のＩＤナンバーは情報サーバ３０の記憶部３２から削除されるので、不注意でそのポンプ本体を運転しようとした場合でもＩＤナンバーの一致が判定されず起動が許可されない。すなわち、情報サーバ３０に登録されている運転可能とされた真空ポンプ本体１０がポンプコントローラ２０に接続された場合のみ起動が許可されるので、安全が確保される。

（２）上記（１）の真空ポンプ制御システムにおいて、ポンプコントローラ２０に実装された取得部は、起動対象の真空ポンプ本体１０から、個体識別情報に加えてポンプ分解履歴情報を取得し、情報サーバ３０に実装された判定部（ステップＳ４０３）は、一致する個体識別情報が登録されていると判定した場合、取得部が取得した分解履歴情報が、個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判定し、取得した分解履歴情報が、個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致すると判定された場合、ポンプコントローラ２０に実装された許可部（ステップＳ３０７）は、起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、取得した分解履歴情報が、個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致しないと判定された場合、許可部は、起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する。

このような構成を採用するため、上述したものと同様の効果を奏すると共に、さらに以下のような作用効果を奏する。すなわち。ポンプ分解履歴情報の登録や削除は予め決められた管理者のみしかできない構成であるので、例えば、許可されていないメンテナンス業者によって不適切な修理やメンテナンスが行われた場合には、情報サーバ３０のポンプ分解履歴情報の書換えができず、真空ポンプ本体１０の運転が許可されない。そのため、不具合の可能性のある真空ポンプ本体１０が起動されるのを防止することができる。

（３）例えば、上記（１）の真空ポンプ制御システムにおいて、真空ポンプ本体１０を制御するコントローラ２０と、コントローラ２０と接続される情報サーバ３０とを備え、情報サーバ３０は、起動許可すべき複数の真空ポンプ本体１０の個体識別情報を登録する記憶部３２（第１記憶部）を有し、コントローラ２０は、取得部と、取得部によって取得された個体識別情報を情報サーバ３０に送信する通信部２５とを有し、情報サーバ３０は、通信部２５から送信された個体識別情報が、記憶部３２に登録されているか否かを判断し、登録有無の回答信号を、コントローラ２０に送信する通信部３３をさらに有し、コントローラ２０は、通信部３３からの回答信号を参照することにより、取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定部と、許可部と、をさらに有するようにしても良い。

（４）例えば、上記（２）の真空ポンプ制御システムにおいて、真空ポンプ起動制御システムが、真空ポンプ本体１０を制御するコントローラ２０と、コントローラ２０と接続される情報サーバ３０とを備え、情報サーバ３０は、起動許可すべき複数の真空ポンプ本体１０の個体識別情報と、個体識別情報に対応付けて分解履歴情報とを登録する記憶部３２を有し、コントローラ２０は、取得部と、取得部によって取得された個体識別情報および分解履歴情報を、情報サーバ３０に送信する通信部２５とを有し、情報サーバ３０は、記通信部２５から送信された個体識別情報が、記憶部３２に登録されているか否かを判断し、登録されている場合には、通信部２５から送信された分解履歴情報が、個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判断し、登録有無およびポンプ分解履歴についての回答信号を、コントローラ２０に送信する通信部３３をさらに有し、コントローラ２０は、通信部３３からの回答信号を参照することにより、取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否か、および、取得部で取得した分解履歴情報が、個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かを判定する判定部と、許可部と、をさらに有するようにしても良い。

（５）上記（３）または（４）の真空ポンプ制御システムにおいて、真空ポンプ本体１０はポンプ制御情報に基づき駆動制御されるものであり、第１記憶部（記憶部３２）は、個体識別情報に対応付けて、ポンプ制御情報をさらに登録し、第２送信部（通信部３３）は、第１送信部（通信部２５）から送信された個体識別情報に対応付けて第１記憶部（記憶部３２）に登録されているポンプ制御情報を読み出して、コントローラ２０にさらに送信し、コントローラ２０は、第２送信部から送信されたポンプ制御情報を使用して、真空ポンプ本体１０を制御する。その結果、メンテナンスにより真空ポンプ本体１０のポンプ制御情報（制御情報）が変更された場合でも、真空ポンプ本体１０を適切に制御することができる。例えば、制御情報がモータ駆動に関する制御情報であれば、その制御情報に基づいて真空ポンプ本体１０のモータ制御を行い、制御情報が磁気軸受の制御に関する制御情報であれば、その制御情報に基づいて磁気軸受を制御することが可能となる。

上記（１）から（３）までのいずれかの真空ポンプ制御システムとして用いられるポンプコントローラ２０は、上記取得部(ステップＳ１０１)、上記判定部（ステップＳ１０５）、上記許可部(ステップＳ１０８)を有し、真空ポンプ本体１０を駆動制御する。
この形態では、ポンプコントローラ２０単独で、すなわち、サーバなどの外部処理装置を必要とせずに、信頼性の高いアクティベート処理を実行することができ、

上記（１）から（３）までのいずれかの真空ポンプ制御システムとして用いられる外部処理装置である情報サーバ３０は、真空ポンプ本体１０を駆動制御し、取得部(ステップＳ１０１)と許可部（ステップＳ１０８）とを備えたポンプコントローラ２０と通信する通信部３３と、処理部３１とを有する。処理部３１は、通信部３３を介して受信した個体識別情報に一致する個体識別情報があるか否かを判定し、または通信部３３を介して受信した個体識別情報とポンプ分解履歴情報に一致する個体識別情報とポンプ分解履歴情報があるか否かを判定する判定部（ステップＳ２０２、ステップＳ４０２、ステップＳ４０３）を有する。判定部での判定結果を通信部３３を経由してポンプコントローラ２０に送信する。

情報サーバ３０は、ＩＤナンバーと分解履歴情報の両方が一致するとポンプコントローラ２０に登録有と回答するので、ポンプ起動時の安全確認をより確実に行うことができる。この形態の情報サーバ３０とポンプコントローラ２０とで構成する真空ポンプ起動制御装置では、各ポンプコントローラ２０にアクティベート処理機能をそれぞれ実装する必要がなく、また、アクティベート処理機能の変更などをサーバ側で集中して行うことができる。

真空ポンプ装置は、上記（３）に記載の真空ポンプ制御システムのポンプコントローラ２０と、起動対象の真空ポンプ本体１０であって、ポンプ制御情報に基づきモータ制御部２２で制御されるモータ１２を有する真空ポンプ本体１０とで構成することができる。また、真空ポンプ装置は、上記（３）に記載の真空ポンプ制御システムのポンプコントローラ２０と、起動対象の真空ポンプ本体１０であって、ポンプ制御情報に基づき軸受制御部２１で浮上制御される磁気軸受１１を有する真空ポンプ本体１０とで構成することができる。
以上の形態では、メンテナンス作業で制御情報が更新された場合、ポンプ起動時に、指定サービスマンが更新した情報サーバ３０の制御情報をポンプコントローラ２０に取り込み、起動後のポンプ制御に用いられる。したがって、メンテナンスでシャフトなどの部品が交換されても、その後のポンプ駆動制御に新たな制御情報を反映することができる。

上記（１）から（３）までのいずれかの真空ポンプ制御システムの真空ポンプ本体１０は、真空ポンプ本体１０の起動指令が出力され、かつ、ポンプコントローラ２０に実装された許可部が真空ポンプ本体１０の起動を許可しているときに起動され、起動を許可していないときは起動が禁止される。
この形態では、信頼性の高いアクティベート処理を実現する真空ポンプ本体１０を提供できる。

上記（２）の真空ポンプ制御システムの真空ポンプ本体１０は、ポンプの分解を検出する検出部である分解検出器１１７と、検出された分解の履歴を分解履歴情報として記憶する記憶部１３とを有する。
この形態では、分解履歴情報も考慮した信頼性の高いアクティベート処理を実現する真空ポンプ本体１０を提供できる。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、真空ポンプがターボ分子ポンプである場合を例に説明したが、本発明はターボ分子ポンプに限定されない。

１…真空ポンプ制御システム、２…ポンプロータ、５…シャフト、１０…真空ポンプ本体、１１…磁気軸受、１２…モータ、１３，２３，３２…記憶部、２０…ポンプコントローラ、２１…軸受制御部、２２…モータ制御部、２４…表示部、２５，３３…通信部、３０…情報サーバ、３１…処理部、１１７…分解検出器

Claims (8)

1. 起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得部と、
   登録されている起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定部と、
   前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていると判定された場合、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する許可部とを備え、
   前記取得部は、前記起動対象の真空ポンプ本体から、前記個体識別情報に加えてポンプ分解履歴情報を取得し、
   前記判定部は、一致する個体識別情報が登録されていると判定した場合、前記取得部が取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判定し、
   取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致すると判定された場合、前記許可部は、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致しないと判定された場合、前記許可部は、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する、
   真空ポンプ起動制御システム。
2. 起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得部と、
   登録されている起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定部と、
   前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていると判定された場合、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定部によって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する許可部とを備え、
   前記真空ポンプ本体を制御するコントローラと、前記コントローラと接続される情報サーバとを備え、
   前記情報サーバは、
   起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の前記個体識別情報を登録する第１記憶部を有し、
   前記コントローラは、
   前記取得部と、
   前記取得部によって取得された個体識別情報を前記情報サーバに送信する第１送信部とを有し、
   前記情報サーバは、
   前記第１送信部から送信された個体識別情報が、前記第１記憶部に登録されているか否かを判断し、登録有無の回答信号を、前記コントローラに送信する第２送信部をさらに有し、
   前記コントローラは、
   前記第２送信部からの回答信号を参照することにより、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する前記判定部と、
   前記許可部と、をさらに有する、
   真空ポンプ起動制御システム。
3. 請求項１に記載の真空ポンプ起動制御システムにおいて、
   前記真空ポンプ起動制御システムが、前記真空ポンプ本体を制御するコントローラと、前記コントローラと接続される情報サーバとを備え、
   前記情報サーバは、
   起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報と、前記個体識別情報に対応付けて分解履歴情報とを登録する第１記憶部を有し、
   前記コントローラは、
   前記取得部と、
   前記取得部によって取得された個体識別情報および分解履歴情報を、前記情報サーバに送信する第１送信部とを有し、
   前記情報サーバは、
   前記第１送信部から送信された個体識別情報が、前記第１記憶部に登録されているか否かを判断し、登録されている場合には、前記第１送信部から送信された分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判断し、登録有無およびポンプ分解履歴についての回答信号を、前記コントローラに送信する第２送信部をさらに有し、
   前記コントローラは、
   前記第２送信部からの回答信号を参照することにより、前記取得部で取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否か、および、前記取得部で取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かを判定する前記判定部と、
   前記許可部と、をさらに有する、
   真空ポンプ起動制御システム。
4. 請求項２または３に記載の真空ポンプ起動制御システムにおいて、
   前記真空ポンプ本体はポンプ制御情報に基づき駆動制御されるものであり、
   前記第１記憶部は、前記個体識別情報に対応付けて、前記ポンプ制御情報をさらに登録し、
   前記第２送信部は、前記第１送信部から送信された個体識別情報に対応付けて前記第１記憶部に登録されている前記ポンプ制御情報を読み出して、前記コントローラにさらに送信し、
   前記コントローラは、前記第２送信部から送信された前記ポンプ制御情報を使用して、前記真空ポンプ本体を制御する、真空ポンプ起動制御システム。
5. 請求項２から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ起動制御システムに適用される前記コントローラ。
6. 請求項２から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ起動制御システムに適用される前記情報サーバ。
7. 起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得ステップと、
   登録されている起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得ステップで取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定ステップと、
   前記判定ステップによって一致する個体識別情報が登録されていると判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定ステップによって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する起動決定ステップとを含み、
   前記取得ステップは、前記起動対象の真空ポンプ本体から、前記個体識別情報に加えてポンプ分解履歴情報を取得するステップをさらに含み、
   前記判定ステップは、一致する個体識別情報が登録されていると判定した場合、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致するか否かをさらに判定するステップを含み、
   取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致すると判定された場合、前記起動決定ステップは、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、取得した分解履歴情報が、前記個体識別情報に対応付けて登録されているポンプ分解履歴情報に一致しないと判定された場合、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止するステップをさらに含む、
   真空ポンプ起動制御方法。
8. 真空ポンプ起動制御システムにおいて実行される真空ポンプ起動制御方法であって、
   起動対象の真空ポンプ本体から個体識別情報を取得する取得ステップと、
   登録されている起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の個体識別情報の中で、前記取得ステップで取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定する判定ステップと、
   前記判定ステップによって一致する個体識別情報が登録されていると判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を許可し、前記判定ステップによって一致する個体識別情報が登録されていないと判定されると、前記起動対象の真空ポンプ本体の起動を禁止する起動決定ステップとを含み、
   前記真空ポンプ起動制御システムは、前記真空ポンプ本体を制御するコントローラと、前記コントローラと接続される情報サーバとを備え、
   前記情報サーバは、起動許可すべき複数の真空ポンプ本体の前記個体識別情報を登録する第１記憶部を有し、
   前記コントローラは、前記取得ステップを実行し、前記取得ステップにより取得された個体識別情報を前記情報サーバに送信する第１送信部を有し、
   前記情報サーバは、前記第１送信部から送信された個体識別情報が、前記第１記憶部に登録されているか否かを判断し、登録有無の回答信号を、前記コントローラに送信する第２送信部をさらに有し、
   前記コントローラは、前記判定ステップにおいて、前記第２送信部からの回答信号を参照することにより、前記取得ステップで取得した個体識別情報と一致する個体識別情報が登録されているか否かを判定し、前記起動決定ステップをさらに実行する、
   真空ポンプ起動制御方法。

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