JP2005273657A - ターボ分子ポンプのデータ管理方法及びターボ分子ポンプシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】 ターボ分子ポンプに関するデータを可搬型記録媒体に記録し、制御装置の交換時には、可搬型記録媒体を付け替えることにより、引き続きターボ分子ポンプに関するデータを利用することができるターボ分子ポンプのデータ管理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 モータ１１と、該モータ１１の回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する磁気軸受を構成する電磁石１３とを備えたターボ分子ポンプ１の制御を行う電源装置２であって、ターボ分子ポンプ１に関するデータを記録するための可搬型記録媒体２８を着脱可能に、且つ、電気的に接続させるための接続部５０を備える。
【選択図】 図１
【解決手段】 モータ１１と、該モータ１１の回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する磁気軸受を構成する電磁石１３とを備えたターボ分子ポンプ１の制御を行う電源装置２であって、ターボ分子ポンプ１に関するデータを記録するための可搬型記録媒体２８を着脱可能に、且つ、電気的に接続させるための接続部５０を備える。
【選択図】 図１
Description
本発明は、電磁軸受を備えるターボ分子ポンプに関する。
磁気軸受は、従来の流体潤滑軸受よりロスが小さく、軸受のドライ化、雰囲気のクリーン化を図ることができることから、特に、真空状態において有用とされている。
この磁気軸受が多用されるものとして、例えば、ターボ分子ポンプがある。ターボ分子ポンプでは、ロータ部を磁気軸受によって浮遊支持させ、このロータ部にモータの回転動力を非接触で伝達させることにより高速回転させて、真空処理を行う装置である。
このようなターボ分子ポンプでは、ロータ部を回転駆動させるモータの制御の他、ロータ部を適切な浮遊位置に保持させるために、磁気軸受の制御を行う必要がある。
このような磁気軸受を有するターボ分子ポンプについて、例えば、特開２００１−３４９２９５号公報（特許文献１）に示されるものがある。
上記特許文献１には、ターボ分子ポンプに、電磁軸受を構成する電磁石を駆動するための電磁石駆動回路、モータを駆動するためのモータ駆動回路等の駆動回路を設け、これらの駆動回路が外部に設けられた制御装置から伝送されてくる制御信号に基づいて作動することにより、ターボ分子ポンプを適切に運転させる技術が開示されている。
特開２００１−３４９２９５号公報
この磁気軸受が多用されるものとして、例えば、ターボ分子ポンプがある。ターボ分子ポンプでは、ロータ部を磁気軸受によって浮遊支持させ、このロータ部にモータの回転動力を非接触で伝達させることにより高速回転させて、真空処理を行う装置である。
このようなターボ分子ポンプでは、ロータ部を回転駆動させるモータの制御の他、ロータ部を適切な浮遊位置に保持させるために、磁気軸受の制御を行う必要がある。
このような磁気軸受を有するターボ分子ポンプについて、例えば、特開２００１−３４９２９５号公報（特許文献１）に示されるものがある。
上記特許文献１には、ターボ分子ポンプに、電磁軸受を構成する電磁石を駆動するための電磁石駆動回路、モータを駆動するためのモータ駆動回路等の駆動回路を設け、これらの駆動回路が外部に設けられた制御装置から伝送されてくる制御信号に基づいて作動することにより、ターボ分子ポンプを適切に運転させる技術が開示されている。
しかしながら、上記特許文献１の発明では、ターボ分子ポンプにモータ駆動回路や電磁石駆動回路が搭載されているため、ターボ分子ポンプが大型化するという問題があった。また、寿命などによりポンプ本体の交換が必要となった場合、上述の駆動回路も含めた装置全体を交換しなければならないため、費用面でも負担が大きいという問題があった。
更に、一台の制御装置によって機種の異なる複数台のターボ分子ポンプを制御する場合、上記制御装置は、全てのターボ分子ポンプの機種に応じた制御プログラムを備えていなければならない。その上、各ターボ分子ポンプに搭載されているそれぞれのモータ駆動回路や電磁石モータ回路と通信を行う必要もある。従って、非常に煩雑な処理を実行しなければならないという問題があった。
また、上述した特許文献１には、一切の開示・示唆はされていないが、ターボ分子ポンプを運転する場合、メンテナンスや故障時等に備えて、運転状態等に関するデータを管理することが一般的である。
従来は、制御装置等に搭載された記憶装置に各種データを記録することにより、データ管理を行っていた。
しかしながら、例えば、制御装置に故障が生じるなどして、制御装置の交換を余儀なくされた場合、記憶装置を含めた装置全体が交換されることとなる。このため、記憶装置に記録されていたターボ分子ポンプの運転履歴等が全て失われることとなり、制御装置の交換後におけるターボ分子ポンプの運転に、今までの運転履歴を反映することができないという問題が生じていた。
更に、一台の制御装置によって機種の異なる複数台のターボ分子ポンプを制御する場合、上記制御装置は、全てのターボ分子ポンプの機種に応じた制御プログラムを備えていなければならない。その上、各ターボ分子ポンプに搭載されているそれぞれのモータ駆動回路や電磁石モータ回路と通信を行う必要もある。従って、非常に煩雑な処理を実行しなければならないという問題があった。
また、上述した特許文献１には、一切の開示・示唆はされていないが、ターボ分子ポンプを運転する場合、メンテナンスや故障時等に備えて、運転状態等に関するデータを管理することが一般的である。
従来は、制御装置等に搭載された記憶装置に各種データを記録することにより、データ管理を行っていた。
しかしながら、例えば、制御装置に故障が生じるなどして、制御装置の交換を余儀なくされた場合、記憶装置を含めた装置全体が交換されることとなる。このため、記憶装置に記録されていたターボ分子ポンプの運転履歴等が全て失われることとなり、制御装置の交換後におけるターボ分子ポンプの運転に、今までの運転履歴を反映することができないという問題が生じていた。
本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、第１の目的は、ターボ分子ポンプに関するデータを可搬型記録媒体に記録し、制御装置の交換時には、可搬型記録媒体を付け替えることにより、引き続きターボ分子ポンプに関するデータを利用することができるターボ分子ポンプのデータ管理方法を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、ターボ分子ポンプや制御装置等を小型軽量化し、更に、小型軽量化した制御装置をターボ分子ポンプに搭載することにより、１台の電源装置によって複数のターボ分子ポンプを簡単に動作させることができるターボ分子ポンプシステムを提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、ターボ分子ポンプや制御装置等を小型軽量化し、更に、小型軽量化した制御装置をターボ分子ポンプに搭載することにより、１台の電源装置によって複数のターボ分子ポンプを簡単に動作させることができるターボ分子ポンプシステムを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプに関するデータを管理するデータ管理方法であって、前記ターボ分子ポンプを制御する制御装置と電源とを具備する電源装置に対して着脱可能に装着された可搬型記録媒体に、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録させることを特徴とするターボ分子ポンプのデータ管理方法を提供する。
本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプに関するデータを管理するデータ管理方法であって、前記ターボ分子ポンプを制御する制御装置と電源とを具備する電源装置に対して着脱可能に装着された可搬型記録媒体に、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録させることを特徴とするターボ分子ポンプのデータ管理方法を提供する。
本発明によれば、ターボ分子ポンプが備える磁気軸受及びモータを制御する制御装置を搭載するとともに、該制御装置へ所定の電力を供給する電源を備える電源装置に、可搬型記録媒体を着脱可能に装着させ、この可搬型記録媒体にターボ分子ポンプに関するデータを記録させる。
これにより、今まで使用されていたターボ分子ポンプを新しいターボ分子ポンプに交換する場合には、該ターボ分子ポンプに関するデータが記録されていた可搬型記録媒体を新しい可搬型記録媒体に交換することにより、交換前のターボ分子ポンプに関するデータを簡単に全て消し去ることができる。
また、ターボ分子ポンプはそのままで、電源装置のみを取り替える場合には、交換前の電源装置に装着されている可搬型記録媒体を取り外し、取り外した該可搬型記録媒体を新しい電源装置に装着することにより、該ターボ分子ポンプに関するデータを引き続き利用することが可能となる。
前記可搬型記録媒体は、例えば、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等の可搬型記録媒体等である。
これにより、今まで使用されていたターボ分子ポンプを新しいターボ分子ポンプに交換する場合には、該ターボ分子ポンプに関するデータが記録されていた可搬型記録媒体を新しい可搬型記録媒体に交換することにより、交換前のターボ分子ポンプに関するデータを簡単に全て消し去ることができる。
また、ターボ分子ポンプはそのままで、電源装置のみを取り替える場合には、交換前の電源装置に装着されている可搬型記録媒体を取り外し、取り外した該可搬型記録媒体を新しい電源装置に装着することにより、該ターボ分子ポンプに関するデータを引き続き利用することが可能となる。
前記可搬型記録媒体は、例えば、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等の可搬型記録媒体等である。
また、本発明は、モータと、前記モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、前記ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプに関するデータを管理するデータ管理方法であって、前記ターボ分子ポンプを制御する制御装置に対して着脱可能に装着された可搬型記録媒体に、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録させることを特徴とするターボ分子ポンプのデータ管理方法を提供する。
本発明によれば、ターボ分子ポンプが備える磁気軸受及びモータを制御する制御装置に、可搬型記録媒体を着脱可能に装着させ、この可搬型記録媒体にターボ分子ポンプに関するデータを記録させる。
これにより、今まで使用されていたターボ分子ポンプを新しいターボ分子ポンプに交換する場合には、該ターボ分子ポンプに関するデータが記録されていた可搬型記録媒体を新しい可搬型記録媒体に交換することにより、交換前のターボ分子ポンプに関するデータを簡単に全て消し去ることができる。
また、ターボ分子ポンプはそのままで、制御装置のみを取り替える場合には、交換前の装置に装着されている可搬型記録媒体を取り外し、取り外した該可搬型記録媒体を新しい制御装置に装着することにより、該ターボ分子ポンプに関するデータを引き続き利用することが可能となる。
これにより、今まで使用されていたターボ分子ポンプを新しいターボ分子ポンプに交換する場合には、該ターボ分子ポンプに関するデータが記録されていた可搬型記録媒体を新しい可搬型記録媒体に交換することにより、交換前のターボ分子ポンプに関するデータを簡単に全て消し去ることができる。
また、ターボ分子ポンプはそのままで、制御装置のみを取り替える場合には、交換前の装置に装着されている可搬型記録媒体を取り外し、取り外した該可搬型記録媒体を新しい制御装置に装着することにより、該ターボ分子ポンプに関するデータを引き続き利用することが可能となる。
また、上記発明において、前記ターボ分子ポンプに関するデータは、運転履歴に関するデータであることが好ましい。
本発明によれば、運転履歴に関するデータを可搬型記録媒体に記録するので、メンテナンスの時期を決定する場合や、故障時の不具合解析等を行う場合に、これらのデータを有効に利用することができる。
なお、「運転履歴に関するデータ」としては、例えば、ターボ分子ポンプの寿命に影響する要因等があり、具体的には、エラーの履歴、運転時間、運転開始及び停止の回数、停電の回数等が挙げられる。
本発明によれば、運転履歴に関するデータを可搬型記録媒体に記録するので、メンテナンスの時期を決定する場合や、故障時の不具合解析等を行う場合に、これらのデータを有効に利用することができる。
なお、「運転履歴に関するデータ」としては、例えば、ターボ分子ポンプの寿命に影響する要因等があり、具体的には、エラーの履歴、運転時間、運転開始及び停止の回数、停電の回数等が挙げられる。
また、上記発明において、前記ターボ分子ポンプに関するデータは、機種に関するデータであることが好ましい。
本発明によれば、機種に関するデータを可搬型記録媒体に記録するので、当該ターボ分子ポンプの機種を簡単に制御装置又は電源装置に認識させることが可能となる。
また、例えば、一つの制御装置又は電源装置によって、複数のターボ分子ポンプを制御する場合には、可搬型記録媒体に記録されているそれぞれのターボ分子ポンプの機種を認識することにより、個々のターボ分子ポンプに対応した制御を速やかに行うことができる。
なお、上記「機種に関するデータ」とは、制御対象となるターボ分子ポンプの機種を識別するのに必要となるデータであり、例えば、機種毎の定数や、機種を示す所定の識別データ等が挙げられる。
本発明によれば、機種に関するデータを可搬型記録媒体に記録するので、当該ターボ分子ポンプの機種を簡単に制御装置又は電源装置に認識させることが可能となる。
また、例えば、一つの制御装置又は電源装置によって、複数のターボ分子ポンプを制御する場合には、可搬型記録媒体に記録されているそれぞれのターボ分子ポンプの機種を認識することにより、個々のターボ分子ポンプに対応した制御を速やかに行うことができる。
なお、上記「機種に関するデータ」とは、制御対象となるターボ分子ポンプの機種を識別するのに必要となるデータであり、例えば、機種毎の定数や、機種を示す所定の識別データ等が挙げられる。
また、上記発明において、前記制御装置には、当該装置へ電力を供給する外部電源装置と通信を行うための通信手段が設けられていることが好ましい。
制御装置には、上述した電源装置と異なり、電源が搭載されていないため、外部に設けられた電源装置から電力を供給する必要が生ずる。一方、ターボ分子ポンプを最適に制御するためには、電源装置と制御装置との間でデータを交換することが好ましい。
そこで、制御装置と電源装置との間で種々のデータの送受信を行うために、制御装置に電源装置と通信を行うための通信手段を備えることにより、制御を円滑に行うことが可能となる。
なお、制御装置には、上述の通信手段の他、モータに供給する電力を制御するモータ制御手段、及びロータ部を所定の位置に保持させるために、磁気軸受に供給する電力を制御する磁気軸受制御手段等が搭載されている。
制御装置には、上述した電源装置と異なり、電源が搭載されていないため、外部に設けられた電源装置から電力を供給する必要が生ずる。一方、ターボ分子ポンプを最適に制御するためには、電源装置と制御装置との間でデータを交換することが好ましい。
そこで、制御装置と電源装置との間で種々のデータの送受信を行うために、制御装置に電源装置と通信を行うための通信手段を備えることにより、制御を円滑に行うことが可能となる。
なお、制御装置には、上述の通信手段の他、モータに供給する電力を制御するモータ制御手段、及びロータ部を所定の位置に保持させるために、磁気軸受に供給する電力を制御する磁気軸受制御手段等が搭載されている。
また、本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、前記ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプの制御を行う制御装置であって、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録するための記憶手段を着脱可能に、且つ、電気的に接続させるための接続手段を備えることを特徴とするターボ分子ポンプの制御装置を提供する。
また、本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプの制御を行う制御装置と前記ターボ分子ポンプ及び前記制御装置へ電力を供給する電源を搭載する電源装置であって、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録するための記憶手段を着脱可能に、且つ、電気的に接続させるための接続手段を備えることを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置を提供する。
なお、前記記憶手段は、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等の可搬型記録媒体であっても良く、また、該可搬型記録媒体に対してデータを書き込む等の処理を行うドライバを含む構成としても良い。
なお、接続手段は、記憶手段と制御装置とを電気的に接続させる手段であれば足り、特に限定されない。
なお、接続手段は、記憶手段と制御装置とを電気的に接続させる手段であれば足り、特に限定されない。
また、本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部又はステータ部の少なくともいずれか一方に設けられた磁気軸受とを備え、該磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を非接触状態にて高速回転させることにより、所定の負荷作用が行われるターボ分子ポンプの制御装置であって、前記ロータ部を所定の位置に保持させるために、磁気軸受に供給する電力を制御する磁気軸受制御手段と、前記ロータ部の回転を制御するために、前記モータに供給する電力を制御するモータ制御手段と、前記磁気軸受制御手段及び前記モータ制御手段に対して電力を提供するために外部に設けられた電源装置と通信を行う通信手段とを具備することを特徴とするターボ分子ポンプの制御装置を提供する。
また、上記記載のターボ分子ポンプの制御装置は、ターボ分子ポンプに設けられていることを特徴とする。
また、本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を構成するロータ部又はステータ部の少なくともいずれか一方に設けられた磁気軸受とを備え、該磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を非接触状態にて高速回転させることにより、所定の負荷作用が行われるターボ分子ポンプに使用される電源装置であって、前記ターボ分子ポンプを制御する外部に設けられた制御装置へ電力を供給するための電源と、前記制御装置と通信を行う通信手段とを具備することを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置を提供する。
ターボ分子ポンプを制御する場合、ターボ分子ポンプの機種に依存する要素と、依存しない要素がある。例えば、前者の機種に依存する要素としては、磁気軸受を制御する磁気軸受制御手段やモータを制御するモータ制御手段などがあり、依存しない要素としては、電源などがある。
そこで、本発明では、ターボ分子ポンプの機種に依存する手段である磁気軸受制御手段やモータ制御手段を制御装置に搭載し、機種に依存しない電源などは電源装置に搭載することにより、制御装置及び電源装置の小型軽量化、低コスト化を図ることとした。
更に、上記ターボ分子ポンプの制御装置をターボ分子ポンプに設けることにより、ターボ分子ポンプ側でターボ分子ポンプを制御するための全ての制御処理がなされることとなる。これにより、当該ターボ分子ポンプに電源装置を接続し、所定の電力を供給するだけで、簡単にターボ分子ポンプの運転を実現させることが可能となる。また、これにより、一種類の電源装置で複数機種のターボ分子ポンプを非常に容易に運転させることが可能となる。
また、制御装置と電源装置との間のデータの送受を可能とするための通信手段を両装置に設けることにより、ターボ分子ポンプの制御を効率よく行うことが可能となる。また、制御装置と電源装置との間では、例えば、運転モード、エラー発生の有無等のデータがやり取りされる。
そこで、本発明では、ターボ分子ポンプの機種に依存する手段である磁気軸受制御手段やモータ制御手段を制御装置に搭載し、機種に依存しない電源などは電源装置に搭載することにより、制御装置及び電源装置の小型軽量化、低コスト化を図ることとした。
更に、上記ターボ分子ポンプの制御装置をターボ分子ポンプに設けることにより、ターボ分子ポンプ側でターボ分子ポンプを制御するための全ての制御処理がなされることとなる。これにより、当該ターボ分子ポンプに電源装置を接続し、所定の電力を供給するだけで、簡単にターボ分子ポンプの運転を実現させることが可能となる。また、これにより、一種類の電源装置で複数機種のターボ分子ポンプを非常に容易に運転させることが可能となる。
また、制御装置と電源装置との間のデータの送受を可能とするための通信手段を両装置に設けることにより、ターボ分子ポンプの制御を効率よく行うことが可能となる。また、制御装置と電源装置との間では、例えば、運転モード、エラー発生の有無等のデータがやり取りされる。
また、本発明は、モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を構成するロータ部又はステータ部の少なくともいずれか一方に設けられた磁気軸受とを備え、前記磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を非接触状態にて高速回転させることにより、所定の負荷作用が行われるターボ分子ポンプと、請求項８又は請求項９に記載のターボ分子ポンプの制御装置と、請求項１０に記載のターボ分子ポンプの電源装置とを具備するターボ分子ポンプシステムを提供する。
本発明のターボ分子ポンプのデータ管理方法によれば、可搬型記録媒体にターボ分子ポンプのデータを記録して管理するので、ターボ分子ポンプ等の交換に応じて、可搬型記録媒体を脱着させるという作業だけで、ターボ分子ポンプのデータ管理を非常に簡単に行うことができる。
また、本発明は、ターボ分子ポンプの機種に依存する手段である磁気軸受制御手段やモータ制御手段を制御装置に搭載し、機種に依存しない電源などは電源装置に搭載したので、制御装置及び電源装置の小型軽量化、低コスト化を図ることが可能となる。これにより、ターボ分子ポンプや制御装置の交換時における費用削減、作業負担の軽減を実現させることができる。
更に、ターボ分子ポンプの制御装置をターボ分子ポンプに設けることにより、ターボ分子ポンプ側でターボ分子ポンプを制御するための全ての制御処理を行うことができる。これにより、ターボ分子ポンプの制御装置に機種に依存しない汎用の電源装置を接続し、所定の電力を供給するだけで、簡単にターボ分子ポンプの運転を実現させることができる。
また、上述のように電源装置は汎用のものを使用できるため、一種類の電源装置できわめて容易に複数機種のターボ分子ポンプを運転させることができる。
また、本発明は、ターボ分子ポンプの機種に依存する手段である磁気軸受制御手段やモータ制御手段を制御装置に搭載し、機種に依存しない電源などは電源装置に搭載したので、制御装置及び電源装置の小型軽量化、低コスト化を図ることが可能となる。これにより、ターボ分子ポンプや制御装置の交換時における費用削減、作業負担の軽減を実現させることができる。
更に、ターボ分子ポンプの制御装置をターボ分子ポンプに設けることにより、ターボ分子ポンプ側でターボ分子ポンプを制御するための全ての制御処理を行うことができる。これにより、ターボ分子ポンプの制御装置に機種に依存しない汎用の電源装置を接続し、所定の電力を供給するだけで、簡単にターボ分子ポンプの運転を実現させることができる。
また、上述のように電源装置は汎用のものを使用できるため、一種類の電源装置できわめて容易に複数機種のターボ分子ポンプを運転させることができる。
以下に、本発明にかかるターボ分子ポンプシステムについて、図面を参照して説明する。
『第１の実施形態』
図１は、本発明の第１の実施形態に係るターボ分子ポンプシステムの構成を模式的に示したブロック図である。
図１に示すように、本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムは、ターボ分子ポンプ１と、ターボ分子ポンプ１に対して電力を供給するとともに、ターボ分子ポンプ１の特定部位を制御する機能も備える電源装置２とを備えている。
図１におけるターボ分子ポンプ１は、図１及び図３に示されるように、モータ１１と、モータ１１の回転動力が非接触にて伝えられることにより回転されるロータ部１２と、ロータ部１２を浮上支持させるための電磁石（磁気軸受）１３と、ロータ部１２の位置を検出する位置センサ１４とを主な構成要素として備えている。なお、ターボ分子ポンプの詳細な構成、及び動作については、公知技術と同様である。また、符号６については、後述する。
『第１の実施形態』
図１は、本発明の第１の実施形態に係るターボ分子ポンプシステムの構成を模式的に示したブロック図である。
図１に示すように、本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムは、ターボ分子ポンプ１と、ターボ分子ポンプ１に対して電力を供給するとともに、ターボ分子ポンプ１の特定部位を制御する機能も備える電源装置２とを備えている。
図１におけるターボ分子ポンプ１は、図１及び図３に示されるように、モータ１１と、モータ１１の回転動力が非接触にて伝えられることにより回転されるロータ部１２と、ロータ部１２を浮上支持させるための電磁石（磁気軸受）１３と、ロータ部１２の位置を検出する位置センサ１４とを主な構成要素として備えている。なお、ターボ分子ポンプの詳細な構成、及び動作については、公知技術と同様である。また、符号６については、後述する。
電源装置２において、磁気軸受制御回路（磁気軸受制御手段）２１には、位置センサ１４からの検出信号が信号線３１を介して伝送される。磁気軸受制御回路２１は、この検出信号に基づいて、ターボ分子ポンプ１内のロータ部１２（図３参照）を最適な位置に浮遊支持させるための軸受制御信号を演算し、この軸受制御信号を磁気軸受駆動回路２２へ出力する。
磁気軸受駆動回路２２は、軸受制御回路２１から伝達された軸受制御信号に基づいて、磁気軸受駆動電源２３から電力線４０を介して供給される駆動電力のオン／オフ制御を行い、この駆動電力を電力線３２を介してターボ分子ポンプ１内の電磁石１３へ供給する。これにより、位置センサ１４の検出信号に基づくフィードバック制御が行われ、電磁石１３の磁力を最適に制御することにより、ロータ部１２を適切な位置に浮遊支持することができる。
磁気軸受駆動回路２２は、軸受制御回路２１から伝達された軸受制御信号に基づいて、磁気軸受駆動電源２３から電力線４０を介して供給される駆動電力のオン／オフ制御を行い、この駆動電力を電力線３２を介してターボ分子ポンプ１内の電磁石１３へ供給する。これにより、位置センサ１４の検出信号に基づくフィードバック制御が行われ、電磁石１３の磁力を最適に制御することにより、ロータ部１２を適切な位置に浮遊支持することができる。
モータ制御回路（モータ制御手段）２４は、モータ１１に設けられている電流センサ（図示略）からの検出信号に基づき、モータ１１を適切な回転数で駆動するためのモータ制御信号を演算し、このモータ制御信号を電源制御回路２７及びモータ駆動回路２５へ出力する。
電源制御回路２７は、伝送されてきたモータ制御信号に基づく電源制御信号をモータ駆動電源（電源）２６へ出力する。これにより、モータ駆動電源２６が電源制御信号に基づいて動作することにより、安定した適切な電力をモータ駆動回路２５へ出力することが可能となる。
一方、モータ制御回路２４からモータ制御信号を受信したモータ駆動回路２５は、モータ制御回路２４から伝達されたモータ制御信号に基づいて、モータ駆動電源２６から電力線４１を介して供給される駆動電力のオン／オフ制御を行い、この駆動電力を電力線３３を介してターボ分子ポンプ１内のモータ１１へ供給する。これにより、モータ１１に設けられたモータ電流センサによる検出値に基づくフィードバック制御が行われ、モータ１１の回転を最適な回転数に制御することができる。
電源制御回路２７は、伝送されてきたモータ制御信号に基づく電源制御信号をモータ駆動電源（電源）２６へ出力する。これにより、モータ駆動電源２６が電源制御信号に基づいて動作することにより、安定した適切な電力をモータ駆動回路２５へ出力することが可能となる。
一方、モータ制御回路２４からモータ制御信号を受信したモータ駆動回路２５は、モータ制御回路２４から伝達されたモータ制御信号に基づいて、モータ駆動電源２６から電力線４１を介して供給される駆動電力のオン／オフ制御を行い、この駆動電力を電力線３３を介してターボ分子ポンプ１内のモータ１１へ供給する。これにより、モータ１１に設けられたモータ電流センサによる検出値に基づくフィードバック制御が行われ、モータ１１の回転を最適な回転数に制御することができる。
また、本実施形態における電源装置２は、ターボ分子ポンプ１に関するデータを記録するための可搬型記録媒体（記憶手段）を着脱可能に且つ電気的に接続させるための接続部（接続手段）５０を備えている。この接続部５０は、例えば、コネクタやスロットなどである。この接続部５０に可搬型記録媒体２８を所定の向きに差し込むことにより、可搬型記録媒体２８と電源装置２内の回路とが電気的に接続される。ここで、可搬型記録媒体２８は、電源装置２に着脱可能に装着されるものであり、例えば、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等である。また、この可搬型記録媒体２８は、ドライバ（図示略）と接続されている。このドライバは、可搬型記録媒体２８にデータを書き込む処理、及びデータを読み出す処理を行うものである。
磁気軸受制御回路２１やモータ制御回路２４は、このドライバ（図示略）に対してデータを書き込む旨の信号や読み出す旨の信号を出すことにより、可搬型記録媒体２８に対してデータの追加、変更、削除処理を行うことができると共に、可搬型記録媒体２８に記録されている所定のデータを読み出し、参照等することができる。
磁気軸受制御回路２１やモータ制御回路２４は、このドライバ（図示略）に対してデータを書き込む旨の信号や読み出す旨の信号を出すことにより、可搬型記録媒体２８に対してデータの追加、変更、削除処理を行うことができると共に、可搬型記録媒体２８に記録されている所定のデータを読み出し、参照等することができる。
次に、本発明の特徴であるこの可搬型記録媒体２８に記録させる種々のデータについて説明する。なお、可搬型記録媒体２８は、ターボ分子ポンプと一対一対応して備えられているものである。また、可搬型記録媒体２８へのデータの書き込み処理は、上述したように、磁気軸受制御回路２１やモータ制御回路２４が所定の信号を図示しないドライバへ出力することにより、実現されるものとする。
まず、可搬型記録媒体２８には、運転履歴に関するデータが記録される。
具体的には、ターボ分子ポンプの運転を開始した時刻、及び停止した時刻が毎回書き込まれる。このように、運転開始時間と停止時間とが記録されることにより、通算の運転時間を算出することが可能となる。
また、ターボ分子ポンプ１に異常が発生した場合には、その異常に関する詳細なデータが記録される。例えば、異常が発生した時刻、異常の発生箇所、異常の種類、異常による停止時間、メンテナンスに関する情報等が書き込まれる。
このように、運転履歴に関するデータを可搬型記録媒体に記録しておくことにより、メンテナンスの時期を決定する場合や、故障時の不具合解析等を行う場合に、これらのデータを有効に利用することができる。
なお、異常に関する詳細なデータについては、上述のように電源装置２により自動的に記録される他、例えば、図示しない外部入力装置から操作員等がデータを入力することにより、この入力データが可搬型記録媒体２８に記録されるような構成としても良い。
更に、可搬型記録媒体２８には、上述の運転履歴に関するデータの他、当該可搬型記録媒体２８と対となるターボ分子ポンプ１の機種データが記録されている。この機種データについては、可搬型記録媒体２８を電源装置２に装着する前に予め記録されているものであっても良いし、また、電源装置２がターボ分子ポンプ１の機種を判別する機能を備えている場合には、可搬型記録媒体２８が電源装置２に装着された後に、上記機種判別結果を自動的に記録するようにしても良い。
まず、可搬型記録媒体２８には、運転履歴に関するデータが記録される。
具体的には、ターボ分子ポンプの運転を開始した時刻、及び停止した時刻が毎回書き込まれる。このように、運転開始時間と停止時間とが記録されることにより、通算の運転時間を算出することが可能となる。
また、ターボ分子ポンプ１に異常が発生した場合には、その異常に関する詳細なデータが記録される。例えば、異常が発生した時刻、異常の発生箇所、異常の種類、異常による停止時間、メンテナンスに関する情報等が書き込まれる。
このように、運転履歴に関するデータを可搬型記録媒体に記録しておくことにより、メンテナンスの時期を決定する場合や、故障時の不具合解析等を行う場合に、これらのデータを有効に利用することができる。
なお、異常に関する詳細なデータについては、上述のように電源装置２により自動的に記録される他、例えば、図示しない外部入力装置から操作員等がデータを入力することにより、この入力データが可搬型記録媒体２８に記録されるような構成としても良い。
更に、可搬型記録媒体２８には、上述の運転履歴に関するデータの他、当該可搬型記録媒体２８と対となるターボ分子ポンプ１の機種データが記録されている。この機種データについては、可搬型記録媒体２８を電源装置２に装着する前に予め記録されているものであっても良いし、また、電源装置２がターボ分子ポンプ１の機種を判別する機能を備えている場合には、可搬型記録媒体２８が電源装置２に装着された後に、上記機種判別結果を自動的に記録するようにしても良い。
次に、ターボ分子ポンプのみの交換時における可搬型記録媒体２８の取り扱い、及び、電源装置２の交換時における可搬型記録媒体２８の取り扱いについて説明する。
まず、寿命等の原因により、ターボ分子ポンプを交換しなければならない場合、ターボ分子ポンプ１の交換に合わせて、可搬型記録媒体２８も新しいものに交換することとなる。従って、まず、古いターボ分子ポンプ１のデータが書き込まれた可搬型記録媒体２８を電源装置２から取り外し、新しいターボ分子ポンプ１に対応する新しい可搬型記録媒体２８を電源装置２の接続部５０に接続する。
これにより、交換前のターボ分子ポンプ１に関するデータを簡単に全て消し去ることができる。また、電源装置２に新たに装着された当該可搬型記録媒体２８に、初期情報として、新しいターボ分子ポンプの属性データが書き込まれている場合には、新しいターボ分子ポンプの初回運転時において、磁気軸受制御回路２１やモータ制御回路２４が可搬型記録媒体２８に記録されているターボ分子ポンプ１の機種データをドライバを介して取得する。これにより、これから運転しようとしているターボ分子ポンプ１の機種を簡単に認識でき、即時的に当該ポンプに適合した制御を行うことが可能となる。
まず、寿命等の原因により、ターボ分子ポンプを交換しなければならない場合、ターボ分子ポンプ１の交換に合わせて、可搬型記録媒体２８も新しいものに交換することとなる。従って、まず、古いターボ分子ポンプ１のデータが書き込まれた可搬型記録媒体２８を電源装置２から取り外し、新しいターボ分子ポンプ１に対応する新しい可搬型記録媒体２８を電源装置２の接続部５０に接続する。
これにより、交換前のターボ分子ポンプ１に関するデータを簡単に全て消し去ることができる。また、電源装置２に新たに装着された当該可搬型記録媒体２８に、初期情報として、新しいターボ分子ポンプの属性データが書き込まれている場合には、新しいターボ分子ポンプの初回運転時において、磁気軸受制御回路２１やモータ制御回路２４が可搬型記録媒体２８に記録されているターボ分子ポンプ１の機種データをドライバを介して取得する。これにより、これから運転しようとしているターボ分子ポンプ１の機種を簡単に認識でき、即時的に当該ポンプに適合した制御を行うことが可能となる。
次に、電源装置２の一部に故障が生じ、電源装置２全体を交換する必要が生じた場合には、ターボ分子ポンプ１はそのままで、電源装置２のみ取り替える。
この場合、交換前の電源装置２に装着されている可搬型記録媒体２８、即ち、今まで運転していたターボ分子ポンプ１の運転履歴に関するデータ及び機種データが記録されている可搬型記録媒体２８を取り外し、取り外した該可搬型記録媒体２８を新しい電源装置２の接続部５０に接続する。これにより、新しい電源装置２においてもターボ分子ポンプ１に関するデータを引き続き利用することが可能となる。
この場合、交換前の電源装置２に装着されている可搬型記録媒体２８、即ち、今まで運転していたターボ分子ポンプ１の運転履歴に関するデータ及び機種データが記録されている可搬型記録媒体２８を取り外し、取り外した該可搬型記録媒体２８を新しい電源装置２の接続部５０に接続する。これにより、新しい電源装置２においてもターボ分子ポンプ１に関するデータを引き続き利用することが可能となる。
以上説明してきたように、本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムによれば、可搬型記録媒体２８にターボ分子ポンプ１のデータを記録して管理するので、電源装置２の交換時には、可搬型記録媒体２８を付け替えることにより、引き続きターボ分子ポンプ１に関するデータを利用することができる。
なお、上述した磁気軸受制御回路２１、磁気軸受駆動回路２２、モータ制御回路２４、モータ駆動回路２５、電源制御回路２７は、これら回路の機能を実現させるための各種プログラムをＣＰＵ等の中央演算処理装置がＲＯＭやＲＡＭ等の主記憶装置から読み出し、情報の加工・演算処理を実行することにより、実現されるような構成としてもよい。
また、本実施形態においては、可搬型記録媒体２８にデータ等を書き込むドライバを電源装置２内に設けていたが、これに限られず、例えば、可搬型記録媒体２８とドライバとを備えた記録装置を接続部５０に接続するような構成としても良い。通常、可搬型記録媒体とドライバとはそれぞれ対応するものでなければならないところ、可搬型記録媒体とドライバとを備える記録装置を接続可能にすることによって、可搬型記録媒体の機種に依存することなく、どのような種類の記録装置であっても、データを書き込むことが可能となる。
なお、上述した磁気軸受制御回路２１、磁気軸受駆動回路２２、モータ制御回路２４、モータ駆動回路２５、電源制御回路２７は、これら回路の機能を実現させるための各種プログラムをＣＰＵ等の中央演算処理装置がＲＯＭやＲＡＭ等の主記憶装置から読み出し、情報の加工・演算処理を実行することにより、実現されるような構成としてもよい。
また、本実施形態においては、可搬型記録媒体２８にデータ等を書き込むドライバを電源装置２内に設けていたが、これに限られず、例えば、可搬型記録媒体２８とドライバとを備えた記録装置を接続部５０に接続するような構成としても良い。通常、可搬型記録媒体とドライバとはそれぞれ対応するものでなければならないところ、可搬型記録媒体とドライバとを備える記録装置を接続可能にすることによって、可搬型記録媒体の機種に依存することなく、どのような種類の記録装置であっても、データを書き込むことが可能となる。
『第２の実施形態』
次に、本発明の第２の実施形態に係るターボ分子ポンプシステムについて、図２を参照して説明する。
本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムが第１の実施形態と異なる点は、図１に示した第１の実施形態に係る電源装置２の各構成要素をターボ分子ポンプ１の機種に依存する要素と依存しない要素とに分け、依存する要素からなる装置を制御装置とし、依存しない要素からなる装置を電源装置３とした点である。
具体的には、図２に示すように、本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムでは、ターボ分子ポンプ１の機種に依存する要素（回路）である磁気軸受制御回路２１、モータ制御回路２４をはじめとする各種回路を制御装置４に搭載し、機種に依存しない電源制御回路２７、磁気軸受駆動電源２３、モータ駆動電源２６を電源装置３に搭載する。
そして、電源装置３内の磁気軸受駆動電源２３と制御装置４内の磁気軸受駆動回路２２との間を電力線４０により接続することにより、電力を磁気軸受駆動回路２２へ供給する。同様に、電源装置３内のモータ駆動電源２６とモータ駆動回路２５との間を電力線４１により接続することによって、電源装置３から電力を供給する。
更に、電源制御回路２７と磁気軸受制御回路２１との間のデータのやり取りに関しては、電源装置３及び制御装置４のそれぞれに通信回路３０、２９を設け、この通信回路を介して所定のデータを送受することにより、図１に示した第１の実施形態に係る電源装置２の機能をそのまま実現させる。
更に、上記制御装置４をターボ分子ポンプ１に着脱可能に装着する。具体的には、図３に示すように、ターボ分子ポンプ１の下部に設けられている制御装置の装着部６に、制御装置４を着脱可能に装着させる。これにより、ターボ分子ポンプ１において、当該ポンプを制御するための全ての制御処理が行われることとなる。
次に、本発明の第２の実施形態に係るターボ分子ポンプシステムについて、図２を参照して説明する。
本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムが第１の実施形態と異なる点は、図１に示した第１の実施形態に係る電源装置２の各構成要素をターボ分子ポンプ１の機種に依存する要素と依存しない要素とに分け、依存する要素からなる装置を制御装置とし、依存しない要素からなる装置を電源装置３とした点である。
具体的には、図２に示すように、本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムでは、ターボ分子ポンプ１の機種に依存する要素（回路）である磁気軸受制御回路２１、モータ制御回路２４をはじめとする各種回路を制御装置４に搭載し、機種に依存しない電源制御回路２７、磁気軸受駆動電源２３、モータ駆動電源２６を電源装置３に搭載する。
そして、電源装置３内の磁気軸受駆動電源２３と制御装置４内の磁気軸受駆動回路２２との間を電力線４０により接続することにより、電力を磁気軸受駆動回路２２へ供給する。同様に、電源装置３内のモータ駆動電源２６とモータ駆動回路２５との間を電力線４１により接続することによって、電源装置３から電力を供給する。
更に、電源制御回路２７と磁気軸受制御回路２１との間のデータのやり取りに関しては、電源装置３及び制御装置４のそれぞれに通信回路３０、２９を設け、この通信回路を介して所定のデータを送受することにより、図１に示した第１の実施形態に係る電源装置２の機能をそのまま実現させる。
更に、上記制御装置４をターボ分子ポンプ１に着脱可能に装着する。具体的には、図３に示すように、ターボ分子ポンプ１の下部に設けられている制御装置の装着部６に、制御装置４を着脱可能に装着させる。これにより、ターボ分子ポンプ１において、当該ポンプを制御するための全ての制御処理が行われることとなる。
以上説明したように、本実施形態に係るターボ分子ポンプシステムによれば、ターボ分子ポンプ１の機種に依存する要素である磁気軸受制御回路２１やモータ制御回路２４を制御装置４に搭載し、機種に依存しない電源制御回路２７などは電源装置３に搭載したので、制御装置４及び電源装置３の小型軽量化、低コスト化を図ることが可能となる。これにより、ターボ分子ポンプ１や制御装置４の交換時における費用削減、作業負担の軽減を実現させることができる。
更に、上記制御装置４をターボ分子ポンプ１に設けることにより、ターボ分子ポンプ１側でターボ分子ポンプ１を制御するための全ての制御処理を行うことができる。これにより、制御装置４に機種に依存しない汎用の電源装置３を接続し、所定の電力を供給するだけで、簡単にターボ分子ポンプ１の運転を実現させることができる。
また、上述のように電源装置３は汎用のものを使用できるため、一種類の電源装置３によって、きわめて容易に複数機種のターボ分子ポンプ１を運転させることも可能となる。
更に、この制御装置４は、ターボ分子ポンプ１に対して着脱可能に装着されているため、ターボ分子ポンプ１が故障した場合などにおいては、当該制御装置４を取り外して新しいターボ分子ポンプ１に装着すればよいので、制御装置４を購入する必要がなく、費用を削減することができる。
同様に、制御装置４が故障したときには、制御装置４のみを付け替えればいいため、ターボ分子ポンプ１全体を買い換える場合に比べて、大幅に費用を削減することができる。
更に、上記制御装置４をターボ分子ポンプ１に設けることにより、ターボ分子ポンプ１側でターボ分子ポンプ１を制御するための全ての制御処理を行うことができる。これにより、制御装置４に機種に依存しない汎用の電源装置３を接続し、所定の電力を供給するだけで、簡単にターボ分子ポンプ１の運転を実現させることができる。
また、上述のように電源装置３は汎用のものを使用できるため、一種類の電源装置３によって、きわめて容易に複数機種のターボ分子ポンプ１を運転させることも可能となる。
更に、この制御装置４は、ターボ分子ポンプ１に対して着脱可能に装着されているため、ターボ分子ポンプ１が故障した場合などにおいては、当該制御装置４を取り外して新しいターボ分子ポンプ１に装着すればよいので、制御装置４を購入する必要がなく、費用を削減することができる。
同様に、制御装置４が故障したときには、制御装置４のみを付け替えればいいため、ターボ分子ポンプ１全体を買い換える場合に比べて、大幅に費用を削減することができる。
１ ターボ分子ポンプ
２、３ 電源装置
３ 制御装置
１１ モータ
１２ ロータ部
１３ 磁気軸受（電磁石）
１４ 位置センサ
２１ 磁気軸受制御回路
２４ モータ制御回路
２７ 電源制御回路
２８ 可搬型記録媒体
２９、３０ 通信回路
５０ 接続部
２、３ 電源装置
３ 制御装置
１１ モータ
１２ ロータ部
１３ 磁気軸受（電磁石）
１４ 位置センサ
２１ 磁気軸受制御回路
２４ モータ制御回路
２７ 電源制御回路
２８ 可搬型記録媒体
２９、３０ 通信回路
５０ 接続部
Claims (11)
- モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプに関するデータを管理するデータ管理方法であって、
前記ターボ分子ポンプを制御する制御装置と電源とを具備する電源装置に対して着脱可能に装着された可搬型記録媒体に、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録させることを特徴とするターボ分子ポンプのデータ管理方法。 - モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプに関するデータを管理するデータ管理方法であって、
前記ターボ分子ポンプを制御する制御装置に対して着脱可能に装着された可搬型記録媒体に、前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録させることを特徴とするターボ分子ポンプのデータ管理方法。 - 前記ターボ分子ポンプに関するデータは、運転履歴に関するデータであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のターボ分子ポンプのデータ管理方法。
- 前記ターボ分子ポンプに関するデータは、機種に関するデータであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のターボ分子ポンプのデータ管理方法。
- 前記制御装置には、当該装置へ電力を供給する外部電源装置と通信を行うための通信手段が設けられていることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれかの項に記載のターボ分子ポンプのデータ管理方法。
- モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプの制御を行う制御装置であって、
前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録するための記憶手段を着脱可能に、且つ、電気的に接続させるための接続手段を備えることを特徴とするターボ分子ポンプの制御装置。 - モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を支持する軸受とを備えたターボ分子ポンプの制御を行う制御装置と前記ターボ分子ポンプ及び前記制御装置へ電力を供給する電源を搭載する電源装置であって、
前記ターボ分子ポンプに関するデータを記録するための記憶手段を着脱可能に、且つ、電気的に接続させるための接続手段を備えることを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置。 - モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部又はステータ部の少なくともいずれか一方に設けられた磁気軸受とを備え、該磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を非接触状態にて高速回転させることにより、所定の負荷作用が行われるターボ分子ポンプの制御装置であって、
前記ロータ部を所定の位置に保持させるために、磁気軸受に供給する電力を制御する磁気軸受制御手段と、
前記ロータ部の回転を制御するために、前記モータに供給する電力を制御するモータ制御手段と、
前記磁気軸受制御手段及び前記モータ制御手段に対して電力を提供するために外部に設けられた電源装置と通信を行う通信手段と
を具備することを特徴とするターボ分子ポンプの制御装置。 - 前記ターボ分子ポンプに設けられていることを特徴とする請求項８に記載のターボ分子ポンプの制御装置。
- モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を構成するロータ部又はステータ部の少なくともいずれか一方に設けられた磁気軸受とを備え、前記磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を非接触状態にて高速回転させることにより、所定の負荷作用が行われるターボ分子ポンプに使用される電源装置であって、
前記ターボ分子ポンプを制御する外部に設けられた制御装置へ電力を供給するための電源と、
前記制御装置と通信を行う通信手段と
を具備することを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置。 - モータと、該モータの回転動力が伝えられることにより回転されるロータ部と、該ロータ部を構成するロータ部又はステータ部の少なくともいずれか一方に設けられた磁気軸受とを備え、前記磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を非接触状態にて高速回転させることにより、所定の負荷作用が行われるターボ分子ポンプと、
請求項８又は請求項９に記載のターボ分子ポンプの制御装置と、
請求項１０に記載のターボ分子ポンプの電源装置と
を具備することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005051581A JP2005273657A (ja) | 2004-02-27 | 2005-02-25 | ターボ分子ポンプのデータ管理方法及びターボ分子ポンプシステム |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004055331 | 2004-02-27 | ||
| JP2005051581A JP2005273657A (ja) | 2004-02-27 | 2005-02-25 | ターボ分子ポンプのデータ管理方法及びターボ分子ポンプシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005273657A true JP2005273657A (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=35173583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005051581A Withdrawn JP2005273657A (ja) | 2004-02-27 | 2005-02-25 | ターボ分子ポンプのデータ管理方法及びターボ分子ポンプシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005273657A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012081726A1 (ja) * | 2010-12-17 | 2012-06-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| WO2021166777A1 (ja) * | 2020-02-19 | 2021-08-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及びコントローラ |
-
2005
- 2005-02-25 JP JP2005051581A patent/JP2005273657A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012081726A1 (ja) * | 2010-12-17 | 2012-06-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| CN103261698A (zh) * | 2010-12-17 | 2013-08-21 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
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| WO2021166777A1 (ja) * | 2020-02-19 | 2021-08-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及びコントローラ |
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