JPH07111194B2 - 空冷式タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
空冷式タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH07111194B2 JPH07111194B2 JP60152762A JP15276285A JPH07111194B2 JP H07111194 B2 JPH07111194 B2 JP H07111194B2 JP 60152762 A JP60152762 A JP 60152762A JP 15276285 A JP15276285 A JP 15276285A JP H07111194 B2 JPH07111194 B2 JP H07111194B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- fan
- molecular pump
- turbo molecular
- oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は空冷式ターボ分子ポンプに関するものである。
［従来の技術］ ターボ分子ポンプは、ロータ室内にロータ翼とステータ
翼とを交互に配して構成されるターボ機構で気体分子を
機械的に吹き飛ばして排気するようにしたもので、超高
真空を得ることができるのが特徴である。
翼とを交互に配して構成されるターボ機構で気体分子を
機械的に吹き飛ばして排気するようにしたもので、超高
真空を得ることができるのが特徴である。
ところで、この種ポンプでは、そのロータ翼をロータ室
内で高速回転させるロータ駆動軸を、ロータ室と隔てら
れたポンプ本体の機械室内で軸受により回転自由に支え
るようにしかつ内蔵モータで回転駆動力を与えるように
するとともに、この機械室に必要なオイルを貯留するオ
イルタンクを付帯しているのが普通である。すなわち、
オイルタンク内には軸受の潤滑油と冷媒を兼ねて所要量
のオイルが貯えられており、ポンプの作動時には軸受に
オイルタンクから絶えず新鮮なオイルが供給されて最適
潤滑状態が付与されるとともに、軸受から溢出したオイ
ルを機械室内を通してタンクに戻し、軸受及びモータが
発生する熱を奪いとって機械室内の過熱を防止するよう
にしている。そして、空冷式ターボ分子ポンプの場合で
は、さらにこのオイルタンクに付設してあるファンでタ
ンクを強制空冷し、タンク中のオイルの油温上昇を防止
するようにしている。
内で高速回転させるロータ駆動軸を、ロータ室と隔てら
れたポンプ本体の機械室内で軸受により回転自由に支え
るようにしかつ内蔵モータで回転駆動力を与えるように
するとともに、この機械室に必要なオイルを貯留するオ
イルタンクを付帯しているのが普通である。すなわち、
オイルタンク内には軸受の潤滑油と冷媒を兼ねて所要量
のオイルが貯えられており、ポンプの作動時には軸受に
オイルタンクから絶えず新鮮なオイルが供給されて最適
潤滑状態が付与されるとともに、軸受から溢出したオイ
ルを機械室内を通してタンクに戻し、軸受及びモータが
発生する熱を奪いとって機械室内の過熱を防止するよう
にしている。そして、空冷式ターボ分子ポンプの場合で
は、さらにこのオイルタンクに付設してあるファンでタ
ンクを強制空冷し、タンク中のオイルの油温上昇を防止
するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］ ところが、このような空冷式ターボ分子ポンプでは、万
一その空冷ファンが何らかの原因で有効に作動しない
と、タンク中のオイルの油温が上昇し、ひいては機械室
内の温度が異常に上昇して軸受に焼付を起すなどのトラ
ブルを生じ、ファンの不作動状態で長時間運転を持続す
れば、その到達圧力が低下するなどの性能劣化を来た
し、著しくは軸受が焼損してターボ分子ポンプの本体そ
のものが作動不能に陥る。そして、このような事故は往
往に発生しているところであり、このために高価なター
ボ分子ポンプの廃棄取替処分を余儀なくされたり、場合
によっては故障したターボ分子ポンプが組込まれている
真空装置までも故障してしまうという不都合を生じてい
る。
一その空冷ファンが何らかの原因で有効に作動しない
と、タンク中のオイルの油温が上昇し、ひいては機械室
内の温度が異常に上昇して軸受に焼付を起すなどのトラ
ブルを生じ、ファンの不作動状態で長時間運転を持続す
れば、その到達圧力が低下するなどの性能劣化を来た
し、著しくは軸受が焼損してターボ分子ポンプの本体そ
のものが作動不能に陥る。そして、このような事故は往
往に発生しているところであり、このために高価なター
ボ分子ポンプの廃棄取替処分を余儀なくされたり、場合
によっては故障したターボ分子ポンプが組込まれている
真空装置までも故障してしまうという不都合を生じてい
る。
このような事故を引起す空冷ファンの故障の原因につい
てみると、例えばファンに異物が詰まって回転不能とな
る機械的原因の他、ファンの給電ラインにおける断線な
ど電気系統の事故に起因する原因、さらに最もやっかい
な故障原因として空冷ファンに給電するためのファンコ
ードの接続忘れという人為的な原因が挙げられる（空冷
式ターボ分子ポンプでは本体と空冷ファンの電源コード
は通常別々であり、空冷ファンに給電されなくとも本体
は独立して作動できるように構成されている）。
てみると、例えばファンに異物が詰まって回転不能とな
る機械的原因の他、ファンの給電ラインにおける断線な
ど電気系統の事故に起因する原因、さらに最もやっかい
な故障原因として空冷ファンに給電するためのファンコ
ードの接続忘れという人為的な原因が挙げられる（空冷
式ターボ分子ポンプでは本体と空冷ファンの電源コード
は通常別々であり、空冷ファンに給電されなくとも本体
は独立して作動できるように構成されている）。
しかし、その原因が上記の何れであれ、最も重要なこと
は、ポンプの運転時において空冷ファンが正常に作動し
ていない使用状態が起きた場合、その異常を一刻も早く
察知できるようにすることである。しかるに、従来この
種のターボ分子ポンプでは、空冷ファンの異常を知るた
めの手段は別段設けられておらず、これがために前述の
ような大事故の発生を未然に防止できないものとなって
いた。
は、ポンプの運転時において空冷ファンが正常に作動し
ていない使用状態が起きた場合、その異常を一刻も早く
察知できるようにすることである。しかるに、従来この
種のターボ分子ポンプでは、空冷ファンの異常を知るた
めの手段は別段設けられておらず、これがために前述の
ような大事故の発生を未然に防止できないものとなって
いた。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、このような事情に着目して、その故障原因の
如何を問わず空冷ファンの異常に起因するターボ分子ポ
ンプの事故発生を確実に防止することを目的とし、この
ために、ターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポン
プ本体の軸受の潤滑油を兼ねる冷却用オイルを貯留する
オイルタンクと、このオイルタンクを冷却する空冷ファ
ンと、この空冷ファンの回転状態を検出するファンセン
サとを備え、このファンセンサに接続されている信号ラ
インから回転の異常を示す異常信号が出力されたときに
警報器を作動させまたはポンプを停止するように構成さ
れていることを特徴とする空冷式ターボ分子ポンプを提
供するものである。
如何を問わず空冷ファンの異常に起因するターボ分子ポ
ンプの事故発生を確実に防止することを目的とし、この
ために、ターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポン
プ本体の軸受の潤滑油を兼ねる冷却用オイルを貯留する
オイルタンクと、このオイルタンクを冷却する空冷ファ
ンと、この空冷ファンの回転状態を検出するファンセン
サとを備え、このファンセンサに接続されている信号ラ
インから回転の異常を示す異常信号が出力されたときに
警報器を作動させまたはポンプを停止するように構成さ
れていることを特徴とする空冷式ターボ分子ポンプを提
供するものである。
［作用］ このようなファンセンサを具備したものであれば、空冷
ファンに故障等を来たしたような場合、ファンセンサか
らの出力信号を入力してその異常を報知するシステムや
ターボ分子ポンプ本体を自動的に作動停止させるシステ
ムを採ることによって、空冷ファンの異常に起因するタ
ーボ分子ポンプの故障を確実に回避することができる。
ファンに故障等を来たしたような場合、ファンセンサか
らの出力信号を入力してその異常を報知するシステムや
ターボ分子ポンプ本体を自動的に作動停止させるシステ
ムを採ることによって、空冷ファンの異常に起因するタ
ーボ分子ポンプの故障を確実に回避することができる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明に係る空冷式ターボ分子ポンプの構成例
を示し、ターボ分子ポンプ本体１と、この本体１の機械
室Ｂに連設したオイルタンク２と、このタンク２を冷却
する空冷ファン３とを具備している。ターボ分子ポンプ
本体１は、上方のロータ室Ａにおいてロータ４の外周面
から突設したロータ翼4aをステータ５の内周面から突設
したステータ翼5aと交互に配置してタービン翼列を構成
している一方、下方の機械室Ｂにおいて前記ロータ４を
高速回転する駆動軸９を回転駆動するためのモータ6a,6
bを設置し、かつ該機械室Ｂ内の上下二箇所で軸受（ボ
ールベアリング）７、８により駆動軸９を回転自由に支
えている。そして、この機械室Ｂに連接して潤滑兼冷却
用のオイルｏを貯留するオイルタンク２を設け、このタ
ンク２内に下端が浸漬される駆動軸９の内部を通して吸
い上げられるオイルが前記軸受７、８に逐次供給され、
さらに機械室Ｂ内を通ってタンク２に戻されるようにな
っている。そして又、このオイルタンク２の下端には、
オイルタンク２の外壁面にファンｆの送風を当てタンク
即ちタンク２中のオイルｏを冷却する空冷ファン３が、
図示しない駆動源と共に付設されている。なお、Ｉはこ
のポンプの吸気口であり、IIは同じく排気口である。
を示し、ターボ分子ポンプ本体１と、この本体１の機械
室Ｂに連設したオイルタンク２と、このタンク２を冷却
する空冷ファン３とを具備している。ターボ分子ポンプ
本体１は、上方のロータ室Ａにおいてロータ４の外周面
から突設したロータ翼4aをステータ５の内周面から突設
したステータ翼5aと交互に配置してタービン翼列を構成
している一方、下方の機械室Ｂにおいて前記ロータ４を
高速回転する駆動軸９を回転駆動するためのモータ6a,6
bを設置し、かつ該機械室Ｂ内の上下二箇所で軸受（ボ
ールベアリング）７、８により駆動軸９を回転自由に支
えている。そして、この機械室Ｂに連接して潤滑兼冷却
用のオイルｏを貯留するオイルタンク２を設け、このタ
ンク２内に下端が浸漬される駆動軸９の内部を通して吸
い上げられるオイルが前記軸受７、８に逐次供給され、
さらに機械室Ｂ内を通ってタンク２に戻されるようにな
っている。そして又、このオイルタンク２の下端には、
オイルタンク２の外壁面にファンｆの送風を当てタンク
即ちタンク２中のオイルｏを冷却する空冷ファン３が、
図示しない駆動源と共に付設されている。なお、Ｉはこ
のポンプの吸気口であり、IIは同じく排気口である。
かかる構成の空冷式ターボ分子ポンプにおける前記空冷
ファン３には、そのファンｆの回転状態を検出するファ
ンセンサ11を付設している。このファンセンサ11は、図
示の例においては、例えばファンｆの回転に伴なう磁束
変化をパルス電圧の変化を通して直接検出しこれを設定
回転数と比較してその異常を検知するタイプのものを使
用する場合を示している。しかして、このファンセンサ
11を具備してなる空冷式ターボ分子ポンプでは、第２図
に示すように、その本体１及び空冷ファン３が常法の如
く別体の電源ユニット12と給電ラインａ、ｂをもって接
続され所要の作動電力が入力されるようになっていると
ともに、この電源ユニット12とファンセンサ11とが２対
のラインｃ、ｄで接続されている。その片方のラインｃ
は、センサ11の検出動作に必要な電力を供給する給電ラ
インであり、他方のラインｄはセンサ11がファンｆに正
常な回転状態を検知しているときには正常信号を、また
その回転状態に異常を検知したときには異常信号を電源
ユニット12に出力する信号ラインである。そして、電源
ユニット12内には、給電ラインａからターボ分子ポンプ
本体１に電力が送られているとき即ち本体１が作動運転
状態にあることを検知しているときにおいて、信号ライ
ンｄから異常信号を入力している場合のみならず、信号
ラインｄ、給電ラインｂまたはｃのいずれか一つでも導
通が遮断された状態にあることを検知した場合には、こ
れに付設した警報機13から警報を発信するように仕組ま
れた判別回路が内蔵されている。
ファン３には、そのファンｆの回転状態を検出するファ
ンセンサ11を付設している。このファンセンサ11は、図
示の例においては、例えばファンｆの回転に伴なう磁束
変化をパルス電圧の変化を通して直接検出しこれを設定
回転数と比較してその異常を検知するタイプのものを使
用する場合を示している。しかして、このファンセンサ
11を具備してなる空冷式ターボ分子ポンプでは、第２図
に示すように、その本体１及び空冷ファン３が常法の如
く別体の電源ユニット12と給電ラインａ、ｂをもって接
続され所要の作動電力が入力されるようになっていると
ともに、この電源ユニット12とファンセンサ11とが２対
のラインｃ、ｄで接続されている。その片方のラインｃ
は、センサ11の検出動作に必要な電力を供給する給電ラ
インであり、他方のラインｄはセンサ11がファンｆに正
常な回転状態を検知しているときには正常信号を、また
その回転状態に異常を検知したときには異常信号を電源
ユニット12に出力する信号ラインである。そして、電源
ユニット12内には、給電ラインａからターボ分子ポンプ
本体１に電力が送られているとき即ち本体１が作動運転
状態にあることを検知しているときにおいて、信号ライ
ンｄから異常信号を入力している場合のみならず、信号
ラインｄ、給電ラインｂまたはｃのいずれか一つでも導
通が遮断された状態にあることを検知した場合には、こ
れに付設した警報機13から警報を発信するように仕組ま
れた判別回路が内蔵されている。
このように構成されたものであれば、例えばその空冷フ
ァン３が故障してもこれに付設したファンセンサ11がそ
の異常を検知し、センサ11の出力信号に応答して前記電
源ユニット12の判別回路が警報を報知し、それを即座に
察知することができる。また、上記の警報システムでは
空冷ファン３が故障した場合のみならず、空冷ファン３
やファンセンサ11へのコード接続忘れまたはそれらの断
線事故等を生じた場合にもその異常を報知してくれる。
すなわち、現実に空冷ファン３に故障を発生した場合だ
けでなく、ターボ分子ポンプの無冷却運転につながる全
ての異常を報知してくれるのであって、それ故運転時に
警報を生じた場合には点検を行ない必要な部品の修理、
取替えや所定のコード接続を行なって常時正常な空冷運
転を確保することができるものとなる。
ァン３が故障してもこれに付設したファンセンサ11がそ
の異常を検知し、センサ11の出力信号に応答して前記電
源ユニット12の判別回路が警報を報知し、それを即座に
察知することができる。また、上記の警報システムでは
空冷ファン３が故障した場合のみならず、空冷ファン３
やファンセンサ11へのコード接続忘れまたはそれらの断
線事故等を生じた場合にもその異常を報知してくれる。
すなわち、現実に空冷ファン３に故障を発生した場合だ
けでなく、ターボ分子ポンプの無冷却運転につながる全
ての異常を報知してくれるのであって、それ故運転時に
警報を生じた場合には点検を行ない必要な部品の修理、
取替えや所定のコード接続を行なって常時正常な空冷運
転を確保することができるものとなる。
本発明は、上記の実施例をその好適な一例とするが、次
のような諸点で変形実施することができる。まず、空冷
ファンに付設するファンセンサは、必ずしも実施例のよ
うにファンの回転を直接検出するタイプのものでなくと
もよく、例えば風圧やオイルの油温から間接的にその回
転状態を検出するようにしたものでもよい。また、実施
例ではファンセンサの出力信号を入力して警報を発する
システムを採用しているが、さらに進めて同時にターボ
分子ポンプ本体の作動を停止するようにしてもよい。
のような諸点で変形実施することができる。まず、空冷
ファンに付設するファンセンサは、必ずしも実施例のよ
うにファンの回転を直接検出するタイプのものでなくと
もよく、例えば風圧やオイルの油温から間接的にその回
転状態を検出するようにしたものでもよい。また、実施
例ではファンセンサの出力信号を入力して警報を発する
システムを採用しているが、さらに進めて同時にターボ
分子ポンプ本体の作動を停止するようにしてもよい。
［発明の効果］ 本発明は、以上のような構成を具備してなるものである
から、その空冷ファンの故障等に起因してオイルタンク
に必要な冷却が行なわれずに誤って運転され、このため
にターボ分子ポンプが性能劣化したり故障する事故の発
生を確実に防止することができるものである。
から、その空冷ファンの故障等に起因してオイルタンク
に必要な冷却が行なわれずに誤って運転され、このため
にターボ分子ポンプが性能劣化したり故障する事故の発
生を確実に防止することができるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す空冷式ターボ分子ポン
プの一部破断側面図であり、第２図はその警報システム
を示す概略図である。 １……ターボ分子ポンプ本体 ２……オイルタンク ３……空冷ファン 11……ファンセンサ ｄ……信号ライン ｏ……オイル
プの一部破断側面図であり、第２図はその警報システム
を示す概略図である。 １……ターボ分子ポンプ本体 ２……オイルタンク ３……空冷ファン 11……ファンセンサ ｄ……信号ライン ｏ……オイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西川 秀人 京都府京都市右京区西院追分町25番地 株 式会社島津製作所五条工場内 (72)発明者 古市 靖孝 京都府京都市右京区西院追分町25番地 株 式会社島津製作所五条工場内 (72)発明者 田村 直行 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者 山本 秀之 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (56)参考文献 実開 昭62−14997（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】ターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子
ポンプ本体の軸受の潤滑油を兼ねる冷却用オイルを貯留
するオイルタンクと、このオイルタンクを冷却する空冷
ファンと、この空冷ファンの回転状態を検出するファン
センサとを備え、このファンセンサに接続されている信
号ラインから回転の異常を示す異常信号が出力されたと
きに警報器を作動させまたはポンプを停止するように構
成されていることを特徴とする空冷式ターボ分子ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152762A JPH07111194B2 (ja) | 1985-07-10 | 1985-07-10 | 空冷式タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152762A JPH07111194B2 (ja) | 1985-07-10 | 1985-07-10 | 空冷式タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6213796A JPS6213796A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH07111194B2 true JPH07111194B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=15547591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60152762A Expired - Lifetime JPH07111194B2 (ja) | 1985-07-10 | 1985-07-10 | 空冷式タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111194B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994000694A1 (de) * | 1992-06-19 | 1994-01-06 | Leybold Aktiengesellschaft | Gasreibungsvakuumpumpe |
| JP3250532B2 (ja) | 1998-11-24 | 2002-01-28 | 日本電気株式会社 | データ送受信システム、データ受信装置、及びデータ受信方法 |
| JP5555901B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-07-23 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ装置の制御装置 |
| WO2019013118A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
| JP6942610B2 (ja) * | 2017-07-14 | 2021-09-29 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0649120Y2 (ja) * | 1985-07-08 | 1994-12-12 | 株式会社島津製作所 | フアンセンサ |
-
1985
- 1985-07-10 JP JP60152762A patent/JPH07111194B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6213796A (ja) | 1987-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |