CN103258775B - 固定夹具 - Google Patents
固定夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103258775B CN103258775B CN201310008871.3A CN201310008871A CN103258775B CN 103258775 B CN103258775 B CN 103258775B CN 201310008871 A CN201310008871 A CN 201310008871A CN 103258775 B CN103258775 B CN 103258775B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixture
- monocrystal silicon
- sidewall
- stationary fixture
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Abstract
本发明揭示了一种固定夹具,包括底座、安装在所述底座上若干侧壁、安装在所述侧壁上的导向柱以及安装在所述导向柱上的盖体,所述若干侧壁包括固定安装在所述底座侧缘上第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及活动安装在所述底座侧缘的第四侧壁。与现有技术相比,本发明所述固定夹具能够将刚被胶水粘接起来的晶硅夹具、树酯以及单晶硅固定在所述固定夹具里,避免在外力的作用下变得歪斜,同时还便于晶硅夹具、树酯以及单晶硅从所述固定夹具里抽出。
Description
技术领域
本发明涉及一种固定夹具,尤其涉及一种用于实现单晶硅自动粘接的单晶硅粘接机的固定夹具。
背景技术
在生产制造硅片时,需要将用来固定单晶硅的晶硅夹具、树酯以及单晶硅通过胶水按序粘接起来。硅片刚刚生产出来时,胶水尚未凝固,此时,粘接在树酯上硅片很容易因外力(例如操作员工的误碰、搬运过程与其它物体的轻轻碰撞)的作用而歪斜,使得刚刚生产出来的合格硅片变成不合格的硅片。
鉴于上述问题,有必要提供一种固定夹具,以解决上述问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明解决的技术问题是提供一种固定夹具,该固定夹具能够将刚被胶水粘接起来的晶硅夹具、树酯以及单晶硅固定在所述固定夹具里,避免在外力的作用下变得歪斜,同时还便于晶硅夹具、树酯以及单晶硅从所述固定夹具里抽出。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是这样实现的:
一种固定夹具,用于单晶硅粘接机,包括底座、安装在所述底座上若干侧壁、安装在所述侧壁上的导向柱以及安装在所述导向柱上的盖体,所述若干侧壁包括固定安装在所述底座侧缘上第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及活动安装在所述底座侧缘的第四侧壁。
进一步地,所述第一侧壁与所述第三侧壁平行设置,所述第二侧壁与所述第四侧壁平行设置。
进一步地,所述第一侧壁、第三侧壁的内侧分别设置有安装轨道。
进一步地,所述安装轨道的截面呈V形。
本发明的有益效果是:相较于现有技术,本发明所述固定夹具能够将刚被胶水粘接起来的晶硅夹具、树酯以及单晶硅固定在所述固定夹具里,避免在外力的作用下变得歪斜,同时还便于晶硅夹具、树酯以及单晶硅从所述固定夹具里抽出。
附图说明
图1为本发明单晶硅粘接机的立体示意图。
图2为图1所示单晶硅粘接机的另一视角的立体示意图。
图3为图1所示单晶硅粘接机的固定夹具的立体示意图。
图4为图1所示单晶硅粘接机的固定夹具的另一视角的立体示意图。
图5为图1所示单晶硅粘接机的晶硅夹具上料系统、工作台以及出料系统的立体示意图。
图6为图1所示单晶硅粘接机的晶硅夹具上料系统、工作台以及出料系统的另一视角的立体示意图。
图7为图1所示单晶硅粘接机的树酯上料系统的立体示意图。
图8为图1所示单晶硅粘接机的树酯夹具的立体示意图。
图9为图1所示单晶硅粘接机的单晶硅上料系统的立体示意图。
图10为图1所示单晶硅粘接机的拼料夹具的立体示意图。
图11为图1所示单晶硅粘接机的固定夹具、晶硅夹具上料系统、树酯上料系统、单晶硅上料系统、操作系统以及出料系统的立体示意图。
图12为图1所示单晶硅粘接机的固定夹具、晶硅夹具上料系统、树酯上料系统、单晶硅上料系统、操作系统以及出料系统的另一视角的立体示意图。
图13为图1所示单晶硅粘接机的工作台以及固定夹具的立体示意图。
图14为图1所示单晶硅粘接机的工作台的底座和滑动系统的立体示意图。
图15为图1所示单晶硅粘接机的收纳夹具系统的立体示意图。
图16为图1所示单晶硅粘接机的收纳夹具系统的另一视角的立体示意图。
图17为图1所示单晶硅粘接机的单晶硅上料系统和收纳夹具系统的立体示意图。
图18为图1所示单晶硅粘接机的机械手系统的立体示意图。
图19为图1所示单晶硅粘接机的机械手系统的另一视角的立体示意图。
图20为图1所示单晶硅粘接机的点胶系统的立体示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。
在生产制造硅片时,需要将用来固定单晶硅的晶硅夹具、树酯以及单晶硅通过胶水按序粘接起来。请参阅图1并结合图2所示,本发明单晶硅粘接机100实现了晶硅夹具、树酯以及单晶硅粘接自动化。所述单晶硅粘接机100包括用来固定晶硅夹具的固定夹具10、晶硅夹具上料系统20、树酯上料系统30、单晶硅上料系统40、与所述晶硅夹具上料系统20和树酯上料系统30相连接的操作系统50、与所述操作系统50相连接的出料系统60以及用来容纳所述操作系统50的柜体70,所述晶硅夹具上料系统20以及所述单晶硅上料系统40位于所述柜体70的同一侧,所述出料系统60位于所述柜体70的另一侧,所述树酯上料系统30位于所述柜体70内。
请参阅图3并结合图4所示,所述固定夹具10用来固定晶硅夹具,其包括底座11、固定安装在所述底座11侧缘的第一侧壁12、第二侧壁13和第三侧壁14、活动地安装在所述底座11侧缘的第四侧壁15、安装在所述第一侧壁12和第二侧壁13上的导向柱17、安装在所述第一侧壁12上并临近所述导向柱17的定位部18以及与所述导向柱17相配合的盖体19。所述第一侧壁12与所述第三侧壁14平行设置,所述第二侧壁13与所述第四侧壁15平行设置,所述第四侧壁15是活动安装在所述底座11上,可以打开。所述第一侧壁12、所述第三侧壁14的内侧分别设置有安装轨道121和安装轨道141,所述安装轨道121、141的截面图形呈“V”形。当使用所述固定夹具10时,晶硅夹具放置在所述安装轨道121、141上,并可以在所述安装轨道121、141上滑动。所述第一侧壁12、第三侧壁14以及第四侧壁15上开设有通孔16,以便节省材料。所述导向柱17的高度略大于晶硅夹具、树酯以及单晶硅的高度之和,在本实施例中,所述导向柱17为四根。所述定位部18包括定位座体181、定位钉182、安装在所述定位座体181上的定位件184、紧邻着所述定位座体181的定位槽185以及位于所述定位槽185下方并靠近所述底座11的固定槽186,所述定位座体181上开设有螺纹孔183,所述螺纹孔183紧邻着所述定位件184,所述定位钉182安装在所述螺纹孔183内,所述定位槽185呈“U”形状。通过旋转所述定位钉182,所述定位钉182可以沿着所述螺纹孔的方向前后移动。在本实施例中,所述螺纹钉182为两个,且两个螺纹钉182的长度不一。所述盖体19包括盖板191、安装在所述盖板191一侧的定位套192以及安装在所述盖板191一侧的定位块193,所述定位套192与所述定位块193位于所述盖板191的同一侧面。所述定位套192中间设置有一圆孔(未图示),以便所述定位套192套在所述导向柱17上,从而在水平方向上将所述盖体19固定住。所述定位块193朝向所述盖板191中心的一侧设置有倾斜面194。
请参阅图5并结合图6所示,所述晶硅夹具上料系统20包括支架21、安装在所述支架21上的传送部22、安装在所述支架21底部的动力系统23以及安装在所述支架21一端的位置传感器24以及阻挡气缸25。所述支架21包括两块平行设置的安装板211以及用来支撑所述安装板211的支撑脚212,所述安装板211包括进料端213和与所述进料端213相对设置的出料端214。所述传送部22用来传送放置有晶硅夹具的固定夹具10,所述传送部22是由若干滚轮221组成。所述动力动力系统23为电机,用来给所述滚轮221提供动力,以便所述滚轮221转动。所述位置传感器24安装在所述出料端214的外侧,用来感应位于所述出料端214处的滚轮221上是否具有所述固定夹具10以及所述固定夹具10是否垂直于所述安装板211。所述阻挡气缸25安装在所述出料端214内侧的底部,用来阻挡所述固定夹具10,以防所述固定夹具10在所述滚轮221的作用下滑出所述出料端214。当使用所述晶硅夹具上料系统20时,首先将所述阻挡气缸25的活塞伸出并高出所述滚轮221,然后将放置有晶硅夹具的固定夹具10放置在所述滚轮221上,所述滚轮221在所述动力系统23的作用下转动,并带动所述固定夹具10向前移动。所述固定夹具10向前移动至所述出料端214处被所述阻挡气缸25的活塞阻挡。然后,所述位置感应器24感应所述固定夹具10是否垂直于所述安装板211。若所述固定夹具10垂直于所述安装板211,则所述动力系统23对所述滚轮221停止供应动力;若所述固定夹具10不垂直于所述安装板211,则所述动力系统23继续对所述滚轮221供应动力,使得所述固定夹具10在所述滚轮221的作用下不停地调整位置,直至所述固定夹具10垂直于所述安装板211,这时所述动力系统23才停止向所述滚轮221供应动力。
请参阅图7所示,所述树酯上料系统30安装在所述柜体70内,其包括底座31、安装在所述底座31上的丝杠系统32、安装在所述丝杠系统32上的承载板33、用来放置树酯的树酯夹具34以及固定安装在所述丝杠系统32上的校正板35。所述底座31呈板状,安装在所述柜体70上。所述丝杠系统32包括丝杠座321、安装在所述丝杠座321上的丝杠322、安装在所述丝杠座321上的滑轨323以及安装在所述滑轨323上的滑块324,所述滑块324可以在所述丝杠322的作用下沿着所述滑轨323滑动。所述承载板33安装在所述滑块324上,从而使得所述承载板33在所述滑块324的带动下可以沿着所述滑轨323移动。所述承载板33包括进料部331和中转部332,所述进料部331用来放置树酯夹具34,所述中转部332设置有固定柱333。所述校正板35固定安装在所述丝杠座321上,并正好把所述进料部331包围,从而确保树酯夹具能够以正确的位置放在所述承载板33的进料部331,即防止所述树酯夹具34歪斜地放置在所述进料部331处。请参阅图8所示,所述树酯夹具34包括夹具体341以及安装在所述夹具体341上的手柄342,所述手柄342可以绕着所述夹具体341旋转,从而便于操作人员提取所述树酯夹具34。
请参阅图9所示,所述单晶硅上料系统40包括支架41、安装在所述支架41上的传送部42、安装在所述支架41上并横跨所述传送部42的校正部43、安装在所述支架41底部的动力系统44以及安装在所述支架41一端的位置感应器45。所述支架41包括进料端411以及与所述进料端411相对设置的出料端412。所述传送部42采用皮带式传送,其包括滚轮(未图示)以及安装在所述滚轮上的皮带421。所述校正部43靠近所述出料端412,其截面图形呈U形,横跨所述传送部42。所述动力系统44为电机,用来为所述传送部42提供动力,从而使得所述皮带421能够绕着所述传送部42的滚轮转动,达到输送单晶硅的目的。所述位置感应器45安装在所述出料端412的外侧,用来感应所述皮带421上是否具有单晶硅以及单晶硅是否以正确的方式放置在所述皮带421上。当使用所述单晶硅上料系统40时,首先将单晶硅从所述进料端411处放置在所述皮带421上,然后所述动力系统44带动所述皮带421转动,所述皮带421带着位于其上的单晶硅移动。单晶硅在所述皮带421的带动下穿过所述校正部43,若单晶硅出现歪斜现象,则单晶硅无法通过所述校正部43。当单晶硅移动到所述出料端412时,所述位置感应器45将感应到单晶硅,并控制所述动力系统44停止向所述传送部42供应动力。当所述位置感应器45未感应到单晶硅时,所述位置感应器45控制所述动力系统44向所述传送部42供应动力,使得所述传送部42将单晶硅运输到所述出料端412。
请参阅图10所示,当需要运输小的单晶硅时,需要用到一种拼料夹具46。所述拼料夹具46用来固定两块小的单晶硅,所述两块小的单晶硅的长度和等于所述拼料夹具46的长度。所述拼料夹具46包括底座461、安装在所述底座461上的支撑板462,所述支撑板462位于所述底座461的两侧以及安装在所述底座461上并位于所述支撑板462的外侧的侧壁463。所述底座461呈“日”字形,其上开设有两个开口464。当使用所述拼料夹具46时,先将两块小的单晶硅放置在所述拼料夹具46内并固定好,然后将放置有单晶硅的拼料夹具46从所述进料端411处放置在所述皮带421上,所述拼料夹具46在所述皮带421的带动下运动到所述出料端412。
请参阅图11并结合图12所示,所述操作系统50包括工作台51、收纳夹具系统52、机械手系统53以及点胶系统54,所述收纳夹具系统52用来取出单晶硅上的拼料夹具46,所述机械手系统53用来搬运晶硅夹具、树酯、单晶硅等,所述点胶系统54用来给晶硅夹具、树酯点胶。
请参阅图13并结合图3、图11、图12、图14所示,所述工作台51包括底座511、安装在所述底座511上的滑动系统512以及安装在所述底座511上并位于所述滑动系统512两侧的定位系统513。所述底座511的两端分别固定安装在所述晶硅夹具上料系统20和所述出料系统60上。所述滑动系统512包括固定安装在所述底座511上的侧壁5121、安装在所述侧壁5121上的若干滚轮5122、固定安装在所述底座511上并位于所述滚轮5122下方的丝杠5123、安装在所述丝杠5123上并可在所述丝杠5123的作用下沿着所述丝杠5123前后滑动的传动块5124以及固定安装在所述传动块5124上的滑块5125。所述侧壁5121上设置有滑槽5126以及固定安装在所述侧壁5121上并位于所述侧壁5121外侧的滑轨5127。所述滑轨5127的截面图形呈V形,所述传动块5124的两端位于所述滑槽5126内,从而使得所述传动块5124可以沿着所述滑槽5126滑动。所述滚轮5122为无动力滚轮。所述传动块5124呈矩形状。所述滑块5125包括用以与所述滑轨5127相配合的呈U形的扣槽5128、用以与所述传动块5124相配合的固定槽5129以及与所述固定夹具10的固定槽186相配合的固定块5120。所述扣槽5128与所述滑轨5127相配合,从而使得所述滑块5125能够在所述滑轨5127上自由滑动。所述固定槽5129呈U形,其用来与所述传动块5124配合,从而使得所述滑块5125与所述传动块5124紧紧地固定在一起。所述定位系统513包括支撑模块5131、滑动模块5132以及定位模块5133。所述支撑模块5131包括安装在所述底座511上的支撑架51311以及安装在所述支撑架51311上的加强肋51312。所述滑动模块5132包括安装在所述支撑架51311上的底座51321、安装在所述底座51321底部的动力模块51322、安装在所述底座51321上部的滑轨51323以及安装在所述滑轨51323上的滑块51324,所述滑块51324可以在所述动力模块51322的作用下沿着所述滑轨51323移动。所述定位模块5133包括安装在所述滑块51324上的支撑板51331、安装在所述支撑板51331上的固定块51332、安装在所述支撑板51331上的气缸51333以及安装在所述气缸51333的活塞上的定位部51334。所述支撑板51331可以在所述滑块51324的作用下沿着所述滑轨51323移动。所述固定块51332与所述固定夹具10的定位槽185相配合,以便将所述固定夹具10与所述定位模块5133固定在一起。所述定位部51334可在所述气缸51333的作用下做往复运动。所述定位部51334包括定位座体51335、定位钉51336以及安装在所述定位座体51335上的定位件51337。所述定位座体51335上开设有螺纹孔(未图示),所述定位钉51336安装在所述螺纹孔内。所述定位件51337安装在所述定位座体51335上,并邻近所述定位钉51336。当使用所述工作台51时,所述固定夹具10被所述晶硅夹具上料系统20送进所述工作台51上,并被所述固定块5120固定。然后,所述固定夹具10在所述丝杠5123的作用下沿着所述滑轨5127在所述滚轮5122上移动。当需要固定所述固定夹具10时,所述定位系统513将把所述固定夹具10固定;当不需要固定所述固定夹具10时,所述定位系统513将打开,然后所述固定夹具10在所述丝杠5123的作用下沿着所述滑轨5127在所述滚轮5122上移动,并进入所述出料系统60。
请参阅图15并结合图11、图12以及图16所示,所述收纳夹具系统52包括底座521、安装在所述底座521上的并用来收纳所述拼料夹具46的搁架522、安装在所述底座521上并且位于所述搁架522下方的第一气缸模块523、安装在所述底座521底部的第二气缸模块524以及安装在所述底座521上部的晶硅检测器525。所述底座521与所述单晶硅上料系统40相邻接,其上设置有通孔5211。所述搁架522包括搁架座5221以及安装在所述搁架座5221上的支撑柱5222。所述搁架座5221上设置有通孔(未图示)以及位于所述通孔两侧的开槽5228,所述支撑柱5222共有四个,其上设置有阻挡部5223。所述阻挡部5223包括安装在所述支撑柱5222上的旋转轴5224以及可以绕所述旋转轴5224旋转的阻挡块5225。所述阻挡块5225包括与所述搁架座5221相对的第一表面5226以及与所述第一表面相背的第二表面5227。所述阻挡块5225可以从所述第二表面5227平行于所述搁架座5221的状态旋转到所述第二表面5227垂直于所述搁架座5221的状态。当所述第二表面5227平行于所述搁架座5221时,所述第一表面5226与所述搁架座5221之间形成夹角,且所述第一平面5226与所述第二平面5227之间的距离由远离所述旋转轴5224的一端到靠近所述旋转轴5224的另一端逐渐增大。所述第一气缸模块523包括第一气缸5231以及安装在所述第一气缸5231的活塞上的推块5232,所述推块5232上设置有旋转块5233,所述旋转块5233可绕着所述推块5232旋转。所述旋转块5233与所述第一气缸5231相对的一侧为平面,与所述第一气缸5231相背的一侧为凸弧面。所述第二气缸模块524包括第二气缸5241以及推块5242,所述第二气缸5241的活塞穿过所述底座521上的通孔5211和所述搁架座5221上的通孔后与所述推块5242固定在一起。所述晶硅检测器525用来检测所述单晶硅上料系统40传送的单晶硅是否为拼接单晶硅。若所述单晶硅上料系统40传送的单晶硅是拼接单晶硅则所述收纳夹具系统52将会工作并将所述拼料夹具46收集起来;若所述单晶硅上料系统40传送的单晶硅不是拼接单晶硅则所述收纳夹具系统52将不会工作。请参阅图17所示,当使用所述收纳夹具系统52时,所述单晶硅上料系统40会将单晶硅传送到所述出料端412,此时所述晶硅检测器525将会对单晶硅进行检测,若单晶硅不是拼接单晶硅则所述机械手系统53将直接把单晶硅取走;若单晶硅时拼接单晶硅则所述机械手系统53取走单晶硅后,所述收纳夹具系统52将会工作并将用来放置拼接单晶硅的拼料夹具46回收。首先,所述第二气缸5241将会通过所述推块5242将位于所述搁架522上的拼料夹具46向上推,并使得所述拼料夹具46被所述阻挡部5223阻挡,使得所述拼料夹具46不能回落;然后,位于所述传送部42上的拼料夹具46将会在所述传送部42的作用下滑到所述搁架522的搁架座5221上,与此同时所述旋转块5233将位于所述开口464内;接着,所述第一气缸5231将会通过所述推块5232拉动所述拼料夹具46,使得所述拼料夹具46完全位于所述搁架522的搁架座5221上。这样就完成了所述拼料夹具46的回收。
请参阅图18并结合图19所示,所述机械手系统53包括支架531、安装在所述支架531上的轨道系统532、安装在所述支架531上的丝杠系统533以及机械手模块534。所述支架531安装在所述收纳夹具系统52的底座521和所述树酯上料系统30的底座31上,其横跨所述收纳夹具系统52、所述工作台51以及所述树酯上料系统30。所述轨道系统532包括滑轨以及安装在所述滑轨上的滑块,所述滑轨的截面图形呈V形,所述滑块可以在所述滑轨上自由滑动。所述丝杠系统533包括丝杠5331以及安装在所述丝杠5331上的滑块5332,所述滑块5332可以在所述丝杠5331的作用下沿着所述丝杠5331移动。所述机械手模块534包括安装座5341、安装在所述安装座5341上的第一气缸5342、安装在所述第一气缸5342的活塞上的第一安装块5343、安装在所述第一安装块5343上的第二气缸5344、安装在所述第二气缸5344的活塞上的第二安装块5345以及安装在所述第一安装块5343上的清洗机5349。所述安装座5341安装在所述滑块5332上,使得所述安装座5341可以在所述滑块5332的作用下滑动。所述安装座5341上设置有通孔5346,所述第一气缸5342的活塞穿过所述通孔5346与所述第一安装块5343固定在一起。所述第一安装块5343上设置有第一吸盘5347,所述第一吸盘5347共有三个。所述第一吸盘5347用来吸附单晶硅、固定夹具、树酯等。所述第二气缸5344安装在所述第一安装块5343的一侧,所述第二安装块5345安装在所述第二气缸5344的活塞上。所述第二安装块5345上设置有第二吸盘5348,所述第二吸盘5348的数量为两个。所述第二吸盘5348用来吸附较小的单晶硅。所述清洗机5349安装在所述第一安装块5343上并位于所述第一吸盘5347的旁边,所述清洗机5349用来对单晶硅进行清洗,所述清洗机5349所用的洗涤剂为酒精。使用时,所述第一吸盘5347可以在所述第一气缸5342的作用下进行上下运动,所述第二吸盘5348可以在所述第二气缸5344的作用下进行上下运动。所述第一吸盘5347、第二吸盘5348在断气、断电的情况下依然具有强大的吸附力,放置被吸附在所述第一吸盘5347、第二吸盘5348上的单晶硅、树酯夹具等物品掉落。
请参阅图20并结合图12所示,所述点胶系统54安装在所述机械手系统53的支架531上,其包括安装在所述机械手系统53的支架531上的第一丝杠系统541、安装在所述第一丝杠系统541上的第二丝杠系统545、安装在所述第二丝杠系统545上的安装架542、安装在所述安装架542上的点胶机543以及安装在所述点胶机543喷头上的混胶头544。所述第二丝杠系统545可以在所述第一丝杠系统541的作用下沿着所述第一丝杠系统541做往复运动。所述安装架542大致呈V形,其可以在所述第二丝杠系统545的作用下沿着所述第二丝杠系统545做往复运动,从而使得所述点胶机543可以沿着所述第二丝杠系统545做往复运动。所述点胶机543包括第一点胶机5431以及第二点胶机5432,所述第一点胶机5431、所述第二点胶机5432都将胶水喷到所述混胶头544里,使得胶水均与混合后,从所述混胶头544中喷出并点在晶硅夹具、树酯、单晶硅上。
请参阅图12所示,所述出料系统60与所述工作台51对接,其包括支架61、安装在所述支架61上的滚轮62以及安装在所述支架61底部的动力系统63,所述滚轮62可以在所述动力系统63的作用下滚动,所述动力系统63为电机。使用时,所述工作台51将成品运送到所述出料系统60的滚轮62上,所述成品在所述滚轮62的作用下被运送出来。
请参阅图1所示,所述柜体70用来收容所述操作系统50,其上设置有旋转臂71以及安装在所述旋转臂71上的控制系统72。所述旋转臂71大致呈L形,所述控制系统72采用触摸的方式进行输入。
相较于现有技术,本发明所述的单晶硅粘接机100可以实现晶硅夹具、树酯以及单晶硅的自动粘接,从而可以加快生产速度、节省人力、降低生产成本。
特别需要指出,对于本领域的普通技术人员来说,在本发明的教导下所作的针对本发明的等效变化,仍应包含在本发明申请专利范围所主张的范围中。
Claims (4)
1.一种固定夹具,用于单晶硅粘接机,其特征在于:所述固定夹具包括底座、安装在所述底座上若干侧壁、安装在所述侧壁上的导向柱以及安装在所述导向柱上的盖体,所述若干侧壁包括固定安装在所述底座侧缘上第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及活动安装在所述底座侧缘的第四侧壁。
2.如权利要求1所述的固定夹具,其特征在于:所述第一侧壁与所述第三侧壁平行设置,所述第二侧壁与所述第四侧壁平行设置。
3.如权利要求2所述的固定夹具,其特征在于:所述第一侧壁、第三侧壁的内侧分别设置有安装轨道。
4.如权利要求3所述的固定夹具,其特征在于:所述安装轨道的截面呈V形。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310008871.3A CN103258775B (zh) | 2013-01-10 | 2013-01-10 | 固定夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310008871.3A CN103258775B (zh) | 2013-01-10 | 2013-01-10 | 固定夹具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103258775A CN103258775A (zh) | 2013-08-21 |
CN103258775B true CN103258775B (zh) | 2016-12-28 |
Family
ID=48962605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310008871.3A Expired - Fee Related CN103258775B (zh) | 2013-01-10 | 2013-01-10 | 固定夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103258775B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103267050A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-08-28 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 单晶硅自动粘接机 |
CN103276454A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-09-04 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 拼料夹具 |
CN106206379B (zh) * | 2016-07-28 | 2019-02-22 | 苏州高登威科技股份有限公司 | 一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法 |
CN108816670B (zh) * | 2018-08-20 | 2021-05-18 | 苏州高登威科技股份有限公司 | 硅棒的自动点胶固化系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201466014U (zh) * | 2009-07-08 | 2010-05-12 | 深圳市翠涛自动化设备有限公司 | 一种用于固晶机中的固晶夹具 |
CN202307999U (zh) * | 2011-10-13 | 2012-07-04 | 新余吉阳新能源有限公司 | 一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具 |
CN202339932U (zh) * | 2011-11-24 | 2012-07-18 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种用于硅太阳能电池的等离子体去边夹具 |
CN102637624A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-15 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 用于夹持平板式基板的可调式夹具 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61154139A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウェハキャリア運搬具 |
US7520286B2 (en) * | 2005-12-05 | 2009-04-21 | Semitool, Inc. | Apparatus and method for cleaning and drying a container for semiconductor workpieces |
JP2010199354A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
-
2013
- 2013-01-10 CN CN201310008871.3A patent/CN103258775B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201466014U (zh) * | 2009-07-08 | 2010-05-12 | 深圳市翠涛自动化设备有限公司 | 一种用于固晶机中的固晶夹具 |
CN202307999U (zh) * | 2011-10-13 | 2012-07-04 | 新余吉阳新能源有限公司 | 一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具 |
CN202339932U (zh) * | 2011-11-24 | 2012-07-18 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种用于硅太阳能电池的等离子体去边夹具 |
CN102637624A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-15 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 用于夹持平板式基板的可调式夹具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103258775A (zh) | 2013-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2019095773A1 (zh) | 一种led基板的全自动光学检测机 | |
CN205221306U (zh) | 基于视觉定位的标签贴合设备 | |
CN103258775B (zh) | 固定夹具 | |
CN103419014B (zh) | 一种笔记本电脑电池安装机 | |
CN205441119U (zh) | 标签贴合设备及其上料机构 | |
TWM485976U (zh) | 貼合裝置 | |
KR101400676B1 (ko) | 필름 부착 장치 및 이를 이용한 필름 부착 방법 | |
CN107098023B (zh) | 手机贴标机构 | |
CN106144473A (zh) | 一种机械手定位抓取机构 | |
CN205602168U (zh) | 自动装箱流水线 | |
CN113423053B (zh) | 一种蓝牙耳机自动化生产组装线 | |
CN105173624A (zh) | 料仓底部上下料装置及其上下料方法 | |
KR101360722B1 (ko) | 진공흡착 벨트 방식 웨이퍼수납장치 | |
KR200464584Y1 (ko) | 판체를 갖는 사출물 절단 및 포장장치 | |
CN110654600B (zh) | 电饭煲包装生产线 | |
CN105775220A (zh) | 一种半自动Mylar及蓝膜裹附装配机 | |
TW201605704A (zh) | 送料系統 | |
CN103922115A (zh) | 单晶硅上料系统 | |
CN114803996A (zh) | 一种核药分装设备及其分装方法 | |
CN103922114A (zh) | 晶硅夹具上料系统 | |
CN103255481B (zh) | 固定夹具 | |
KR20160146101A (ko) | 접착테이프의 자동교체가 가능한 박스포장장치 | |
CN103258774A (zh) | 固定夹具 | |
CN103928376B (zh) | 树酯上料系统 | |
KR20160066149A (ko) | 수액팩 정열 및 낱장 연속공급 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 215121 No. 88 Zhuang Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province, China Applicant after: SUZHOU INDUSTRIAL PARK GOLDWAY TECHNOLOGIES CO., LTD. Address before: 215121, 2-2F-A, China Science and technology industrial square, 8 Exhibition Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu, China Applicant before: Goldway Technologies Co., Ltd. |
|
COR | Change of bibliographic data | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20161228 Termination date: 20190110 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |