CN103206596A - 一种高稳定性的支撑台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种高稳定性的支撑台，包括有复数个子支撑台及固定该复数个子支撑台的基板，基板上设置有用于将高稳定性支撑台固定在其它机构上的固定孔。本发明高稳定性的支撑台能够准确的将被载物体准确的定位在载物台上确定的位置上，具有较高的稳定性。
Description
技术领域
本发明属于高精密加工工艺技术领域，尤其涉及掩模板制作工艺中采用的一种高稳定性的支撑台。
背景技术
OLED的自发光、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗等特性使搭载OLED屏的手机令人追捧。目前，OLED已经初步确立了作为第三代显示器领导核心的地位，随着技术的成熟和大尺寸量产工艺的突破，OLED产品将向更大尺寸延伸。
真空掩模蒸镀是制备OLED发光层的主要方法，OLED掩模板所用的材料是热膨胀系数极低的Invar合金，通常掩模板的厚度只有40μm，带有几百万个微小的长方形像素。由于使用三基色发光材料的彩色OLED在制造过程中需要先后使用几张掩模板，因而对掩模板的精度要求非常高。
因此，在OLED掩模板的制作中的每个环节都非常关键，其中将制作好的掩模板进行位置精度、开口大小的检测以及将掩模板固定在网框上作为OLED掩模板制作的后期工作，其是最终OLED掩模板的品质好坏的决定性环节。
故，业界急需探索出一种高稳定性的支撑台，以便OLED掩模板的制作中保持有高的稳定性，准确的将被载物体准确的定位在载物台上确定的位置。
发明内容
为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种具有较高的稳定性，能够准确的将被载物体准确的定位在载物台上确定的位置上的高稳定性的支撑台。
为实现上述目的，本发明的技术方案为：
一种高稳定性的支撑台，包括有复数个子支撑台及固定该复数个子支撑台的基板，基板上设置有用于将高稳定性支撑台固定在其它机构上的固定孔。
进一步地，所述子支撑台包括子支撑台主体及螺杆顶紧结构。
进一步地，所述复数个子支撑台主体的支撑面在同一平面上，子支撑台通过通孔与基板连接在一起。
进一步地，所述螺杆顶紧机构的顶端为球面结构，在固定被支撑物体时，螺杆的顶端与被支撑物体的侧面以点接触；螺杆上设置有一紧固螺丝。
进一步地，所述子支撑台分为两种类型，一种为固定型，一种为调节型；固定型子支撑台的下端设置有固定销，基板上设置有与固定销相吻合的配合孔，通过销与配合孔的配合，可以使得子支撑台在基板上的位置固定；而调节型子支撑台与基板的接触面无固定销结构。
本发明高稳定性的支撑台能够准确的将被载物体准确的定位在载物台上确定的位置上，具有较高的稳定性。
附图说明
图1是本发明高稳定性的支撑台的立体图示。
图2是本发明的子支撑台主体的立体图示。
图3是本发明两种不同类型子支撑台主体的示意图。
图4是本发明的支撑台支撑物体的示意图。
图5是将本发明的支撑台与一绷拉机构配合的示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参照图1-图4所示，本发明高稳定性的支撑台，包括有复数个子支撑台111，112，113，114，115及固定该复数个子支撑台的基板12，基板12上设置有用于将高稳定性支撑台固定在其它机构上的固定孔121。
所述复数个子支撑台111、112、113、114、115的结构相同，故仅以一个支撑台为例进行说明。请参照图2所示，子支撑台包括子支撑台主体21及螺杆顶紧结构22。所有子支撑台主体21的的支撑面210在同一平面上，子支撑台11通过通孔211与基板12连接在一起；螺杆顶紧机构22的顶端220为球面结构，如此设计，可以使得在固定被支撑物体时，螺杆22的顶端220与被支撑物体的侧面以点接触；螺杆22上设置有一紧固螺丝221。
所述子支撑台分为两种类型，一种为固定型的，如图1所示的子支撑台111、112、113，其下端设置有如图3A所示的固定销31、32，在基板12上设置有与固定销31、32相吻合的配合孔，通过销与配合孔的配合，可以使得子支撑台在基板上的位置固定；而另一种为调节型的，如支撑台114，该种调节型支撑台与基板的接触面无固定销结构。
请参照图4所示，图4所示为将被支撑物OLED掩模板网框40固定在支撑台上的示意图，在完全固定前，通过调节子支撑台111、112、113的固定型螺杆顶紧机构22，使其处于正确的位置，并用固定螺丝221将子支撑台111、112、113上的固定型螺杆顶紧机构22旋紧固定。将被支撑物OLED掩模板网框40置于支撑台上，使得网框40的边缘与子支撑台111、112、113上的螺杆顶紧机构22的球面顶端220相接触，由此三点完全可以将网框40的位置确定。调节支撑台114、115上的顶紧机构22，使得其球面顶端220与接触网框40的其它侧面，通过5个子支撑台的配合，使得网框40固定在支撑台上的某一确定位置。
请参照图5所示，图5为将支撑台与一绷网机构组合到一起的示意图，通过该机构可以完成OLED掩模板与掩模板外框紧贴固定的工作。
本发明的子支撑台台面处于同一平面上，3个固定型的子支撑台通过3个球面顶点可以将被支撑的物体位置确定，且对于同一类型的固定对象，3个固定性子支撑台的螺杆位置可以一次固定、多次重复使用，而不影响支撑台固定被支撑物体的位置精度。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种高稳定性的支撑台，其特征在于：包括有复数个子支撑台及固定该复数个子支撑台的基板，基板上设置有用于将高稳定性支撑台固定在其它机构上的固定孔。
2.如权利要求1所述的高稳定性的支撑台，其特征在于：所述子支撑台包括子支撑台主体及螺杆顶紧结构。
3.如权利要求2所述的高稳定性的支撑台，其特征在于：所述复数个子支撑台主体的支撑面在同一平面上，子支撑台通过通孔与基板连接在一起。
4.如权利要求3所述的高稳定性的支撑台，其特征在于：所述螺杆顶紧机构的顶端为球面结构，在固定被支撑物体时，螺杆的顶端与被支撑物体的侧面以点接触；螺杆上设置有一紧固螺丝。
5.如权利要求4所述的高稳定性的支撑台，其特征在于：所述子支撑台分为两种类型，一种为固定型，一种为调节型；固定型子支撑台的下端设置有固定销，基板上设置有与固定销相吻合的配合孔，通过销与配合孔的配合，可以使得子支撑台在基板上的位置固定；而调节型子支撑台与基板的接触面无固定销结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012100068787A CN103206596A (zh) | 2012-01-11 | 2012-01-11 | 一种高稳定性的支撑台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2012100068787A CN103206596A (zh) | 2012-01-11 | 2012-01-11 | 一种高稳定性的支撑台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103206596A true CN103206596A (zh) | 2013-07-17 |
Family
ID=48753920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012100068787A Pending CN103206596A (zh) | 2012-01-11 | 2012-01-11 | 一种高稳定性的支撑台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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|
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