CN103114325A - 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法 - Google Patents
气相掺杂区熔硅单晶的生产方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103114325A CN103114325A CN2013100583528A CN201310058352A CN103114325A CN 103114325 A CN103114325 A CN 103114325A CN 2013100583528 A CN2013100583528 A CN 2013100583528A CN 201310058352 A CN201310058352 A CN 201310058352A CN 103114325 A CN103114325 A CN 103114325A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rotation
- doping zone
- revolving process
- mins
- rev
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明提供一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,其特征在于:在等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式为按旋转周期循环旋转,所述一个旋转周期包括两个以上的旋转阶段,所述每个旋转阶段包括一次顺时针旋转和一次逆时针旋转,所述各个旋转阶段的旋转方式不同。本发明的有益效果是:有效降低了气相掺杂区熔硅单晶的RRV值并提高了气相掺杂区熔硅单晶的合格率。
Description
技术领域
本发明属于硅单晶的生产技术领域,尤其是涉及一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法。
背景技术
在现有的技术中,气相掺杂区熔硅单晶的径向电阻率均匀性(RRV)一般为25%-30%,其中RRV=(ρmax—ρmin)/ρmin,合格率一般为60%-70%,如何进一步降低RRV值以及如何进一步提高气相掺杂区熔硅单晶的合格率,已成为目前气相掺杂区熔硅单晶生产工艺中面临的难题。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,尤其适合用于降低气相掺杂区熔硅单晶的RRV值并提高气相掺杂区熔硅单晶的合格率。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,其特征在于:在等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式为按旋转周期循环旋转,所述一个旋转周期包括两个以上的旋转阶段,所述每个旋转阶段包括一次顺时针旋转和一次逆时针旋转,所述各个旋转阶段的旋转方式不同。
进一步,所述每个旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度均在90°~5400°范围内,所述每个旋转阶段的逆时针旋转的旋转角度均在90°~5400°范围内。
进一步,所述每个旋转阶段的顺时针旋转的转速大小均在4~20转/分钟范围内,所述每个旋转阶段的逆时针旋转的转速大小均在4~20转/分钟范围内。
本发明具有的优点和积极效果是:上述技术方案有效降低了气相掺杂区熔硅单晶的RRV值并提高了气相掺杂区熔硅单晶的合格率。
具体实施方式
实施例1:
一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,依次包括以下步骤:装炉、抽空充气、预热、化料、掺杂、引晶、生长细颈、扩肩、等径保持生长、收尾、降温和拆炉。在所述等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式为按旋转周期循环旋转,所述一个旋转周期包括两个旋转阶段,分别为第一旋转阶段和第二旋转阶段;所述第一旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为180°,转速大小为4转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为90°,转速大小为4转/分钟;所述第二旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为160°,转速大小为4转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为90°,转速大小为4转/分钟。
本实施例公开的技术方案主要为等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式,其它步骤均与公知技术中气相掺杂区熔硅单晶的生产方法相同,在此不再描述。
利用本实施例所述的技术方案,生产例如5寸气相掺杂区熔硅单晶,其RRV值为10%,合格率为80%。
实施例2:
一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,依次包括以下步骤:装炉、抽空充气、预热、化料、掺杂、引晶、生长细颈、扩肩、等径保持生长、收尾、降温和拆炉。在所述等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式为按旋转周期循环旋转,所述一个旋转周期包括三个旋转阶段,分别为第一旋转阶段、第二旋转阶段和第三旋转阶段;所述第一旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为360°,转速大小为6转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为300°,转速大小为6转/分钟;所述第二旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为500°,转速大小为7转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为450°,转速大小为7转/分钟;所述第三旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为720°,转速大小为7转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为600°,转速大小为7转/分钟。
本实施例公开的技术方案主要为等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式,其它步骤均与公知技术中气相掺杂区熔硅单晶的生产方法相同,在此不再描述。
利用本实施例所述的技术方案,生产例如6寸气相掺杂区熔硅单晶,其RRV值为10%,合格率为75%。
实施例3:
一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,依次包括以下步骤:装炉、抽空充气、预热、化料、掺杂、引晶、生长细颈、扩肩、等径保持生长、收尾、降温和拆炉。在所述等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式为按旋转周期循环旋转,所述一个旋转周期包括五个旋转阶段,分别为第一旋转阶段、第二旋转阶段、第三旋转阶段、第四旋转阶段和第五旋转阶段;所述第一旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为720°,转速大小为20转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为600°,转速大小为20转/分钟;所述第二旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为1000°,转速大小为19转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为1000°,转速大小为19转/分钟;所述第三旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为1800°,转速大小为16转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为1500°,转速大小为16转/分钟;所述第四旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为2000°,转速大小为16转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为1800°,转速大小为16转/分钟;所述第五旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度为4800°,转速大小为20转/分钟,逆时针旋转的旋转角度为3600°,转速大小为20转/分钟。
本实施例公开的技术方案主要为等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式,其它步骤均与公知技术中气相掺杂区熔硅单晶的生产方法相同,在此不再描述。
利用本实施例所述的技术方案,生产例如8寸气相掺杂区熔硅单晶,其RRV值为10%,合格率为80%。
以上对本发明的三个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (3)
1.一种气相掺杂区熔硅单晶的生产方法,其特征在于:在等径保持生长过程中,单晶轴向旋转的方式为按旋转周期循环旋转,所述一个旋转周期包括两个以上的旋转阶段,所述每个旋转阶段包括一次顺时针旋转和一次逆时针旋转,所述各个旋转阶段的旋转方式不同。
2.根据权利要求1所述的生产方法,其特征在于:所述每个旋转阶段的顺时针旋转的旋转角度均在90°~5400°范围内,所述每个旋转阶段的逆时针旋转的旋转角度均在90°~5400°范围内。
3.根据权利要求1所述的生产方法,其特征在于:所述每个旋转阶段的顺时针旋转的转速大小均在4~20转/分钟范围内,所述每个旋转阶段的逆时针旋转的转速大小均在4~20转/分钟范围内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2013100583528A CN103114325A (zh) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2013100583528A CN103114325A (zh) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103114325A true CN103114325A (zh) | 2013-05-22 |
Family
ID=48412743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2013100583528A Pending CN103114325A (zh) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103114325A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113943973A (zh) * | 2021-10-26 | 2022-01-18 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种拉制高电阻率区熔单晶硅的工艺方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4851628A (en) * | 1988-02-18 | 1989-07-25 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Method for the crucible-free floating zone pulling of semiconductor rods and an induction heating coil therefor |
US20030024469A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-06 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Silicon single crystal produced by crucible-free float zone pulling |
CN101680108A (zh) * | 2007-04-13 | 2010-03-24 | Topsil半导体材料股份公司 | 生产单晶的方法和设备 |
JP2010254516A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体単結晶の製造方法および半導体単結晶の製造装置 |
-
2013
- 2013-02-25 CN CN2013100583528A patent/CN103114325A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4851628A (en) * | 1988-02-18 | 1989-07-25 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Method for the crucible-free floating zone pulling of semiconductor rods and an induction heating coil therefor |
US20030024469A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-06 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Silicon single crystal produced by crucible-free float zone pulling |
CN101680108A (zh) * | 2007-04-13 | 2010-03-24 | Topsil半导体材料股份公司 | 生产单晶的方法和设备 |
JP2010254516A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体単結晶の製造方法および半導体単結晶の製造装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113943973A (zh) * | 2021-10-26 | 2022-01-18 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种拉制高电阻率区熔单晶硅的工艺方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103088587B (zh) | 针织牛仔布的定型方法 | |
CN105244416B (zh) | 一种铜锑硒太阳能电池光吸收层薄膜的低温沉积工艺 | |
CN103540998A (zh) | 一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺 | |
CN102816679A (zh) | 一种小米醋的加工方法 | |
CN104513110A (zh) | 食用菌蔗叶培养基的隧道式发酵法 | |
CN104674340A (zh) | 一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体旋转缩颈引晶控制方法 | |
CN103114325A (zh) | 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法 | |
CN108315813A (zh) | 一种多晶硅铸锭的制备方法 | |
CN105525355B (zh) | 大尺寸蓝宝石晶体原位退火工艺 | |
CN108486174B (zh) | 一种万寿菊发酵处理方法 | |
CN106949710A (zh) | 一种磷霉素钙的干燥方法 | |
CN103114326A (zh) | 一种区熔气相掺杂硅单晶的生产方法 | |
CN204174304U (zh) | 一种用于单晶硅生长炉的氩气分流装置 | |
WO2013019086A3 (ko) | 고흡수성 물질이 코팅된 실의 제조방법 | |
CN102120609B (zh) | 氯化亚锡溶液动态结晶工艺方法及装置 | |
CN103114328B (zh) | 8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法 | |
CN104810431A (zh) | 一种丝网印刷工艺制备铜铟镓硒薄膜的方法 | |
CN102303969B (zh) | 低温节能型陶瓷酒瓶 | |
CN105481357A (zh) | 一种日用瓷及其制备方法 | |
CN104005082A (zh) | 一种大尺寸掺铈铝酸钇闪烁晶体的生长工艺 | |
CN103147118A (zh) | 一种利用直拉区熔法制备太阳能级硅单晶的方法 | |
CN205241850U (zh) | 一种晶体生长用坩埚 | |
CN104562187B (zh) | 一种垂直无籽晶化学气相法生长ZnO单晶的方法 | |
CN103690533B (zh) | 一种提高复方氨基酸注射液透光率的方法 | |
CN204356437U (zh) | 节电型双炉筒 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20130522 |