CN103114328B - 8寸＜110＞磁场直拉单晶的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法，依次包括以下步骤：装料、加热化料、打开电磁场、稳温、引细径、放肩、收肩、等径生长、收尾、提起降温和出炉。稳温后，使已熔化原料的液面温度为1450℃，SP值设定为1300；从开始引细径到放肩结束，使得SP值下降80-120个单位；引细径时所用拉速为350-450mm/min，利用提拉法引细径，所述细径长度为200-300mm，所述细径直径为3-5mm；放肩时使拉速在5min之内由350-450mm/min降至40-60mm/min后，保持所述放肩过程的拉速不变，使肩部角度为30-60°。本发明的有益效果是：提高了8寸<110>单晶的一次成晶率，降低了开炉拉晶时间，节省成本。

Description

8寸＜110＞磁场直拉单晶的制备方法
技术领域
本发明属于硅单晶生产技术领域，尤其是涉及一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法。
背景技术
传统的工艺方法拉制8寸<110>单晶，成晶率较低，只有20％-30％，且每炉的拉晶时间较长，平均为60-80h。存在生产效率低，且产品质量低等问题。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法，尤其适合用于在磁场环境下拉制8寸<110>单晶。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法，依次包括以下步骤：装料、加热化料、打开电磁场、稳温、引细径、放肩、收肩、等径生长、收尾、提起降温和出炉，其特征在于：稳温后，使已熔化原料的液面温度为1450℃，SP值设定为1300；从开始引细径到放肩结束，使得SP值下降80-120个单位；引细径时所用拉速为350-450mm/min，利用提拉法引细径，所述细径长度为200-300mm，所述细径直径为3-5mm；放肩时使拉速在5min之内由350-450mm/min降至40-60mm/min后，保持所述放肩过程的拉速不变，使肩部角度为30-60o。
本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提高了8寸<110>单晶的一次成晶率，降低了开炉拉晶时间，节省成本。
具体实施方式
实施例1：
本发明提供一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法，依次包括以下步骤：装料、加热化料、打开电磁场、稳温、引细径、放肩、收肩、等径生长、收尾、提起降温和出炉。稳温后，使已熔化原料的液面温度为1450℃，SP值设定为1300；从开始引细径到放肩结束，SP值降低100个单位；采用高拉速缓放肩的方式，引细径时所用拉速为400mm/min，利用提拉法引细径，所述细径长度为300mm，所述细径直径为3-5mm；放肩时使拉速在5min之内由400mm/min降至60mm/min后，保持放肩过程的拉速为60mm/min，使肩部角度为30o。本发明公开的技术方案主要为SP值的降低范围、引细径和放肩的具体过程，其他步骤均与公知技术中的单晶的磁场直拉法相同，在此不再描述。
利用上述制备方法制得的8寸<110>磁场直拉单晶的成晶率为74.3％，开炉拉晶时间为58小时。
实施例2：
本发明提供一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法，依次包括以下步骤：装料、加热化料、打开电磁场、稳温、引细径、放肩、收肩、等径生长、收尾、提起降温和出炉。稳温后，使已熔化原料的液面温度为1450℃，从开始引细径到放肩结束，使SP值降低80个单位，采用高拉速缓放肩的方式，引细径时所用拉速为370mm/min，利用提拉法引细径，所述细径长度为230mm，所述细径直径为3-5mm；放肩时使拉速在5min之内由370mm/min降至40mm/min后，使放肩过程的拉速保持在40mm/min，使肩部角度为45o。本发明公开的技术方案主要为SP值的降低范围、引细径和放肩的具体过程，其他步骤均与公知技术中的单晶的磁场直拉法相同，在此不再描述。
利用上述制备方法制得的8寸<110>磁场直拉单晶的成晶率为63.8％开炉拉晶时间为63小时。
以上对本发明的两个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

Claims (1)

1.一种8寸<110>磁场直拉单晶的制备方法，依次包括以下步骤：装料、加热化料、打开电磁场、稳温、引细径、放肩、收肩、等径生长、收尾、提起降温和出炉，其特征在于：稳温后，使已熔化原料的液面温度为1450℃，SP值设定为1300；从开始引细径到放肩结束，使得SP值下降80-120个单位；引细径时所用拉速为350-450mm/min，采用提拉法，所述细径长度为200-300mm，所述细径直径为3-5mm；放肩时使拉速在5min之内由350-450mm/min降至40-60mm/min后，保持所述放肩过程的拉速不变，使肩部角度为30-60°。
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