CN103075542A - 多线锯切割机的砂浆分流阀 - Google Patents

Abstract

一种多线锯切割机的砂浆分流阀，包括一个腔体，腔体连接具有砂浆入口且二者中心形成砂浆分配腔的上盖。腔体有两个砂浆出口，中心设有转轴。转轴上部为一个大偏心体，下部连接蜗轮蜗杆副，中部连接大轴承。蜗轮通过底端小轴承固定在转轴上。蜗轮与大轴承之间的转轴上套接有张力弹簧。蜗杆与电机连接。固定座安装有大偏心体的位置传感器。大偏心体由斜向导流面、侧壁垂直面、砂浆出口遮挡面以及底面形成。电机转动转轴，大偏心体可旋转选择砂浆出口。本发明保证了砂浆流量的一致性，降低了砂浆泵的功率。它应用于半导体行业多线切割机中对砂浆的分流，也可应用到其它高粘度、高密度的流体分流的行业。

Description

多线锯切割机的砂浆分流阀

技术领域

本发明涉及一种将流体进行分流的装置，特别是涉及一种能够将高粘度、高密度的流体砂浆进行分流的多线锯切割机的砂浆分流阀。

背景技术

多线锯切割机是通过其高速运动的切割钢线沾黏上砂浆后，将半导体晶棒或晶锭切割加工成晶片的设备。它具有加工效率和成品率高的特点，所以得到广泛使用。但是，随着材料价格的提高以及半导体晶棒或晶锭尺寸的增大，为降低加工成本，减少经济损失，对加工成品率的要求则越来越高。

大直径晶棒加工过程中，晶片的翘曲度要求很高。现有技术中，大直径的多线锯切割机均分别设有由两条管道构成的两个砂浆喷淋口，高速运动的切割钢线往返循环一次仅仅通过其中一个砂浆喷淋口粘黏附着砂浆，对晶棒进行切割。切割过程中，虽然一个砂浆泵同时对两个砂浆喷淋口输送砂浆，但是同时喷出有砂浆的两个砂浆喷淋口总是交替的参与工作，当一条管道砂浆参与切割时，另一管道的砂浆则白白喷出不参与工作。当钢线反向运行切割时，以前没有起作用的喷淋砂浆再起切割作用，而另一个喷淋口喷出的砂浆则白白流淌退出工作。由于一个砂浆泵同时分配给两个不同工作位置的喷淋口的砂浆流量实质上是不可能相等的，因而造成钢线粘黏附着的砂浆量不等，为此极大地影响了沾黏有砂浆的钢线对晶片的切割质量。另外，砂浆泵同时对两个喷淋口做功，但是喷淋口却只有一个参与工作，砂浆泵做了许多无用功，这样既浪费了能源，又加剧了砂浆泵的损坏。

发明内容

本发明的目的是针对已有技术的不足，给出一种能降低砂浆泵使用功率、增长砂浆泵使用寿命，若干砂浆喷淋口可变换砂浆供给状态，需要参与切割工作的喷淋口有砂浆流出，不参与切割工作的喷淋口没有砂浆流出，参与喷淋工作的喷淋口同时喷出的砂浆流量一致、连续的多线锯切割机的砂浆分流阀。

本发明的目的是能够实现的。本发明多线锯切割机的砂浆分流阀的特征在于：所述砂浆分流阀包括有一个腔体，所述腔体上部通过螺钉连接一个中心具有砂浆入口的上盖，所述上盖与所述腔体之间形成有砂浆分配腔，所述腔体的砂浆分配腔处环形向外均布设有至少两个砂浆出口，所述腔体中心设有一个轴孔，所述轴孔上面设有环形槽，环形槽内安装带有凸凹结构的密封垫，所述轴孔下面设有轴承安装孔，轴承安装孔内通过螺钉、压盖固定有大轴承，所述腔体的轴孔以及大轴承的内孔上置有一个转轴，所述转轴处在所述密封垫上面的部分为一个大偏心体，所述转轴的下部通过键连接一个蜗轮，所述转轴的底端通过转轴螺钉以及压垫固定一个小轴承，所述蜗轮通过小轴承及垫圈固定在所述转轴上，所述蜗轮与所述大轴承的压盖之间的所述转轴上套接有一个张力弹簧，所述蜗轮的轮齿啮合一个蜗杆，所述腔体的下部通过螺钉固定有固定座，所述蜗轮处在所述固定座的内部中心，所述固定座的底部设有一个中心凹槽，所述转轴上的小轴承固定在所述中心凹槽中，

所述蜗杆通过限位垫圈以及轴承安装在蜗杆座上，所述蜗杆通过联轴节和键与电机连接，所述蜗杆座通过固定板、电机通过支座均固定在所述固定座上，所述固定座的底部安装有所述大偏心体的位置传感器。

本发明多线锯切割机的砂浆分流阀，其中所述转轴上的大偏心体由上表面的斜向导流面、侧壁垂直面、砂浆出口遮挡面以及带有密封槽的底面形成，所述转轴在所述腔体上具有一个垂直的往返转动轨迹。

本发明多线锯切割机的砂浆分流阀，其中所述斜向导流面与所述砂浆出口或者另一砂浆出口呈敞口导流工作配合副，所述砂浆出口遮挡面与所述砂浆出口或者另一砂浆出口呈遮挡封严工作配合副，所述带密封槽的底面与所述密封垫呈密封工作配合副，所述位置传感器与所述蜗轮呈互为感应工作配合副。

本发明多线锯切割机的砂浆分流阀，其中所述大偏心体的侧壁垂直面与所述斜向导流面之间形成的夹角为锐角，所述侧壁垂直面与所述砂浆出口遮挡面之间形成的夹角为钝角，所述砂浆出口遮挡面与所述带密封槽的底面之间形成的夹角为钝角。

本发明多线锯切割机的砂浆分流阀与现有技术不同之处在于本发明多线锯切割机的砂浆分流阀设有带大偏心体的转轴，转轴转动，大偏心体可以实现对砂浆喷淋口的选择，使切割时需要参与工作的的喷淋口有砂浆流出，不参与工作的喷淋口没有砂浆流出。本发明保证了砂浆流量的一致性，降低了砂浆泵的功率，本发明能够有效的将高粘度、高密度的流体（如多线切割机切割使用的砂浆）进行分流并且保持砂浆流量的连续性和一致性。本发明的砂浆分流阀能够应用到半导体行业的多线切割机中对砂浆的分流，同时也可应用到其它需要将高粘度、高密度的流体分流的行业。它具有广泛的实用价值。

下面结合附图对本发明的多线锯切割机的砂浆分流阀作进一步说明。

附图说明

图1为本发明多线锯切割机的砂浆分流阀的结构示意图。

图2为本发明多线锯切割机的砂浆分流阀的蜗杆结构示意图。

图3为本发明多线锯切割机的砂浆分流阀的转轴结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明多线锯切割机的砂浆分流阀其砂浆分流阀包括有一个腔体1。腔体1上部通过螺钉4连接一个中心具有砂浆入口3的上盖2，上盖2与腔体1之间形成有砂浆分配腔。腔体1的砂浆分配腔处环形向外均布设有砂浆出口9、24。腔体1中心设有一个轴孔。轴孔上面设有环形槽，环形槽内安装带有凸凹结构的密封垫7，轴孔下面设有轴承安装孔，轴承安装孔内通过螺钉22、压盖23固定有大轴承8。腔体1的轴孔以及大轴承8的内孔上置有一个转轴6。转轴6处在密封垫7上面的部分为一个大偏心体，转轴6的下部通过键18连接一个蜗轮19，转轴6的底端通过转轴螺钉16以及压垫15固定一个小轴承14，蜗轮19通过小轴承14及垫圈13固定在转轴6上。蜗轮19与大轴承8的压盖23之间的转轴6上套接有一个张力弹簧20。蜗轮19的轮齿啮合一个蜗杆12。腔体1的下部通过螺钉10、21固定有固定座17。蜗轮19处在固定座17的内部中心。固定座17的底部设有一个中心凹槽，转轴6上的小轴承14固定在中心凹槽中。

如图2所示，蜗杆12通过限位垫圈31以及轴承30、32安装在蜗杆座11上。蜗杆12通过联轴节26和键29与电机27连接。蜗杆座11通过固定板33、电机27通过支座28均固定在固定座17上。固定座17的底部安装有大偏心体的位置传感器25。

如图3所示，转轴6上的大偏心体由上表面的斜向导流面34、侧壁垂直面、砂浆出口遮挡面36以及带有密封槽的底面35形成。转轴6在腔体1上具有一个垂直的往返转动轨迹。大偏心体的侧壁垂直面与斜向导流面34之间形成的夹角为锐角，侧壁垂直面与所述砂浆出口遮挡面36之间形成的夹角为钝角，砂浆出口遮挡面36与带密封槽的底面35之间形成的夹角为钝角。

如图1所示，转轴6大偏心体的斜向导流面34与砂浆出口9或者另一砂浆出口24呈敞口导流工作配合副。砂浆出口遮挡面36与砂浆出口9或者另一砂浆出口24呈遮挡封严工作配合副。带密封槽的底面35与密封垫7呈密封工作配合副。位置传感器25与蜗轮19呈互为感应工作配合副。转轴6通过电机27、蜗轮蜗杆带动可以往返旋转，以便一方面打开进入工作的砂浆出口9或24，另一方面同时关闭退出工作的砂浆出口9或24。

以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

Claims (4)

1.一种多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述砂浆分流阀包括有一个腔体（1），所述腔体（1）上部通过螺钉（4）连接一个中心具有砂浆入口（3）的上盖（2），所述上盖（2）与所述腔体（1）之间形成有砂浆分配腔，所述腔体（1）的砂浆分配腔处环形向外均布设有至少两个砂浆出口（9、24），所述腔体（1）中心设有一个轴孔，所述轴孔上面设有环形槽，环形槽内安装带有凸凹结构的密封垫（7），所述轴孔下面设有轴承安装孔，轴承安装孔内通过螺钉（22）、压盖（23）固定有大轴承（8），所述腔体（1）的轴孔以及大轴承（8）的内孔上置有一个转轴（6），所述转轴（6）处在所述密封垫（7）上面的部分为一个大偏心体，所述转轴（6）的下部通过键（18）连接一个蜗轮（19），所述转轴（6）的底端通过转轴螺钉（16）以及压垫（15）固定一个小轴承（14），所述蜗轮（19）通过小轴承（14）及垫圈（13）固定在所述转轴（6）上，所述蜗轮（19）与所述大轴承（8）的压盖（23）之间的所述转轴（6）上套接有一个张力弹簧（20），所述蜗轮（19）的轮齿啮合一个蜗杆（12），所述腔体（1）的下部通过螺钉（10、21）固定有固定座（17），所述蜗轮（19）处在所述固定座（17）的内部中心，所述固定座（17）的底部设有一个中心凹槽，所述转轴（6）上的小轴承（14）固定在所述中心凹槽中，

所述蜗杆（12）通过限位垫圈（31）以及轴承（30、32）安装在蜗杆座（11）上，所述蜗杆（12）通过联轴节（26）和键（29）与电机（27）连接，所述蜗杆座（11）通过固定板（33）、电机（27）通过支座（28）均固定在所述固定座（17）上，所述固定座（17）的底部安装有所述大偏心体的位置传感器（25）。

2.根据权利要求1所述的多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述转轴（6）上的大偏心体由上表面的斜向导流面（34）、侧壁垂直面、砂浆出口遮挡面（36）以及带有密封槽的底面（35）形成，所述转轴（6）在所述腔体（1）上具有一个垂直的往返转动轨迹。

3.根据权利要求1或2所述的多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述斜向导流面（34）与所述砂浆出口（9）或者另一砂浆出口（24）呈敞口导流工作配合副，所述砂浆出口遮挡面（36）与所述砂浆出口（9）或者另一砂浆出口（24）呈遮挡封严工作配合副，所述带密封槽的底面（35）与所述密封垫（7）呈密封工作配合副，所述位置传感器（25）与所述蜗轮（19）呈互为感应工作配合副。

4.根据权利要求3所述的多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述大偏心体的侧壁垂直面与所述斜向导流面（34）之间形成的夹角为锐角，所述侧壁垂直面与所述砂浆出口遮挡面（36）之间形成的夹角为钝角，所述砂浆出口遮挡面（36）与所述带密封槽的底面（35）之间形成的夹角为钝角。

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