CN205692848U - 一种多晶硅片的脱胶喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型具体公开一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，包括脱胶槽、往复气缸及第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管，第一喷淋管和第二喷淋管的同侧端分别水平穿出脱胶槽并分别在其穿出部分上套接有齿轮；往复气缸水平设置在脱胶槽外，往复气缸的活塞杆固接有水平设置的齿条，齿条与两个齿轮啮合连接；第三喷淋管与第一喷淋管之间连接第一直角双向旋转接头，第三喷淋管与第二喷淋管之间连接有第二直角双向旋转接头，且第一直角双向旋转接头的两个旋转轴上设有相互啮合的伞齿轮组。本实用新型第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管由同一往复气缸驱动而同步往复旋转，实现向硅片多角度上下摆动冲淋，冲淋后不会产生砂浆或胶的残留，提高工作效率。

Description

一种多晶硅片的脱胶喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片加工设备技术领域，特别是涉及一种多晶硅片的脱胶喷淋装置。

背景技术

光电领域中，硅是非常重要和常用的半导体原料，是太阳能电池最理想的原材料。硅原料一般要经过清洗、铸锭、切块、粘胶、切片、脱胶、清洗等工序后，才能用于太阳能电池。生产操作中，多晶硅块切成片后，必须要经过脱胶和清洗后才能使用。目前操作过程中，多晶硅片脱胶时，常常因为冲淋装置仅能够进行单向冲淋，所以无法将多晶硅片表面残留的砂浆以及脱胶时产生的胶进行有效冲淋，造成冲淋后还需要进行后续清洗，增加了生产成本，延长了生产时间，降低了工作效率。

实用新型内容

为克服现有技术存在的技术缺陷，本实用新型提供一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，冲淋后不会产生砂浆或胶的残留，可直接进行下一道工序，节省了生产时间、降低了生产成本。

本实用新型采用的技术解决方案是：

一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，包括脱胶槽、往复气缸以及相互平行且水平设置在脱胶槽的内壁顶端同一高度处的第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管，所述第一喷淋管和第二喷淋管的同侧端分别水平穿出脱胶槽并分别在其穿出部分上套接有齿轮；所述往复气缸水平设置在脱胶槽外，所述往复气缸的活塞杆固接有水平设置的齿条，所述齿条与两个齿轮啮合连接；所述第三喷淋管与第一喷淋管之间连接第一直角双向旋转接头，所述第三喷淋管与第二喷淋管之间连接有第二直角双向旋转接头，且所述第一直角双向旋转接头的两个旋转轴上设有相互啮合的伞齿轮组。

优选地，所述脱胶槽外固接有支撑座，所述往复气缸的缸体固设在支撑座上。

优选地，所述第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管分别轴向间隔设置有多个喷口，所述多个喷口在同一直线上，且所述多个喷口由往复气缸的往复驱动而在相对水平面向下且向脱胶槽内部倾斜15°～75°范围内往复摆动。

优选地，所述脱胶槽呈方形，包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁相对置，所述第三侧壁和第四侧壁相对置，所述第一喷淋管沿脱胶槽的第一侧壁内面延伸设置，所述第二喷淋管沿脱胶槽的第二侧壁内面设置，所述第三喷淋管沿脱胶槽的第三侧壁内面设置，所述第一喷淋管和第二喷淋管分别穿出第四侧壁。

优选地，所述第四侧壁外面设有安装座，所述安装座的纵截面形状呈L型，所述安装座顶部靠近第四侧壁的一侧设为向下凹陷的安装槽，所述齿条滑动设置在安装座内。

优选地，所述第二直角双向旋转接头的弯头连接供水管，所述供水管连接水泵，所述水泵通过水管连接脱胶槽底部。

本实用新型的有益效果：本实用新型用于冲淋的管道设有第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋，第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管分设在脱胶槽的三个侧面，增加冲淋方位，且由于第一喷淋管和第三喷淋管之间连接有第一直角双向旋转接头，第二喷淋管和第三喷淋管之间连接有第二直角双向旋转接头，第一喷淋管的穿出端和第二喷淋管的穿出端分别通过相互啮合的齿轮和齿条与往复气缸相接，通过往复气缸的往复直线运动直接带动第一喷淋管和第二喷淋管的往复旋转运动，同时通过第一直角双向旋转接头上的伞齿轮组间接带动第三喷淋管往复旋转运动，由此实现第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管由同一往复气缸驱动而同步往复旋转，实现向硅片多角度上下摆动冲淋，冲淋后不会产生砂浆或胶的残留，既节省时间、降低生产成本，又能保证多晶硅片的冲淋效果，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型主视图。

图2为本实用新型俯视图。

附图标记说明：

10、脱胶槽；11、支撑座；12、安装座；21、第一喷淋管；22、第二喷淋管；23、第三喷淋管；24、第一直角双向旋转接头；25、第二直角双向旋转接头；26、伞齿轮组；31、往复气缸；32、齿条；33、齿轮；41、供水管；42、水泵。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1-2所示，本实施例提供一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，包括脱胶槽10、往复气缸31以及相互平行且水平设置在脱胶槽10的内壁顶端同一高度处的第一喷淋管21、第二喷淋管22和第三喷淋管23，所述第一喷淋管21和第二喷淋管22的同侧端分别水平穿出脱胶槽10并分别在其穿出部分上套接有齿轮33。所述往复气缸31水平设置在脱胶槽10外，所述往复气缸31的活塞杆固接有水平设置的齿条32，所述齿条32与两个齿轮33啮合连接。

在本实施例中，所述脱胶槽10呈方形，包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁相对置，所述第三侧壁和第四侧壁相对置，所述第一喷淋管21沿脱胶槽10的第一侧壁内面延伸设置，所述第二喷淋管22沿脱胶槽10的第二侧壁内面设置，所述第三喷淋管23沿脱胶槽10的第三侧壁内面设置，所述第一喷淋管21和第二喷淋管22分别穿出第四侧壁。所述第三喷淋管23与第一喷淋管21之间连接第一直角双向旋转接头24，所述第三喷淋管23与第二喷淋管22之间连接有第二直角双向旋转接头25，且所述第一直角双向旋转接头24的两个旋转轴上设有相互啮合的伞齿轮组26，所述第二直角双向旋转接头25的弯头连接供水管41，所述供水管41连接水泵42，所述水泵42通过水管连接脱胶槽10底部，如此循环利用脱胶槽10内的水进行喷淋，节水又节能，可充分利用脱胶槽10内加热后的脱胶水增强冲淋效果。

在本实施例中，所述脱胶槽10外固接有支撑座11，所述往复气缸31的缸体固设在支撑座11上，所述第四侧壁外面设有安装座12，所述安装座12的纵截面形状呈L型，所述安装座12顶部靠近第四侧壁的一侧设为向下凹陷的安装槽，所述齿条32滑动设置在安装座12内。

在本实施例中，所述第一喷淋管21、第二喷淋管22和第三喷淋管23分别轴向间隔设置有多个喷口，所述多个喷口在同一直线上，且所述多个喷口由往复气缸31的往复驱动而在相对水平面向下且向脱胶槽10内部倾斜15°～75°范围内往复摆动。

本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下作出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，包括脱胶槽、往复气缸以及相互平行且水平设置在脱胶槽的内壁顶端同一高度处的第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管，所述第一喷淋管和第二喷淋管的同侧端分别水平穿出脱胶槽并分别在其穿出部分上套接有齿轮；所述往复气缸水平设置在脱胶槽外，所述往复气缸的活塞杆固接有水平设置的齿条，所述齿条与两个齿轮啮合连接；所述第三喷淋管与第一喷淋管之间连接第一直角双向旋转接头，所述第三喷淋管与第二喷淋管之间连接有第二直角双向旋转接头，且所述第一直角双向旋转接头的两个旋转轴上设有相互啮合的伞齿轮组。

2.根据权利要求1所述的多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，所述脱胶槽外固接有支撑座，所述往复气缸的缸体固设在支撑座上。

3.根据权利要求1所述的多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，所述第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管分别轴向间隔设置有多个喷口，所述多个喷口在同一直线上，且所述多个喷口由往复气缸的往复驱动而在相对水平面向下且向脱胶槽内部倾斜15°～75°范围内往复摆动。

4.根据权利要求1所述的多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，所述脱胶槽呈方形，包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁相对置，所述第三侧壁和第四侧壁相对置，所述第一喷淋管沿脱胶槽的第一侧壁内面延伸设置，所述第二喷淋管沿脱胶槽的第二侧壁内面设置，所述第三喷淋管沿脱胶槽的第三侧壁内面设置，所述第一喷淋管和第二喷淋管分别穿出第四侧壁。

5.根据权利要求4所述的多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，所述第四侧壁外面设有安装座，所述安装座的纵截面形状呈L型，所述安装座顶部靠近第四侧壁的一侧设为向下凹陷的安装槽，所述齿条滑动设置在安装座内。

6.根据权利要求1至5任一项所述的多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，所述第二直角双向旋转接头的弯头连接供水管，所述供水管连接水泵，所述水泵通过水管连接脱胶槽底部。