CN103069369A - 输入装置 - Google Patents

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Abstract

输入装置包括：输入部件，以在厚度方向上层叠的方式设置有一对导电性基板，该导电性基板具有绝缘基板以及透明导电膜（12、22），透明导电膜（12、22）设置在所述绝缘基板上且在具有绝缘性的透明基体（2）内具备由具有导电性的金属构成的网状部件；以及检测单元，电连接于所述透明导电膜（12、22），检测输入信号，在所述透明导电膜（12、22）上设置有：通过在所述透明基体（2）内配置所述网状部件而成的导电部、以及通过除去所述透明基体（2）内的所述网状部件的至少一部分而成的绝缘部（I）。

Description

输入装置
技术领域
本发明涉及一种在触摸面板、等离子显示器的电磁波护罩（shield）等图像显示装置的前面设置的输入装置。
背景技术
在触摸面板中，在液晶显示器等图像显示装置的前面，作为电极片（sheet）而设置有输入装置，该输入装置具有在透明的绝缘基板的表面形成透明导电层（透明导电膜）的导电性基板。
作为构成输入装置的导电性基板的透明导电层的材料，公知有以氧化铟锡（ITO）或聚乙烯二氧噻吩-聚乙烯磺酸（ポリエチレンジオキシチオフェンーポリスチレンスルホン酸）为代表的π共轭类导电性高分子（有机导电体）。
并且，在触摸面板用输入装置所使用的导电性基板中，形成有电路图案或天线阵列图案。
作为图案的形成方法，例如，在专利文献1中公开了如下方法：在透明基材的整个表面通过涂布形成透明导电层后，照射CO2激光或利用Q开关的脉冲宽度100n秒左右的YAG激光，通过烧蚀（abrasion）除去成为绝缘的部分的透明导电层。
在专利文献2、3中公开了如下方法：通过丝网印刷法、照相凹版印刷法等印刷，在透明基材的表面以规定的图案形成导电部。
在专利文献4中公开了如下方法：在透明基材的整个表面通过涂布形成透明导电层后，通过等离子蚀刻除去成为绝缘的部分的透明导电层。
在专利文献5中公开了如下技术：对通过使金属纳米丝（金属极细纤维）在粘合剂（树脂）中分散并固化而成的透明导电膜照射激光以进行绝缘化，从而形成导电图案。并且，利用激光除去从透明导电膜向外部突出的金属纳米丝。
在专利文献6中公开了如下技术：对触摸面板用ITO蒸镀基板使用紫外线激光，控制光束直径与透镜的焦点距离，并控制聚光区域内的加工宽度，从而通过10μm左右的微细的烧蚀形成微细图案。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-118381号公报
专利文献2：日本特开2005-527048号公报
专利文献3：日本特开2008-300063号公报
专利文献4：日本特开2009-26639号公报
专利文献5：日本特开2010-44968号公报
专利文献6：日本特开2008-91116号公报
一般来说，上述有机导电体被着色绿色～青色，ITO被着色浅黄色。因此，当利用专利文献1～4的方法在绝缘基板上形成导电图案时，导电部成为形成各导电膜的导电体固有的有色、仅绝缘基板的绝缘部成为无色。因此，当将得到的导电性基板用于输入装置并设置在图像显示装置的前面时，如果绝缘部的宽度（绝缘部的垂直于延伸方向的宽度尺寸）很少，则产生导电图案被视觉识别的问题。另一方面，在绝缘部的宽度形成得很少的情况下，担心无法确保绝缘性。
在专利文献5中，具有输入装置的导电图案难以被视觉识别的优点。但是，由于在透明导电膜内部，金属纳米丝不仅残留于导电部，还残留于绝缘部，因此难以可靠地进行绝缘。即，为了使绝缘部可靠地绝缘，需要进行透明导电膜的厚度控制。
并且，在专利文献6中，在加工中需要使用利用高次谐波的紫外线激光，并且，因控制烧蚀区域的宽度的目的，而调整激光束直径或变焦透镜焦点距离，因此在市场上销售的激光加工机中存在难以对应的问题。
发明内容
本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种输入装置，即使较大地形成绝缘部的宽度，导电图案也难以被视觉识别，且能够使绝缘部可靠地绝缘，以得到稳定的电气性能。
为了达成上述目的，本发明提出以下的手段。
即，本发明的输入装置包括：输入部件，以在厚度方向上层叠的方式设置有一对导电性基板，所述导电性基板具有绝缘基板以及透明导电膜，所述透明导电膜设置在所述绝缘基板上且在具有绝缘性的透明基体内具备由具有导电性的金属构成的网状部件；以及检测单元，电连接于所述透明导电膜，所述检测单元检测输入信号，在所述透明导电膜上设置有：通过在所述透明基体内配置所述网状部件而成的导电部、以及通过除去所述透明基体内的所述网状部件的至少一部分而成的绝缘部。
并且，在本发明涉及的输入装置中，也可以在所述绝缘部上配置有通过除去所述网状部件而形成的空隙。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述网状部件也可以由在所述透明基体内分散且相互电连结的金属极细纤维构成。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述金属极细纤维也可以以银为主要成分。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述绝缘部的空隙也可以通过对所述网状部件照射脉冲状激光而形成。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述脉冲状激光也可以是脉冲宽度小于1p秒的极短脉冲激光。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述脉冲状激光也可以是YAG激光或者YVO4激光。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述绝缘基板也可以是透明的。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述输入部件也可以将一对所述导电性基板的所述透明导电膜分别朝向沿所述厚度方向的一侧配置，所述检测单元也可以是静电电容式的。
并且，在本发明涉及的输入装置中，所述输入部件也可以在一对所述导电性基板的所述透明导电膜彼此接近的状态下隔开间隔地相对配置，通过输入操作，所述透明导电膜的一部分彼此能直流接触。
发明效果
根据本发明的输入装置，即使较大地形成绝缘部的宽度，导电图案也难以被视觉识别，且能够使绝缘部可靠地绝缘，以得到稳定的电气性能。
附图说明
图1是简化示出本发明的第一实施方式涉及的输入装置的输入部件的侧截面图。
图2是说明在本发明的第一实施方式涉及的输入装置中使用的输入部件的透明导电膜的网状部件（导电部）以及激光加工前的透明导电层的放大图片。
图3是说明在本发明的第一实施方式涉及的输入装置中使用的输入部件的透明导电膜中，通过除去网状部件而形成的空隙（绝缘部）的放大图片。
图4是简化示出制造本发明的第一实施方式涉及的输入装置的输入部件的透明导电膜以及导电性基板的制造装置（激光加工机）的侧视图。
图5是示出图4的导电性基板以及制造装置的变形例的侧视图。
图6是说明比较例中的透明导电膜的导电部以及激光加工前的透明导电层的放大图片。
图7是说明比较例中的透明导电膜的照射区域（绝缘部）的放大图片。
图8是说明制造本发明涉及的输入装置的输入部件（透明导电膜以及导电性基板）的实施例（制造例）的侧视图。
图9是说明制造本发明涉及的输入装置的输入部件（透明导电膜以及导电性基板）的实施例（制造例）的侧视图。
图10是说明制造本发明涉及的输入装置的输入部件（透明导电膜以及导电性基板）的实施例（制造例）的立体图。
图11是说明制造本发明涉及的输入装置的实施例（制造例）的电路图。
图12是示出本发明的第二实施方式涉及的输入装置的输入部件的俯视图。
图13是示出图12的输入部件的X侧电极片（导电性基板）的俯视图。
图14是示出图12的输入部件的Y侧电极片（导电性基板）的俯视图。
图15是放大示出图12的A-A箭头所示的侧截面图。
图16是放大示出图12的B-B箭头所示的侧截面图。
具体实施方式
（第一实施方式）
本发明涉及的输入装置能够适用于如透明天线、透明电磁波护罩、静电电容方式或者膜式的透明触摸面板等透明输入装置这样的在透明部分形成配线图案的制品。并且，本发明的输入装置能够为了在汽车的操纵部（handle）所附带的静电电容输入装置等、三维成型品或者三维的加饰成型品的表面设置的静电电容传感器等中形成所需要的电极为目的而使用。并且，本实施方式中所说的“透明”是指具有50%以上的光线透过率。
图1以及图10示出本发明的第一实施方式涉及的膜式触摸面板（输入装置）用的输入部件1。在图1～图3中，该膜式触摸面板具备：输入部件1，以在厚度方向上层叠的方式设置有一对导电性基板10、20，该导电性基板10、20具有绝缘基板11、21、以及透明导电膜12、22，该透明导电膜12、22设置在绝缘基板11、21上且在具有绝缘性的透明基体2内具备由具有导电性的金属构成的网状部件3；以及检测单元，电连接于透明导电膜12、22，检测单元检测输入信号。
输入部件1设置在LCD等图像显示装置（未图示）的输入者侧。在图10中，输入部件1例如具备：导电性基板10，并列配置有沿着行（X）方向的电极100（相当于透明导电膜12的后述的导电部C）；导电性基板20，以与该导电性基板10相对的方式配置在图像显示装置侧，并列配置有沿着垂直于行（X）方向的列（Y）方向的电极（相当于透明导电膜22的导电部C）；以及透明的间隔粒子（dot spacer）30，设置在导电性基板10和导电性基板20之间。输入部件1形成为通过输入操作而使导电性基板10的电极100与导电性基板20的电极直流地接触/导通的结构。
导电性基板10具备透明的绝缘基板11、以及在绝缘基板11上至少设置于朝向图像显示装置侧的面的透明导电膜12。
导电性基板20具备透明的绝缘基板21、以及在绝缘基板21上至少设置于朝向输入者侧的面的透明导电膜22。
作为绝缘基板11、21，优选的是在具有绝缘性的同时，能够在表面形成透明导电膜12、22，且对于后述的激光加工，在规定的照射条件下难以产生外观变化。具体来说，例如列举出以玻璃、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）为代表的聚酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物树脂（ABS树脂）等绝缘性材料。并且，作为绝缘基板11、21的形状，可以使用板状、具有可挠性的薄膜状、成型为立体（三维）的成型品等。
在将该输入部件1用于透明触摸面板的情况下，在绝缘基板11、21上使用玻璃板或PET薄膜等。并且，在将输入部件1用作在汽车的操纵部所附带的静电电容输入装置等、静电电容传感器等中所需要的电极的情况下，在绝缘基板11、21上使用由ABS树脂等构成的成型品、或者利用薄膜的分层、转印等在其上设有加饰层的加饰成型品等。
例如，在将本发明用作通过按压等而使上下两个电极膜（透明导电膜）12、22接触导通的膜式等透明触摸面板的情况下，作为输入者侧的绝缘基板11，优选使用对于来自输入者侧的外力易于弯曲的绝缘基板（例如透明树脂薄膜），作为图像显示装置侧的绝缘基板21，优选使用经由间隔粒子30易于支撑导电性基板10的具有规定以上（例如与绝缘基板11同等以上）的硬度的绝缘基板。并且，在这种触摸面板中，必须在邻接的电极100之间设有一定的电位差而进行使用，在使用铜、亚铅、锡、特别是银等金属的透明导电膜12、22中，为了防止移动，要求确保划分导电图案的绝缘部的宽度（绝缘部的垂直于延伸方向的宽度尺寸）。
并且，一对导电性基板10、20的透明导电膜12、22彼此成为相互接近的状态，同时通过间隔粒子30隔开间隔而对向配置。并且，当从输入者侧向图像显示装置侧按压导电性基板10时，该导电性基板10的绝缘基板11以及透明导电膜12弯曲，同时该透明导电膜12能够与导电性基板20的透明导电膜22接触。构成为通过该接触而产生电信号。即，输入部件1通过输入者的输入操作，透明导电膜12、22的一部分彼此能够直流接触。
并且，如图2所示，透明导电膜12、22在具有绝缘性的透明基体2内，具备由具有导电性的金属构成的网状部件3。透明基体2由能够在液状的状态下填充于后述网状部件3的单线（纤维）之间的通过例如热、紫外线、电子线、放射线等而固化的固化性树脂构成。
并且，网状部件3由在透明基体2内分散并相互电连结的多个金属极细纤维4构成。更详细地说，这些金属极细纤维4彼此沿着绝缘基板11、21的表面（形成有透明导电膜12、22的面）的面方向在相互不同的方向上不规则地延伸，同时以其至少一部分以上以相互重合（相接触）的程度密集配置，通过这样配置而相互电连结（连接）。
即，网状部件3在绝缘基板11、21的表面上构成导电性的二维网络，在透明导电膜12、22的透明基体2内配置有网状部件3的区域成为导电部C。并且，网状部件3的金属极细纤维4具有埋设在透明基体2内的部分、以及从该透明基体2的表面突出的部分。
具体来说，作为这种金属极细纤维4，可以列举出由铜、铂、金、银、镍等构成的金属纳米丝、金属纳米管。在本实施方式中，作为金属极细纤维4，使用银为主要成分的金属纳米丝（银纳米丝）。金属极细纤维4例如其直径形成为0.3nm～100nm左右，长度形成为1μm～100μm左右。
并且，作为网状部件3，在使用上述金属极细纤维4以外的硅纳米丝或硅纳米管、金属氧化物纳米管、碳纳米管、碳纳米纤维、石墨原纤维（グラファイトフィブリル）等纤维状部件（金属极细纤维）的同时，即使将其分散/连结构成也可以。
并且，在透明导电膜12、22的透明基体2内，通过除去网状部件3的至少一部分来形成绝缘部I。即，如图3所示，在透明基体2上，通过除去网状部件3的金属极细纤维4而形成有多个空隙5，这些空隙5密集配置的区域成为绝缘部I。详细地说，这些空隙5通过对网状部件3的金属极细纤维4配置的区域照射脉冲状激光，并将该金属极细纤维4蒸发/除去而形成。
作为该脉冲状激光，能够使用例如为脉冲宽度小于1p秒的极短脉冲激光的所谓飞秒激光。并且，作为脉冲状激光，也可以使用飞秒激光以外的YAG激光或者YVO4激光。在使用YAG激光或者YVO4激光的情况下，能够利用通常广泛使用的脉冲宽度5n～300n秒左右的加工机。
这些空隙5沿着透明基体2的表面（露出的面）的面方向，分别形成在相互不同的方向上不规则地延伸或者分布的长孔状（长圆孔状）或者孔状（圆孔状），其形成为具有在上述表面开口的部分。详细地说，空隙5以与被蒸发/除去的金属极细纤维4所配置的位置相对应的方式配置，同时具有与该金属极细纤维4的直径大致相等的直径（内径），且形成为该金属极细纤维4的长度以下。
更详细地说，通过一个金属极细纤维4被完全蒸发/除去、或者至少一部分被蒸发/除去，从而将该金属极细纤维4在其延伸的方向上进行分割，多个空隙5相互隔开间隔而形成。即，对应于金属极细纤维4的相应位置，相互分离的多个空隙5以整体形成线状的方式延伸或者分布地形成。并且，对应于一个金属极细纤维4的相应位置，空隙5也可以以形成线状的方式仅形成一个。
在绝缘部I，通过形成这些空隙5，从而在作为导体的金属极细纤维4被除去的同时，上述导电性的二维网络被除去（消失）。
这样，在绝缘部I，由于从透明基体2除去金属极细纤维4，因此在该透明基体2中的导电部C与绝缘部I中，化学组成相互不同。
接着，对制造本实施方式涉及的输入装置的输入部件1的透明导电膜以及导电性基板的制造装置以及制造方法进行说明。
在利用本实施方式说明的导电图案形成基板（导电性基板）的制造方法中，使用以规定的图案对形成于绝缘基板11（21）的一面的透明导电层（导电图案形成前的透明导电膜）a照射极短脉冲的激光L的方法。
并且，在以下的说明中，将激光加工前具有绝缘基板11（21）以及形成于该绝缘基板11（21）的一面的透明导电层a的层叠体称为导电性基板用层叠体A。
首先，对本实施方式的导电图案形成基板的制造方法中使用的制造装置40进行说明。如图4所示，该制造装置40具备：产生激光L的激光产生单元41；将激光L聚光的作为聚光单元的凸透镜等的聚光透镜42；以及承载导电性基板用层叠体A的台（stage）43。
作为该制造装置40中的激光产生单元41，使用产生波长小于2μm且脉冲宽度小于200n秒的激光（可见光或者红外线的激光）的激光产生单元。并且，在能够容易利用这点，激光L的脉冲宽度优选为1n秒～100n秒。
优选聚光透镜42以激光L的焦点F位于透明导电层a与聚光透镜42之间的方式配置。由此，接触到绝缘基板11（21）以及台43的激光L的光斑直径比接触到透明导电层a的激光L的光斑直径大，接触到绝缘基板11（21）以及台43的激光L的能量密度变小，因此能够防止绝缘基板11（21）以及台43的损伤。
作为聚光透镜42，优选为低孔径数（NA＜0.1）的聚光透镜。即，通过使聚光透镜42的孔径数为NA＜0.1，从而激光L的照射条件设定变得容易，特别是能够防止在激光L的焦点F位于透明导电层a与聚光透镜42之间的情况下，伴随该焦点F中的空气的等离子化的能量损失与激光L的扩散。
此外，透明导电层a例如在由金属极细纤维4构成的网状部件3的纤维（单线）之间填充（含浸）由树脂构成的透明基体2而形成，同时在设置在由透明树脂薄膜构成的绝缘基板11（21）上的情况下，通过上述设定，能够使埋设在透明导电层a的透明基体2内的金属极细纤维4从透明基体2的表面喷出而可靠地进行除去。因此，对应于期望的绝缘部I的形状可靠地形成空隙5，从而能够可靠且容易地实现绝缘化处理。
并且，由于激光L照射在透明导电层a上的照射光斑形成面状而不是点状，因此，在加工透明导电层a的同时不影响绝缘基板11（21）的这种照射能量密度的控制与现有的方法相比较变得容易。此外，能够对透明导电层a汇总描绘线宽较粗的绝缘图案，所谓全面涂抹（塗りつぶし）加工变得容易，同时能够较大地取得上述绝缘图案的宽度，从而绝缘部I的绝缘性得以提高。
并且，台43能够沿水平方向二维移动。台43优选至少上面侧由透明的部件或者具有光线吸收性的部件构成。
在绝缘基板11（21）为透明且激光L的输出超过1W的情况下，台43优选使用尼龙或者氟类的树脂材料、或者硅氧橡胶类的高分子材料。
接着，对使用上述制造装置40的输入装置的输入部件1的导电图案形成基板的制造方法进行说明。
首先，以透明导电层a配置在绝缘基板11（21）的上方的方式将导电性基板用层叠体A承载在台43的上面。
接着，通过激光产生单元41使激光L射出，通过聚光透镜42将激光L汇聚。该汇聚的激光L的通过焦点F而光斑直径扩大的部分照射于透明导电层a。此时，使台43移动，以使激光L的照射形成规定的图案。
照射于透明导电层a的激光L的能量密度以及每单位面积的照射能量根据激光的脉冲宽度而不同。
在脉冲宽度小于1p秒的激光（例如飞秒激光）中，优选能量密度为1×1016W/m2～7×1017W/m2、每单位面积的照射能量为1×105J/m2～1×106J/m2。
在脉冲宽度为1n秒～100n秒的激光（YAG激光或者YVO4激光）中，优选能量密度为1×1017W/m2～7×1018W/m2、每单位面积的照射能量为1×106J/m2～1×107J/m2。
即，在能量密度/照射能量被设定为比上述数值范围小的值的情况下，担心绝缘部I的绝缘不充分。并且，在被设定为比上述数值范围大的值的情况下，加工痕迹变得明显，不适合透明触摸面板或透明电磁波护罩等的用途。
并且，这些值通过将加工区域中的激光束的输出值除以加工区域的聚光光斑面积而定义，简单来说，通过将光学系统的损失系数乘以来自激光振荡机的输出值而求出输出。
并且，光斑直径面积S通过下述公式定义。
S=S0×D/FL
S0：被透镜聚光的激光的光束面积
FL：透镜的焦点距离
D：透明导电层a的表面（上面）与焦点之间的距离
这里，距离D被设定在焦点距离FL的0.2%～3%的范围内。优选距离D被设定在焦点距离FL的0.5%～2%的范围内。更优选距离D被设定在焦点距离FL的0.7%～1.5%的范围内。通过距离D被设定在上述数值范围，从而在可靠地进行绝缘部I中的金属极细纤维4的除去（空隙5的形成）的同时，能够电气形成具有较高信赖性的绝缘图案（导电图案），并且，能够可靠地防止由绝缘基板11（21）的损伤而引起的加工痕迹。
并且，在形成精度较高的导电图案这点，优选通过一边使光斑的位置在透明导电层a上移动，一边断续地多次照射脉冲状的激光L，从而形成在相邻的光斑位置之间重复的部分。具体来说，优选断续地照射3次～500次，更优选照射20次～200次。如果照射三次以上，则能够更可靠地进行绝缘化，如果为500次以下，能够防止被照射激光L的透明基体2部分由于溶解或者蒸发而引起的除去。
这样，在透明导电层a上实施图案形成（patterning），形成具备由导电部C与绝缘部I构成的导电图案的透明导电膜12（22），同时导电性基板用层叠体A成为导电图案形成基板（导电性基板）10（20）。
并且，在上述说明中，使XY台等移动式台43承载导电性基板用层叠体A以进行图案形成，但是并不限定于此。即，例如，能够通过使导电性基板用层叠体A成为固定状态并使聚光系统部件相对移动的方法、使用电流镜等通过扫描激光而进行扫描的方法、或者将上述彼此组合而进行图案形成。
上述制造方法使用的导电性基板用层叠体A如下所示。
作为导电性基板用层叠体A的透明导电层a中构成网状部件3的无机导电体，可以列举银、金、镍等金属纳米丝。并且，作为透明导电层a中构成透明基体2的绝缘体，可以列举透明的热可塑性树脂（聚氯乙烯、氯乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯、硝化纤维、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、偏二氟乙烯）、通过热、紫外线、电子射线而固化的透明的固化性树脂（三聚氰胺丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、环氧树脂、聚酰亚胺树脂、丙烯酸（酯）改性硅酸盐（アクリル変性シリケート）等硅酮树脂）。
并且，图5是本实施方式的变形例，在图示的例子中，在导电性基板用层叠体A中的绝缘基板11（21）的上下两面设有一对透明导电层a。在该情况下，作为聚光透镜42，如果使用焦点距离FL为50mm以上且孔径数小于0.2的聚光透镜，则能够减小激光L的范围。因此，透镜的位置调整变得容易，同时绝缘基板11（21）的两面中的光斑直径的差变小，接触两侧的透明导电层a的能量密度大致相等，因此能够在两侧的透明导电层a汇总形成同样的绝缘图案。
并且，在仅将形成于绝缘基板11（21）的两面的透明导电层a中的单面侧的透明导电层a绝缘化的情况下，作为聚光透镜42，也可以使用孔径数大于0.5的聚光透镜。
如上所述，根据本实施方式涉及的输入装置，在输入部件1的透明导电膜12（22）的透明基体2中，具有导电性的网状部件3的配置区域设定为导电部C，除去网状部件3而形成的空隙5的配置区域成为绝缘部I。即，在导电部C，通过由金属构成的网状部件3来确保导通，在绝缘部I，通过除去网状部件3而形成的空隙5，从而可靠地得到电绝缘状态。
详细地说，在现有的透明导电膜中，由在透明基体2内分散并相互电连结的金属纳米丝等构成的网状部件3不仅残留于导电部C也残留于绝缘部I，因此在该绝缘部I难以可靠地进行绝缘。另一方面，根据本实施方式的结构，绝缘部I的网状部件3（金属极细纤维4）以被置换为空隙5的方式被除去，该绝缘部I被可靠地绝缘，因此透明导电膜12（22）中的电特性（性能）稳定，同时制品（输入装置）的信赖性得以提高。
此外，在绝缘部I，除去网状部件3，形成与该网状部件3（金属极细纤维4）相当（对应）的形状的空隙5。即，通过形成这样的空隙5，从而导电部C与绝缘部I相互之间色调、透明性相近，相互之间不能用肉眼等判别（视觉识别）。因此，即使较大地形成绝缘部I的宽度，也不能视觉识别配线图案。
并且，网状部件3由在透明基体2内分散且相互电连结的金属极细纤维4构成，因此该网状部件3使用市场上销售的金属纳米丝、金属纳米管等金属极细纤维4而能够比较容易地形成。
此外，如本实施方式，在金属极细纤维4将银作为主要成分使用的情况下，该金属极细纤维4比较容易入手而能够作为网状部件3使用。并且，当通过激光加工将绝缘部I的网状部件3（金属极细纤维4）除去时，能够利用市场上销售的一般的激光加工机进行应对。并且，将银作为主要成分的金属极细纤维4由于能够形成光线透过率高且表面电阻率低的无色透明的导电图案，因此更优选。
并且，作为激光加工机（制造装置）40，在使用脉冲宽度小于1p的极短脉冲激光（飞秒激光）的情况下，由于能够可靠地使激光加工后的导电性基板10（20）中的导电图案（绝缘图案）不明显，因此更加优选。
这样，根据本实施方式的透明导电膜12（22）以及使用其的导电性基板10（20），难以视觉识别导电图案，且在导电图案中的导电部C成为低电阻的同时，绝缘部I被可靠地绝缘，能够得到稳定的电性能。
并且，在本实施方式中，绝缘基板11、21都是透明的，但是即使对这些绝缘基板11、21中的任一个或者两者实施具有某种程度的透明性的着色也没有关系。
并且，网状部件3由在透明基体2内分散且相互电连结的多个金属极细纤维4构成，但是并不限定于此。即，网状部件3例如也可以为通过蚀刻等将具有导电性的金属膜形成格子状而成的线栅（wire grid）。
并且，也可以在导电性基板10、20上任意附加粘附层、防止反射层、硬涂层以及间隔粒子等机能层。
尤其在使用YAG激光或YVO4激光的基波等波长为1000nm附近的激光，同时使用丙烯类高分子原料的情况下，从外观特性的观点来看，优选在激光照射后设置机能层。
（第二实施方式）
接着，参照图12～图16，对本发明的第二实施方式涉及的输入装置进行说明。并且，对与上述实施方式相同的部件标注了相同的标号，并省略对其的说明。
本实施方式涉及的输入装置是静电电容式的触摸面板。图12示出静电电容式触摸面板（输入装置）用的输入部件200。该静电电容式触摸面板具备经由配置于朝向输入者侧的面的绝缘层240而与手指等人体部分H电容耦合的上下电极（透明导电膜212、222），通过对一侧的电极施加交流信号并测量另一侧的电极，从而检测手指的接触状况。
如图15、图16所示，静电电容式触摸面板的输入部件200朝向沿着厚度方向（图的上下方向）的一侧（输入者侧）分别配置一对电极片210、220（导电性基板）的透明导电膜212、222。
如图12～图14所示，该输入部件200具备形成方格花纹（将同一形状的正方形的角部彼此相互连结的状态，所谓方格图案）的电极201a的X侧电极片210（导电性基板）、以及相对于该X侧电极片210形成相辅的方格花纹的电极210b的Y侧电极片220（导电性基板）。
如图13所示，电极201a在沿着X方向排列的多个正方形的角部彼此以相互电连结延伸的方式形成，另一方面，沿着Y方向相邻的正方形彼此相互电绝缘的状态下，沿着Y方向并列配置。并且，如图14所示，电极201b在沿着Y方向排列的多个正方形的角部彼此以相互电连结延伸的方式形成，另一方面，沿着X方向相邻的正方形彼此相互电绝缘的状态下，沿着X方向并列配置。
如图12所示，在使相互的电极201a、201b彼此沿着厚度方向不面对的状态下，X侧电极片210与Y侧电极片220以对向配置的方式组合。
详细地说，如图15、图16所示，X侧电极片210经由透明的粘附材料250以层叠的方式粘合于Y侧电极片220的上面（输入者侧的面），在该状态下，成为两侧的电极201a、201b彼此沿着厚度方向不重合的状态。
并且，如图13、图16所示，在X侧电极片210的透明导电膜212，在Y侧电极片220的与电极201b中的正方形部分相对向的区域，分别形成有正方形状的孤立电极202a。在孤立电极202a的外周，通过照射激光L分别形成正方形环状的绝缘部I。
并且，在X侧电极片210的透明导电膜212，在沿着Y方向相邻的电极201a的正方形相对的角部彼此之间，分别形成有与孤立电极202a相比外形小的正方形状的小孤立电极203a。在小孤立电极203a的外周，通过照射激光L分别形成有正方形环状的绝缘部I。即，邻接的孤立电极202a与小孤立电极203a共有彼此的绝缘部I的一部分。
并且，如图14、图16所示，在Y侧电极片220的透明导电膜222，在与X侧电极片210的电极201a中的正方形部分相对的区域，分别形成有正方形状的孤立电极202b。在孤立电极202b的外周，通过照射激光L分别形成有正方形环状的绝缘部I。
并且，在Y侧电极片220的透明导电膜222，在沿着X方向相邻的电极201b的正方形相对的角部彼此之间，分别形成有与孤立电极202b相比外形小的正方形状的小孤立电极203b。在小孤立电极203b的外周，通过照射激光L分别形成有正方形环状的绝缘部I。即，邻接的孤立电极202b与小孤立电极203b共有彼此的绝缘部I的一部分。
在这样构成的输入部件200中，在电极201a、201b以及孤立电极202a、202b配置网状部件3，以成为导电部C。并且，在本实施方式中，小孤立电极203a、203b也成为导电部C，但是对于这些小孤立电极203a、203b，以全面涂抹的方式照射激光L，即使形成正方形状的绝缘部I也没有关系。
接着，使用图16对使用输入部件200的静电电容式触摸面板的动作进行说明。
当手指等人体部分H（接触物）经由形成于表面（输入者侧的表面）的绝缘层240与该输入部件200接触时，在接触物H与各电极之间形成电容耦合。在该状态下，利用信号源260对Y侧电极片220的电极201b中的一个施加电压，并利用检测单元270检测X侧电极片210的电极201a的信号（输入信号），从而能够检测接触物H与输入部件200之间的接触状况。
根据本实施方式涉及的输入部件200，由于充分确保绝缘部I的绝缘性，因此能够采用上述特别的结构，同时实现下述良好的作用效果。
即，当接触物H如上所述地接触时，Y侧电极片220的电极201b与接触物H，经由位于该电极201b上的X侧电极片210的孤立电极202a，形成电容耦合。由此，X侧电极片210的电极201a与Y侧电极片220的电极201b实质上成为配置在同一层（透明导电膜212）内的状态。因此，能够高精度地检测接触物H的位置。
详细地说，在现有的静电电容式触摸面板的输入部件中，在X侧电极片210的透明导电膜212，在与Y侧电极片220的电极201b相对的区域未设置孤立电极（导电部C）。并且，在Y侧电极片220的透明导电膜222，在与X侧电极片210的电极201a相对的区域也未设置孤立电极（导电部C）。在这样的结构的情况下，电极201a、201b彼此不仅保持绝缘状态，而且要求将相互的间隔严密管理在一定的宽度。即，在现有的结构中，上下电极201a、201b之间的距离的精度容易影响检测结果，并且，进行绝缘化处理的面积变得比较大。
另一方面，根据本实施方式，由于电极201a、201b实质上配置在同一层（平面）内，因此像现有技术那样，上下电极201a、201b之间的距离精度不是必要的，检测精度得以提高。
并且，进行绝缘化处理的区域（绝缘部I）的面积被大幅消减，生产性得以提高。
此外，由于电极201a、201b以及孤立电极202a、202b的化学组成相同，因此更加难以识别导电图案，外观良好。
并且，通过形成小孤立电极203a、203b，从而能够进一步减小由于接触物H接触时或组装公差对检测精度的影响。
实施例
以下，通过实施例对本发明进行具体的说明。但是，本发明并不限定于该实施例。
[制造例1]输入装置的输入部件使用的银纳米丝导电薄膜（导电性基板）的制作（本发明的实施例）
通过在厚度100μm的透明的聚酯（PET）薄膜（绝缘基板11、21）上，将Cambrios社的Ohm（商品名）墨水（金属极细纤维4）涂布干燥后，涂上紫外线固化性的聚酯树脂墨水（透明基体2），进行干燥/紫外线处理，从而在PET薄膜上形成由线径50nm左右、长度15μm左右的银纤维（金属极细纤维4）构成的具有导电性的二维网络（网状部件3）的耐摩擦性的透明导电层a（图2）。
该银纳米丝导电薄膜（导电性基板10、20）的透明导电层a的表面电阻为230Ω/□，光线透过率为95%。
接着，将该银纳米丝导电薄膜切断加工成长度210mm、宽度148mm的长方形，形成银纳米丝导电薄膜试验片。
[制造例2]输入装置的输入部件使用的银蒸镀导电薄膜的制作（比较例）
准备在厚度100μm的透明的PET薄膜的单面上设置丙烯酸硅的硬涂层，在该硬涂层的相反的面上，通过磁控管溅射装置形成厚度60nm的氧化亚铅膜。接着，在该氧化亚铅膜的表面，使用磁控管溅射装置形成厚度27nm的银膜。此外，在该银膜的表面，与上述氧化亚铅膜同样地形成厚度60nm的氧化亚铅膜（图6）。由此，在PET薄膜上形成由氧化亚铅膜以及银膜构成的具有导电性的二维网络的透明导电层。详细地说，如图6所示，银蒸镀层（银膜）形成为在多个颗粒体密集连结的同时设有一些间隙。
该银蒸镀导电薄膜的透明导电层的表面电阻为95Ω/□，光线透过率为85%。
接着，将该银蒸镀导电薄膜切断加工成长度210mm、宽度148mm的长方形，形成银蒸镀导电薄膜试验片。
[实验例1]
使用波长750nm、输出10mW、脉冲宽度130f秒、重复频率1kHz、光束直径5mm的飞秒激光（制造装置40），并使用焦点距离FL=100mm的聚光透镜42和电流镜，在厚度5mm的玻璃板上，将试验片以上述透明导电层朝向玻璃板的相反侧的方式进行承载，在以激光L的焦点F设定在从该试验片中的上述透明导电层的表面朝向聚光透镜42侧离开1.5mm的位置的方式进行调整之后，将聚光点以沿着试验片的宽度方向以1mm/秒进行横断的方式移动，进行直线描绘（绝缘图案的形成）。
[实验例2]
除了激光L的焦点F在上述透明导电层的表面上以外，以与实验例1相同的条件进行直线描绘。
[实验例3]
使用波长1064nm、输出12mW、脉冲宽度20n秒、重复频率100kHz、光束直径6.7mm的YVO4激光（制造装置40），并使用焦点距离FL=300mm的聚光透镜42和电流镜，在厚度5mm的DURACON（ジュラコン）（注册商标）板上，将试验片以上述透明导电层朝向DURACON（注册商标）板的相反侧的方式进行承载，在以激光L的焦点F设定在从该试验片中的上述透明导电层的表面朝向聚光透镜42侧离开3mm的位置的方式进行调整之后，将聚光点以沿着试验片的宽度方向以100mm/秒进行横断的方式移动，进行直线描绘。
[实验例4]
除了聚光点的移动速度为300mm/秒以外，以与实验例3相同的条件进行直线描绘。
[实验例5]
除了输出为3.6W、聚光点的移动速度为300mm/秒以外，以与实验例3相同的条件进行直线描绘。
[实验例6]
除了激光L的焦点F在上述透明导电层的表面上以外，以与实验例4相同的条件进行直线描绘。
[实验例7]
以与实验例4相同的条件，在同一地方进行反复五次的直线描绘。
[实验例8]
使用波长10.6μm、输出15W的碳酸气体激光（连续振荡），并使用焦点距离FL=300mm的聚光透镜42和电流镜，在以激光L的焦点F设定在从试验片中的上述透明导电层的表面朝向聚光透镜42侧离开3mm的位置的方式进行调整之后，将聚光点以沿着试验片的宽度方向以300mm/秒进行横断的方式移动，进行直线描绘。
在通过上述实验得到的导电图案形成基板（导电性基板）中，使用测试器将照射激光L的部分夹在中间，测定电阻值。并且，通过目视评价导电图案的视觉识别性（加工痕迹）。评价结果在表1中示出。
并且，评价的基准（A、B、C、D）如下所示。
A：优良。电阻值超过10MΩ，可靠地形成绝缘，且导电图案完全不能视觉识别。
B：良。电阻值超过10MΩ，可靠地形成绝缘，且导电图案几乎不能视觉识别（当组装于触摸面板时，实质上不能视觉识别加工痕迹）。
C：可。虽然电阻值超过10MΩ，可靠地形成绝缘，但是导电图案能够视觉识别（当组装于触摸面板时，能够用作制品（输入装置的输入部件1）的程度的水平）。
D：不可。电阻值在10MΩ以下，绝缘化不充分，或者以能够目视确认的程度形成烧焦或有孔。即，不能作为制品（输入装置的输入部件1）使用。
[表1]
Figure BDA00002832875300191
如表1所示，在制造例1（本发明的实施例1）中的实验例1、3、7中，照射区域的透明性或色调等的变化不能在光学显微镜下确认。并且，当利用电子显微镜观察照射区域时，能够确认仅银纳米丝从透明基体2蒸发而形成空隙5（图3）。尤其在实验例1中，完全不能感觉到照射区域的变化，得到良好的结果。并且，在实验例2、6中，当观察照射区域时，确认透明导电层a自身能通过烧蚀从PET薄膜上除去。
另一方面，在制造例2（比较例）中的实验例1～7中，没有得到评价A以及B。并且，在制造例2的实验例2、3、7中，在照射区域（图7中符号LI示出的照射区域）中，PET薄膜的表面的银蒸镀层被大范围除去，与具有导电性的未照射区域（图7中符号UI示出的未照射区域）相反，确认可以确保绝缘性。
并且，在实验例8中，在导电图案上残留明确的加工痕迹（评价D），未成为能够作为制品适用的水平。
[制造例3]触摸面板（输入装置）的输入部件1的制作（本发明的实施例）
接着，对使用上述透明导电膜以及导电性基板的本发明的膜式触摸面板（配线基板）用的输入部件1的制造例进行说明。
首先，在导电性基板用层叠体A的透明导电层a上，利用丝网印刷将市场上销售的银膏印刷成带状，形成连接器图案（connector pattern）。并且，如图8以及图10所示，在实验例2的条件下，在透明导电层a上将作为标记的“+”记号以5mm间距、长度1m的方式形成一列六个，并且隔开25mm标记两列，形成输入区域的标记。
接着，如图9以及图10所示，以“+”记号为基点，在实验例1的照射条件下照射六束长度35mm的线（激光L），形成输入区域内的配线图案。
接着，以“+”记号为基点，在实验例2的条件下以横断连接器图案的形式形成绝缘图案，得到具有25mm角的输入区域的触摸面板用配线基板。并且，准备一对该触摸面板用配线基板，当利用测试器确认时，这些触摸面板用配线基板的输入区域端部中的配线图案之间为绝缘状态。
接着，如图10所示，作为引出图案101，利用丝网印刷形成银膏（DOTITE（ドータイト）（注册商标）FA301CA：藤仓化成株式会社制（藤倉化成株式会社製））之后，使用丝网印刷，在这些触摸面板用配线基板中的一个上，以“+”记号为标记，以1mm间距形成多个由直径30μm、高度8μm的丙烯类树脂构成的间隔粒子30（参照图1）。
接着，将形成有间隔粒子30的触摸面板用配线基板、与未形成间隔粒子30的触摸面板用配线基板分别切成规定的形状，将相互的透明导电膜12（22）彼此对向配置，使用市场上销售的两面粘接带将四边贴合，形成透明的膜式触摸面板（输入装置）（参照图1）。
[评价]
这样制造的触摸面板的输入部件1被确认在网格上未附有间隔粒子30、配线图案，且具有作为密钥矩阵（key matrix）的功能。
[制造例4]触摸面板的输入部件的制作（比较例）
在预先印刷有间隔粒子30的导电性基板用层叠体A上，以与制造例3同样的条件进行图案形成，视觉确认间隔粒子30变黑。
[制造例5]膜式触摸面板（输入装置）的制作（本发明的实施例）
如图11所示，将由制造例3得到的五行五列的膜式触摸面板用的输入部件1，使用接口分别从行侧、列侧连接于5bit的端口121、122，确认得到对应于按压位置的输出。
此时，电源电压为5V，电流极限电阻102为3kΩ，上拉电阻/下拉电阻103为200Ω，行方向/列方向的晶体管104a、104b的hfe大约为200。
[制造例6]静电电容式触摸面板（输入装置）的制作（本发明的实施例）
准备两个制造例1的银纳米丝导电薄膜。如图13、图14所示，在各银纳米丝导电薄膜上设置定位用的导销孔280。并且，在这些银纳米丝导电薄膜上通过丝网印刷对银膏（DOTITE（注册商标）FA301CA：藤仓化成株式会社制（藤倉化成株式会社製））进行印刷，使其在100℃干燥15分钟，从而分别形成引出图案281。
接着，使用导销孔280，将上述银纳米丝导电薄膜固定在照射机的台上，以实施例2的照射条件，将外形记号282、印刷定位记号283做标记。
此外，在银配线图案部284，以实施例2的照射条件，与图案的延伸方向平行地对引出图案281彼此之间以及外侧进行照射而进行绝缘（0.1mm间隔）。
接着，以实施例1的照射条件在输入区域内进行图案照射，形成绝缘部I。
详细地说，通过形成绝缘部I，在成为图13的X侧电极片210的银纳米丝导电薄膜上，形成沿着X方向延伸的电极201a、沿着Y方向相邻的电极201a彼此包围的孤立电极202a、以及沿着Y方向相邻的电极201a的正方形相对的角部彼此夹着的小孤立电极203a。
并且，在成为图14的Y侧电极片220的银纳米丝导电薄膜上，形成沿着Y方向延伸的电极201b、沿着X方向相邻的电极201b彼此包围的孤立电极202b、以及沿着X方向相邻的电极201b的正方形相对的角部彼此夹着的小孤立电极203b。
接着，为了在成为X侧电极片210的银纳米丝导电薄膜的表面上设置绝缘层240，涂布由季戊四醇三丙烯酸酯（ペンタエリスリトールトリアクリレート）构成的紫外线固化类型的聚酯树脂墨水而对输入区域涂布，并使其固化。
接着，切除这些银纳米丝导电薄膜，得到X侧/Y侧电极片210、220。
然后，将X侧电极片210与Y侧电极片220，以电极201a、201b经由孤立电极202a、202b以组合成格子状的形状投影在输入部件200的表面上的方式，利用透明粘接片（粘接材料250）贴合，得到静电电容式触摸面板（输入装置）的输入部件200。
这样制作的输入部件200不能在输入区域内以目视确认配线图案，因此，良好地形成外观。
接着，在该输入部件200上，作为检测单元270，电连接静电电容式触摸面板接口（CY8C24094：Cypress社制），能够确认良好地进行利用手指H的操作。
符号说明
1、200输入部件                2透明基体
3网状部件                     4金属极细纤维
5空隙                         10、20导电性基板
11、21绝缘基板                12、22、212、222透明导电膜
100电极（导电部）             201a、201b电极（导电部）
202a、202b孤立电极（导电部）  210X侧电极片（导电性基板）
220Y侧电极片（导电性基板）    270检测单元
C导电部                       I绝缘部

Claims (10)

1.一种输入装置，其特征在于，包括：
输入部件，以在厚度方向上层叠的方式设置有一对导电性基板，所述导电性基板具有绝缘基板以及透明导电膜，所述透明导电膜设置在所述绝缘基板上且在具有绝缘性的透明基体内具备由具有导电性的金属构成的网状部件；以及
检测单元，电连接于所述透明导电膜，所述检测单元检测输入信号，
在所述透明导电膜上设置有：通过在所述透明基体内配置所述网状部件而成的导电部、以及通过除去所述透明基体内的所述网状部件的至少一部分而成的绝缘部。
2.根据权利要求1所述的输入装置，其特征在于，
在所述绝缘部上配置有通过除去所述网状部件而形成的空隙。
3.根据权利要求1或2所述的输入装置，其特征在于，
所述网状部件由在所述透明基体内分散且相互电连结的金属极细纤维构成。
4.根据权利要求3所述的输入装置，其特征在于，
所述金属极细纤维以银为主要成分。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的输入装置，其特征在于，
所述绝缘部的空隙通过对所述网状部件照射脉冲状激光而形成。
6.根据权利要求5所述的输入装置，其特征在于，
所述脉冲状激光是脉冲宽度小于1p秒的极短脉冲激光。
7.根据权利要求5所述的输入装置，其特征在于，
所述脉冲状激光是YAG激光或者YVO4激光。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的输入装置，其特征在于，
所述绝缘基板是透明的。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的输入装置，其特征在于，
所述输入部件将一对所述导电性基板的所述透明导电膜分别朝向沿所述厚度方向的一侧配置，
所述检测单元是静电电容式的。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的输入装置，其特征在于，
所述输入部件在一对所述导电性基板的所述透明导电膜彼此接近的状态下隔开间隔地相对配置，
通过输入操作，所述透明导电膜的一部分彼此能直流接触。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104020887A (zh) * 2014-05-30 2014-09-03 南昌欧菲光科技有限公司 触摸屏
CN104020888A (zh) * 2014-05-30 2014-09-03 南昌欧菲光科技有限公司 触摸屏
CN105590665A (zh) * 2014-11-12 2016-05-18 三星电子株式会社 纳米结构体、其制备方法及包括该纳米结构体的面板单元
CN111129090A (zh) * 2019-12-18 2020-05-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其测试方法

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5648993B2 (ja) * 2010-07-20 2015-01-07 信越ポリマー株式会社 導電パターン形成基板の製造方法及び導電パターン形成基板
JP5534437B2 (ja) * 2010-07-28 2014-07-02 信越ポリマー株式会社 入力装置
US9229559B2 (en) * 2010-11-26 2016-01-05 Sharp Kabushiki Kaisha Display device and method for producing same
JP5490034B2 (ja) * 2011-02-08 2014-05-14 信越ポリマー株式会社 導電パターン形成基板の製造方法及び導電パターン形成基板
JP5815439B2 (ja) * 2012-03-02 2015-11-17 信越ポリマー株式会社 透明配線シート
JP5816591B2 (ja) * 2012-04-27 2015-11-18 信越ポリマー株式会社 透明配線シートの製造方法
JP5987668B2 (ja) * 2012-12-06 2016-09-07 日立化成株式会社 表示装置およびその製造方法
TW201426103A (zh) * 2012-12-19 2014-07-01 Chih-Chung Lin 偏光板結構
CN104461145A (zh) * 2014-12-11 2015-03-25 深圳市华星光电技术有限公司 一种触摸屏及其制造方法
JP6504497B2 (ja) * 2015-03-04 2019-04-24 株式会社アルバック タッチパネルおよび透明導電性基板
JP6890372B2 (ja) * 2015-06-08 2021-06-18 アルプスアルパイン株式会社 車載入力装置
KR102004025B1 (ko) * 2016-03-15 2019-07-25 삼성에스디아이 주식회사 투명 도전체 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023155122A1 (zh) * 2022-02-18 2023-08-24 宁德时代新能源科技股份有限公司 极片检测的方法和装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004118381A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Ricoh Microelectronics Co Ltd アナログ式タッチパネル
CN1822324A (zh) * 2002-09-30 2006-08-23 精工爱普生株式会社 膜图案的形成方法、薄膜制造装置、导电膜布线
US20100041297A1 (en) * 2008-07-04 2010-02-18 Tsinghua University Method for making liquid crystal display adopting touch panel
JP2010044968A (ja) * 2008-08-13 2010-02-25 Nissha Printing Co Ltd 導電性パターン被覆体の製造方法および導電性パターン被覆体

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3785109B2 (ja) * 2002-04-08 2006-06-14 日東電工株式会社 透明導電積層体の製造方法
CA2487294A1 (en) * 2002-05-21 2003-12-04 Eikos, Inc. Method for patterning carbon nanotube coating and carbon nanotube wiring
JP2004146796A (ja) * 2002-09-30 2004-05-20 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、薄膜製造装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、並びに非接触型カード媒体
US7294372B2 (en) * 2003-10-01 2007-11-13 Eastman Kodak Company Conductive color filters
US7727578B2 (en) * 2007-12-27 2010-06-01 Honeywell International Inc. Transparent conductors and methods for fabricating transparent conductors
US7642463B2 (en) * 2008-01-28 2010-01-05 Honeywell International Inc. Transparent conductors and methods for fabricating transparent conductors
CN101620492B (zh) * 2008-07-04 2011-03-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 触摸屏的制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004118381A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Ricoh Microelectronics Co Ltd アナログ式タッチパネル
CN1822324A (zh) * 2002-09-30 2006-08-23 精工爱普生株式会社 膜图案的形成方法、薄膜制造装置、导电膜布线
US20100041297A1 (en) * 2008-07-04 2010-02-18 Tsinghua University Method for making liquid crystal display adopting touch panel
JP2010044968A (ja) * 2008-08-13 2010-02-25 Nissha Printing Co Ltd 導電性パターン被覆体の製造方法および導電性パターン被覆体

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104020887A (zh) * 2014-05-30 2014-09-03 南昌欧菲光科技有限公司 触摸屏
CN104020888A (zh) * 2014-05-30 2014-09-03 南昌欧菲光科技有限公司 触摸屏
CN105590665A (zh) * 2014-11-12 2016-05-18 三星电子株式会社 纳米结构体、其制备方法及包括该纳米结构体的面板单元
US10438715B2 (en) 2014-11-12 2019-10-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Nanostructure, method of preparing the same, and panel units comprising the nanostructure
CN111129090A (zh) * 2019-12-18 2020-05-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其测试方法
CN111129090B (zh) * 2019-12-18 2022-05-31 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其测试方法
US11379062B2 (en) 2019-12-18 2022-07-05 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Display panel and testing method thereof

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Publication number Publication date
CN103069369B (zh) 2016-05-18
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