CN103056066B - 涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供即使使用低粘度的涂布液也能够良好地制膜的涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法。一种涂布装置，具备：抽吸装置，用于使模具前端部的空间减压；和容器，用于贮留所述涂布液，所述容器配置在比涂布点靠下的位置上，将下游模唇与所述膜片的最短距离设为d1，将邻接模唇与所述膜片的最短距离设为d2，将所述邻接模唇的所述移动方向的宽度为L2，将最上层的膜厚设为h1，将除去最上层的所有膜的总膜厚设为h2，将在最下游模唇与膜片之间的膜片运送方向上的压力梯度设为dP/dX时，以满足式1～式4全部的方式设置所述模块构成所述模具。10μm≤(d1-d2)≤200μm？式1；d2≤3×h2？式2；50μm≤L2≤200μm？式3；dP/dX>0？式4。

Description

涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法

技术领域

本发明涉及在使用挤出型的模具连续运送的膜片的表面上涂布涂布液进行制膜的涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法，特别是将多个膜同时制膜的涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法。

背景技术

以往，作为在可挠性支撑体(以下，也称为膜片)的表面上涂布、制膜期望的厚度的涂布膜(涂布层)的涂布装置，已知有：刮棒涂布机方式、逆转辊涂布机方式、凹版辊涂布机方式、挤出涂布机等细缝模具(slotdie)涂布机方式等。

其中，细缝模具涂布机方式的涂布装置，与其他方式比较，能够高速进行薄膜(薄层)的涂布，因此应用广泛。近年来，伴随个人电脑的普及和家庭用电视机的薄型化，液晶监视器的需要增大，要求薄膜的制膜的偏光膜、光学补偿膜等光学膜的需要也提高。随之，能够进行薄膜的制膜、并且能够进行多层膜的制膜的狭缝模具涂布机方式的涂布装置备受瞩目。

作为这样的细缝模具涂布机方式的涂布装置，例如有：专利文献1中记载的挤出涂布装置。专利文献1中记载的挤出涂布方法，是在带状支撑体上同时涂布二层以上的涂布层的挤出涂布方法，其特征在于，使最下层粘度低于该邻接的层。由此，使0.01Pa·s以上的高粘度的涂布液形成薄膜，能够高速涂布。

专利文献1：日本特开2002-59062号公报

发明内容

但是，专利文献1中记载的涂布方法中，需要使最下层的粘度低于相邻接的层的粘度。这在制成多层膜的情况下成为很大的限制。

另外，相应于在膜片的行进方向上的上游侧的模唇，应该将构成吐出涂布液的模具的模块的前端面即模唇与膜片(带状支撑体)的距离，即模唇距离采用越大。层数越多，相应地最上游侧的模唇距离越大，因此，这成为装置构成上的制约。

另外，根据本研究者等的深入研究可知，专利文献1的涂布方法中，发生高低不均(段ムラ)和条纹(スジ)的不良。

本发明鉴于这样的情况，提供即使使用40mPa·s以下的低粘度的涂布液也能够进行同时多层制膜、并且能够降低高低不均和条纹的发生的涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法。

本发明的课题能够通过下述各发明来解决。

即，本发明的带多层膜的薄膜的制造方法是，将粘度为40mPa·s以下的涂布液同时多层涂布于被支撑辊支撑并连续移动的膜片的表面，由此，制造带多层膜的薄膜的方法，所述制造方法的主要特征在于，包括：准备工序，其中，准备由多个模块构成的模具和抽吸空气的抽吸装置；减压工序，其中，从所述模具的、在所述膜片的移动方向的上游侧通过所述抽吸装置抽吸空气，由此，对所述模具前端部与所述膜片之间的空间进行减压；和制膜工序，其中，一边在所述减压工序中进行减压，一边从所述模具的前端部对所述膜片吐出所述涂布液而在所述膜片制成多层膜，

所述模具具有通过组合所述多个模块而形成且用于贮留所述涂布液的容器，所述容器配置在比涂布点靠下的位置，所述涂布点为对膜片吐出从该容器供给的涂布液而与膜片或在膜片上形成的涂布膜接触的位置，

将在所述模块中作为所述移动方向的最下游的模块的前端面的下游模唇、与所述膜片的最短距离设为d1，将紧邻所述下游模唇的邻接模唇、与所述膜片的最短距离设为d2，所述邻接模唇为比所述最下游的模块靠上游侧一个模块的模块的前端面，将所述邻接模唇的所述移动方向的宽度设为L2，将最上层的膜厚设为h1，将除去最上层的所有膜的总膜厚设为h2时，以满足式1～式4全部的方式设置所述模块而构成所述模具，

10μm≤(d1-d2)≤200μm式1

d2≤3×h2式2

50μm≤L2≤200μm式3

dP/dX＞0式4。

由此，能够降低高低不均、条纹的不良。

另外，本发明的涂布装置为，从由多个模块构成的模具的前端涂布粘度为40mPa·s以下的涂布液，并在被支撑辊支撑且连续移动的膜片的表面同时制成利用所述涂布液形成的二层以上的膜的装置，所述涂布装置的主要特征在于，具有：抽吸装置，其从所述模具的、所述膜片的移动方向的上游侧抽吸空气，从而对所述模具前端部与所述膜片的表面之间的空间进行减压；和容器，其通过组合所述多个模块而形成并用于贮留所述涂布液，

所述容器配置在比涂布点靠下的位置，所述涂布点为对膜片吐出从所述容器供给的涂布液而与膜片或在膜片上形成的涂布膜接触的位置，

将在所述模块中作为所述移动方向的最下游的模块的前端面的下游模唇、与所述膜片的最短距离设为d1，将紧邻所述下游模唇的邻接模唇、与所述膜片的最短距离设为d2，所述邻接模唇为比所述最下游的模块靠上游侧一个模块的模块的前端面，将所述邻接模唇的所述移动方向的宽度设为L2，将最上层的膜厚设为h1，将除去最上层的所有膜的总膜厚设为h2时，以满足式1～式4全部的方式设置所述模块构成所述模具，

10μm≤(d1-d2)≤200μm式1

d2≤3×h2式2

50μm≤L2≤200μm式3

dP/dX＞0式4。

发明效果

即使使用粘度为40mPa·s以下的涂布液，也能够通过进行同时多层涂布而制成良好的膜。

附图说明

图1是表示本发明的涂布装置的一例的截面图。

图2是表示模具160与膜片120的位置关系、尺寸的概略图。

图3是表示评价条件和结果的表。

图4(A)是表示等节距状的高低不均的概略图。(B)是表示无规地产生的高低不均的概略图。

图5(A)是表示木纹形状的条纹的概略图。(B)是表示等节距状的细条纹的概略图。(C)是表示等节距状的粗条纹的概略图。(D)是表示粗条纹的概略图。

具体实施方式

以下，参考附图的同时，详细说明用于实施本发明的方式。在此，图中，用相同的标号表示的部分是具有同样的功能的同样的要素。另外，本说明书中，使用“～”表示数值范围的情况下，由“～”表示的上限、下限的数值也包括在数值范围内。

<涂布装置的构成>

本发明的涂布装置使用挤出型的模具，在被支撑辊上支撑且连续移动的膜片(也称为支撑体或者膜)的表面涂布作为牛顿流体的涂布液，使上述涂布液在上述膜片的表面进行同时制膜二层以上，由此，制作带多层膜的薄膜(也称为层叠膜)。

关于本发明的涂布装置的一个实施方式，参考附图进行说明。图1是表示本发明的涂布装置的一例的截面图。本发明的涂布装置100主要具备支撑膜片120并旋转的支撑辊140、和在上述膜片120涂布涂布液的模具160而构成。

模具160由多个模块162a、162b、162c构成。在模具160的内部，通过使这些多个模块组合，形成用于贮留涂布液的容器164a、164b、以及从上述容器164a、164b向模具160的前端部延伸的细缝166a、166b。

如图1所示，容器164a、164b能够由其截面形状为近圆形或者半圆形构成。容器164a、164b是沿模具160的宽度方向(相对于图面为垂直方向)使其截面形状延长的涂布液的液体贮留空间。

在此，图1中示出了三个模块162a、162b、162c、二个容器164a、164b、以及二个细缝166a、166b，模块的个数不限定于三个，容器以及细缝的个数也不限定于二个。根据需要的涂布膜的种类、数目，能够由必要的数量的模块形成必要的数量的容器、细缝。

作为模具的前端面的模唇，以与膜片120具有规定的距离来设置。将位于在膜片120的运送方向上的最下游(以下，上游、下游、上游侧、下游侧的记载全部是指在膜片120的运送方向上的上游(侧)、下游(侧))的模块即模块162a的前端面称为下游模唇，将正中的模块(与下游模唇相邻的模块、在比位于最下游的模块靠上游侧一个模块位置的模块)即模块162b的前端面称为邻接模唇，将最上游侧的模块即模块162c的前端部称为上游模唇时，以以下的式1～5、条件1～3的关系成立的方式构成模具。

在此，参照图2进一步进行说明。图2是表示模具160与膜片120的位置关系、尺寸的概略图。将利用最下游的细缝166a涂布的膜的膜厚设为h1，将利用比最下游细缝靠上游侧一个细缝的细缝166b涂布的膜的膜厚设为h2，将邻接模唇的前端与膜片的最短距离设为d2，将最下游模唇的前端与膜片的最短距离设为d1，将邻接模唇的膜片运送方向上的长度设为L2，另外，将dP/dX设为在最下游模唇与膜片之间的膜片运送方向上的压力梯度时，以满足以下的全部条件的方式构成涂布装置100。

·10μm≤(d1-d2)≤200μm式1

·d2≤3×h2式2

·50μm≤L2≤200μm式3

·dP/dX＞0式4

·在上游侧设置减压装置，从上游侧开始减压。条件1

·涂布液粘度40mPa·s以下条件2

·以容器的位置在比涂布点(从模具160吐出的涂布液与膜片120相接的部位)靠下的方式配置。条件3

在此，条件3的容器位置，如图1所示，位于距涂布点仅仅X1、X2的下方。关于X1、X2，如为正的值，则只要没有对其他装置的构成带来不良影响，就能够采用任意的值。

上述说明中，以在膜片上形成二层涂布膜的例子进行说明，但在膜片上涂布三层以上的涂布膜的情况下，将最上层以外的膜的总膜厚设为h2、将最上层膜厚设为h1、将最下游的模唇的前端与膜片的最短距离设为d2、将最下游的模唇的相邻的模唇的前端与膜片的最短距离设为d2，能够以满足上述式的关系的方式构成模具。

根据本发明人的深入研究，发现，通过以满足上述d1、d2、h1、h2、dP/dX的条件的方式构成涂布装置100，即使使用粘度40mPa·s以下的涂布液，在膜片上也能形成不具有高低不均、条纹、泡纹、在模唇前端的异物引起的抓痕条纹(引つかかりスジ)等的良好的涂布膜，从而能够制造层叠膜。

下面，关于式1～式4、条件1～条件3，以下详细地进行说明。

(1)关于式1[10μm≤(d1-d2)≤200μm]

本发明满足10μm≤(d1-d2)≤200μm的关系。d1-d2小于10μm时，上层侧的边道(ビ一ド)被下层侧的边道所打乱，没有均匀地形成整个边道。另一方面，200μm以上时，d1过大，有时边道从端部切开，或产生无规的高低不均。

另外，使d1-d2为200μm以下时，能够使最上层的膜以湿膜厚计为5μm以下、使最上层的邻接层的膜厚以湿膜厚计为40μm以下的膜厚进行同时多层涂布。如果不能使膜厚变薄，则不得不降低各层的固体成分浓度和粘度，从而容易引起层混合。d1-d2超过200μm时，产生条纹，无法使最上层的膜以湿膜厚5μm以下进行涂布。

(2)关于式2[d2≤3×h2]

本发明满足d2≤3×h2的关系。这是由于，在与最下游模唇相邻的模唇与膜片之间形成的边道上没有形成旋涡，因此，能够稳定地形成层叠边道。

(3)关于式3[50μm≤L2≤200μm]

本发明满足50μm≤L2≤200μm的关系。这是由于，L2小于200μm时，能够缩小减压度，大于50μm时，防止液液界面的静态接触线由于微小的干扰而从模唇端面偏离。

(4)关于式4[dP/dX]

本发明满足在最下游模唇与膜片之间的膜片运送方向的压力梯度dP/dX＞0。这是由于，相对于膜厚，模唇与膜片的最短距离过近时，对于振动等微小的干扰的耐性降低，从而产生高低不均。

(5)关于条件1[减压涂布]

在此，由于扩大模唇与膜片的间隔，从模唇前端进行涂布的涂布液引起而形成的膜片表面的边道，有时发生破碎的现象。为了抑制该现象，可以将边道从膜片运送方向的上游侧开始减压。另外，在减小对边道的干扰的含义方面，在边道成立的范围内优选减压值尽可能小。

从膜片运送方向的上游侧开始减压，在模具的上游侧设置盖体，通过作为抽吸装置的泵从盖体中吸出空气，从而能够进行减压。

(6)关于条件2[涂布液粘度40mPa·s以下]

例如，在像光学膜这样干燥后的涂布膜非常薄的情况下，为了增加湿膜厚而容易涂布，通常尽可能降低涂布液的固体成分浓度来涂布。因此，涂布液的粘度也相当减小。但是，在涂布粘度为40mPa·s以下的液体的情况下，液体的流动性高，因此，均匀地形成层叠边道非常困难。本发明是在使用40mPa·s以下的液体时发挥绝对效果的技术。

(7)关于条件3[容器位置]

下面，关于容器与涂布点的位置关系，参照图1进行说明。在此，涂布点是指，从模唇吐出的涂布液与膜片(在膜片上形成有膜的情况下，指膜片上的最上层的膜)接触的位置。本发明中，容器以其位置在比涂布点靠下的方式配置。这是由于，通过使容器位置在比涂布点靠下的位置，气泡等没有在容器处滞留而除去，从而不会产生泡纹。由此，在此所谓的“比涂布点靠下”不是仅仅指涂布点的正下方，而是指通过涂布点且与地面平行的水平面的下方的整个位置。

<评价>

下面，对于本发明的涂布装置的评价内容以及评价结果进行说明。评价如下进行，使用图1中记载的涂布装置在规定的条件下在膜片上形成涂布膜，通过目视来观察所形成的涂布膜，评价膜的品质。

将涂布液B200从细缝166b吐出进行涂布，将涂布液A210从细缝166a吐出而进行涂布。从膜片行进方向的上游侧抽出空气而减压的同时进行涂布。膜厚h1、h2，如图1所示，涂布液A210以湿膜厚计涂布h2μm，涂布液B200以湿膜厚计涂布h1μm。

如图2所示，将邻接模唇与膜片120的最短距离设为d2、将最下游模唇与膜片120的最短距离设为d1。在涂布速度为30m/分钟下进行涂布。

本评价中，使用咬合不正(アンダ一バイト)、即d1＞d2的涂布装置进行评价。在此，所谓咬合不正是指，从膜片运送方向上看，最下游侧模唇前端与膜片之间的最短距离d1短于相邻模唇前端与膜片之间的距离d2。

图3中示出了上述评价的各实施例、比较例的条件和评价结果。图3是表示评价条件和结果的表。图3中，容器与涂布点的位置关系的一栏表示位置高者(处于上方)。由此，在记载为涂布点的情况下，表示以涂布点的位置高于容器的位置的方式设定涂布装置进行涂布。另外，在记载为容器的情况下，表示以容器的位置高于涂布点的位置的方式设定涂布装置进行涂布。

dP/dX表示在最下游模唇与膜片之间的膜片运送方向的压力梯度(斜率)，正表示斜率为正，负表示斜率为负，0表示斜率为0。即，将最下游侧的模唇的出口侧压力大于入口侧的情况表示为正。

在高低不均、条纹、综合评价的项中，○、×、不能判断表示如下内容。

·高低不均的项

○：在3波长白光下，没有观察到高低不均或者略微观察到但对性能没有影响。

×：在3波长白光下，观察到高低不均，性能不令人满意。

不能判断：涂布不成立、或者涂布状态过度，无法判断任何不良模式。

·条纹的项

○：在3波长白光下，没有观察到条纹或者略微观察到但对性能没有影响。

×：在3波长白光下，观察到条纹，性能不令人满意。

不能判断：涂布不成立，或者涂布状态过度，无法判断任何不良模式。

·综合评价的项

○：高低不均和条纹均判定为○的情况。

×：高低不均和条纹中的一个为×或者不能判断的情况。

在此，关于高低不均和条纹，参照图4A至图5D进行说明。图4A至图5D中，箭头表示膜片的行进方向。

图4(A)是表示等节距状的高低不均的概略图。如图4(A)所示，等节距状的高低不均表示：与膜片的宽度方向(与行进方向垂直的方向)平行的一定的膜厚不均在膜片的行进方向上等间隔地产生。

图4(B)是表示无规地产生的高低不均的概略图。如图4(B)所示，无规地产生的高低不均表示：与膜片的宽度方向平行的膜厚不均在膜片的行进方向上无规地产生。

图5(A)是表示木纹形状的条纹的概略图。如图5(A)所示，木纹形状的条纹表示：在膜片的行进方向上产生木纹状。

图5(B)是表示等节距状的细条纹的概略图。如图5(B)所示，等节距状的细条纹表示：与膜片的行进方向平行的粗细为1mm以下的膜厚不均在膜片的宽度方向上等间隔地产生。

图5(C)是表示等节距状的粗条纹的概略图。如图5(C)所示，等节距状的粗条纹表示：与膜片的行进方向平行的粗细为1mm以上的膜厚不均在膜片的宽度方向上等间隔地产生。

图5(D)是表示粗条纹的概略图。如图5(D)所示，粗条纹表示：膜片的行进方向平行的粗细1mm以上的膜厚不均在膜片的宽度方向上产生1个以上，明确地认为是由于泡。

《评价结果》

下面，参照图3，对评价结果进行说明。

(1)关于式1[10μm≤(d1-d2)≤200μm]

将实施例1-3、与比较例3、4进行比较。实施例1-3，满足10μm≤(d1-d2)≤200μm，相对于此，比较例3、4不满足10μm≤(d1-d2)≤200μm。特别是将实施例3与比较例3、4进行比较，尽管d1、d2以外的条件相同，但实施例3[(d1-d2)＝200μm]综合评价为○，对比较例3[(d1-d2)＝5]而言，不能判断不良程度的过差涂布状态而综合评价为×，比较例4[(d1-d2)＝210]发生无规地产生的高低不均和等节距状的粗条纹，综合评价为×。实施例1[(d1-d2)＝10]、实施例2[(d1-d2)＝100]的综合评价也为○。由此可知，通过满足10μm≤(d1-d2)≤200μm的条件，防止高低不均、条纹的不良。

(2)关于式2[d2≤3×h2]

将实施例5、8与比较例8进行比较。实施例5满足d2＜3×h2，实施例8满足d2＝3×h2，但比较例8不满足d2≤3×h2。另外，d2以外的评价条件也与实施例5、8、比较例8相同。此时，实施例5、8中，综合评价为○，但比较例8中，发生等节距状的高低不均不良，综合评价为×。另外，实施例1-4、6-7均满足d2≤3×h2，综合评价为○。由此可知，通过满足d2≤3×h2，防止高低不均、条纹的不良。

(3)关于式3[50μm≤L2≤200μm]

下面，将实施例4-6与比较例5、6进行比较。实施例4(L2＝50)、实施例5(L2＝100)、实施例6(L2＝200)均满足50μm≤L2≤200μm，但比较例5(L2＝40)、比较例6(L2＝210)均不满足50μm≤L2≤200μm。对实施例4-6与比较例5、6而言，L2以外的评价条件相同。实施例4-6的全部综合评价为○，但比较例5产生等节距状的细条纹而综合评价为×，比较例6产生等节距状的高低不均而综合评价为×。由此可知，通过满足50μm≤L2≤200μm的条件，防止高低不均、条纹的不良。

(4)关于式4[dP/dX]

实施例1～8的全部dP/dX为正，综合评价为○。相对于此，dP/dX为负的比较例1、dP/dX为0(零)的比较例2均发生等节距状的高低不均而综合评价为×。由此可知，通过满足dP/dX＞0的条件，防止高低不均不良。

(5)关于条件2[涂布液粘度40mPa·s以下]

比较例9的涂布液粘度为60mPa·s，比40mPa·s大。该情况下，dP/dX即使为负，综合评价也为○。其表示使用高粘度的涂布液的以往的涂布方法。但是，近年来，制作薄膜的要求高，为了制作薄膜，需要使用低粘度的涂布液。

在此，参照比较例1时，除了粘度为40mPa·s以外，在与比较例9(使用高粘度涂布液的以往条件)相同的条件下制膜时，发生等节距状的高低不均。由此发现，在使用涂布液粘度为40mPa·s以下的低粘度涂布液的情况下，发生使用粘度大于40mPa·s的涂布液时没发生过的高低不均不良。

(6)关于条件3[容器位置]

将实施例5与比较例7进行比较。实施例5是用涂布点位置比容器位置高的装置进行涂布，比较例7是用容器位置为比涂布点高的位置的装置进行涂布。另外，除了容器与涂布点的高度位置以外的评价条件，在实施例5和比较例7中相同。此时，实施例5中，综合评价为○，但比较例7中，产生明显认为是由于气泡导致的粗条纹，综合评价为×。另外，实施例1-4、6-8均用涂布点位置比容器位置高的装置进行涂布，综合评价为○。由此可知，通过在涂布点比容器位置高的位置进行涂布，防止由气泡产生的不良。

符号说明

100...涂布装置、120...膜片、140...支撑辊、160...模具、162a...模块、162b...模块、162c...模块、164a...容器、164b...容器、166a...细缝、166b...细缝、200...涂布液B、210...涂布液A

Claims (2)

1.一种带多层膜的薄膜的制造方法，将粘度为40mPa·s以下的涂布液同时多层涂布于被支撑辊支撑并连续移动的膜片的表面，由此，制造带多层膜的薄膜，所述制造方法的特征在于，包括：

准备工序，其中，准备由多个模块构成的模具和抽吸空气的抽吸装置；

减压工序，其中，从所述模具的、在所述膜片的移动方向的上游侧通过所述抽吸装置抽吸空气，由此，对所述模具前端部与所述膜片之间的空间进行减压；和

制膜工序，其中，一边在所述减压工序中进行减压，一边从所述模具的前端部对所述膜片吐出所述涂布液而在所述膜片制成多层膜，

所述模具具有通过组合所述多个模块而形成且用于贮留所述涂布液的容器，

所述容器配置在比涂布点靠下的位置，所述涂布点为对膜片吐出从该容器供给的涂布液而与膜片或在膜片上形成的涂布膜接触的位置，

将在所述模块中作为所述移动方向的最下游的模块的前端面的下游模唇、与所述膜片的最短距离设为d1，

将紧邻所述下游模唇的邻接模唇、与所述膜片的最短距离设为d2，所述邻接模唇为比所述最下游的模块靠上游侧一个模块的模块的前端面，

将所述邻接模唇的所述移动方向的宽度设为L2，

将最上层的膜厚设为h1，

将除去最上层的所有膜的总膜厚设为h2，

将在最下游模唇与膜片之间的膜片运送方向上的压力梯度设为dP/dX时，以满足式1～式4全部的方式设置所述模块而构成所述模具，

10μm≤(d1-d2)≤200μm式1

d2≤3×h2式2

50μm≤L2≤200μm式3

dP/dX>0式4。

2.一种涂布装置，从由多个模块构成的模具的前端涂布粘度为40mPa·s以下的涂布液，并在被支撑辊支撑且连续移动的膜片的表面同时制成利用所述涂布液形成的二层以上的膜，所述涂布装置的特征在于，具有：

抽吸装置，其从所述模具的、所述膜片的移动方向的上游侧抽吸空气，从而对所述模具前端部与所述膜片的表面之间的空间进行减压；和

容器，其通过组合所述多个模块而形成并用于贮留所述涂布液，

所述容器配置在比涂布点靠下的位置，所述涂布点为对膜片吐出从所述容器供给的涂布液而与膜片或在膜片上形成的涂布膜接触的位置，

将在所述模块中作为所述移动方向的最下游的模块的前端面的下游模唇、与所述膜片的最短距离设为d1，

将紧邻所述下游模唇的邻接模唇、与所述膜片的最短距离设为d2，所述邻接模唇为比所述最下游的模块靠上游侧一个模块的模块的前端面，

将所述邻接模唇的所述移动方向的宽度设为L2，

将最上层的膜厚设为h1，

将除去最上层的所有膜的总膜厚设为h2，

将在最下游模唇与膜片之间的膜片运送方向上的压力梯度设为dP/dX时，以满足式1～式4全部的方式设置所述模块构成所述模具，

10μm≤(d1-d2)≤200μm式1

d2≤3×h2式2

50μm≤L2≤200μm式3

dP/dX>0式4。