CN103030267B - 刻划方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种抑制刻划时的「切损」「破裂」「交点消失」等不良情况的脆性材料基板的刻划方法。本发明是一种利用刀轮6在基板W形成纵向划线及横向划线的刻划方法，借由纵向刻划基板W，而空出成为端材的纵狭缝D1形成多行由2条纵向划线S1、S2形成的纵向单位制品列，其次，自形成纵向单位制品列的单侧边的纵向划线S1起进行横向刻划，直至形成另一侧边的纵向划线S2为止，借此依序加工划分单位制品W1的横向划线S3。

Description

刻划方法

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板等脆性材料基板的刻划方法，更详细而言，特别是涉及一种于基板上沿着分割预定线形成纵、横划线(切槽)的刻划方法。

背景技术

已知有如下方法，即，如图11所示，借由一面将刀轮按压至大面积的母基板W一面使其转动，而形成相互交叉的多条纵、横划线Sa、Sb，沿着该划线将基板W折断，借此分割为各单位制品并取出单位制品W1(例如专利文献1、专利文献2等)。

在利用刀轮C交叉刻划该种相互交叉的纵向划线Sa及横向划线Sb时，有在划线Sa、Sb的交点处产生被称为「切损」或「破裂」的加工不良的情形。

所谓「切损」是指如图12所示，在最初形成纵向划线Sa后，使刀轮C压接转动而形成横向划线Sb时，承载有刀轮的压接力(按压力)之侧的基板(图左侧的基板)较未承载该压接力之侧的基板(图右侧的基板)而言如箭头所示般下沉，当越过已设的划线Sa时，到达至右侧的基板时产生的微细的切损(图中以α表示)。

又，所谓「破裂」是指如图13所示，在最初形成纵向划线Sa后，形成横向划线Sb时，刀轮越过已设的划线Sa时，划线Sa的垂直方向的裂痕K在基板的背面附近向倾斜方向形成。图中以β表示该「破裂」。

该种「切损」或「破裂」当然为损害分割后的制品的品质者，且成为降低制造良率的较大的原因。

因此，在专利文献3中揭示有如下方法，即，在交叉刻划脆性材料基板时，以在划线的交点附近暂时减小刀轮的刻划压力的方式控制按压力，从而防止「切损」或「破裂」的产生。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2001-328833号公报

[专利文献2]日本专利特开2004-359502号公报

[专利文献3]日本专利特开2009-132614号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

然而，于以在划线的交点附近暂时减小刀轮的刻划压力的方式控制按压力的专利文献3所记载的方法中，需要使按压力复杂变化的专用的控制程序或机械动作系统而花费时间与成本。又，存在因具有厚度的基板或材料组成而基本无法减小刻划压力的情形，而无法完全防止「切损」或「破裂」。

又，若在划线的交点附近减小刀轮的刻划压力，则有产生被称为「交点消失」的不良现象之虞。该现象是指在借由刀轮形成最初形成的划线、及与其交叉的第2划线时，之后应形成的划线并未在交点附近形成。认为其原因在于，在最初形成的划线的槽两侧残存有应力，在刀轮横切残存有该应力的部位时，刀轮的按压力削弱。若产生该种「交点消失」的现象，则当然在自划线分割基板时无法获得美观的分割面，而无法制作高品质的制品。

因此，本发明的目的在于提供一种解决上述「切损」「破裂」「交点消失」等先前课题的新颖的脆性材料基板的刻划方法。

[解决问题的技术手段]

为达成上述目的，在本发明中采取如下的技术手段。即，本发明的刻划方法是一种利用刀轮在基板形成纵向划线及横向划线的刻划方法，首先，借由纵向刻划上述基板，而空出成为端材的纵狭缝形成多行由成为左边及右边的2条纵向划线而形成的纵向单位制品列。其次，自形成上述纵向单位制品列的单侧边即左边或右边的纵向划线起进行横向刻划，直至形成另一侧边即右边或左边的纵向划线为止，借此依序加工划分单位制品的横向划线。

[发明的效果]

根据本发明的刻划方法，为了在刻划时刀轮不使划线交叉，而在单位制品列的形成左边(或右边)的纵向划线至形成右边(或左边)的纵向划线之间形成横向划线，故而不存在越过纵向划线而形成的交点。借此，具有如下效果，即，可明显地减少上述交点处的「切损」或「破裂」的产生，并且亦可消除「交点消失」的现象，而可获得分割面美观的高品质的单位制品。

在本发明中，较佳为，使用与应形成的纵向单位制品列的数量相同数量的刀轮，首先，加工形成纵向单位制品列的各者的单侧边即左边或右边的纵向划线，其次，加工形成纵向单位制品列的各者的另一侧边即右边或左边的纵向划线，其次，同时横排地加工划分各纵向单位制品列的单位制品的横向划线。

借此，以2次刻划便可空出成为端材的狭缝而形成多行纵向单位制品列，并且亦可同时横排地形成划分各纵向单位制品列的单位制品的横向划线。

又，在本发明中，亦可以在上述纵向单位制品列的单位制品之间形成成为端材的横狭缝的方式加工上述横向划线。

借此，由于在相邻的单位制品的纵、横之间形成有狭缝，故而可借由分割时将该狭缝部分作为端材废弃而获得更高品质的单位制品。

附图说明

图1是表示用以实施本发明的刻划方法的刻划装置之一例的图。

图2是表示本发明的刻划方法的第1步骤的说明图。

图3是表示本发明的刻划方法的第2步骤的说明图。

图4是表示本发明的刻划方法的第3步骤的说明图。

图5是表示本发明的刻划方法的第4步骤的说明图。

图6是表示借由本发明的刻划方法而刻划的母基板的平面图。

图7是表示借由本发明的第2实施例而刻划的母基板的平面图。

图8是表示本发明的第2实施例中的刻划方法的第1步骤的说明图。

图9是表示本发明的第2实施例中的刻划方法的第2步骤的说明图。

图10是表示本发明的刻划方法的另一实施例的说明图。

图11是表示刻划为格子状的先前的母基板的平面图。

图12是说明先前的交叉刻划时产生的「切损」现象的图。

图13是说明先前的交叉刻划时产生的「破裂」现象的图。

【主要元件符号说明】

1刻划装置4刻划头

6刀轮7载置台

D1、D2狭缝S1、S2纵向划线

S3横向划线

具体实施方式

以下，根据图1～图6详细地说明本发明的刻划方法的详情。图1是表示用以实施本发明的刻划方法的刻划装置之一例的立体图。在本实施例中，进行用以自1片母基板W取出12个相同形状的单位制品W1的加工。

刻划装置1包括左右一对支柱2、2、及桥架在上述支柱2、2的横梁(亦称为梁)3，横梁3沿着X方向配置。在横梁3上，多个、本实施例中为3个刻划头4沿着导引件5在X方向上可移动地设置。在刻划头4的下端安装有用以对母基板W加工纵、横划线的刀轮6。刀轮6是借由设置于刻划头4的众所周知的切换机构(未图示)，而可将其转动方向切换为X方向、及在平面上与X方向正交的Y方向的双方。

在刻划头4的下方配置有载置母基板W的载置台7，在该载置台7的表面设置有用以吸附保持母基板W的空气吸引孔(未图示)。又，载置台7形成为借由滚珠螺杆9可沿着在Y方向上延伸设置的轨道8往复移动。

其次，对使用上述刻划装置1的本发明的刻划方法进行说明。

首先，如图2所示，空出特定间隔(下述间距P与端材的宽度即纵狭缝D1之和)配置刻划装置1的3个刻划头4。其次，将母基板W载置保持于载置台7，一面将刻划头4的刀轮6按压至母基板W一面使载置台7沿Y方向移动，借此，加工成为纵长形成的单位制品列的各者的左边的纵向划线S1。

其次，如图3所示，在X方向上以间距P移动配置3个刻划头4。该间距P与所形成的纵向单位制品列的横宽相当。在此状态下与划线S1同样地，一面将刻划头4的刀轮6按压至母基板W一面使载置台7沿Y方向移动，借此，加工成为纵长形成的单位制品列的各者的右边的纵向划线S2。

借此，借由左右划线S1、S2而划分的纵向单位制品列隔开纵狭缝D1而形成3行。再者，只要纵狭缝D1为成为端材的部分而可进行折断处理即可，故而较佳为端材的面积不怎么变大，例如较佳为10mm以下。

其次，如图4所示，在将刀轮6的转动方向切换为X方向后，使其移动直至到达至划线S1上为止。又，沿Y方向搬送载置台7，并使其在将要形成横向划线的位置上停止。其后，一面将刀轮6按压至母基板W一面使其沿着导引件5自形成纵向单位制品列的实质的左边的纵向划线S1移动至形成右边的划线S2，借此，同时横排地加工实质上划分纵向单位制品列的单位制品的横向划线S3。以此方式，如图5所示般依序加工横向划线S3。借此，借由如图6所示的纵、横划线S1、S2、S3而将成为单位制品W1的区域形成为格子状。

再者，划线S3亦可反向地自划线S2移动至划线S1。在此情形时，自划线S2上沿着划线S1移动。

其后，形成有划线的母基板W被输送至折断装置，沿着纵、横划线进行折断处理而被分割，取出单位制品W1。

根据上述刻划方法，由于横向划线S3形成于从形成纵向单位制品列的实质的左边的纵向划线S1至形成右边的纵向划线S2之间，故而不存在越过纵向划线S1、S2而形成的交点。借此，可明显地抑制上述交点处的「切损」或「破裂」的产生，并且亦可消除「交点消失」的现象，而可获得分割面美观的高品质的单位制品。

又，在刻划时，在横向划线S3的终端且到达至纵向划线S2时，即使万一在纵狭缝D1部分产生微少的「切损」，但由于纵狭缝D1部分在分割后作为端材而废弃，故而对取出的单位制品W1完全无影响。

在本发明中，如图7所示，亦可以在纵向单位制品列的单位制品W1之间形成横狭缝D2的方式加工横向划线S3。在此情形时，可借由如下方式进行，即，如图8及图9所示，考虑单位制品的Y方向的宽度与狭缝而预先设定载置台7于Y方向上的馈间距，与上述实施例同样地，利用安装于刻划头4的多个刀轮6进行横向刻划而依序地加工划线S3。

在该实施例中，由于在相邻的单位制品W1的纵、横之间形成有狭缝D1、D2，故而借由分割时将该狭缝部分作为端材废弃而可获得更高品质的单位制品W1。

在本发明中，在所取出的单位制品W1的数量相同的情形时，只要增加纵向单位制品列，且对应该单位制品列的数量而增加刻划头的数量进行加工，则可进一步实现作业的高速化。

例如，在将所取出的单位制品W1设为12个的情形时，由于在上述实施例中纵向单位制品列为3行，故而为加工纵向划线S1、S2而使用3个刻划头4在Y方向上刻划2次，为加工横向划线S3而必需对应于划线S3的数量，即在图7的实施例中刻划8次。相对于此，为加工相同的图7所示的母基板W，如图10所示，在横置母基板W，成为纵向单位制品列横向排列为4行的状态，并利用4个刻划头4进行加工的情形时，为加工纵向划线S1、S2而在Y方向上刻划2次，为加工横向划线S3而借由6次刻划可形成。即，横向刻划与前者的8次相比进行6次即可，故而可相应地实现刻划作业的高速化。

在上述实施例中，使载置台7沿Y方向移动而加工纵向划线S1、S2，但亦可相反地以使支持刻划头4的横梁3或支柱2可移动的方式进行刻划。又，对于横向划线S3而言，亦可以使载置台7沿X方向可移动的方式进行。

以上对本发明的具有代表性的实施例进行了说明，但本发明并不特定于上述实施形态。例如于纵向的刻划加工中，亦可相反顺序地加工左边与右边，于横向的刻划加工中，亦可自右边朝向左边进行加工。此外，可在达成本发明的目的且不脱离权利要求的范围内进行适当修正、变更。

[产业上的可利用性]

本发明的分割方法是用于在由玻璃基板等脆性材料所构成的基板上沿着折断预定线形成纵、横划线的刻划方法。

Claims (2)

1.一种刻划方法，其是利用刀轮在基板形成纵向划线及横向划线的刻划方法，其特征在于：

借由纵向刻划上述基板，而空出成为端材的纵狭缝形成多行由左边及右边的2条纵向划线形成的纵向单位制品列，

其次，自形成上述纵向单位制品列的左边或右边的纵向划线起进行横向刻划，直至形成右边或左边的纵向划线为止，借此依序加工划分单位制品的横向划线；

其中使用与应形成的纵向单位制品列的数量相同数量的刀轮，

首先，加工形成纵向单位制品列的各者的左边或右边的纵向划线，

其次，加工形成纵向单位制品列的各者的右边或左边的纵向划线，

其次，将刀轮的转动方向切换为横向，同时横排地加工划分各纵向单位制品列的单位制品的横向划线。

2.如权利要求1所述的刻划方法，其特征在于其中以在上述纵向单位制品列的单位制品之间形成成为端材的横狭缝的方式加工上述横向划线。