CN102994947A - 类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法 - Google Patents

类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102994947A
CN102994947A CN2011102772614A CN201110277261A CN102994947A CN 102994947 A CN102994947 A CN 102994947A CN 2011102772614 A CN2011102772614 A CN 2011102772614A CN 201110277261 A CN201110277261 A CN 201110277261A CN 102994947 A CN102994947 A CN 102994947A
Authority
CN
China
Prior art keywords
diamond
film
molybdenum disulfide
multilayer film
nano multilayer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011102772614A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102994947B (zh
Inventor
王立平
亓健伟
王云锋
薛群基
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XUZHOU RUICHUANG INTELLIGENT TECHNOLOGY Co.,Ltd.
Original Assignee
Lanzhou Institute of Chemical Physics LICP of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lanzhou Institute of Chemical Physics LICP of CAS filed Critical Lanzhou Institute of Chemical Physics LICP of CAS
Priority to CN201110277261.4A priority Critical patent/CN102994947B/zh
Publication of CN102994947A publication Critical patent/CN102994947A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102994947B publication Critical patent/CN102994947B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法，采用双靶磁控溅射技术在不锈钢基底上交替沉积类金刚石层和二硫化钼层，最终获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜。类金刚石单层厚度为10～100nm，二硫化钼单层厚度为10-100nm，类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜总厚度为1.5～6μm。本发明制得的纳米多层薄膜不仅改善了软质二硫化钼薄膜的耐磨寿命不足和摩擦系数环境敏感性问题，同时解决了硬质类金刚石薄膜脆性大和韧性差等问题，在高真空环境下的磨损率较传统的二硫化钼或类金刚石薄膜降低1-2个数量级，实现了超低摩擦以及高硬度与韧性的完美匹配。

Description

类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法，属于固体润滑薄膜材料领域。
背景技术
高硬度类金刚石薄膜和磁控溅射二硫化钼薄膜是近年来在航空航天、高技术装备无油润滑系统等领域应用较多的两种固体润滑薄膜。其中高硬度和低摩擦类金刚石薄膜是近年来关注较多的新型防护薄膜，它具有耐磨与润滑一体化特性。但是类金刚石薄膜存在高应力和脆性等瓶颈问题，直接限制了其在高技术领域的广泛应用，因此具有强韧化特性的类金刚石薄膜一直是产业界追求的理想薄膜材料。
与此同时，具有层状结构的软质二硫化钼薄膜在高真空以及干燥环境下具有超低摩擦系数、耐辐射等优点。但是由于层状结构的二硫化钼晶体边缘的不饱和悬键具有化学活性，在潮湿空气和富氧环境的摩擦过程中容易粘附到金属表面和被氧化使其摩擦性能急剧下降，甚至失去润滑作用，从而对机械系统的安全可靠性和机械零部件的使用寿命产生影响。因此，如何获得具有强韧化特性(硬度超过10GPa)、超低摩擦和超长使用寿命的新型二硫化钼基润滑薄膜一直是固体润滑与抗磨损薄膜领域的技术难题。对现有技术进行的检索发现：为了提高二硫化钼的耐磨寿命和降低其摩擦系数对环境的依赖性，已有的专利技术(如中国专利-公开号CN 1470625A)提到，石墨与二硫化钼复合能减缓二硫化钼润滑膜的摩擦氧化，提高其寿命，原因在于石墨能优先吸附大气中的水汽和氧，从而能够抑制二硫化钼发生氧化失效，但其改善二硫化钼使用寿命的效果仍不尽人意。中国专利(CN 101550535B)提供了一种复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法，该复合薄膜具有较低的摩擦系数，但是其硬度较低，硬度值均小于5.9GPa.中国专利(CN 201010282390.8)采用磁控溅射制备了MoS2-TiC-C复合薄膜，其硬度仅达到7.6GPa，大气环境下摩擦系数仍然高达0.04。
如何能够协同利用高硬度类金刚石薄膜和软质二硫化钼薄膜的各自优势，获得具有高硬度和韧性匹配、高耐磨和低摩擦匹配的类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜是解决以上问题的途径之一。最佳的思路就是设计制备出软/硬交替的类金刚石/二硫化钼纳米多层膜体系，其中软层二硫化钼起到剪切带的作用，使得硬层类金刚石膜之间可以在低应力水平的情况下产生一定的“相对滑动”，以缓解高硬度膜层的界面应力并保持一定的韧性。同时，类金刚石纳米层的引入也能很大程度的改善二硫化钼薄膜的环境敏感性。对现有文献和专利检索，未发现采用双靶磁控溅射技术直接溅射石墨靶和二硫化钼靶来交替沉积类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜的具体技术措施和手段。
发明内容
本发明的目的是提供一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法，克服现有高硬度类金刚石薄膜存在的脆性强韧性差以及软质二硫化钼薄膜硬度低和耐磨寿命差等问题，获得的类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜具有超低摩擦、高硬度与韧性一体化等特性。
本发明是通过以下技术方案实现的：
一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜，其特征在于该薄膜镀覆在不锈钢表面上，薄膜由高硬度类金刚石薄膜和二硫化钼润滑膜多层交替构成；类金刚石薄膜单层厚度为10～100nm，层数为10-100层，二硫化钼润滑膜单层厚度为10-100nm，层数为10-100层；类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜总厚度为1.5～6μm，硬度为12-18GPa。
本发明还提供了上述纳米多层润滑薄膜的制备方法，首先对不锈钢基底进行超声清洗前处理，然后置于MFD800型双靶磁控溅射气相沉积系统的真空腔中，依次沉积以下薄膜：(a)预抽真空至5×10-4Pa，放电气压为1.0～1.5Pa，偏压为-500～-1000V，对不锈钢基底进行20～30min的氩等离子体溅射活化处理；(b)单层类金刚石碳薄膜沉积，采用直流电源控制石墨靶，氩气气氛，放电气压为0.8Pa，控制石墨靶电流为1.0～1.4A，在不锈钢基底上施加偏压-200～-400V，沉积时间为1～15min；(c)单层二硫化钼润滑层沉积，采用射频电源控制二硫化钼靶，功率为200～600W，沉积时间为1～10min；(d)重复步骤(b)和(c)，交替沉积类金刚石层和二硫化钼润滑层，直到所需厚度或层数，最终在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜。
本发明所述的双靶磁控溅射气相沉积系统为中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司生产的MFD800型双靶磁控溅射气相沉积系统。
采用高真空摩擦磨损试验机对本发明纳米多层薄膜在真空环境下进行了摩擦学性能评价(摩擦条件采用球-盘旋转模式，旋转速度为500rpm，载荷为3N，摩擦对偶为Φ3mm的GCr15钢球，测试环境的真空度10-5Pa左右)。同时在大气环境下对纳米多层薄膜进行了摩擦磨损评价(采用球-盘往复模式，线速度为12cm/s，300000转，载荷为5N，摩擦对偶为Φ6mm的GCr15钢球)。采用纳米压痕仪(Nano Test 600，Micro Materials Ltd，UK)纳米多层薄膜的纳米硬度。结果表明：本发明获得的类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜纳米硬度达到12-18GPa，在高真空下具有超低摩擦系数，摩擦系数稳定在0.01以下，实现了超润滑性能，其磨损率较传统的类金刚石或者二硫化钼固体润滑薄膜降低1～2个数量级。在大气环境下也实现了超低的摩擦系数(0.02～0.03)，其磨损较传统的类金刚石或者二硫化钼固体润滑薄膜降低1～2个数量级。因此本发明类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜能够实现在高真空环境和大气环境下的超低摩擦和超长服役寿命效果。
本发明的主要优点是制得的类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜具有在各种环境下超低摩擦、高硬度与韧性一体化等特性。其特点在于高硬度的类金刚石膜层提供了良好的承载力和抗磨能力，而交替沉积的二硫化钼润滑膜则起到了降低磨合初期的摩擦和非正常磨损。该纳米多层薄膜还解决了常规高硬度类金刚石薄膜内应力高，结合强度低，脆性强，韧性差等缺点，同时提高了软质二硫化钼润滑膜的硬度和耐磨寿命并降低了摩擦系数对环境的敏感性等问题，其在机械、电子、轴承、齿轮，特别是航空航天等摩擦润滑领域显示了非常重大的应用价值，是一种有着极其重大潜在价值的新型固体润滑薄膜。
附图说明
图1为本发明的纳米多层薄膜的结构示意图。图中：1为不锈钢基底、2为硬质类金刚石层、3为软质二硫化钼层。
图2为制得的纳米多层薄膜在高真空和大气环境下的摩擦系数曲线，可以看出此纳米多层膜在两种环境下都表现出超低的摩擦系数，在真空环境下更是表现出超润滑性能。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明进行详细说明。
实施例1
基底材料为不锈钢(1Cr18Ni9Ti)，进行超声清洗前处理后置于双靶磁控溅射气相沉积系统中，按照以下步骤进行：(a)将氩气通入真空室，保持气压为1～1.5Pa，开启偏压电源调整到-1000V，对不锈钢基底表面进行氩离子放电清洗和活化，时间为15～30min；(b)单层类金刚石薄膜沉积，氩气气氛，放电气压为0.8Pa，采用直流电源控制石墨靶电流为1.2A，不锈钢基底施加偏压为-300V，沉积时间15min；(c)单层二硫化钼润滑膜层沉积，采用射频电源控制二硫化钼靶，靶电源功率为500W，沉积时间为3min；(d)重复过程(b)和(c)10次，自然冷却后，最终在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜。所制得的单层类金刚石层厚度为100nm，二硫化钼单层厚度为100nm，总膜层厚度为2微米。
实施例2
基底材料为不锈钢(1Cr18Ni9Ti)，进行超声清洗前处理后置于双靶磁控溅射气相沉积系统中，按照以下步骤进行：(a)将氩气通入真空室，保持气压为1～1.5Pa，开启偏压电源调整到-1000V，对不锈钢基底表面进行氩离子放电清洗和活化，时间为15～30min；(b)单层类金刚石薄膜沉积，氩气气氛，放电气压为0.8Pa，采用直流电源控制石墨靶电流为1.2A，不锈钢基底施加偏压为-300V，沉积时间8min；(c)单层二硫化钼润滑膜层沉积，采用射频电源控制二硫化钼靶，靶电源功率为500W，沉积时间为1.5min；(d)重复过程(b)和(c)20次，自然冷却后，最终在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜，所制得的单层类金刚石层厚度为50nm，二硫化钼单层厚度为50nm，总膜层厚度为2微米。
实施例3
基底材料为不锈钢(1Cr18Ni9Ti)，进行超声清洗处理后置于双靶磁控溅射气相沉积系统中，按照以下步骤进行：(a)将氩气通入真空室，保持气压为1～1.5Pa，开启偏压电源调整到-1000V，对不锈钢基底表面进行氩离子放电清洗和活化，时间为15～30min；(b)单层类金刚石薄膜沉积，氩气气氛，放电气压为0.8Pa，采用直流电源控制石墨靶电流为1.2A，不锈钢基底施加偏压为-300V，沉积时间4min；(c)单层二硫化钼润滑膜层沉积，采用射频电源控制二硫化钼靶，靶电源功率为500W，沉积时间为1min；(d)重复过程(b)和(c)50次，自然冷却后，最后在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜，单层类金刚石层厚度为20nm，单层二硫化钼厚度为20nm，总膜层厚度为2微米。

Claims (2)

1.一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜，其特征在于该薄膜镀覆在不锈钢表面上，薄膜由高硬度类金刚石薄膜和二硫化钼润滑膜多层交替构成；类金刚石薄膜单层厚度为10～100nm，层数为10-100层，二硫化钼润滑膜单层厚度为10-100nm，层数为10-100层；类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜总厚度为1.5～6μm，硬度为12-18GPa。
2.一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜的制备方法，其特征在于首先对不锈钢基底进行超声清洗前处理，然后置于MFD800型双靶磁控溅射气相沉积系统的真空腔中，依次沉积以下薄膜：(a)预抽真空至5×10-4Pa，放电气压为1.0～1.5Pa，偏压为-500～-1000V，对不锈钢基底进行20～30min的氩等离子体溅射活化处理；(b)单层类金刚石碳薄膜沉积，采用直流电源控制石墨靶，氩气气氛，放电气压为0.8Pa，控制石墨靶电流为1.0～1.4A，在不锈钢基底上施加偏压-200～-400V，沉积时间为1～15min；(c)单层二硫化钼润滑层沉积，采用射频电源控制二硫化钼靶，功率为200～600W，沉积时间为1～10min；(d)重复步骤(b)和(c)，交替沉积类金刚石层和二硫化钼润滑层，直到所需厚度或层数，最终在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜。
CN201110277261.4A 2011-09-17 2011-09-17 类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法 Active CN102994947B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110277261.4A CN102994947B (zh) 2011-09-17 2011-09-17 类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110277261.4A CN102994947B (zh) 2011-09-17 2011-09-17 类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102994947A true CN102994947A (zh) 2013-03-27
CN102994947B CN102994947B (zh) 2014-12-10

Family

ID=47924048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110277261.4A Active CN102994947B (zh) 2011-09-17 2011-09-17 类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102994947B (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106756847A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 蚌埠玻璃工业设计研究院 一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法
CN107058949A (zh) * 2017-03-31 2017-08-18 浙江工业大学 一种耐磨二硫化钨薄膜的制备方法
CN107267917A (zh) * 2017-06-07 2017-10-20 浙江工业大学 一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法
CN108060402A (zh) * 2017-12-21 2018-05-22 河南机电职业学院 一种树脂材料表面用高润滑高耐磨复合膜层及其制备方法
CN108091859A (zh) * 2017-12-14 2018-05-29 成都新柯力化工科技有限公司 一种锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料及其制备方法
CN108203810A (zh) * 2017-12-20 2018-06-26 中国科学院兰州化学物理研究所 一种类富勒烯碳层/类石墨烯氮化硼多层复合超润滑薄膜的制备方法
CN108730093A (zh) * 2017-04-19 2018-11-02 索恩格汽车德国有限责任公司 轴与轴套的组件以及起动机
CN111485212A (zh) * 2020-06-04 2020-08-04 兰州文理学院 一种亚10纳米级仿生结构二硫化钼-碳多层薄膜制备方法
CN112985651A (zh) * 2021-01-18 2021-06-18 西安交通大学 一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法
CN113215525A (zh) * 2021-05-18 2021-08-06 中国科学院兰州化学物理研究所 一种橡胶表面超低摩擦多层复合碳基润滑涂层及其构筑方法
US11613806B2 (en) 2020-08-04 2023-03-28 Lanzhou Institute Of Chemical Physics, Chinese Academy Of Sciences Method for preparing ammonium thiomolybdate-porous amorphous carbon composite superlubricity film

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003112229A (ja) * 2001-10-02 2003-04-15 Ykk Corp ステンレス材用圧造工具
CN101654771A (zh) * 2009-09-04 2010-02-24 上海交通大学 磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003112229A (ja) * 2001-10-02 2003-04-15 Ykk Corp ステンレス材用圧造工具
CN101654771A (zh) * 2009-09-04 2010-02-24 上海交通大学 磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A.MATTHEWS ET AL.: "Desigh aspects for advances tribological surface coatings", 《SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY》, vol. 100101, 31 December 1998 (1998-12-31) *
DA-YUNG WANG ET AL.: "Microstructure analysis of MoS2 deposited on diamond-like carbon films for wear improvement", 《SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY》, vol. 111, 31 December 1999 (1999-12-31), XP007908740, DOI: doi:10.1016/S0257-8972(98)00712-9 *
韩修训等: "多层涂层的摩擦学研究进展", 《机械工程材料》, vol. 26, no. 5, 31 May 2002 (2002-05-31) *

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106756847A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 蚌埠玻璃工业设计研究院 一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法
CN106756847B (zh) * 2016-12-21 2019-03-22 蚌埠玻璃工业设计研究院 一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法
CN107058949A (zh) * 2017-03-31 2017-08-18 浙江工业大学 一种耐磨二硫化钨薄膜的制备方法
CN107058949B (zh) * 2017-03-31 2019-11-29 浙江工业大学 一种耐磨二硫化钨薄膜的制备方法
CN108730093A (zh) * 2017-04-19 2018-11-02 索恩格汽车德国有限责任公司 轴与轴套的组件以及起动机
CN107267917A (zh) * 2017-06-07 2017-10-20 浙江工业大学 一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法
CN108091859A (zh) * 2017-12-14 2018-05-29 成都新柯力化工科技有限公司 一种锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料及其制备方法
CN108091859B (zh) * 2017-12-14 2020-09-08 成都新柯力化工科技有限公司 一种锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料及其制备方法
CN108203810A (zh) * 2017-12-20 2018-06-26 中国科学院兰州化学物理研究所 一种类富勒烯碳层/类石墨烯氮化硼多层复合超润滑薄膜的制备方法
US11225710B2 (en) 2017-12-20 2022-01-18 Lanzhou Institute Of Chemical Physics, Chinese Academy Of Sciences Method for preparing super-lubricative multi-layer composite fullerene-like carbon layer/graphene-like boron nitride thin film
CN108060402A (zh) * 2017-12-21 2018-05-22 河南机电职业学院 一种树脂材料表面用高润滑高耐磨复合膜层及其制备方法
CN108060402B (zh) * 2017-12-21 2020-09-15 河南机电职业学院 一种树脂材料表面用高润滑高耐磨复合膜层及其制备方法
CN111485212A (zh) * 2020-06-04 2020-08-04 兰州文理学院 一种亚10纳米级仿生结构二硫化钼-碳多层薄膜制备方法
CN111485212B (zh) * 2020-06-04 2022-02-22 兰州文理学院 一种亚10纳米级仿生结构二硫化钼-碳多层薄膜制备方法
US11613806B2 (en) 2020-08-04 2023-03-28 Lanzhou Institute Of Chemical Physics, Chinese Academy Of Sciences Method for preparing ammonium thiomolybdate-porous amorphous carbon composite superlubricity film
CN112985651A (zh) * 2021-01-18 2021-06-18 西安交通大学 一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法
CN112985651B (zh) * 2021-01-18 2022-04-22 西安交通大学 一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法
CN113215525A (zh) * 2021-05-18 2021-08-06 中国科学院兰州化学物理研究所 一种橡胶表面超低摩擦多层复合碳基润滑涂层及其构筑方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102994947B (zh) 2014-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102994947B (zh) 类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法
CN100506527C (zh) 金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法
Gao et al. Constructing WS2/MoS2 nano-scale multilayer film and understanding its positive response to space environment
Xu et al. Nanostructured WS2–Ni composite films for improved oxidation, resistance and tribological performance
CN104278241B (zh) 一种具有多环境适应性的薄膜材料的制备技术
CN107034440B (zh) 一种复合类金刚石碳膜及其制备方法
CN106086806B (zh) 一种AlTiCrN高温耐磨涂层及其制备方法
CN104087898B (zh) 一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层及制备方法
CN106884149A (zh) 水环境耐磨涂层、其制备方法及应用
CN101792898B (zh) 一种提高镁合金抗磨损性能的碳膜及其制备方法
CN106282918B (zh) 一种类石墨纳米多层薄膜及其制备方法和应用
KR20110044146A (ko) 다이아몬드 라이크 카본 피막 형성 부재 및 그 제조 방법
CN104002516A (zh) 一种具有高硬度和低摩擦系数的CrAlN/MoS2多层涂层及其制备方法
Gao et al. Structural, mechanical, and tribological properties of WS 2-Al nanocomposite film for space application
CN106702338B (zh) 一种TiSiNiN纳米复合涂层及其制备方法
Bülbül et al. MoS 2-Ti composite films having (002) orientation and low Ti content
CN104694893A (zh) 碳基减摩耐磨涂层及其制备方法
Li et al. Tribological performance of GLC, WC/GLC and TiN films on the carburized M50NiL steel
CN102650043A (zh) 一种纳米复合润滑薄膜的制备方法
CN107699859B (zh) 轴瓦用全金属自润滑减摩涂层及其制备方法
Kong et al. Effect of MoS2 content on friction and wear properties of Mo and S co-doped CrN coatings at 25–600° C
Wang et al. Microstructure and tribological properties of Ni3Al matrix micro-laminated films deposited by electrohydrodynamic atomization
Cao et al. Effect of bias voltage on microstructure, mechanical and tribological properties of TiAlN coatings
JP5938321B2 (ja) 硬質膜およびその成膜方法、硬質膜形成体およびその製造方法
Tan et al. Impact-sliding wear properties of PVD CrN and WC/C coatings

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20200420

Address after: 221000 a205-76, University Pioneer Park, high tech Zone, No. 99, University Road, Tongshan District, Xuzhou City, Jiangsu Province

Patentee after: XUZHOU RUICHUANG INTELLIGENT TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Address before: 730000 No. 18 Tianshui Middle Road, Chengguan District, Gansu, Lanzhou

Patentee before: Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences

TR01 Transfer of patent right