CN102992328A - 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺 - Google Patents

氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN102992328A
CN102992328A CN2012103032861A CN201210303286A CN102992328A CN 102992328 A CN102992328 A CN 102992328A CN 2012103032861 A CN2012103032861 A CN 2012103032861A CN 201210303286 A CN201210303286 A CN 201210303286A CN 102992328 A CN102992328 A CN 102992328A
Authority
CN
China
Prior art keywords
chlorosilane
gas
waste
waste liquid
waste gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012103032861A
Other languages
English (en)
Inventor
蒯伟
王航舟
秦西鸣
宋安宁
郑斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd
Original Assignee
Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd filed Critical Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd
Priority to CN2012103032861A priority Critical patent/CN102992328A/zh
Publication of CN102992328A publication Critical patent/CN102992328A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

本发明涉及一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺。它将氯硅烷精馏提纯系统中产生的含有氯硅烷的废气经过换热器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1-2公斤的压力和精馏塔釜温度在80-100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。本发明不影响系统的正常运行和产品的质量，最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。本发明在实际应用中氯硅烷精馏提纯系统中废气、废液中三氯氢硅和四氯化硅的再次回收率达到了80％以上，处理效果较好。

Description

氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺
一、技术领域
本发明涉及一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺。它可以最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。
二、背景技术
传统多晶硅生产采用西门子法，该工艺流程为开路系统，原辅材料单耗指标高、综合回收差、能耗高。目前，国内大多采用西门子改良法制备多晶硅。该方法采用大型还原炉、SiHCl3氢化和尾气干法回收工艺，可明显降低能耗和原辅材料的消耗，但是国内企业在三氯氢硅精馏方面普遍面临浪费问题，具体可分为以下问题：
1、精馏塔废液排放量难以控制，为了保证产品质量而致使废液量加大；
2、精馏塔塔体压力波动，造成废气量的增加；
3、废气、废液量的增加使得废气、废液回收处理单元的成本增加。
三、发明内容
本发明的目的是提供一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，本发明可以最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。
本发明的目的是这样来完成的：氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，它将氯硅烷精馏提纯系统中产生的含有氯硅烷(三氯氢硅、四氯化硅及金属氯化物)的废气经过换热器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1-2公斤的塔顶压力和精馏塔釜温度在80-100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。
氯硅烷精馏提纯产生的废气首先进入换热器进行冷凝处理，冷凝液体进入废液罐储存；氯硅烷精馏提纯系统产生的废液直接送入废液罐储存，然后通过屏蔽泵将废液打入筛板式精馏塔，通过蒸汽进行加热，控制进料管线和塔釜出料管线上的调节阀，控制加热温度在80-100℃，PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去，塔顶精馏出的氯硅烷气体通过循环水换热器冷凝后送入原生氯硅烷储罐并重新进入氯硅烷精馏提纯系统。
本发明多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺的特点在于：不会影响系统的正常运行和产品的质量，最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。
本发明氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺，在实际应用中氯硅烷精馏提纯系统中废气、废液中三氯氢硅和四氯化硅的再次回收率达到了80％以上，处理效果较好。
四、附图说明
附图1氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺流程图
五、具体实施方式
下在结合附图及实施例来对本发明作进一步详细描述：
参照附图，本发明将氯硅烷精馏提纯产生的废气首先进入换热器进行冷凝处理，冷凝液体进入废液罐储存，将不凝气体直接排放；氯硅烷精馏提纯系统产生的废液直接送入废液罐储存，冷凝处理用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，待两种液体混合后通过屏蔽泵将废液打入筛板式精馏塔，用蒸汽对再沸器进行加热，提升塔体压力至1-2公斤，通过控制进料管线调节阀，来维持液位和温度，待塔釜温度达到90℃以上时将塔釜出料管线调节阀打开，将含有PCL3、ALCL3的废液直接排放，塔顶精馏出的氯硅烷气体通过循环水换热器冷凝后送入原生氯硅烷储罐并重新进入氯硅烷精馏提纯系统。

Claims (2)

1.一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，其特征在于：将氯硅烷精馏提纯系统中产生的废气经过换热器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1-2公斤的压力和精馏塔釜温度在80-100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。
2.如权利要求1所述的氯硅烷精馏提纯系统中产生废气、废液的回收工艺，其特征在于：氯硅烷精馏提纯产生的废气首先进入换热器进行冷凝处理，冷凝液体进入废液罐储存；氯硅烷精馏提纯系统产生的废液直接送入废液罐储存，然后通过屏蔽泵将废液打入筛板式精馏塔，通过蒸汽进行加热，控制进料管线和塔釜出料管线上的调节阀，控制加热温度在80-100℃，PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去，塔顶精馏出的氯硅烷气体通过循环水换热器冷凝后送入原生氯硅烷储罐并重新进入氯硅烷精馏提纯系统。
CN2012103032861A 2012-08-17 2012-08-17 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺 Pending CN102992328A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012103032861A CN102992328A (zh) 2012-08-17 2012-08-17 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012103032861A CN102992328A (zh) 2012-08-17 2012-08-17 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102992328A true CN102992328A (zh) 2013-03-27

Family

ID=47921535

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012103032861A Pending CN102992328A (zh) 2012-08-17 2012-08-17 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102992328A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103550948A (zh) * 2013-11-05 2014-02-05 昆明冶研新材料股份有限公司 对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101377376A (zh) * 2007-08-29 2009-03-04 中国恩菲工程技术有限公司 回收生产多晶硅所产生的尾气的方法
WO2010103633A1 (ja) * 2009-03-11 2010-09-16 電気化学工業株式会社 クロロシラン回収装置およびそれを用いたクロロシラン回収方法
CN102372271A (zh) * 2011-08-17 2012-03-14 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法
CN102390833A (zh) * 2011-08-03 2012-03-28 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 负压回收改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的方法
CN102417183A (zh) * 2011-08-31 2012-04-18 上海优华系统集成技术有限公司 改进的多晶硅制备中尾气回收冷凝系统
CN202346775U (zh) * 2011-12-07 2012-07-25 诺贝尔（九江）高新材料有限公司 一种三氯氢硅合成尾气回收装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101377376A (zh) * 2007-08-29 2009-03-04 中国恩菲工程技术有限公司 回收生产多晶硅所产生的尾气的方法
WO2010103633A1 (ja) * 2009-03-11 2010-09-16 電気化学工業株式会社 クロロシラン回収装置およびそれを用いたクロロシラン回収方法
CN102390833A (zh) * 2011-08-03 2012-03-28 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 负压回收改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的方法
CN102372271A (zh) * 2011-08-17 2012-03-14 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 改良西门子法生产多晶硅中废弃氯硅烷的回收方法
CN102417183A (zh) * 2011-08-31 2012-04-18 上海优华系统集成技术有限公司 改进的多晶硅制备中尾气回收冷凝系统
CN202346775U (zh) * 2011-12-07 2012-07-25 诺贝尔（九江）高新材料有限公司 一种三氯氢硅合成尾气回收装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
谷文军等: "三氯氢硅合成尾气处理工艺", 《氯碱工业》, vol. 45, no. 10, 31 October 2009 (2009-10-31) *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103550948A (zh) * 2013-11-05 2014-02-05 昆明冶研新材料股份有限公司 对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法
CN103550948B (zh) * 2013-11-05 2015-08-12 昆明冶研新材料股份有限公司 对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101704524B (zh) 高纯三氯氢硅热泵精馏生产装置和方法
CN204400885U (zh) 一种碳纤维生产过程中溶剂二甲基亚砜的回收精制设备
CN205398514U (zh) 环己酮生产过程中环己酮精制装置
CN104086371A (zh) 环己烯法制环己酮生产过程中环己醇分离的工艺方法
CN201482235U (zh) 具有节能控制装置的酒精蒸馏塔
CN205634908U (zh) 一种多晶硅生产中残液高沸物的处理装置
CN101586037A (zh) 一种实现催化裂化回炼油浆选择性回炼的方法
CN108558629A (zh) 一种精制环己酮的生产系统和生产方法
CN102040223B (zh) 一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法
CN102167412B (zh) 一种高效复合式尿素废液深度水解解吸塔
CN102992328A (zh) 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺
CN103466549A (zh) 一种高纯氯气精馏工艺及其设备
CN105037078B (zh) 一种氯酮母液中回收二氯甲烷的方法
CN104016352A (zh) 处理多晶硅尾气的方法和系统
CN101913609A (zh) 三氯氢硅混合气除杂处理方法和装置
CN201567231U (zh) 用于多晶硅生产尾气回收的氯化氢解吸塔装置
CN104555925A (zh) 一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法
CN212119959U (zh) 乙酰正丙醇加氢尾气回收装置
CN104803828A (zh) 一种用于提高1,4-丁二醇收率的装置及方法
CN210314061U (zh) 煤制乙二醇羰化合成草酸二甲酯精馏提纯装置
CN105314638A (zh) 三氯氢硅合成料中四氯化硅回收利用及除高沸物的方法和装置
CN205170709U (zh) 一种用于提高1,4-丁二醇收率的装置
CN103030117B (zh) 一种废酸回收工艺
CN202509007U (zh) 甲基丙烯酸重组分回收装置
CN202497734U (zh) 三塔节能差压酒精蒸馏生产系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130327