CN202346775U - 一种三氯氢硅合成尾气回收装置 - Google Patents
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Abstract
一种三氯氢硅合成尾气回收装置，包括尾气收集罐，所述的尾气收集罐进口端连接冷凝器，尾气收集罐出口端经压缩机连接高压冷凝器，所述高压冷凝器出口端经高压尾气缓冲罐连接混合气体罐。具有环保、成本低的特点，且维护方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种三氯氢硅合成尾气回收装置。
背景技术
三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备三氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括：氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离等主要工序。
三氯氢硅生产合成过程中产生的尾气主要成分是氢气、氯化氢和三氯氢硅，其处理方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中一般采用尾气一水喷淋中和处理法、活性炭吸附法、气液交换法等。其不足之处是：尾气中的氢气不能有效利用、处理不彻底等。
实用新型内容
本实用新型其目的就在于提供一种三氯氢硅合成尾气回收装置，具有环保、成本低的特点，且维护方便。
实现上述目的而采取的技术方案，包括尾气收集罐，所述的尾气收集罐进口端连接冷凝器，尾气收集罐出口端经压缩机连接高压冷凝器，所述高压冷凝器出口端经高压尾气缓冲罐连接混合气体罐。
与现有技术相比本实用新型具有以下优点。
1）本实用新型处理彻底，将氯硅烷分离后直接回收进入氯化氢合成炉进行再使用，经济效益显著。
2)本实用新型不排放废气、废液。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
附图为本装置结构原理示意图。
图中1—氯化氢合成炉，2一三氯氢硅合成炉，3一冷凝器，4一尾气收集罐，5一压缩机，6—高压冷凝器，7—高压尾气缓冲罐，8—混合气体罐。
具体实施方式
本装置包括尾气收集罐4，如附图所示，所述的尾气收集罐4进口端连接冷凝器3，尾气收集罐4出口端经压缩机5连接高压冷凝器6，所述高压冷凝器6出口端经高压尾气缓冲罐7连接混合气体罐8。
所述混合气体罐8出口端连接氯化氢合成炉1。
所述高压尾气缓冲罐7底部设有回收口。
实施例
氯化氢合成炉1合成氯化氢气体，通过气体管道输送至三氯氢硅合成炉2，三氯氢硅合成产生尾气通过除尘装置、冷凝装置进入尾气收集罐4，尾气收集罐4通过压缩机5提高尾气压力，通过高压冷凝装置将尾气中的三氯氢硅等氯硅烷进行分离，得到可提供氯化氢合成炉1使用的原料气体进入氯化氢合成炉1。
如附图所示，氯化氢合成炉1产生氯化氢提供三氯氢硅合成炉2使用，产生的尾气进入冷凝器3降温后进入尾气收集罐4，尾气进入压缩机5进行加压后进入高压冷凝器6经高压冷凝后分离出氯硅烷，得到高纯原料气体，进入高压缓冲罐7，再进入混合气体罐8进入氯化氢合成炉。
Claims (3)
1.一种三氯氢硅合成尾气回收装置，包括尾气收集罐（4），其特征在于，所述的尾气收集罐（4）进口端连接冷凝器（3），尾气收集罐（4）出口端经压缩机（5）连接高压冷凝器（6），所述高压冷凝器（6）出口端经高压尾气缓冲罐（7）连接混合气体罐（8）。
2.根椐权利要求1所述的一种三氯氢硅合成尾气回收装置，其特征在于，所述混合气体罐（8）出口端连接氯化氢合成炉（1）。
3.根椐权利要求1所述的一种三氯氢硅合成尾气回收装置，其特征在于，所述高压尾气缓冲罐（7）底部设有回收口。
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| CN2011205053666U CN202346775U (zh) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 一种三氯氢硅合成尾气回收装置 |
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| CN (1) | CN202346775U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102992328A (zh) * | 2012-08-17 | 2013-03-27 | 陕西天宏硅材料有限责任公司 | 氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺 |
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2011
- 2011-12-07 CN CN2011205053666U patent/CN202346775U/zh not_active Expired - Fee Related
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| GR01 | Patent grant | ||
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Owner name: JIANGXI CHENGUANG NEW MATERIAL CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: NOBEL (JIUJIANG) HIGH-TECH MATERIAL CO., LTD. |
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