CN102985699A - 真空泵控制装置及真空泵 - Google Patents

Abstract

目的是通过简单的结构使配设在真空泵控制装置（控制器）中的再生电阻的散热性提高，所述真空泵控制装置连接在真空泵上。将配设在真空泵控制装置中的再生电阻收容到压铸铝外壳内。更详细地讲，将真空泵控制装置的壳体通过铝的压铸（金属模铸造）制作，在该压铸铝的顶板上，设置设有空洞部的再生电阻收容部（压铸铝外壳），所述空洞部设计为收存再生电阻整体的尺寸。将再生电阻嵌入到该空洞部中，将空洞部的开口部分通过螺栓、和作为与外壳相同原材料的铝板封固，由此将再生电阻可取出地收容到压铸铝外壳中。

Description

真空泵控制装置及真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵控制装置及真空泵，例如为了防止真空泵控制装置的壳体过热而能够将真空泵控制装置的再生电阻效率良好地冷却的真空泵控制装置、以及具备该真空泵控制装置的真空泵。

背景技术

在具有吸气口及排气口的外壳的内部使转子高速旋转而进行排气处理的涡轮分子泵等真空泵上，电气地连接着控制用来使转子旋转的马达的真空泵控制装置（控制器）。

在使用这样的马达的旋转机械中，在减速时等通过马达旋转而相反地产生电能（再生能量）。再生能量有可能在控制马达的马达驱动器电路内引起直流电压上升而带来电路内元件的故障。由此，需要将再生能量处理，以便不发生电路元件的故障。作为处理再生能量的方法之一，有再生电阻。再生电阻将再生能量变换为热能而消耗。因此，不能避免再生电阻自身的发热。

此外，再生电阻以冷却的目的，以接触在壳体的侧面（壁面）等上的方式安装，所述壳体将构成真空泵控制装置的元件内包。因此，从真空泵控制装置的壳体上的安装有再生电阻的部分，通过再生电阻的发热，真空泵控制装置的壳体也发热，真空泵控制装置上升到人不能接触的程度的温度。

再生电阻的容许值大约是300℃左右，但从安全性、可靠性的方面看，需要将再生电阻持续冷却，以能够保持为尽量大幅低于该容许值的温度状态。

此外，从真空泵控制装置产生的热（即，由再生电阻带来的热等）通过将真空泵控制装置与真空泵连接的连接部向真空泵传递，有真空泵被加热而成为高温状态、给连接在真空泵上的真空装置侧带来妨碍的情况。

这里，对真空装置进行说明。

在通过使用真空泵进行排气处理而将内部保持为真空那样的真空装置中，有半导体制造装置、电子显微镜装置、表面分析装置，微细加工装置等。这样的真空装置如果如上述那样受到真空泵的放射热的影响，则测量精度或加工精度的误差变大，有在其工序中发生很多不良状况的情况。

因为这样的理由，在真空装置中，为了实现更精密的加工或精度更高的测量，也需要将配设在真空泵控制装置中的再生电阻持续冷却。

图8是表示以往的真空泵控制装置2000的概略结构例的剖视图。

以往，例如另外准备未图示的降温装置（散热器、散热板），安装到发热的机械、电子零件（附近或壁面）上等而通过热的放散将温度降低，或者如图8（a）所示那样安装空冷风扇（冷却风扇）50等、强制地增加空气的移动量而使冷却能力扩大等。

更详细地讲，通常再生电阻200如图8（b）所示，与有关马达的控制的其他元件（CPU、晶体管等）一起搭载在马达的控制基板（即，搭载有用来控制真空泵的马达的电路的基板）300上，但如果在相同的控制基板300上搭载再生电阻200和其他元件，则通过再生电阻200的发热，不仅是再生电阻200，其他元件也温度上升。

如果为了防止该温度上升（冷却）而将冷却介质抵接在搭载有再生电阻200的控制基板300上等而直接使控制基板300冷却，则在冷却部位发生结露等而给其他元件带来重大的危害。

这里，所谓结露，是如果冷却部分（冷却面）成为露点（即，相对温度为100%的温度）以下、则空气中的水蒸汽冷凝在该冷却面上（即，固体状态的物质的表面、或内部）上而作为水滴出现的现象，如果这样的结露发生在控制基板300内，则有可能在控制电路中发生不良状况。

所以，以往在真空泵的控制装置中，如图8（a）所示，采取仅将再生电阻200从控制基板300拆下、直接紧贴安装到真空泵控制装置2000的壳体壁面上、将该壁面部分用冷却风扇50冷却、由此仅将再生电阻200冷却的方法。

此外，作为紧贴在壳体的壁面上而将电气元件或电阻冷却的一例，在下述专利文献1中，提出了将发热的元件冷却的技术。

具体而言，对于通过做成电气元件经由电极与电气元件收容容器的侧面部接合的结构、将由电气元件产生的热通过电极及电气元件收容容器的侧面部效率地散热的技术进行了记载。

专利文献1：特开2006－73658公报。

发明内容

但是，在真空泵中，真空泵的尺寸比马达的功率小的情况、及与真空装置的工序关联而必须将周围环境保持为清洁的情况较多等，难以另外设置降温装置、或在噪声性、可靠性等方面不能设置风扇的情况较多。

进而，在另外设置降温装置或风扇这种装置的情况下，需要专用的冷却用的配管及冷却系统等，不仅也带来成本的增大，还必须确保配置这些部件的空间。

另一方面，在仅将再生电阻从控制基板拆下、直接紧贴在真空泵控制装置的壳体壁面上而安装、将该壁面部分冷却的情况下，从紧贴的部分的壳体壁面向壳体整面传播其温度，壳体自身成为人不能接触的程度的高温，危险性上升。

所以，本发明的目的是提供一种能够以简单的结构提高再生电阻的散热性的真空泵控制装置、和具备该真空泵控制装置的真空泵。

在技术方案1所述的发明中，提供一种真空泵控制装置，是控制真空泵主体的真空泵控制装置，其特征在于，具备：壳体，配置控制上述真空泵主体的控制电路；再生电阻收容部，具有上述壳体内的空洞部和再生电阻固定件，所述空洞部被插入消耗再生能量的再生电阻，所述再生电阻固定件将上述再生电阻固定；冷却机构，将上述再生电阻收容部冷却。

在技术方案2所述的发明中，提供技术方案1所述的真空泵控制装置，其特征在于，上述再生电阻收容部通过铸造法制造。

在技术方案3所述的发明中，提供技术方案1或2所述的真空泵控制装置，其特征在于，上述再生电阻收容部配设在从上述壳体的侧面离开的位置上，所述侧面被配置上述控制电路的面和具有上述再生电阻收容部的面夹持。

在技术方案4所述的发明中，提供技术方案1～3中至少任一项所述的真空泵控制装置，其特征在于，上述再生电阻收容在再生电阻收容件中而向上述空洞部插入，所述再生电阻收容件的外周面嵌合到上述空洞部的内周中。

在技术方案5所述的发明中，提供技术方案4所述的真空泵控制装置，其特征在于，在上述空洞部的内周与插入的上述再生电阻收容件之间，预先设有上述再生电阻因发热而膨胀的量的空隙。

在技术方案6所述的发明中，提供一种真空泵，其特征在于，上述真空泵主体内包将气体从吸气口移送到排气口的气体移送机构；具备技术方案1～5中至少任一项所述的真空泵控制装置。

根据本发明，能够提供能够以简单的结构提高再生电阻的散热性的真空泵控制装置、以及具备该真空泵控制装置的真空泵。

附图说明

图1是表示与有关本发明的实施方式的具备再生电阻的散热性改进外壳的真空泵控制装置一体化的涡轮分子泵主体的概略结构例的图。

图2是表示有关本发明的实施方式的涡轮分子泵主体的概略结构例的图。

图3是表示有关本发明的实施方式的涡轮分子泵主体的轴线方向的剖视图的图。

图4是表示有关本发明的实施方式的真空泵控制装置的概略结构例的图。

图5（a）是表示有关本发明的实施方式的控制单元外壳及再生电阻外壳的概略结构例的放大图，图5（b）是图5（a）的A向视图。

图6是用来说明有关本发明的实施方式的再生电阻的图。

图7是表示在向有关本发明的实施方式的变形例的再生电阻外壳内插入再生电阻时使用的、用于放入再生电阻的金属盒的一例的图。

图8是表示以往的真空泵控制装置的概略结构例的图。

图9是表示真空泵主体与真空泵控制装置的连接例的图。

具体实施方式

（i）实施方式的概要

在本发明的实施方式中，将再生电阻收容到压铸铝外壳内，所述再生电阻装备在控制使真空泵的转子旋转的马达的真空泵控制装置（控制器）中。

更详细地讲，将真空泵控制装置的壳体通过铝的压铸（金属模铸造）制造（即，壳体是压铸铝），在该压铸铝的一部分（在本实施方式中是顶板，即真空泵控制装置的上盖）中，设置再生电阻收容部，所述再生电阻收容部设有设计为收存再生电阻整体的尺寸的空洞部。以后，将作为真空泵控制装置的壳体的压铸铝的顶板部分中的、作为具有该空洞部的一带的再生电阻收容部称作用压铸铝制造的、用于再生电阻的外壳。

并且，通过将再生电阻嵌入到该空洞部中、将空洞部的开口部分用螺栓及与外壳相同原材料的铝板（再生电阻固定金属件）封固，将再生电阻可取出地收容到空洞部中。

（ii）实施方式的详细情况

以下，参照图1～图7对本发明的优选的实施方式详细地说明。

在本实施方式中，作为真空泵的一例而使用涡轮分子泵进行说明。

在有关本发明的实施方式中，用来控制涡轮分子泵主体1的真空泵控制装置20经由泵固定脚18安装在涡轮分子泵主体1上。即，将涡轮分子泵主体1与真空泵控制装置20一体化。

（真空泵主体）

首先，对有关本发明的实施方式的涡轮分子泵主体1进行说明。

图1是表示与有关本发明的实施方式的真空泵控制装置一体化的涡轮分子泵主体1的概略结构例的图，所述真空泵控制装置具备用于再生电阻的外壳（以后，称作再生电阻外壳）。

此外，在图1中，还表示连接在真空泵控制装置20上的冷却板（水冷板）40、连接在涡轮分子泵主体1上的真空室30的一部分。

对水冷板40在后面叙述。

这里，对连接在涡轮分子泵主体1上的真空室30进行说明。

真空室30形成例如作为表面分析装置或微细加工装置的腔室等使用的真空装置。

真空室30由真空室壁31构成，是具有与涡轮分子泵主体1的连接端口的真空容器。

以下，对涡轮分子泵主体1的结构进行说明。

图2是表示有关本发明的实施方式的涡轮分子泵主体1的概略结构例的图。

图3是表示涡轮分子泵主体1的轴线方向的剖视图的图。

涡轮分子泵主体1是用来进行真空室30的排气处理的真空泵主体。

该涡轮分子泵主体1是具备涡轮分子泵部和螺纹槽式泵部的、所谓的复合叶片型的分子泵。

形成涡轮分子泵主体1的外装体的外壳2呈大致圆筒状的形状，与设在外壳2的下部（排气口6侧）的底座3一起构成涡轮分子泵主体1的壳体。并且，在该涡轮分子泵主体1的壳体的内部，收存有使涡轮分子泵主体1发挥排气功能的构造物即气体移送机构。

该气体移送机构大体上划分，由被旋转自如地轴支承的旋转部、和相对于涡轮分子泵主体1的壳体固定的固定部构成。

在外壳2的端部上，形成有用来向该涡轮分子泵主体1导入气体的吸气口4。此外，在外壳2的吸气口4侧的端面上，形成有向外周侧伸出的凸缘部5。涡轮分子泵主体1和真空室壁31通过经由凸缘部5使用螺栓等连结部件固定而结合。

此外，在底座3上，形成有用来从该涡轮分子泵主体1将气体排气的排气口6。

此外，为了减小真空泵控制装置20从涡轮分子泵主体1受到的热的影响，在底座3中，埋设有由管道（管）状的部件构成的冷却（水冷）管70。

冷却管70是在内部流过作为热介质的冷却剂、用来通过使该冷却剂将热吸收、将该冷却管70周边冷却的部件。

这样，通过使冷却剂流到冷却管70中而将底座3强制地冷却，由此，能够降低（抑制）从涡轮分子泵主体1向真空泵控制装置20传导的热。

该冷却管70由热阻较低的部件即热传导率较高的部件、例如铜或不锈钢等构成。

此外，流到冷却管70中的冷却物、即用来将物体冷却的材料既可以是液体，也可以是气体。作为液体的冷却物，可以使用例如水、氯化钙水溶液或乙二醇水溶液等，另一方面，作为气体的冷却物，可以使用例如氨、甲烷、乙烷、卤素、氦或二氧化碳气体、空气等。

另外，在本实施方式中，冷却管70配设在底座3中，但冷却管70的配设位置并不限定于此。例如，也可以以直接嵌入到涡轮分子泵主体1的定子柱10的内部的方式设置。

旋转部由作为旋转轴的轴7、配设在该轴7上的转子8、设在转子8上的旋转叶片9、设在排气口6侧（螺纹槽式泵部）的定子柱10等构成。另外，由轴7及转子8构成转子部。

旋转叶片9由桨叶构成，所述桨叶从与轴7的轴线垂直的平面倾斜规定的角度，从轴7以放射状伸出。

此外，定子柱10由呈与转子8的旋转轴线同心的圆筒形状的圆筒部件构成。

在轴7的轴线方向中途，设有用来使轴7高速旋转的马达部11。

进而，相对于轴7的马达部11，在吸气口4侧及排气口6侧，分别设有用来将轴7在辐向（径向）上非接触地轴支承的径向磁轴承装置12、13，此外在轴7的下端上，设有将轴7在轴线方向（轴向）上非接触地轴支承的轴向磁轴承装置14。

在涡轮分子泵主体1的壳体的内周侧形成有固定部。该固定部由设在吸气口4侧（涡轮分子泵部）的固定叶片15、和设在外壳2的内周面上的螺纹槽间隔件16等构成。

固定叶片15由桨叶构成，所述桨叶从涡轮分子泵主体1的壳体的内周面朝向轴7，从与轴7的轴线垂直的平面倾斜规定的角度而伸长。

各段的固定叶片15通过呈圆筒形状的间隔件17相互分隔。

在涡轮分子泵主体1中，固定叶片15在轴线方向上与旋转叶片9相互错开地形成有多段。

在螺纹槽间隔件16上，在与定子柱10的对置面上形成有螺旋槽。螺纹槽间隔件16隔开规定的空隙（间隙）面对定子柱10的外周面。形成在螺纹槽间隔件16上的螺旋槽的方向在将气体在螺旋槽内在转子8的旋转方向上输送的情况下是朝向排气口6的方向。

此外，螺旋槽的深度随着向排气口6接近而变浅，因此构成为，在螺旋槽中输送的气体随着向排气口6接近而被压缩。

通过这样构成的涡轮分子泵主体1进行真空室30内的真空排气处理。

（真空泵控制装置）

接着，对安装在具有上述那样的结构的涡轮分子泵主体1上的真空泵控制装置20的构造进行说明。

图4（a）是表示有关本发明的实施方式的真空泵控制装置20的概略结构例的图。

有关本实施方式的真空泵控制装置20构成涡轮分子泵主体1的控制单元，如图1所示，配设（安装）在涡轮分子泵主体1的底座3的底部上，所述控制单元具备控制各种动作的控制电路。

在本实施方式的真空泵控制装置20中，设有与设在涡轮分子泵主体1上的连接器（未图示）成对的连接器（未图示），设在真空泵控制装置20中的控制电路构成为，通过使涡轮分子泵主体1的连接器与真空泵控制装置的连接器接合（结合），与涡轮分子泵主体1的电子零件电气地连接。因此，真空泵控制装置20能够不使用将涡轮分子泵主体1与真空泵控制装置20连接的专用电缆、而将涡轮分子泵主体1的马达部11、径向磁轴承装置12、13、以及轴向磁轴承装置14、变位传感器（未图示）的驱动信号及电力向涡轮分子泵主体1供给、或从涡轮分子泵主体1接收各种信号等。

有关本发明的实施方式的真空泵控制装置20具备真空泵控制装置的壳体220、上盖即控制单元外壳210、再生电阻外壳211、再生电阻200、及控制基板300。

真空泵控制装置的壳体220及控制单元外壳210是压铸铝，控制单元外壳210的整体或一部分作为再生电阻外壳211发挥功能。这些壳体220、控制单元外壳210、及再生电阻外壳211由压铸铝构成。

此外，控制单元外壳210通过密封部件214接合在壳体220上，以将壳体220的上部（涡轮分子泵主体1侧）的开口端密闭。

控制基板300是搭载控制电路的基板，在本实施方式中，多个控制基板300固定在壳体220内部。

这里，对搭载在控制基板300上的控制电路进行说明。

在控制电路中，设有马达部11、径向磁轴承装置12、13、及轴向磁轴承装置14的驱动电路、电源电路等。还搭载有用来控制这些驱动电路的电路、及保存有在涡轮分子泵主体1的控制中使用的各种信息的存储元件。

一般而言，对于在电子电路中使用的电子零件（元件），设定了考虑到可靠性的环境温度。例如，上述存储元件的环境温度大致为60℃左右。另外，将这样的耐热特性较低的元件表达为低耐热元件。

各电子零件在涡轮分子泵主体1的动作时必须在环境温度的设定值范围内使用。

此外，在设在真空泵控制装置20内部的电路中，除了上述低耐热元件以外，还使用许多因元件内的损失（内部损失）而发热的零件（功率元件）。例如，构成作为马达部11的驱动电路的倒相电路的晶体管元件等相当于此。

在这样的自发热量变大那样的元件中也设定了环境温度。

（再生电阻的冷却机构）

此外，在真空泵控制装置20上，如图4（a）所示，连接着水冷板40。

在水冷板40中，以圆周状埋入有与上述真空泵主体（涡轮分子泵主体1）的冷却管70同样的水冷用的冷却管80，通过使冷却物流到冷却管80中，将水冷板40冷却，并且将与水冷板40接触的控制单元外壳210、以及作为控制单元外壳210的一部分的再生电阻外壳211强制地冷却。

此外，水冷板40通过螺栓（未图示）等连结部件固定在壳体220的侧壁的形成面上。另外，在本实施方式中，该水冷板40以通过将螺栓（未图示）拆下能够容易地从真空泵控制装置20分开的方式、即拆装自如地构成。

（真空泵控制装置的再生电阻外壳）

在本实施方式中，再生电阻外壳211如图4（a）所示那样构成为，配置在从真空泵控制装置20的侧面（壳体220的侧部）离开空隙d的位置上。另外，该空隙d例如是5mm～20m左右。

这样，再生电阻200不是安装在真空泵控制装置20的侧面（壳体220的侧部）的内侧，而做成从壳体220的侧部离开而配设的结构，所以例如能够抑制进行作业检修等的作业员有可能接触的部分（壳体220的侧部）过度地变热，能够使作业时的安全性提高。

在本实施方式中，做成了设置空隙d的结构，但并不限定于此。

例如，也可以如图4（b）所示那样构成为，使再生电阻外壳211位于控制单元外壳210的中央。

或者，也可以如图4（c）所示构成为，用控制单元外壳210本身构成再生电阻外壳211。

如上述那样，通过做成将再生电阻200收容到比再生电阻200大的压铸铝外壳（再生电阻外壳211）中的结构，热容变得比将再生电阻200以单体配设的情况大，所以能够抑制再生电阻200自身的温度上升。

假如在以再生电阻200单体发热的情况下，再生电阻200有可能上升到200～300℃而超过容许温度（一般设定为300℃左右），但通过收容到容器（压铸铝外壳）中，因为上述理由而温度不易上升。在实验中，能够降低到作为容许温度没有问题的约150℃。

图5（a）是表示有关本发明的实施方式的控制单元外壳210及再生电阻外壳211的概略结构例的放大图，图5（b）是图5（a）的A向视图。

有关本发明的实施方式的再生电阻外壳211作为承担真空泵控制装置20的上盖（顶板）的作用的控制单元外壳210（压铸铝外壳）的一部分而构成。

另外，在本实施方式中，再生电阻外壳211为控制单元外壳210的一部分，但并不限定于此。例如，也可以做成另外将由压铸铝（金属模铸造）制作的再生电阻外壳211用安装件（例如螺栓等）安装到控制单元外壳210上的结构。

再生电阻外壳211具有设计为收存再生电阻200整体的尺寸的空洞部212，在该空洞部212中插入嵌入再生电阻200。

进而，再生电阻外壳211为了防止嵌入的再生电阻200掉落，通过具备再生电阻固定金属件213和螺栓215，将再生电阻200可取出地约束保持（收容），所述再生电阻固定金属件213作为将空洞部212堵住（封固）的盖发挥功能，所述螺栓215是在将再生电阻200嵌入到再生电阻外壳211中之后将再生电阻固定金属件213向再生电阻外壳211安装的安装件。

再生电阻200通过导线250与控制基板300（图4）连接。

此外，如图5所示，本实施方式的再生电阻外壳211为了增加热容而做成了从侧面观察的情况下为矩形且从底面（即A箭头方向）观察的情况下为椭圆形（草袋形、蛋形）的圆筒（圆柱）形，但再生电阻外壳211的形状并不限定于此。

另外，为了能够进行再生电阻200的插入，构成为，使再生电阻外壳211的空洞部212的内面的侧面积比再生电阻200的外面（外周）的侧面积大。

更具体地讲，设有再生电阻200因发热而膨胀的量的空隙。例如为12～38μm左右的间隙。

通过预先设置适当的空隙，成为在再生电阻200因发热而膨胀的情况下能够将再生电阻200无间隙地约束保持（收容）到再生电阻外壳211中（成为粘接状态那样的）结构。

这样，空洞部212与插入的再生电阻200虽然在插入时隔开一些间隙，但在真空泵控制装置20的驱动时（即，产生将再生电阻200冷却的需要时），通过发热的再生电阻200膨胀而再生电阻200与再生电阻外壳211的间隙（空隙）消失，能够总是将再生电阻200和再生电阻外壳211保持为接触的状态。因此，通过配设在再生电阻外壳211的上部（即，涡轮分子泵主体1侧）的水冷板40（图4），能够将再生电阻200效率良好地持续冷却。

这样，在本实施方式中，由于再生电阻200与再生电阻外壳211紧贴，所以水冷板40能够经由再生电阻外壳211将再生电阻200直接冷却（即，不夹设着空气）。

此外，在这样的结构的本实施方式中，与再生电阻200和安装该再生电阻的壳体220的侧部在再生电阻为圆筒形的情况下以线、或者再生电阻为矩形的情况下以单面（一个面）接触的以往的结构（图8（c））相比，再生电阻200与再生电阻外壳211紧贴（接触）的面积显著地增大。

这样，能够使水冷板40带来的冷却效果达到再生电阻200的侧周面上的大范围，所以能够使冷却效果提高。

此外，在本实施方式中，将涡轮分子泵主体1与真空泵控制装置20做成一体型，但并不限定于此。

例如，在图9所示那样的真空泵主体（涡轮分子泵主体）和真空泵控制装置不是一体型的情况下，只要做成将真空泵主体与真空泵控制装置用电缆等连接而配置的结构就可以。在此情况下，可以另外设置在真空泵控制装置中使用的冷却板用的冷却系统（水冷管等）而准备（供给）冷却所需要的水来构成。

（再生电阻）

图6（a）～图6（c）是用来说明再生电阻的图。

在再生电阻200中有各种形状。在本实施方式中，再生电阻200为圆筒形即圆柱状（圆棒）的结构，但并不限定于此。例如，也可以考虑四棱形或六棱形这种、底面是矩形的柱状的再生电阻。

（变形例）

上述本发明的实施方式能够各种各样地变形。

图7是表示在将再生电阻200插入到有关本发明的实施方式的变形例的再生电阻外壳211内时使用的、用来放入再生电阻200的再生电阻收容件即金属盒400的一例的图。

通常，制成品的再生电阻200的形状及尺寸如图6（a）～图6（c）所示那样有离差而并不一样，此外，其表面不是平滑的平面状。因此，在将再生电阻200直接插入到再生电阻外壳211中的情况下，再生电阻200接触到再生电阻外壳211的内壁面上的部分被限制。

为了应对这样的再生电阻200的形状及尺寸的离差及表面的不平滑，在本变形例中，不将再生电阻200向再生电阻外壳211直接插入，而装入到作为再生电阻专用的金属的盒的金属盒400中，将该金属盒400插入（收容）到再生电阻外壳211内。如果在金属盒400内的再生电阻200的周围填充热传导性较高的电热润滑脂等、将两者的间隙减小，则进一步发挥效果。所谓再生电阻专用，例如如果再生电阻200是图6（a）及图6（b）所示那样的矩形则使用矩形的金属盒400，另一方面如果再生电阻200是图6（c）所示那样的圆筒形则使用圆筒形的金属盒400。

该金属盒400的外周具有沿着再生电阻外壳的内周面（即空洞部）的形状，因而，金属盒400能够无间隙地嵌入到再生电阻外壳211中。

通过做成将放入到形状及尺寸精度较高的金属盒400中的再生电阻200向再生电阻外壳211插入的结构，再生电阻外壳211与金属盒400的形状误差较少，尺寸差也接近于均匀。

通过这样设置金属盒400，如果再生电阻200发热而膨胀，则与金属盒400的内侧紧贴，结果，再生电阻200能够与紧贴在金属盒400的外侧的再生电阻外壳211（经由金属盒400）紧贴。

此外，金属盒400优选的是有耐热性的耐热钢或不锈钢（SUS）制。

这是因为，假如将金属盒400用与作为压铸铝外壳的再生电阻外壳211相同原材料的铝制作，则由于是相同原材料彼此，所以有可能因再生电阻200的热而热粘接。

如果这样发生热粘接，则例如在再生电阻200的更换时等、从再生电阻外壳211将再生电阻200拆下的情况下，变得难以或不能拆下。

这样，通过做成使用与所用的再生电阻200的形状匹配的金属盒400的结构，即使是即使膨胀也不能紧贴在再生电阻外壳211上那样的再生电阻200，也只要将该金属盒400的内装匹配于再生电阻200（即在膨胀的情况下能够紧贴）加工就可以，不需要将再生电阻外壳211加工。结果，能够降低制造成本。

此外，作为再生电阻200的变形例，也可以是在上述金属盒400上设置电阻、将电阻的周围用陶瓷或氧化铝固定等的、定做的再生电阻。

如上述那样，根据本发明的实施方式及变形例，能够实现以下（1）～（5）。

（1）通过在真空泵控制装置的顶板的一部分或整体上设置由压铸铝制作的、作为再生电阻用的外壳的再生电阻外壳，热容变得比以单体配设再生电阻的情况大，所以再生电阻自身的温度不易上升。

即，由于不是再生电阻以单体发热而温度上升，而是再生电阻的热被向再生电阻外壳传递，所以通过该再生电阻外壳承担将热积存的作用，能够使热容比再生电阻以单体配设的情况大。

结果，能够提供温度不易上升的真空泵控制装置、和具备该真空泵控制装置的真空泵。

（2）由于在具有再生电阻外壳的真空泵控制装置的顶板（即，控制单元外壳）上设有冷却（水冷）板，所以能够将从再生电阻放射的热用真空泵控制装置的顶板附近遮挡，所以能够使真空泵控制装置主体的温度上升减少（衰减）、以及使放射到涡轮分子泵的内部的来自再生电阻的热的量减少，所述涡轮分子泵以一体型配设在真空泵控制装置上。

结果，能够提供能够以简单的结构提高再生电阻的散热性、能够适当地抑制温度上升的真空泵控制装置、和具备该真空泵控制装置的真空泵。

（3）通过做成在再生电阻外壳上设置孔（空洞）、在该孔中插入再生电阻并盖上开口的结构，再生电阻外壳与再生电阻的紧贴性变高，能够提高热传导，所述孔（空洞）匹配于再生电阻的形状，即设计为通过发热时的再生电阻的膨胀而再生电阻与再生电阻外壳能够紧贴的尺寸，收存再生电阻整体。

结果，能够提供能够提高再生电阻的散热性的真空泵控制装置、和具备该真空泵控制装置的真空泵。

（4）通过使再生电阻外壳在真空泵控制装置内部设置在从真空泵控制装置的壳体的侧壁离开规定的空隙的位置上，能够适当地减少真空泵控制装置的壁面的温度上升，能够提高人从真空泵控制装置的外侧接触在真空泵控制装置上的情况下的安全性。

（5）由于做成将再生电阻放入到具有沿着再生电阻外壳的内周面的形状的再生电阻专用的金属盒中而插入（收容）到再生电阻外壳内的结构，所以能够不被各种不同的再生电阻主体的形状及尺寸的离差、及表面的不平滑烦恼而使再生电阻外壳与再生电阻紧贴。

结果，能够提供即使是使用种类不一样的再生电阻的情况、通过使用对应于种类的金属盒也能够同样提高再生电阻的散热性的真空泵控制装置、和具备该真空泵控制装置的真空泵。

附图标记说明

1 涡轮分子泵主体

2 外壳

3 底座

4 吸气口

5 凸缘部

6 排气口

7 轴

8 转子

9 旋转叶片

10 定子柱

11 马达部

12、13 径向磁轴承装置

14 轴向磁轴承装置

15 固定叶片

16 螺纹槽间隔件

17 间隔件

18 泵固定脚

20 真空泵控制装置

30 真空室

31 真空室壁

40 水冷板

50 空冷风扇

70 冷却管

80 冷却管

200 再生电阻

210 控制单元外壳

211 再生电阻外壳

212 空洞部

213 再生电阻固定金属件

214 密封部件

215 固定螺栓

220 壳体

250 导线

300 控制基板

400 金属盒

2000 真空泵控制装置。

Claims (6)

1.一种真空泵控制装置，是控制真空泵主体的真空泵控制装置，其特征在于，具备：

壳体，配置控制上述真空泵主体的控制电路；

再生电阻收容部，具有上述壳体内的空洞部和再生电阻固定件，所述空洞部被插入消耗再生能量的再生电阻，所述再生电阻固定件将上述再生电阻固定；

冷却机构，将上述再生电阻收容部冷却。

2.如权利要求1所述的真空泵控制装置，其特征在于，

上述再生电阻收容部通过铸造法制造。

3.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其特征在于，

上述再生电阻收容部配设在从上述壳体的侧面离开的位置上，所述侧面被配置上述控制电路的面和具有上述再生电阻收容部的面夹持。

4.如权利要求1～3中至少任一项所述的真空泵控制装置，其特征在于，

上述再生电阻收容在再生电阻收容件中而向上述空洞部插入，所述再生电阻收容件的外周面嵌合到上述空洞部的内周中。

5.如权利要求4所述的真空泵控制装置，其特征在于，

在上述空洞部的内周与插入的上述再生电阻收容件之间，预先设有上述再生电阻因发热而膨胀的量的空隙。

6.一种真空泵，其特征在于，

上述真空泵主体内包将气体从吸气口移送到排气口的气体移送机构；

具备权利要求1～5中至少任一项所述的真空泵控制装置。

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