JP4496040B2 - 電気素子冷却モジュール - Google Patents
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Description
(1) 内部に冷却用液体が収容されたモジュール容器と、該モジュール容器に固定された電気素子ユニットと、を備えた電気素子冷却モジュールであって、前記冷却用液体が、水であり、前記電気素子ユニットが、電気素子と、略直方体形状でかつ一面部を除く部分が水密構造である、前記電気素子を収容するための電気素子収納容器および該電気素子収納容器の内面に配置されており、表面に前記電気素子が接合されている金属板を備え、前記冷却用液体に前記電気素子収納容器の前記一面部を除く部分を浸漬することにより前記電気素子を冷却するための電子素子収納用パッケージと、を備えるとともに、前記冷却用液体に浸漬した状態で前記モジュール容器に固定され、前記冷却用液体と接触する前記電気素子収納容器の外面を構成する部材の少なくとも一部が、絶縁耐圧10kV/mm以上のセラミック基板からなることを特徴とする電気素子冷却モジュール。
(2) 内部に冷却用液体が収容されたモジュール容器と、該モジュール容器に固定された電気素子ユニットと、を備えた電気素子冷却モジュールであって、前記冷却用液体が、水であり、前記電気素子ユニットが、電気素子と、略直方体形状でかつ一面部を除く部分が水密構造である、前記電気素子を収容するための電気素子収納容器および該電気素子収納容器の内面に配置されており、表面に前記電気素子が接合されている金属板を備え、前記冷却用液体に前記電気素子収納容器の前記一面部を除く部分を浸漬することにより前記電気素子を冷却するための電子素子収納用パッケージと、を備えるとともに、前記冷却用液体に浸漬した状態で前記モジュール容器に固定され、前記冷却用液体と接触する前記電気素子収納容器の外面を構成する部材の少なくとも一部が、体積固有抵抗1×1012Ω・cm以上のセラミック基板からなることを特徴とする電気素子冷却モジュール。
(3) 前記電気素子が、前記金属板を介して前記セラミック基板と接合されている(1)または(2)に記載の電気素子冷却モジュール。
(4) 前記金属板が、前記電気素子と電気的に接続するための電極である(1)〜(3)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(5) 2枚の前記金属板が、前記電気素子収納容器の相対する内面に、互いに電気的に絶縁された状態でそれぞれ配置されている(1)〜(4)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(6) 前記セラミック基板が、AlN、Si3N4及びAl2O3より選ばれる材料からなる(1)〜(5)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(7) 前記セラミック基板の相対密度が90%以上である(1)〜(6)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(8) 前記セラミック基板の厚みが1.5mm以下である(1)〜(7)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(9) 前記電気素子収納容器が一体物からなる(1)〜(8)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(10) 前記電気素子収納容器が2点以上の部品の接合体からなる(1)〜(8)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(11) 前記金属板には、該金属板と外部配線とを電気的に接続するための引出電極部が、前記電気素子収納容器の前記一面部に形成された開口を通じて前記電気素子収納容器の外部に延設されている(1)〜(10)のいずれかに記載の電子素子冷却モジュール。
(12) 前記冷却用液体と接触する前記電気素子収納容器の外面には放熱板が設置されている(1)〜(11)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(13) 前記電気素子収納容器の前記一面部が冷却用液体の液面よりも高くなるように、前記電気素子ユニットが前記モジュール容器に固定されている(1)〜(12)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(14) 前記電気素子収納容器の前記一面部にフランジが形成されており、前記電気素子ユニットが前記モジュール容器の表面に形成された貫通孔から前記モジュール容器内に挿入され、前記電気素子収納容器の前記フランジが前記モジュール容器の表面に固定されている(1)〜(13)のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
(15) 前記モジュール容器の表面には前記貫通孔が複数形成され、複数の前記電気素子ユニットが各貫通孔から前記モジュール容器内にそれぞれ挿入され、固定されている(14)に記載の電気素子冷却モジュール。
また、前記(1)記載のように、本発明の電気素子ユニットは、上記した電気素子収納用パッケージの金属板表面に電気素子を接合したものである。したがって、この電気素子ユニットは、高い放熱性と信頼性を備え、しかも冷却用液体として安価な水を使用してコストアップを抑制することができる。
さらに、前記(1)記載のように、本発明の電気素子冷却モジュールは、上記した電気素子ユニットを、モジュール容器内の冷却用液体に浸漬し、モジュール容器に固定したものである。このような構造にすることで、電気素子収納容器の外面の大部分をモジュール容器内に収容された冷却用液体と接触させることができるので、冷却効率が格段に高い電気素子冷却モジュールを提供することができる。
図5は、本発明の他の実施形態にかかる電気素子冷却モジュールを示す断面図である。図5に示すように、この電気素子冷却モジュールでは、電気素子ユニット13の外側面(電気素子収納容器16の外面)には放熱板71が設置されている。これにより、電気素子15から発生し、電極17および電気素子収納容器16に伝導してくる熱を、放熱板71を通じて冷却用液体11中により効率的に放熱させることができる。図5に示す電気素子冷却モジュールの他の部位については、図3と同じ符号を付して説明を省略する。
Al2O3製セラミック基板用のグリーンシートの原料として、酸化アルミニウム粉末(平均粒径1.8μm)を91.5質量%と、5質量%のMnO2と、3質量%のSiO2と、0.5質量%のMgOとを混合した後、さらに、成形用有機樹脂(バインダ)としてアクリル系バインダを、溶媒としてトルエンを添加し、ボールミルで24時間混合してスラリーを調製した。
電極は、厚み300μmの銅板を所定の形状に打ち抜いて作製した。
上記で得られた各セラミック基板および電極を用いて、図4(a)〜(f)に示す製造工程と同様にして、電気素子15、フリーホイールダイオード19およびスペーサ18を搭載した電気素子ユニット13を作製した。なお、スペーサ18は、電極と同じ材料を用いて作製した。セラミック基板31と電極との接合には銀ロウ材(銀:72質量%、銅:28質量%)を用い、電極と電気素子15、フリーホイールダイオード19およびスペーサ18との接合には錫10質量%、鉛90質量%からなる半田を用い、セラミック基板31〜37の接合には錫50質量%、鉛50質量%からなる半田を用いた。
試料No.1〜17のセラミック基板の相対密度、熱伝導率、熱抵抗および絶縁性について、以下の方法で評価した。これらの各評価方法を以下に示し、評価結果を表1に示す。なお、表1中、*印は、本発明の範囲外の試料を示す。
相対密度:アルキメデス法により比重を測定し、理論密度に対する相対密度を算出した。
熱伝導率:レーザーフラッシュ法により熱伝導率を測定した(JIS R1611)。
熱抵抗:電気素子に電流を流して発熱させ、電気素子の温度に敏感なパラメータの温度依存データから動作時の電気素子の温度を算出して熱抵抗を計算するTSP法(Temperature Sensitive Parameter Method)を用いた。
絶縁耐圧:JIS C2141に基づき、セラミック基板を挟む一対の電極に電圧を印加し、破壊に至るときの電圧を測定し、絶縁耐圧(試験片の厚みに対する絶縁破壊電圧)を算出した。試料サイズはφ50mm×厚さ2mmtとした。
絶縁性:JIS C2141に基づき、体積抵抗率を測定した。試料サイズはφ50mm×厚さ2mmtとした。表1中の「○」は、体積抵抗率が1×1012Ω・cm以上であり、電流リークが少なかったことを示す。
12 モジュール容器
13 電気素子ユニット
14 電気素子収納用パッケージ
15 電気素子
16 電気素子収納容器
16a 上面部
16b フランジ
17 電極(金属板)
17a 引出電極部
18 スペーサ
19 フリーホイールダイオード
Claims (15)
- 内部に冷却用液体が収容されたモジュール容器と、該モジュール容器に固定された電気素子ユニットと、を備えた電気素子冷却モジュールであって、
前記冷却用液体が、水であり、
前記電気素子ユニットが、
電気素子と、
略直方体形状でかつ一面部を除く部分が水密構造である、前記電気素子を収容するための電気素子収納容器および該電気素子収納容器の内面に配置されており、表面に前記電気素子が接合されている金属板を備え、前記冷却用液体に前記電気素子収納容器の前記一面部を除く部分を浸漬することにより前記電気素子を冷却するための電子素子収納用パッケージと、を備えるとともに、
前記冷却用液体に浸漬した状態で前記モジュール容器に固定され、
前記冷却用液体と接触する前記電気素子収納容器の外面を構成する部材の少なくとも一部が、絶縁耐圧10kV/mm以上のセラミック基板からなることを特徴とする電気素子冷却モジュール。 - 内部に冷却用液体が収容されたモジュール容器と、該モジュール容器に固定された電気素子ユニットと、を備えた電気素子冷却モジュールであって、
前記冷却用液体が、水であり、
前記電気素子ユニットが、
電気素子と、
略直方体形状でかつ一面部を除く部分が水密構造である、前記電気素子を収容するための電気素子収納容器および該電気素子収納容器の内面に配置されており、表面に前記電気素子が接合されている金属板を備え、前記冷却用液体に前記電気素子収納容器の前記一面部を除く部分を浸漬することにより前記電気素子を冷却するための電子素子収納用パッケージと、を備えるとともに、
前記冷却用液体に浸漬した状態で前記モジュール容器に固定され、
前記冷却用液体と接触する前記電気素子収納容器の外面を構成する部材の少なくとも一部が、体積固有抵抗1×1012Ω・cm以上のセラミック基板からなることを特徴とする電気素子冷却モジュール。 - 前記電気素子が、前記金属板を介して前記セラミック基板と接合されている請求項1または2に記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記金属板が、前記電気素子と電気的に接続するための電極である請求項1〜3のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 2枚の前記金属板が、前記電気素子収納容器の相対する内面に、互いに電気的に絶縁された状態でそれぞれ配置されている請求項1〜4のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記セラミック基板が、AlN、Si3N4及びAl2O3より選ばれる材料からなる請求項1〜5のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記セラミック基板の相対密度が90%以上である請求項1〜6のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記セラミック基板の厚みが1.5mm以下である請求項1〜7のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記電気素子収納容器が一体物からなる請求項1〜8のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記電気素子収納容器が2点以上の部品の接合体からなる請求項1〜8のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記金属板には、該金属板と外部配線とを電気的に接続するための引出電極部が、前記電気素子収納容器の前記一面部に形成された開口を通じて前記電気素子収納容器の外部に延設されている請求項1〜10のいずれかに記載の電子素子冷却モジュール。
- 前記冷却用液体と接触する前記電気素子収納容器の外面には放熱板が設置されている請求項1〜11のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記電気素子収納容器の前記一面部が前記冷却用液体の液面よりも高くなるように、前記電気素子ユニットが前記モジュール容器に固定されている請求項1〜12のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記電気素子収納容器の前記一面部にフランジが形成されており、前記電気素子ユニットが前記モジュール容器の表面に形成された貫通孔から前記モジュール容器内に挿入され、前記電気素子収納容器の前記フランジが前記モジュール容器の表面に固定されている請求項1〜13のいずれかに記載の電気素子冷却モジュール。
- 前記モジュール容器の表面には前記貫通孔が複数形成され、複数の前記電気素子ユニットが各貫通孔から前記モジュール容器内にそれぞれ挿入され、固定されている請求項14に記載の電気素子冷却モジュール。
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