CN102950345B - 具有定位精度修正功能的电火花线切割加工机 - Google Patents

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Abstract

一种具有定位精度修正功能的电火花线切割加工机，在电火花线切割加工机中放置应加工的工件的工作台上分开安装两个接触检测用夹具，首先在成为基准的状态下，通过使线电极接触这些接触检测用夹具来测定这两个接触检测用夹具间的距离（基准距离）。接着在实际使用的状态下，同样使线电极接触这些接触检测用夹具测定两个接触检测用夹具间的距离（实际距离）。然后，根据这些基准距离和实际距离的差，求出修正使线电极对于上述工作台移动的指令的修正量。

Description

具有定位精度修正功能的电火花线切割加工机
技术领域
本发明涉及具有对受到机械的设置状态或加工液重量、工件重量等的影响而恶化的定位精度进行提高的功能的电火花线切割加工机。
背景技术
通常，电火花线切割加工机，在装配工厂中使用激光干涉测长器（参照日本特开昭62－271633号公报）或者间距规（参照日本特开平3－161247号公报）等昂贵的高精度的测定设备，测定各驱动轴的定位精度，进行间距误差修正。
在图21中，（a）是说明在装配工厂中进行间距误差修正的基准的状态的图，（b）是说明受到加工液或者工件的影响底座弯曲的状态的图，（c）是说明底座强度弱，与底座凹陷相伴此底座弯曲的状态的图。（b）在底座中央部凹陷，与（a）相比两点间的距离缩短。（c）在底座两侧凹陷，与（a）相比两点间的距离增长。此外，所谓底座是电火花线切割加工机中放置保持工作台移动机构的机构部。图22是说明图21的（a）、（b）、（c）的间距误差的图。
因为激光干涉测长器或者间距规等昂贵的高精度的测定设备不能在加工液中使用，所以在装配工厂中在加工槽中不积存加工液的状态下进行定位精度的测定。
但是，在实际加工工件时，需要在积存加工液到工件上表面的高度以上，受加工液重量或者工件重量的影响，有时无法使工件的间距精度收敛基准值内。另外，从装配工厂发货，在用户的工厂内收货，设置设备时，由于装配工厂和用户工厂的底座强度的不同或设备的调平状态的差别，机械的弯曲量不同，所以有时定位精度变化。因此，理想的是需要在用户工厂中在设置设备后使用激光干涉测长器或者间距规等测定设备再次进行间距误差修正。但是，因为需要昂贵的测定设备或者测定设备的设置以及使用方法困难，所以在现实中难以由用户进行定位精度的测定。
发明内容
因此，鉴于上述现有技术问题，本发明的目的在于提供一种电火花线切割加工机，其具有对由于机械的设置状态或加工液重量或工件重量等的影响而恶化的定位精度进行提高的功能。
本发明涉及一种电火花线切割加工机，其具有贮存加工液的加工槽，在设置在该加工槽中的工作台上放置工件，根据从控制装置输出的指令使线电极相对于上述工作台相对移动来加工所述工件。该电火花线切割加工机为了达成上述目的，具备：（1）接触检测用夹具的组合，其包含具有第一接触检测部的第一接触检测用夹具和具有第二接触检测部的第二接触检测用夹具，这些第一、第二接触检测用夹具以面对第一、第二接触检测部的方式在上述工作台上隔开预定的距离来设置；（2）接触检测部，其用于检测上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具的接触；（3）坐标值存储部，其用于分别存储在上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具接触时移动的轴的坐标值；（4）基准距离存储部，其用于在能够得到希望的定位精度的第一状态下使上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具接触，根据在上述坐标值存储部中存储的上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具接触时的坐标值，求出并存储上述第一接触检测用夹具和上述第二接触检测用夹具的距离来作为基准距离；（5）实际距离存储部，其用于在与上述第一状态不同的第二状态下使上述线电极与第一、第二接触检测用夹具接触，根据在上述坐标值存储部中存储的上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具接触时的坐标值，存储上述第一接触检测用夹具和上述第二接触检测用夹具的距离作为实际距离；和（6）修正部，其用于计算在上述基准距离存储部中存储的基准距离和在上述实际距离存储部中存储的实际距离的差，根据离开接触位置坐标的距离修正上述指令，以便在实际加工时消除上述差。
可以把上述第一状态作为在加工台上不放置工件而且在加工槽中不积存加工液的状态，把上述第二状态作为在加工台上放置工件，在加工槽中积存加工液到规定的加工液高度的状态。另外，上述第二状态也可以通过在实际加工时的加工液高度之上积存相当于在上述工作台上放置的工件的重量的加工液来实现。
可以把上述第一状态作为在能够得到希望的定位精度的强度的底座上设置了上述电火花线切割加工机的状态，另外，可以把上述第二状态作为在底座的强度和上述第一状态不同的场所设置了上述电火花线切割加工机的状态。
上述接触检测用夹具的组合可以是在移动轴的每一移动方向上设置了多个接触检测用夹具的组合。
上述接触检测用夹具的组合可以是并排设置了多个接触检测用夹具的组合。
上述接触检测用夹具可以是在板状部件上设置有贯通孔的接触检测用夹具，通过使上述线电极接触该贯通孔的内表面的至少3个位置求上述孔的中心坐标，把该坐标值作为上述接触检测用夹具和上述线电极接触时的移动轴的坐标值。
上述接触检测用夹具的组合也可以为具有至少两个与线电极接触的接触部的单一的接触检测用夹具。
根据本发明，能够提供具有对由于机械的设置状态、或者加工液重量或者工件重量等的影响而恶化的定位精度进行提高的功能的电火花线切割加工机。
附图说明
通过参照附图对于以下的实施例的说明，本发明的上述以及其他的目的以及特征将会变得明了。附图中：
图1是本发明的电火花线切割加工机的一种实施方式的概要框图；
图2是取下了加工槽的壁面的一部分所示的电火花线切割加工机的加工槽的外观立体图；
图3是接触检测用夹具的一例的外观立体图；
图4是表示与装配工厂相同的负荷状态下的测定接触检测用夹具和线电极的接触位置的样子的图；
图5是表示在工作台上设置工件、积存加工液的状态下的接触检测用夹具与线电极的接触位置测定的样子的图；
图6是表示用于修正定位精度的变化的修正量的倾斜Θ的图；
图7是说明测定X轴方向的夹具间距离的例子的图；
图8是说明测定Y轴方向的夹具间距离的例子的图；
图9是说明同时测定X轴方向以及Y轴方向的距离的例子的图；
图10是说明同时测定X轴方向以及Y轴方向的距离的例子的图；
图11是说明对于接触检测用夹具线接触的方向的图；
图12是说明接触检测部成为圆孔的接触检测用夹具的例子的图；
图13是说明使用图12的接触检测用夹具的夹具间距离的测定例的图；
图14是说明求出图12的接触检测用夹具中的孔中心位置的方法的一例的图；
图15是说明在支持部件的两个位置分别安装线电极接触部的接触检测用夹具的图；
图16是说明在一张板上在两个位置开出能够进行接触检测的孔的接触检测用夹具的图；
图17是说明使用3个接触检测用夹具的情况的例子的图；
图18是表示装配工厂中的夹具间距离测定的样子的图；
图19是表示用户工厂中的夹具间距离测定的样子的图；
图20是说明控制装置内的处理的概要的框图；
图21，（a）是说明在装配工厂中进行间距误差修正的基准的状态的图，（b）是说明受加工液或者工件的影响底座弯曲的状态的图，（c）是说明底座强度弱，伴随底座凹陷，此底座弯曲的状态的图；
图22是说明图21的（a）、（b）、（c）中的间距误差的图。
具体实施方式
使用图1的概略框图说明本发明的电火花线切割加工机的一种实施方式。
在电火花线切割加工机M的机构部10上设置的工作台13上放置工件15。然后，通过在该工件15和线电极14之间施加电压，一边产生电火花一边使线电极14相对于工件15移动，对工件15进行电火花加工。另外，当在加工槽3内迅速积存水的情况下，经由用于迅速积存水的加工液供给路径12供给并积存加工液。其后的加工液16的补给经由加工液供给路径L1a来进行。该加工槽3内的加工液中混入了通过电火花加工而产生的加工屑等，使该加工液16流出到污水槽8内。
回收并贮存在污水槽8内的加工液16通过过滤泵P1被抽上来，通过过滤器F进行过滤，在去除加工屑等后被提供给清水槽9。在清水槽9中贮存的加工液16经由加工液供给路径L1a通过循环泵P3被抽上来。然后，在其排出口进行分支，一方经由加工液供给路径L1a作为补给水被提供给加工槽3，另一方被提供给加工液冷却装置11，在冷却控制后经由加工液返回路径L1c返回到清水槽9。
加工槽3内具有用于测定加工槽3内的加工液的液位的压力传感器6。根据压力传感器6的检测信号能够把加工槽3内的加工液16保持在希望的液位。并且，在加工槽3内设置排水单元，设置排水口7，以使加工槽3内的加工液流出到污水槽8内。在该排水单元中包含排水口阀5以及进行排水口阀5的开闭的伺服电动机4。电火花线切割加工机通过具有显示部102的控制装置100控制。
图2是取下了加工槽的壁面的一部分所示的电火花线切割加工机的加工槽的外观立体图，在加工槽3周围，在加工液的水位调整系统的水位检测单元中使用压力传感器，在水位调整机构中使用伺服电动机。
电火花线切割加工机关闭门（未图示），在加工槽3内积存加工液16，通过压力传感器6检测水压。通过检测水压能够测定加工槽3内的水位。另外，通过伺服电动机4调整排水口阀5的开度，控制水位。
在电火花加工中因为一边从上导线器1以及下导线器2喷出加工液一边加工工件，所以通常在将排水口阀5打开预定量的状态下进行控制，以便排出流入加工槽3的量。此外，即使在排水口阀5完全关闭的状态下，也有若干量的加工液漏出。
下面说明本发明的误差修正。
在实施本发明的定位精度修正功能时，在放置工件15的工作台13上安装多个接触检测用夹具，使线电极14与接触检测用夹具接触，使用该接触位置的坐标，能够计算误差。图3是接触检测用夹具的一例的外观立体图。
接触检测用夹具20具有线电极接触部22和支持该线电极接触部22的支持部件21。线电极接触部22是具有导电性的圆柱形状的部件。希望线电极14接触的线电极接触部22的表面具有理想的例如Rz 5μm以下的表面粗糙度。支持部件21为具有凹部的近似U字型，在该凹部内配置圆柱状的线电极接触部22，其两端固定在支持部件21上。通过圆柱状的具有导电性的线电极接触部22，因为线电极接触部22和线电极14成为点接触，所以接触检测的精度高。为了将接触检测用夹具20安装在工作台13上，在支持部件21上设置了固定单元（未图示）。该固定单元例如由夹持工作台的上表面和下表面的板状部件和拧紧该板状部件的螺栓组成。
下面说明用于修正由于重量变化引起的误差的方法。
图4是表示在与装配工厂相同的负荷状态下，测定接触检测用夹具和线电极的接触位置的样子的图。这里所谓与装配工厂相同的负荷状态是在加工槽3内不积存加工液16，并且在工作台13上不放置工件15的状态。
图5是表示在工作台13上放置工件15，并且积存了加工液16的状态下测定接触检测用夹具20与线电极14的接触位置的样子的图。
<对于重量变化>
对于在工作台13上配置的两个以上的接触检测用夹具20，
（1）在针对能够得到希望的定位精度的工作台13的负荷状态以及机械设置状态下，通过线电极14的接触检测，测定并存储第一接触检测用夹具20n以及第二接触检测用夹具20n＋1分别与线电极14的接触位置的坐标an、an+1，求出接触检测用夹具20n、20n＋1间的距离Xan=an+1-an。也可以使用两个以上的接触检测用夹具。在图4的例子中，两个接触检测用夹具，即第一接触检测用夹具20n和第二接触检测用夹具20n+1以在与X轴平行的轴线上对齐的方式配置在加工槽3内的工作台13的一边和与其相向的一边。通过使线电极14对于工作台13相对移动能够测定线电极14的接触位置的坐标an、an+1。图4表示上导线器1以及下导线器2对于工作台13在Xan的箭头方向上相对移动到上导线器’以及下导线器2’的位置。
（2）在工作台13上设置工件15，在加工槽3内积存加工液16直到与进行实际加工相同的液位，如图5所示，和上述（1）同样，测定并存储接触检测用夹具20n、20n+1与线电极14的接触位置的坐标bn、bn+1，求出接触检测用夹具间的距离Xbn＝bn+1－bn。通过使线电极14或工作台13对于接触检测用夹具20n、20n+1相对移动，能够测定接触位置的坐标bn、bn+1。
（3）通过计算Θn=（Xbn－Xan）/Xbn求出修正量的倾斜Θn（参照图6）。
（4）当把离开线电极14的接触位置（坐标bn）的距离设为（Xbn）’时，通过计算（Xbn）’－Θn*（Xbn）’，能够修正由于加工槽3内的加工液16的重量以及工件15的重量的变化引起的定位精度的变化。根据离开线电极14的接触位置（坐标bn）的距离进行修正，有时根据把坐标bn的位置作为坐标原点的接触位置坐标系进行误差修正。
此外，上述（1）～（4）的“n”是1以上的自然数。另外，在线电极14和接触检测用夹具20的线电极接触部22之间通过电压施加单元（未图示）施加微弱的电压。在包含线电极14和线电极接触部22形成的回路中，检测线电极14和线电极接触部22之间的电压变化或在该回路中流过的电流的变化，能够检测线电极14和线电极接触部22是否接触。
如图5所示，当在与实际的工件15的加工相同的工作台13的位置放置工件15时，还考虑由于工件15引起的偏负荷重量的影响。在能够忽略工件15引起的偏负荷重量的影响的情况下，可以代替在工作台13上放置工件15，而在加工槽3内增加工件15的重量的加工液16。加工槽3内的加工液16的量如使用图1、图2说明的那样能够容易地变更。为了得到高精度的定位精度，希望尽可能把接触检测用夹具20相对于工作台13的设置位置设为执行加工的场所附近。
这里说明上述（1）中的“对于能够得到希望的定位精度的工作台13的负荷状态以及机械设置状态”。作为对于能够得到希望的定位精度的工作台13的负荷状态以及机械设置状态的具体例，考虑下述<1>～<3>的状态。
<1>在用户的工厂内设置电火花线切割加工机后，与通过激光干涉测长器测定定位精度进行间距误差修正时相同的、对于工作台13的负荷状态以及机械设置状态。
<2>与工件15的加工结果的测定值满足要求精度时相同的对于工作台13的负荷状态以及机械设置状态。
<3>在设置电火花线切割加工机的用户的工厂的底座的强度与装配电火花线切割加工机的装配工厂相同，电火花线切割加工机的调平步骤也通过与装配工厂相同的步骤进行，能够再现装配工厂中的电火花线切割加工机的设置状态的情况下，与在装配工厂中测定定位精度进行间距误差修正时相同的对于工作台13的负荷状态以及机械设置状态。
图4以及图5是通过接触检测用夹具20测定X轴方向的夹具间距离的例子，但是如图7、图8、图9、图10所示，也可以同时测定X轴方向（参照图7）和Y轴方向（参照图8）、和XY轴方向（参照图9）。另外，实际的加工间距相对于XY轴的行程短的情况下，如图10所示，也可以通过相对于XY轴的行程短的距离进行测定。另外，为了高精度地检测接触检测用夹具20的位置，如图11所示，希望使线电极14垂直接触接触检测用夹具20。
这里说明通过在图3等中图示的具有圆柱形状的导电性的部件形成接触检测部的接触检测用夹具20以外的方式。
图12是说明接触检测部成为圆孔的接触检测用夹具的例子的图。
接触检测用夹具30，在具有导电性的板状的支持部件31上设置具有适宜直径的圆形的贯通孔的线电极接触部32。
图13是说明使用图12的接触检测用夹具的夹具间距离的测定例的图。
使用两个在图12中表示的接触检测用夹具30，把这两个接触检测用夹具30与图4、图5同样地在加工槽3内的工作台13的两个位置互相相向地同轴安装。接触检测用夹具30的线电极接触部32和线电极14的接触位置的测定，与图4和图5同样，可以通过使线电极14对于加工槽3内的工作台13相对移动来进行。但是，在该例中，在检出一方的贯通孔的线电极接触部32的接触位置后，需要暂时切断线电极，在通过另一方的贯通孔的线电极接触部32再次接线后进行接触位置的检测。
线电极14和线电极接触部32的接触位置也可以为形成线电极接触部32的贯通孔的壁面的位置，但是也可以为贯通孔的中心位置。图14是说明求出图12的接触检测用夹具中的孔中心位置的方法的一例的图。测定形成线电极接触部32的贯通孔的三个任意不同的壁面位置的坐标。圆的中心因为位于圆弧上的任意的弦的垂直平分线上，所以根据通过在圆弧上不重合的任意的3个点得到的两个弦，通过运算求出贯通孔的中心。对于线电极14，可以根据通过运算求出的贯通孔的中心位置进行误差评价的运算，来代替作为线电极接触部32的贯通孔的壁面位置。
以上说明了图3表示的接触检测用夹具20具有一个与线电极14接触的线电极接触部22的方式、以及图12表示的触检测用夹具30具有一个贯通孔，来作为与线电极14接触的线电极接触部32的方式，但是也可以由支持部件支持两个以上的线电极接触部。在这种情况下，与使用两个接触检测用夹具相同。
使用图15说明在支持部件41的两个位置分别安装线电极接触部42a、42b的接触检测用夹具40。
在支持部件41上安装的两个线电极接触部42a、42b分别是具有导电性的成为圆柱形状的部件。这些线电极接触部42a、42b从支持部件31的侧面开始互相平行竖立地安装在支持部件41上。在进行误差修正时，测定两个线电极接触部42a和42b位置即可。线电极接触部42a、42b与线电极14的接触位置的检测和图4以及图5同样，通过使线电极14对于工作台13相对移动来进行。
图16表示接触检测用夹具50，其在支持部件51的两个位置设置能够进行与线电极14的接触检测的贯通孔即线电极接触部52a、52b。线电极接触部52a、52b与线电极14的接触位置的检测与图4以及图5相同，通过使线电极14对于工作台13相对移动来进行。此外，在该种情况下，与图13相同，在检测出一方的贯通孔的线电极接触部52a的接触位置后，需要暂时切断线电极，在用另一方的贯通孔的线电极接触部52b再次接线后进行接触位置的检测。
因为在上述图15和图16的方式中在一个支持部件上设置两个线电极接触部，所以能够减轻作业者在加工槽3内的工作台13上固定支持部件的作业。位置匹配与使用两个接触检测用夹具相比变得容易。
接着说明使用3个接触检测用夹具的情况。通过使用多个接触检测用夹具，能够通过计算平均值等更正确地进行误差的评价。图17是说明使用3个接触检测用夹具的情况的例子的图。各接触检测用夹具60由支持部件61和在该支持部件61的侧面竖立地设置的线电极接触部62组成。在支持部件61上安装的线电极接触部62是具有导电性的圆柱形状的部件。
如图17所示，线电极14对于接触检测用夹具601的线电极接触部62、接触检测用夹具602的线电极接触部62、接触检测用夹具603的线电极接触部62相对移动。检测线电极14接触各线电极接触部62、62、62时的位置。
以上说明电火花线切割加工机的重量变化。下面说明电火花线切割加工机的设置状况（底座强度）的变化。
对于在工作台13上配置的两个以上的接触检测用夹具20，
[1]在电火花线切割加工机的装配工厂中在发货前进行线电极14的接触检测，测定并存储第一接触检测用夹具20n、第二接触检测用夹具20n+1与线电极14的接触位置的坐标an、an+1，如图18所示，求出接触检测用夹具20n、20n+1间的距离Xan=an+1－an。也可以使用两个以上的接触检测用夹具。在加工槽3内的工作台13的相向的两边，在与X轴平行的轴线上对齐地分别配置接触检测用夹具。
在图18中，在加工槽3内的工作台13的相向的两边，分别配置接触检测用夹具，即第一接触检测用夹具20n以及第二接触检测用夹具20n+1。然后，通过使线电极14对于工作台13的第一接触检测用夹具20n、第二接触检测用夹具20n+1相对移动，能够测定线电极14的接触位置的坐标an、an+1。
[2]在与装配工厂底座强度不同的用户的工厂（用户工厂）内设置电火花线切割加工机后，执行与在装配工厂中进行的上述[1]相同的测定，测定并存储接触检测用夹具20n、20n+1与线电极14的接触位置的坐标bn、bn+1，求出接触检测用夹具之间的距离Xbn=bn+1－bn（参照图19）。通过使线电极14对于固定在工作台13上的接触检测用夹具20n、20n＋1相对移动，能够测定接触位置的坐标bn、bn+1。
[3]通过Θn=（Xbn－Xan）/Xbn的计算求出修正量的倾斜Θn。
[4]当设离开线电极14的接触位置（坐标bn）的距离为（Xbn）’时，通过计算（Xbn）’－Θn*（Xbn）’，能够修正由于设置电火花线切割加工机的底座强度的不同，调平的差异导致的定位精度的变化。关于根据离开坐标bn位置的距离进行修正，有时根据把坐标bn的位置作为坐标原点的接触位置坐标系进行误差修正。
图20是说明控制装置内的处理的概要的框图。参照图1、图2进行说明。压力传感器6是用于测定加工槽3内的加工液16的液位的传感器。从压力传感器6输出的检测信号输入到CPU101。109是当前值计数器，接受来自在X轴电动机105、Y轴电动机107中内置的各个位置检测器106、108的位置检测信号，向CPU101传递工作台13的当前位置信息。103是本发明的存储修正信息的存储部。预先用上述方法测定本发明的误差修正的基准距离以及实际距离，并存储在存储部103中作为基准距离信息以及实际距离信息。104是伺服控制部，向各轴电动机105、107发送与从CPU101输出的移动指令对应的输出，驱动工作台13或者上导线器1、下导线器2。CPU101计算上述基准距离信息和实际距离信息的差，为了在实际加工时消除上述差，进行根据离开接触位置坐标的距离修正上述指令的修正运算，然后向伺服控制部104输出。

Claims (9)

1.一种电火花线切割加工机，其具有贮存加工液的加工槽，在设置在该加工槽中的工作台上放置工件，根据从控制装置输出的指令使线电极和上述工作台相对移动来加工上述工件，上述电火花线切割加工机的特征在于，具备：
一对接触检测用夹具，其由第一接触检测用夹具和第二接触检测用夹具组成，该第一接触检测用夹具具有在上述工作台上设置的接触检测部，该第二接触检测用夹具在同一轴线上与该第一接触检测用夹具具有预定的距离，并且具有以与该第一接触检测用夹具具有的接触检测部面对的方式设置的接触检测部；
接触检测部，其用于检测上述线电极与上述第一接触检测用夹具以及上述第二接触检测用夹具的接触；
坐标值存储部，其用于存储在上述线电极与上述第一接触检测用夹具以及上述第二接触检测用夹具接触时移动的轴的坐标值；
基准距离存储部，其用于在能够得到希望的定位精度的第一状态下使上述线电极与上述第一接触检测用夹具以及上述第二接触检测用夹具接触，根据上述线电极与上述第一接触检测用夹具以及上述第二接触检测用夹具接触时的坐标值，求出并存储上述第一接触检测用夹具和上述第二接触检测用夹具的距离来作为基准距离；
实际距离存储部，其用于在与上述第一状态不同的第二状态下使上述线电极与第一以及第二接触检测用夹具接触，根据上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具接触时的坐标值，存储上述第一接触检测用夹具和上述第二接触检测用夹具的距离作为实际距离；和
修正部，其用于计算上述基准距离和实际距离的差，根据离开接触位置坐标的距离修正上述指令，以便在实际加工时消除上述差。
2.一种电火花线切割加工机，其具有贮存加工液的加工槽，在设置在该加工槽中的工作台上放置工件，根据从控制装置输出的指令使线电极和上述工作台相对移动来加工上述工件，上述电火花线切割加工机的特征在于，具备：
一对接触检测用夹具，其由第一接触检测用夹具和第二接触检测用夹具组成，该第一接触检测用夹具具有在上述工作台上设置的接触检测部，该第二接触检测用夹具在不同的轴线上与该第一接触检测用夹具具有预定的距离，并且具有以与该第一接触检测用夹具具有的接触检测部面对的方式设置的接触检测部；
接触检测部，其用于检测上述线电极与上述第一以及第二接触检测用夹具的接触；
坐标值存储部，其用于存储在上述线电极与上述第一以及第二接触检测用夹具接触时移动的轴的坐标值；
基准距离存储部，其用于在能够得到希望的定位精度的第一状态下使上述线电极与上述第一以及第二接触检测用夹具接触，根据上述线电极与上述接触检测用夹具接触时的坐标值，求出并存储上述第一和第二接触检测用夹具的各移动轴方向的距离来作为基准距离；
实际距离存储部，其用于在与上述第一状态不同的第二状态下使上述线电极与上述第一以及第二接触检测用夹具接触，根据上述线电极与上述第一、第二接触检测用夹具接触时的坐标值，存储上述第一接触检测用夹具和第二接触检测用夹具的各移动轴方向的距离作为实际距离；和
修正部，其用于计算上述基准距离和实际距离的差，根据离开接触位置坐标的移动轴方向的距离修正上述指令，以便在实际加工时消除上述差。
3.根据权利要求1或2所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
上述第一状态是在加工台上不放置工件，并且在加工槽中不积存加工液的状态，上述第二状态是在加工台上放置了工件，在加工槽中直到预定的加工液高度为止积存了加工液的状态。
4.根据权利要求3所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
上述第二状态在实际加工时的加工液高度之上积存相当于放置在上述工作台上的工件的重量的加工液。
5.根据权利要求1或2所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
上述第一状态是在能够得到希望的定位精度的底座强度处设置了上述电火花线切割加工机的状态，上述第二状态是在底座强度与第一状态不同的场所设置了上述电火花线切割加工机的状态。
6.根据权利要求1、2、4中的任意一项所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
在移动轴的每个移动方向上设置了多个上述一对夹具。
7.根据权利要求1、2、4中的任意一项所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
并排设置多个上述一对夹具。
8.根据权利要求1、2、4中的任意一项所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
上述接触检测用夹具在板状部件上设置有孔，通过使上述线电极接触该孔的内表面的至少3个位置，求出上述孔的中心的坐标，把该坐标值作为上述接触检测用夹具与上述线电极接触时的移动的轴的坐标值。
9.根据权利要求1、2、4中的任意一项所述的电火花线切割加工机，其特征在于，
上述一对接触检测用夹具构成为具有至少两个与线电极接触的接触部的单一的接触检测用夹具。
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