CN102874549A - 条状部件的移送用皮带 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种条状部件的移送用皮带,其用于在大量制造半导体或其它部件的步骤中的电镀步骤等自动在线步骤中,将指状部(30)以规定的节距间隔结合至皮带本体(10)上,并在将条状部件(50)把持在皮带本体与指状部之间的状态下来移送条状部件,在皮带本体的一侧,以规定的节距间隔延长形成有条状部件的把持用把持突出部(12),在一个把持突出部与邻接的把持突出部之间形成有各个凹部(14),在所述把持突出部的中央后部分别设置有设置长孔(16),以镶嵌安装指状部的把持前端部(32),在安装指状部时,所述把持前端部位于所述把持突出部的中央,并使所述把持前端部的端部与所述把持突出部的端部彼此一致。

Description

条状部件的移送用皮带
技术领域
本发明是关于在制造半导体等零部件的电镀步骤等的处理步骤中,为了移送条状部件而采用的移送用皮带;特别是关于一种条状部件的移送用皮带,其在进行电镀处理时,利用该皮带与条状部件彼此重迭的部分,使所产生的未电镀部分最小化,以减少电镀不良率。
背景技术
专利文献1,属于现有的皮带和指状部是分离结合型构成的形态,如图1和图2所示,可以先分别制作皮带本体1和指状部2,然后将指状部2安装至皮带本体1上来使用,在将条状部件3装料的情况下,以夹在皮带本体1与指状部2的前端部2a之间的方式进行安装。此时,在条状部件3的一侧,产生与皮带本体1彼此重迭的皮带重迭部分3a,而在另一侧产生与指状部2的前端部2a彼此重迭的指状部重迭部分3b,其结果,在电镀处理作业时,电镀液无法到达所述皮带重迭部分3a和指状部重迭部分3b,因而会形成未电镀部分。这样形成的未电镀部分,通常形成得太宽从而超过了实际质量管理上所要求的式样,所以在进行条状部件3的电镀处理作业时,会成为做出不良制品的主要原因。
特别是所述皮带重迭部分3a,由于是以规定的宽度被整体地形成在条状部件3的上部的一部分的长度方向上,同时未电镀部分也是以规定的宽度被整体地形成,所以会成为做出不良制品的主要原因。而且,指状部2的前端部分2a与条状部件3彼此重迭的指状部重迭部分3b形成为U字形,同时也会形成未电镀部分,所以不佳。
进而,如图3和图4所示,现有已知有一种皮带1和指状部2是分离结合型构成的形态。在此情况下,虽然在皮带1上部分地形成有多个切口1b(未图示),但是在将条状部件3装料并进行电镀处理作业时,除了所述切口1b之外的剩余部分,仍会成为皮带重迭部分3c(未图示)从而形成为未电镀部分,而指状部2的前端部2a,仍与图1和图2所示的情况相同,会在与条状部件3彼此重迭的指状部重迭部分3b形成U字形,同时也会形成未电镀部分,所以不佳。
[现有技术文献]
(专利文献)
专利文献1:美国专利第5,024,745号
发明内容
本发明为了解决以往的问题而被研究和开发出来。
本发明的目的在于:针对皮带和指状部是分离结合型所构成的条状部件的移送用皮带,先进行装料也就是将条状部件安装至皮带本体与指状部之间,然后在沉浸于电镀槽内的电镀液中的状态下,一边进给一边进行电镀处理作业,使皮带本体与指状部之间所安装的条状部件与皮带本体或指状部彼此重迭的部分最小化,从而使电镀处理作业后所形成的未电镀部分也最小化,借此满足电镀作业上的质量式样所要求的条件并减少制品的不良率。
本发明的其它目的在于:提供一种条状部件的移送用皮带,其构成的方式是,使皮带本体与指状部之间所安装的条状部件与皮带本体或指状部彼此重迭的部分最小化,且在条状部件的进给中使条状部件在皮带本体与指状部之间具有充分的把持力而不会摇动或是分离和脱落。
为了达成这样的各个目的,本发明提供一种条状部件的移送用皮带,其构成的方式为:用于在大量制造半导体或其它部件的步骤中的电镀步骤等自动在线步骤中,将指状部以规定的节距间隔结合至皮带本体上,并在将条状部件把持在皮带本体与指状部之间的状态下来移送条状部件,在皮带本体的一侧,以规定的节距间隔延长形成有用于把持条状部件的把持突出部,在一个把持突出部与邻接的把持突出部之间形成有各个凹部,在所述把持突出部的中央后部分别设置有设置长孔,以镶嵌安装指状部的把持前端部,在安装指状部时,把持前端部位于所述把持突出部的中央,并使所述把持前端部的端部与所述把持突出部的端部彼此一致。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其构成为:在所述把持突出部的中央沿长度方向形成有折曲突起。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中,所述折曲突起构成为包括:在邻接于皮带本体的部位所形成的后方倾斜部、及在连续于所述后方倾斜部的位置所形成的前方垂直部。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中,所述指状部的把持前端部构成为:以与所述后方倾斜部和所述前方垂直部相一致的方式折曲形成,并使条状部件把持在所述折曲突起的前方垂直部与指状部的把持前端部之间。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中,所述把持突出部构成为:其与皮带本体邻接的部位的宽度较宽,而越是远离皮带本体则宽度越窄。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中,所述皮带本体,其构成方式是设置有:安装孔,其用于结合指状部的安装部和支持固定部;及设置长孔,其用于结合指状部的把持前端部,并形成能移动动作位置;所述安装孔设置在所述设置长孔与邻接的设置长孔之间的中央上部。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中,所述指状部由下列构件一体成形地构成:安装部,其被设置在上端;支持固定部,其由与所述安装部邻接的位置延伸,并呈螺旋弹簧(coil spring)状以弹性地支持和结合皮带本体与指状部;结合凹部,其设置在所述安装部与所述支持固定部之间从而被嵌入结合至所述安装孔;角度变换铰链(hinge),其由与所述支持固定部邻接的位置延伸而形成,并呈螺旋弹簧状,以一边将弹性把持力施加至相对于所述安装部位于下端的把持前端部,一边作为铰链而发挥作用;以及折曲部,其与所述角度变换铰链邻接、延伸并折曲,且使所述把持前端部位于端部。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中:
在所述指状部中,以所述安装部的中央作为中心而左右对称的方式分别一体成形有:所述结合凹部、所述支持固定部、所述角度变换铰链、所述折曲部、以及所述把持前端部;所述两侧的结合凹部被嵌入结合至所述皮带本体的安装孔;所述把持前端部分别被嵌入结合至分别形成于两侧的设置长孔。
又,提供一种条状部件的移送用皮带,其中,所述指状部的把持前端部构成为具有圆筒状剖面部。
依照本发明,针对皮带本体与指状部是分离结合型所构成的条状部件的移送用皮带,先进行装料也就是将条状部件50安装至皮带本体10与指状部30之间,然后在沉浸于电镀槽内的电镀液中的状态下,一边进给一边进行电镀处理作业,使皮带本体与指状部之间所安装的条状部件与皮带本体或指状部彼此重迭的部分最小化,从而使电镀处理作业后所形成的未电镀部分也最小化,借此,满足电镀作业上的质量式样所要求的条件并减少制品的不良率。此外,使皮带本体与指状部之间所安装的条状部件与皮带本体或指状部彼此重迭的部分最小化,且在条状部件的进给中使条状部件在皮带本体与指状部之间具有充分的把持力而不会发生摇动或是分离和脱落,从而能够稳定地进行动作。
附图说明
图1是说明现有技术的主视图。
图2是图1的侧视图。
图3是说明其它的现有技术的省略一部分而成的外观立体图。
图4是图3的侧视图。
图5是表示本发明的优选实施方式的主视图。
图6是图5的仰视图。
图7是图5的仰视立体图。
图8是图6的重要部位放大图。
图9是图5的右侧视图。
图10是图9的重要部位放大图。
附图标记说明
1        皮带本体
1b       切口
2        指状部
2a       前端部
3        条状部件
3a       皮带重迭部分
3b       指状部重迭部分
3c       皮带重迭部分
10       皮带本体
12       把持突出部
14       凹部
16       设置长孔
18       折曲突起
20       后方倾斜部
22       前方垂直部
24       安装孔
30    指状部
32    把持前端部
34    安装部
36    支持固定部
38    结合凹部
40    角度变换铰链
42    折曲部
50    条状部件
具体实施方式
以下,参照附图,更具体且详细地说明本发明。
如图5至图10所示,本发明的条状部件的移送用皮带的优选实施方式,其构成的方式为:在大量制造半导体或其它零部件的步骤中的电镀步骤等自动在线(in-line)步骤中,将指状部30以规定的节距(pitch)间隔结合至皮带本体10上,并以在将条状部件50把持在皮带本体10与指状部30之间的状态下来移送条状部件50的方式加以应用,在皮带本体10的一侧,以规定的节距间隔延长形成有条状部件50的把持用把持突出部12,在一个把持突出部12与邻接的把持突出部12之间形成各个凹部14,在所述把持突出部12的中央后部分别设置有设置长孔16,以镶嵌安装指状部30的把持前端部32,在安装指状部30时,把持前端部32位于所述把持突出部12的中央,并使所述把持前端部32的端部与所述把持突出部12的端部彼此一致。
此时,优选的构成方式为:在所述把持突出部12的中央往长度方向形成折曲突起18,且在将条状部件50把持于所述折曲突起18与所述把持前端部32之间来进行装料的情况下,条状部件50与折曲突起18彼此线接触,能以最低限度接触的方式来进行。
又,所述折曲突起18包括:在邻接于皮带本体10的部位所形成的后方倾斜部20、及在连续于后方倾斜部20的部分所形成的前方垂直部22。
又,所述指状部30的把持前端部32,其构成方式为:也以与所述后方倾斜部20和前方垂直部22相一致的方式折曲形成,以使条状部件50把持在所述折曲突起18的前方垂直部22与指状部30的把持前端部32之间,并以前方垂直部22、条状部件50的一部分及把持前端部32彼此贴紧及压接的状态来把持和安装。
又,所述把持突出部12,其构成的方式是,与皮带本体10邻接的部位的宽度较宽,而越是远离皮带本体10,宽度就越窄,以使得条状部件50有充分的把持力并减少材料的消耗量,且使折曲突起18成形时的塑性加工变得容易进行。
又,所述皮带本体10,其构成的方式是设置有:安装孔24,其用于结合指状部30的安装部34和支持固定部36;及设置长孔16,其用于结合指状部30的把持前端部32,并形成能移动动作位置。所述安装孔24设置在所述设置长孔16与邻接的设置长孔16之间的中央上部,与指状部30的结合容易,在进行与指状部30的结合之后,指状部30的左右两侧会彼此平衡且顺利地进行动作。
又,所述指状部30是由下列构件一体成形地构成:安装部34,其被设置在上端;支持固定部36,其由与所述安装部34邻接的位置延伸,并呈螺旋弹簧状以弹性地支持和结合皮带本体10与指状部30;结合凹部38,其设置在所述安装部34与所述支持固定部36之间从而被嵌入结合至所述安装孔24;角度变换铰链40,其由与所述支持固定部36邻接的位置延伸而形成,且呈螺旋弹簧状以一边将弹性把持力施加至相对于所述安装部34的位于下端的把持前端部32,一边作为铰链而发挥作用;以及折曲部42,其与所述角度变换铰链40邻接、延伸并折曲,且使把持前端部32位于端部。
此时,在所述指状部30中,是以所述安装部34的中央作为中心而左右对称的方式,分别一体成形有:所述结合凹部38;所述支持固定部36、36;所述角度变换铰链40、40;所述折曲部42、42;以及所述把持前端部32、32。所述两侧的结合凹部38被嵌入结合至所述皮带本体10的安装孔24;所述把持前端部32分别被嵌入结合至分别形成于两侧的设置长孔16、16,以达成左右均衡而能稳定地进行动作。
又,所述指状部30是将钢线加以折曲成形,但是所述指状部30的把持前端部32,是构成具有将单一钢线的端部切断(剖开)而成的圆筒状剖面部,而在把持条状部件50的情况下,构成与把持前端部32成线接触而使接触面积最小化。
又,在所述皮带本体10的把持突出部12所设置的折曲突起18,与所述指状部30的把持前端部32彼此成对,这些折曲突起18和把持前端部32,是每隔规定的间隔而重复设置的,以将所述条状部件50以每隔规定的间隔而重复把持和安装,所以在条状部件50的进给中,条状部件50在皮带本体10与指状部30之间具有充分把持力因而构成不会移动或是分离和脱离。
接着,详细说明上述构成的本发明的动作过程。
首先,在皮带本体10与指状部30彼此结合的情况下,将指状部30的安装部34和支持固定部36的一部分,嵌入结合至皮带本体10的上部所预先形成的安装孔24中,并将结合凹部38嵌入贴紧至安装孔24的上面,将指状部30的两侧所形成的把持前端部32、32,分别嵌入结合至以皮带本体10的安装孔24为中心而被形成在下部两侧的设置长孔16、16,并分别使折曲部42、42契合至该设置长孔16、16,由此,把持前端部32、32的内侧部分会分别抵接折曲突起18、18的前方垂直部22、22,从而以能将条状部件50维持在适合把持和安装的状态来进行结合。
此时,将指状部30分别安装在皮带本体10上的每隔规定的间距所形成的一对设置长孔16和一个安装孔24,使指状部30以横跨皮带本体10整体的方式安装,这些被安装的指状部30中的每个,都借由螺旋弹簧状的支持固定部36而被弹性地支持和结合至皮带本体10,同时借由螺旋弹簧状的角度变换铰链40来弹性地开启和关闭把持前端部32,以进行条状部件50的卸料(unloading)或装料作业。
又,在将条状部件50安装和装料至皮带本体10上并加以把持的情况下,以规定间隔设置的皮带本体10的前方垂直部22与指状部30的把持前端部32也彼此成对,将条状部件50的上部的一侧安装和把持在这些各个前方垂直部22与把持前端部32之间,以进行条状部件50的装料作业。此时,前方垂直部22及把持前端部32的构造特性,是在分别与位于内侧的条状部件50成线接触的状态下贴紧及压接并进行把持。结果,如前所述,条状部件50被装料至皮带本体10上,条状部件50一边借由皮带本体10来进行进给一边借由沉浸到电镀槽内的电镀液中的状态来进行电镀处理作业的情况下,则电镀液几乎能到达且遍布条状部件50的全部表面,以进行电镀。
当然,关于前方垂直部22及把持前端部32的构造特性方面,在分别与条状部件50成线接触的把持部上,仍会残留有未电镀部分,但是这种未电镀部分极为微小,所以条状部件50的电镀部分,能够充分满足电镀作业上的质量式样的程度而维持在良好的状态。
又,在进行如前述的电镀作业后,在要将被电镀后的条状部件50卸料的情况下,也能将指状部30的把持前端部32由后部加压,使前方垂直部22与把持前端部32的距离变宽,以此状态进行卸料作业也就是将条状部件50由皮带本体10分离。
如以上说明,依照本发明,针对皮带本体10与指状部30是分离结合型所构成的条状部件的移送用皮带,先进行装料也就是将条状部件50安装至皮带本体10与指状部30之间,然后在沉浸于电镀槽内的电镀液中的状态下,一边进给一边进行电镀处理作业,使皮带本体10与指状部30之间所安装的条状部件50,与皮带本体10或指状部30彼此重迭的部分最小化,从而使电镀处理作业后所形成的未电镀部分也能最小化,由此,满足电镀作业上的质量式样所要求的条件并减少制品的不良率。此外,使得皮带本体10与指状部30之间所安装的条状部件50,与皮带本体10或指状部30彼此重迭的部分最小化,且在条状部件50的进给中使条状部件50在皮带本体10与指状部30之间具有充分的把持力及安装力而不会发生摇动或是分离和脱落,因而能稳定地进行动作。

Claims (10)

1.一种条状部件的移送用皮带,其特征在于:
该条状部件的移送用皮带用于在大量制造半导体或其它部件的步骤中的电镀步骤等自动在线步骤中,将指状部(30)以规定的节距间隔结合至皮带本体(10)上,并在将条状部件(50)把持在所述皮带本体(10)与所述指状部(30)之间的状态下来移送所述条状部件(50),
在所述皮带本体(10)的一侧,以规定的节距间隔延长形成有用于把持所述条状部件(50)的把持突出部(12),
在一个所述把持突出部(12)与邻接的所述把持突出部(12)之间形成有各个凹部(14),
在所述把持突出部(12)的中央后部分别设置有设置长孔(16),以镶嵌安装所述指状部(30)的把持前端部(32),在安装所述指状部(30)时,所述把持前端部(32)位于所述把持突出部(12)的中央,并使所述把持前端部(32)的端部与所述把持突出部(12)的端部彼此一致。
2.根据权利要求1所述的条状部件的移送用皮带,其构成为:
在所述把持突出部(12)的中央沿长度方向形成有折曲突起(18),所述条状部件(50)与所述折曲突起(18)彼此线接触。
3.根据权利要求2所述的条状部件的移送用皮带,其中,所述折曲突起(18)构成为包括:
在邻接于所述皮带本体(10)的部位形成的后方倾斜部(20)、以及在连续于所述后方倾斜部(20)的部位形成的前方垂直部(22)。
4.根据权利要求1或3所述的条状部件的移送用皮带,其中,所述指状部(30)的把持前端部(32)构成为:
以与所述后方倾斜部(20)和所述前方垂直部(22)相一致的方式折曲形成,并在所述前方垂直部(22)与所述把持前端部(32)彼此贴紧和压接的状态下,将所述条状部件(50)把持安装在内侧。
5.根据权利要求1所述的条状部件的移送用皮带,其中,所述把持突出部(12)构成为:
所述把持突出部(12)与所述皮带本体(10)邻接的部位的宽度较宽,而越是远离所述皮带本体(10)则宽度越窄。
6.根据权利要求1所述的条状部件的移送用皮带,其中,所述皮带本体(10)构成为设置有:安装孔(24),该安装孔用于结合所述指状部(30)的安装部(34)和支持固定部(36);以及设置长孔(16),该设置长孔用于结合所述指状部(30)的把持前端部(32),并形成能移动动作位置;
所述安装孔(24)设置在所述各设置长孔(16)与邻接的设置长孔(16)之间的中央上部,能够与所述指状部(30)容易地结合,使得所述指状部(30)的左右两侧能够彼此平衡且顺利地进行动作。
7.根据权利要求1所述的条状部件的移送用皮带,其中,所述指状部(30)由下列构件一体成形地构成:
安装部(34),该安装部设置在上端;
支持固定部(36),该支持固定部由与所述安装部(34)邻接的位置延伸,并呈螺旋弹簧状以弹性地支持和结合所述皮带本体(10)与所述指状部(30);
结合凹部(38),该结合凹部设置在所述安装部(34)与所述支持固定部(36)之间从而被嵌入结合至所述安装孔(24);
角度变换铰链(40),该角度变换铰链由与所述支持固定部(36)邻接的位置延伸而形成,并呈螺旋弹簧状,以一边将弹性把持力施加至相对于所述安装部(34)位于下端的把持前端部(32),一边作为铰链而发挥作用;以及
折曲部(42),该折曲部与所述角度变换铰链(40)邻接、延伸并折曲,且使所述把持前端部(32)位于端部。
8.根据权利要求7所述的条状部件的移送用皮带,其中:
在所述指状部(30)中,以所述安装部(34)的中央作为中心而左右对称的方式分别一体成形有:所述结合凹部(38);所述支持固定部(36、36);所述角度变换铰链(40、40);所述折曲部(42、42);以及所述把持前端部(32、32);
所述两侧的结合凹部(38)被嵌入结合至所述皮带本体(10)的安装孔(24);所述把持前端部(32)分别被嵌入结合至分别形成于两侧的设置长孔(16、16),以达到左右平衡从而稳定地进行动作。
9.根据权利要求1所述的条状部件的移送用皮带,其中:
所述指状部(30)通过将钢线加以折曲成形而构成,所述指状部(30)的把持前端部(32)构成为具有将单一钢线的端部切断而成的圆筒状剖面部,以与所述把持前端部(32)进行线接触。
10.根据权利要求1或2所述的条状部件的移送用皮带,其中:
在所述皮带本体(10)的把持突出部(12)所设置的折曲突起(18)与所述指状部(30)的把持前端部(32)彼此成对,
这些折曲突起(18)和把持前端部(32)每隔规定的间隔而重复设置。
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