CN102812254B - 排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，其不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。排气泵（P）的泵控制装置（50）包含检测泵内堆积物的堆积物检测装置，堆积物检测装置具有执行初始处理的功能以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是对排气泵的旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值进行读入处理和基于读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储处理，作为上述初始处理之后的事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入处理、基于读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量的处理，堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

Description

排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵

技术领域

本发明涉及检测排气泵内堆积的生成物（泵内堆积物）的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，特别是，涉及不管蚀刻等的处理（process）中使用的气体的种类、流量，而在什么样的处理中都能更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物）并进行警告的装置。

背景技术

在半导体制造装置中，作为将从蚀刻等的处理装置排出的气体向外部进行排气的装置，例如，使用图13所示的排气泵P。该排气泵P具有由圆筒部1和叶片部2构成的旋转体R，旋转体R由电动机M绕转子轴3驱动旋转。这样，位于排气泵P的吸气口4侧的气体分子通过由旋转的叶片部2赋予向下的运动量，被移送到螺旋槽部5的上游，在由螺旋槽部5压缩之后，从排气口6排到外部。

已知有通过如上所述的气体的排气而在涡轮分子泵等的排气泵内堆积生成物（例如，参照专利文献1的段落0014）。特别是，在图13的排气泵中，在图中的S部易堆积生成物。在专利文献1中，公开了检测该泵内堆积的生成物（泵内堆积物）的方式。所公开的堆积物检测方式为如下方式，即，在涡轮分子泵（20）中，对使其旋翼（23）旋转的电动机（7）的电流值进行检测，将检测到的电动机电流值和预先设定的设定电流值进行比较，其结果是，在检测出的电动机电流值与预先设定的设定电流值相比为规定值以上的情况下，进行警告的方式（参照同文献1的段落0022等）。

但是，包括专利文献1的涡轮分子泵（20）的排气泵的终端用户，在各种各样的处理中使用排气泵，并且根据处理内容流过排气泵内的气体的种类、流量也是各种各样的。而且，根据流过排气泵内的气体的种类、流量，对排气泵的旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值也发生变化。

为此，在如前面所述的专利文献1的堆积物检测方式中，存在如下问题，即，由于采用基于预先设定的设定电流值来检测生成物的堆积并进行警告的结构，所以在与该设定电流值不对应的处理中，不能正确地检测堆积物并进行警告。另外，也存在如下问题，即，为了避免误检测、误警告，必须在详细调查了以使用什么流量、种类的气体的处理来使用排气泵、或排气泵的使用状况的基础上，配合该使用状况来变更设定电流值，使用状况的调查、设定电流值的变更都需要耗费时间和成本。

以上的说明中，括号内的符号是专利文献1中使用的符号。

专利文献1：特开2003－232292号公报。

发明内容

本发明是为解决上述问题点而开发的，其目的在于，提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，该堆积物检测装置不管处理中使用的气体的种类、流量，而在什么样的处理中都能更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物）并进行警告。

为了实现上述目的，首先，本发明的第一方案提供一种排气泵的堆积物检测装置，其排气泵通过旋转体的旋转动作进行对气体的排气，其特征在于，上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是对上述旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值进行读入处理和基于该读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储处理，作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入处理、基于该读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量的处理，上述堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

上述第一方案的本发明的事后处理可进一步包含基于上述变化量（电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量）进行警告设定的处理。

该情况下的警告设定也可以采用根据上述变化量（电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量）等级式地设定警告级别的结构。

在上述第一方案的本发明的事后处理中，也可以在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流当前值。

在上述第一方案的本发明的初始处理中，也可以在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流初始值并进行存储。

本发明的第二方案提供一种排气泵的堆积物检测装置，其排气泵通过旋转体的旋转动作进行对气体的排气，其特征在于，上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是对上述旋转体的温度进行读入处理和基于该读入的旋转体温度求出旋转体温度初始值并进行存储处理，作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述旋转体的温度进行读入处理、基于该读入的旋转体温度求出旋转体温度当前值的处理、以及求出上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量的处理，上述堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

上述本发明的第二方案的事后处理可进一步包含基于上述变化量（旋转体温度当前值相对于旋转体温度初始值的变化量）进行警告设定的处理。

这种情况的警告设定也可以采用根据上述变化量（旋转体温度当前值相对于旋转体温度初始值的变化量）等级式地设定警告级别的结构。

本发明的第三方案提供一种排气泵的堆积物检测装置，其排气泵通过旋转体的旋转动作进行对气体的排气，其特征在于，上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是对上述旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值进行读入处理、基于读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储处理、对上述旋转体的温度进行读入处理、以及基于读入的旋转体温度求出旋转体温度初始值并进行存储处理，作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入处理、基于该读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、求出上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量的处理、对上述旋转体的温度进行读入处理、基于该读入的旋转体温度求出旋转体温度当前值的处理、以及求出上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量的处理，上述堆积物检测装置基于上述两个变化量来检测泵内堆积物。

上述本发明的第三方案的事后处理可进一步包含基于上述两个变化量（电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量、旋转体温度当前值相对于旋转体温度初始值的变化量）进行警告设定的处理。

该情况的警告设定也可以采用根据上述两个变化量（电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量、旋转体温度当前值相对于旋转体温度初始值的变化量）等级式地设定警告级别的结构。

另外，在上述本发明的第三方案中，在等级式地设定警告级别的情况下，警告设定也可以为如下的两种警告设定，即：在上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量为电流关系的最高·警告设定阈值以上的情况下，或者，在上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量为温度关系的最高·警告设定阈值以上的情况下，进行与各自的阈值对应的警告设定；在上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量为电流关系的初始·警告设定阈值以上、且上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量为温度关系的初始·警告设定阈值以上的情况下，进行与电流关系或温度关系的初始·警告设定阈值对应的警告设定。

在上述第三方案的本发明的事后处理中，也可以在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流当前值。

在上述第三方案的本发明的初始处理中，也可以在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流当前值并进行存储。

发明效果

根据本发明的第一方案，采用了如下的结构，即，通过初始处理求出电动机电流初始值，通过事后处理求出电动机电流当前值，进一步，求出电动机电流当前值相对于该电动机电流初始值的变化量，基于这样的变化量，检测泵内堆积物。为此，能够得到如下的作用效果，例如，通过在终端用户将排气泵刚组装于处理执行装置之后的处理执行时进行上述的初始处理，可得到与实际处理对应的电动机电流的变化量，基于该变化量，进行泵内堆积物的检测，因此，不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。

根据本发明的第二方案，采用了如下的结构，即，通过初始处理求出旋转体温度初始值，通过事后处理求出旋转体温度当前值，进一步，求出旋转体温度当前值相对于该旋转体温度初始值的变化量，基于这样的变化量，检测泵内堆积物。为此，能够得到如下的作用效果，例如，通过在终端用户将排气泵刚组装于处理执行装置之后的处理执行时进行上述的初始处理，可得到与实际处理对应的旋转体温度的变化量，基于该变化量，进行泵内堆积物的检测，因此，不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。

根据本发明的第三方案，基于电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量和旋转体温度当前值相对于旋转体温度初始值的变化量，检测泵内堆积物，因此，能够更正确地检测泵内堆积物，且进行警告。

附图说明

【图1】在图13的排气泵的泵控制装置中组装有作为本发明一实施方式的堆积物检测装置的例子的功能块图；

【图2】图2是模拟做成的图13的排气泵内的气体流路中生成物的堆积状况的状态的说明图，a）是表示生成物堆积比率为25%时的状态的图，b）是表示该比率为50%时的状态的图，c）是表示该比率为75%时的状态的图；

【图3】在图2的模拟堆积物存在的状况下使图13的排气泵运转且测定了同一排气泵的电动机的电流时的、生成物堆积比率和电动机电流之间的关系的说明图；

【图4】在图3的条件2和条件3各自的条件下使图13的排气泵运转且测定了同一排气泵的电动机的电流时的、将生成物堆积比率和电动机电流之间的关系进行比较的图；

【图5】在图2的模拟堆积物存在的状况下使排气泵运转且测定了同一排气泵的旋转体（具体为叶片部）的温度时的、生成物堆积比率和旋转体温度之间的关系的说明图；

【图6】在图5的条件2和条件3各自的条件下使排气泵运转且测定了同一排气泵的旋转体（具体为叶片部）的温度时的、将生成物堆积比率和旋转体温度之间的关系进行比较的图；

【图7】关于基于电动机电流变化量检测泵内堆积物的例子的执行的流程图；

【图8】关于基于旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子的执行的流程图；

【图9】关于基于电动机电流变化量和旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子的执行的流程图；

【图10】表示了正常检查模式的执行例，即表示了在采用以上说明的等级式的警告级别的设定的情况下的事后处理的流程的流程图；

【图11】表示了处理执行时和正常检查模式执行时的电动机电流值的变化的模样的图；

【图12】相对于气体负荷的变化，将电动机的电流值的变化和旋转体的温度的变化之间的差异进行比较的图；

【图13】排气泵的一例的剖面图；

【图14】将图13的排气泵作为排气单元而装入的顾客的处理执行装置的运行状态和该排气泵的电动机的温度之间的关系的说明图；

【图15】表示了在图2的模拟堆积物存在的状况下使图13的排气泵运转且在同一排气泵的电动机的温度高时（C4度）和低时（C3度），对排气泵内的生成物的堆积和排气泵的电动机的电流变化之间的关系进行调查的调查试验的结果的图；

【图16】表示了对流过排气泵内的气体的流量、排气泵的电动机的温度和同电动机的电流值之间的关系进行调查的实验结果的图。

具体实施方式

下面，参照附图对用于实施本发明的最佳方式进行详细说明。

（A）基于电动机电流变化量检测泵内堆积物的例子（相当于本发明的第一方案）的说明

首先，对排气泵内的生成物的堆积和排气泵的电动机的电流变化之间的关系进行说明。

在图13所示的排气泵P的情况下，生成物堆积于转子1下部的气体流路（参照图13的S部）。当生成物堆积时，排气泵P的最下段的涡轮部2下部的压力就上升。其结果是，由于施加给电动机M的负荷增大，所以电动机电流值被控制为向增大方向变化。

此处，如图2所示，本发明人等进行了如下的调查试验，即，在图13的排气泵P的气体流路中生成物最易堆积的部位（具体而言，图13的S部），做成模拟生成物的堆积状况，调查排气泵P内的生成物的堆积和排气泵P的电动机M的电流变化之间的关系。表示其结果的图为图3。

如图3所示，本发明人等确认了在图13的S部，从泵内堆积物的堆积厚度超过气体流路的50%（参照图2的生成物堆积比率50%）的时刻开始，电动机电流值显著地向增大方向变化。因此，通过检测该电动机电流值的变化量（以下称为“电动机电流变化量”），能够检测泵内堆积物，或者能够推定其堆积厚度。

另外，电动机电流值开始上升的泵内堆积物的堆积厚度并不是在所有的机种都是50%，而是因设计而变动。另外，例如，如图3及图4所示，在如排气泵P的运转条件1（使B气体以800sccm流过）那样，流过排气泵P的气体的流量小的情况下，电动机电流值的变化率小，不能有意地判定电动机电流值的增大。进而，电动机电流值也因排气泵P的个体差异及以相同的流量使气体流过时的泵温度而变化。因此，为了有意地判定电动机电流值的增大，需要至少10%以上的电动机电流增大（ΔI）。

图1是在图13的排气泵P的泵控制装置中组装有作为本发明的一个实施方式的堆积物检测装置的例子的功能块图。

同图的泵控制装置50具有：总括控制排气泵P的微型计算机部51、对排气泵P的电动机M进行驱动的电动机驱动器52、基于来自微型计算机部51的指令在与未图示的顾客的包含处理装置的顾客装置等外部装置之间进行通信的通信单元53、基于来自微型计算机部51的指令显示排气泵P的运转状况的显示单元54、以及对微型计算机部51进行设定值等的输入的输入操作单元55，电动机驱动器52具备作为检测电动机M的电流值的电动机电流值检测单元的功能。

微型计算机部51具有通过执行图7所示的流程图的各处理来执行初始处理及初始处理后的事后处理的功能，作为初始处理执行下述（1－1）～（1－2）的处理，作为初始处理后的事后处理执行下述（2－1）～（2－4）的处理。

《初始处理》

（1－1）　对电动机M的电流值进行读入处理。

（1－2）基于在上述（1－1）中读入的电动机电流值，求出电动机电流初始值并进行存储处理。

《事后处理》

（2－1）　对电动机M的电流值进行读入处理。

（2－2）基于在上述（2－1）中读入的电动机电流值，求出电动机电流当前值的处理。

（2－3）通过从由上述（2－2）求出的电动机电流当前值减去由上述（1－2）存储的电动机电流初始值，求出电动机电流变化量的处理。

（2－4）基于上述（2－3）求出的电动机电流变化量，进行警告设定的处理。

《初始处理和事后处理的处理内容的详细情况》

上述（1－1）的电动机电流值的读入虽然为从电动机驱动器52读取电动机电流检测值的方式，但也可以用其它方法来读入电动机M的电流值。上述（2－1）的电动机电流值的读入也同样。

作为电动机电流初始值，可采用电动机电流平均值。电动机电流平均值的求法可采用如下方法及方式等的各种方式，例如，采用在规定时间内多次读入电动机电流值，并对读入的多个电动机电流值的总和除以读入次数得到电动机电流平均值的方法；采用通过多次重复该方法，取得几个电动机电流初始值，并通过对取得的多个电动机电流初始值的总和除以重复次数，最终取得电动机电流初始值的方式等。上述电动机电流当前值的求法也同样。

存储电动机电流初始值的方式可采用如下的方式及该方式以外的方式，例如，采用将内置于微型计算机部51的未图示的非易失性存储介质的一部分确保为存储区，并在该存储区存储电动机电流初始值的方式。

另外，电动机电流当前值也与电动机电流初始值相同，也可以采用存储于非易失性存储介质的存储区的方式。作为与之不同的方式，也可以采用将内置于微型计算机部51的未图示的RAM等易失性存储介质的一部分确保为存储区，并在该存储区存储电动机电流当前值的方式。

如上所述，在采用了在存储区存储电动机电流初始值和电动机电流当前值的结构的情况下，关于求出电动机电流变化量的处理，只要从存储区取得电动机电流初始值和电动机电流当前值，并从取得的电动机电流当前值减去电动机电流初始值即可。

基于电动机电流变化量进行的警告设定可采用例如根据该电动机电流变化量，将警告级别等级式地设定为级别1、级别2、…的方式及另外的方式。

在等级式地设定警告级别的方式中，既可采用设定的警告级别从通信单元53向外部装置输出，又可采用由显示单元54显示各警告级别等的、用于通知警告内容的各种处理。

另外，等级式的警告级别的设定也可以按照例如：在电动机电流变化量为电动机电流初始值的＋30%以上时设定级别1的警告、在＋40%以上时设定级别2的警告、在＋50%以上时设定级别3的警告等的、随着电动机电流变化量的增大来提高警告级别的方式进行设定。

图7是表示在基于电动机电流变化量检测泵内堆积物的例子中采用了等级式的的警告级别的设定时的初始处理和事后处理的流程的流程图。

图7的流程图的处理通过微型计算机部51的启动、或者在经由输入操作单元55将处理开始命令输入到微型计算机部51时由通信单元53接收到处理开始命令时等，由微型计算机部51来执行。

参照图7可知，微型计算机部51首先将由电动机驱动器52检测到的电流值（电动机电流值）读入到缓冲器内（步骤101）；通过对读入的电动机电流值进行平均化处理，取得电动机电流初始值并进行设定（步骤102及103）。通过重复进行N次该步骤101～103的处理（步骤104的No）求出最终的电动机电流初始值（步骤104的Yes）后，将该求出的电动机电流初始值存储于存储区（步骤105）。到此，初始处理结束。

接着，作为事后处理，微型计算机部51将电动机电流值读入到缓冲器内（步骤106）；通过将读入的电动机电流值进行平均化处理求出电动机电流当前值（步骤107）；通过从该电动机电流当前值减去上述电动机电流初始值，求出电动机电流变化量（步骤108），进入步骤109。

在步骤109中，判定在步骤108求出的电动机电流变化量是否为级别1的警告设定阈值（例如，电动机电流初始值的＋30%）以上。在此，在级别1的警告设定阈值以上（步骤109的Yes）的情况下，进行级别1的警告设定（步骤110），进入下一步骤111。

在步骤111中，判定在步骤108求出的电动机电流变化量是否为级别2的警告设定阈值（例如，电动机电流初始值的＋40%）以上。在此，在级别2的警告设定阈值以上（步骤111的Yes）的情况下，将先设定的级别1的警告设定取消，进行级别2的警告设定（步骤112），进入下一步骤113。

在步骤113中，判定在步骤108求出的电动机电流变化量是否为级别3的警告设定阈值（例如，电动机电流初始值的＋50%）以上。在此，在级别3的警告设定阈值以上（步骤113的Yes）的情况下，将先设定的级别2的警告设定取消，进行级别3的警告设定（步骤114）。级别1、2、3的警告设定如前所述。

另外，在步骤109中，在电动机电流变化量不是级别1的警告设定阈值以上的情况下、和在步骤111中，在电动机电流变化量不是级别2的警告设定阈值以上的情况下、以及在步骤113中，在电动机电流变化量不是级别3的警告设定阈值以上的情况下，分别返回到步骤106的处理（步骤109的No、步骤111的No、步骤113的No），重复进行步骤106～步骤114的处理。

上述各级别的警告设定阈值（电动机电流初始值的＋30%、＋40%、＋50%）只是一个例子，也可以不拘泥于本例而任意设定。

在以上说明的初始处理中，优选进行电动机M的电流值稳定的时间例如数分钟的气体的排气，其后，基于读入的电动机电流值，求出电动机电流平均值。

初始处理时流过排气泵P的气体流量的上限以电动机电流初始值在满足下述式1的范围内的方式设定即可。若这样设定，则电动机M的电流不会超过电动机驱动器52的最大供给电流，能够更正确地测定电动机电流变化量。如果不考虑电动机驱动器52的最大供给电流值且多余地使大量的气体流过排气泵时，则电动机M的电流不能增大，旋转体R变得不能维持其转速，就不能正确地测定电动机电流变化量。

＜式1＞

I₀＋Imax＜I

备注）

I为电动机驱动器的最大供给电流值，I₀为电动机电流初始值，Imax为涉及最高警告级别的电动机电流变化量（在前面的例子中，由于级别3的警告为最高的警告级别，所以Imax为电动机电流初始值的＋50%）。

初始处理时流过排气泵P的气体流量的下限设为在生成物的堆积量增大时电动机电流值的变化变为电动机电流初始值的＋10%以上等的、能够有意义地判定电动机电流的变化的气体流量以上。在图3的情况下，作为气体的种类和流量，如果选定B气体和1200sccm的流量，就能够满足上述的两个条件（气体流量的上限和下限），更正确的堆积厚度的推定变为可能。

《进行初始处理的时期（定时）》

排气泵P在出厂后作为执行处理的装置（处理执行装置）的排气单元被组装使用。根据这种排气泵P的使用方式，上述初始处理在排气泵的出厂前进行、或者在实际使用排气泵的终端用户将排气泵P刚组装于处理执行装置之后的处理执行时进行、或者定期地暂停处理来进行。

在排气泵P的出厂前进行初始处理的情况下，试验地对流过排气泵P的气体的种类和流量进行规定，将根据该规定使排气泵P运转时的电动机M的电流值进行读入。进而，基于读入的电动机电流值，求出电动机平均电流值并进行存储（上述（1－1）～（1－2）的处理）。

《以正常检查模式（health check mode）进行初始处理和事后处理的例子》

在定期地暂停处理进行初始处理的情况下，作为排气泵P的正常检查模式，能够进行上述初始处理和事后处理。

在正常检查模式下，对流过排气泵P的正常检查用气体的种类和流量进行规定，将根据该规定使排气泵P运转时的电动机M的电流值进行读入，基于读入的电动机电流值，求出电动机电流初始值并进行存储（上述（1－1）～（1－2）的处理）。之后，也可以通过按顺序执行上述（2－1）～（2－4）的处理，求出电动机电流变化量，基于求出的电动机电流变化量，进行警告设定。

正常检查模式的执行可以在生成物的堆积增大速度快的处理中以一日一次的步调频繁地进行，也可以在此以外的处理中以1～2周一次的步调进行。

可是，在采用上述的正常检查模式的情况下，微型计算机部51有必要对进入了正常检查模式的情况进行识别，执行初始处理和事后处理。这是为了，通过将处理和正常检查模式分离，更可靠地推定生成物的堆积状况。

图11表示的是处理执行中的电动机电流值和正常检查模式执行中的电动机电流值。由同图可知，处理执行中的电动机电流值有时变得比正常检查模式执行中的电动机电流值大。为此，如果微型计算机部51不能对进入了正常检查模式的情况进行识别，就会导致不管是不是在处理执行中，都执行上述初始处理和事后处理，通过读取处理执行中的大的电动机电流值，会产生进行错误的警告设定这样的不良状况。

《基于正常检查命令的利用的正常检查模式的识别》

作为对进入了正常检查模式的情况进行识别的方法，考虑利用正常检查命令的方法。具体而言，微型计算机部51经由通信单元53或输入操作单元55，从顾客取得所谓流过正常检查用气体的正常检查命令（信号），以该正常检查命令为触发信号而识别为进入了正常检查模式，执行初始处理和事后处理。若这样，则由于仅在进入了正常检查模式时进行初始处理和事后处理，所以不操作进行错误的警告设定。

《不利用正常检查命令来识别正常检查模式的例子》

在处理执行中，由于流过排气泵P的气体的流量、种类会变化，所以电动机M的电流值会较大地变动。另一方面，在正常检查模式下，由于对流过排气泵P的气体的种类和流量进行了规定，所以电动机M的电流值比较稳定。通过利用这样的电动机电流值的变动和稳定现象，而不利用正常检查命令，也能够识别为正常检查模式。

具体而言，与处理中电动机电流值变动的最大时间Tpmax进行比较，将正常检查气体导入时间Th（在排气泵P内流过正常检查用气体的时间）设成充分长的时间（例如，10倍以上）。而且，在微型计算机部51，始终监视电动机电流值，若在图11所示的Tc期间（=正常检查气体导入时间Th－直到电动机电流值稳定的时间）电动机电流值连续地大致稳定，则识别为执行了正常检查模式即可。

图10是表示正常检查模式的执行例即上面说明的采用了等级式的警告级别设定时的事后处理的流程的流程图。

另外，在该图10的正常检查模式执行例中，通过已经进行了前述的初始处理，电动机电流初始值Ii被存储于微型计算机部51的存储区。另外，读入的电动机电流值被存储于缓冲存储器。

当参照图10时，首先进行正常检查定时器的值T的复位（步骤401）和电流累计值It的复位（步骤402）。接着，作为初始处理后的事后处理，读入电动机电流值Ic（步骤403），将读入的电动机电流值Ic和在上述初始处理中预先存储的电动机电流初始值Ii进行比较（步骤404）。

然后，在该读入的电动机电流值Ic为电动机电流初始值Ii以上的（步骤404的Yes）情况下，从缓冲存储器读出上次读入的电动机电流值（以下称为“上次的电动机电流值Ib”）（步骤405），在同一缓冲存储器存储在上述步骤403读入的电动机电流值（以下称为“本次的电动机电流值Ic”）（步骤406）。

接着，将成为是否进入了正常检查模式的判定基准的正常检查模式判定阈值（具体而言，是电动机电流值的变动幅度，例如，接近零的值）和从上次的电动机电流值Ib减去本次的电动机电流值Ic所得的值的绝对值（本次和上次的电动机电流值的变动幅度）进行比较。进而，在该绝对值小于正常检查模式判定阈值（步骤407的Yes）的情况下，使正常检查定时器的值T计数完成（count up）（步骤408），进入下一步骤409。

在步骤409中，作为电动机电流值的累计处理，在电流累计值It中加上本次的电动机电流值Ic，在下一步骤410中，通过将该相加值作为电流累计值It进行存储，来更新电流累计值It。进而，在下一步骤411中，将正常检查定时器的值T和图11所示的Tc期间（=正常检查气体导入时间Th－直到电动机电流值稳定的时间）进行比较。

然后，在上述步骤411中，若T≧Tc（步骤411的Yes），则识别为微型计算机部51执行了正常检查模式，通过对上述更新后的电流累计值It除以正常检查定时器的值T（It／T），求出电动机电流当前值Ia，通过从电动机电流当前值减去电动机电流初始值，求出电动机电流变化量（步骤412）。其后的从步骤413到418的处理与上面所述的从步骤109到114的处理相同，因此，省略其详细说明。

在上述的例子（基于电动机电流变化量检测泵内堆积物的例子）中，采用了如下结构，即，由初始处理求出电动机电流初始值，由事后处理求出电动机电流当前值，进一步，求出电动机电流当前值相对于该电动机电流初始值的变化量，基于这样的变化量，检测泵内堆积物，进行警告设定。为此，例如，通过在终端用户将排气泵P刚组装于处理执行装置之后的处理执行时进行上述的初始处理，能够得到对应于实际处理的电动机电流的变化量，基于该变化量，进行泵内堆积物的检测，因此，不管在处理中使用的气体的种类、流量如何，在什么样的处理中，都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵P内的堆积物（泵内堆积物）并进行警告。

由于终端用户在运转中的排气泵P的泵控制装置50中内置了具备检测排气泵P的电动机M的电流值的功能的电动机驱动器52，所以基于电动机电流值的变化量检测泵内堆积物的上述的例子可不由终端用户对运转中的排气泵追加硬件资源，仅以软件的变更来对应。

在对排气泵P的气体负荷的变动大的处理（例如，蚀刻装置）中，电动机电流值的变动也大，因此难以稳定地将电动机电流值读入，但通过上面说明的正常检查模式的导入，可将电动机电流值稳定地读入，因此即使在气体负荷的变动大的处理中，也能够精度良好地检测生成物的堆积状况。

另外，在正常检查模式下，在排气泵P和包含其该泵控制装置50的产品出厂时，可求出电动机电流初始值并存储，因此，也可省略基于终端用户的初始处理的电动机电流初始值的设定作业。

（B）基于旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子（相当于本发明的第二方案）的说明

首先，对排气泵内的生成物的堆积和排气泵的旋转体的温度变化之间的关系进行说明。

图5是在图2的模拟堆积物存在的状况下使图13的排气泵P运转，测定同一排气泵P的旋转体R的温度时的结果（生成物堆积比率和旋转体温度之间的关系）的说明图。

如图5所示，本发明人等确认了从泵内堆积物的堆积厚度超过气体流路的50%（参照图2的生成物堆积比率50%）的时点起，旋转体R的温度显著地向增大方向变化。因此，通过检测该旋转体温度的变化量，既能够检测泵内堆积物，又能够推定其堆积厚度。

另外，在本发明人等中，也确认了在流过排气泵P的气体流量小的情况下，旋转体R的温度的变化率小，不能有意地判定旋转体R的温度的增大。当考虑基于排气泵P的个体差异的运转开始时及温度平衡时的温度差时，为了有意地判定旋转体R的温度增大量，需要5℃以上的温度增加。

可是，如图12所示，与电动机M的电流值相比，旋转体R的温度不随着作用于旋转体R的气体负荷的短时间（数分钟程度）的变化而变化。如图12所示，在实际的处理中，大致相同方案的气体种类、流量的组合继续的情况多。在这种处理的情况下，旋转体R的温度与将电动机的电流值的变化以时间进行积分变为同等。

由以上可知，在本例中，在将排气泵P刚组装于处理执行装置之后，且在执行了规定的处理数以后，作为初始处理，读入排气泵P的旋转体R的温度，基于该读入的旋转体温度，求出旋转体温度初始值并存储。进而，在初始处理后的事后处理中，在处理执行后，每次都读入旋转体R的温度，基于读入的旋转体温度，求出旋转体温度当前值。而且，求出旋转体温度当前值相对于旋转体温度初始值的变化量（以下称为“旋转体温度变化量”），基于求出的旋转体温度变化量，检测堆积物，进行警告设定。为了进行这样的处理，上面所述的图1的泵控制装置50、图13的排气泵P按照以下方式构成。

在图13的排气泵P中设置检测旋转体R的温度的温度检测单元7，在该排气泵13的泵控制装置50（参照图1）中输入由温度检测单元7检测出的旋转体R的温度。

而且，同一泵控制装置50的微型计算机部51具有通过执行图8所示的流程图的各处理来执行初始处理及初始处理后的事后处理的功能，即，作为初始处理，执行下述（3－1）～（3－2）的处理，作为初始处理后的事后处理，执行下述（4－1）～（4－4）的处理。

《初始处理》

（3－1） 对排气泵P的旋转体的温度进行读入处理。

（3－2）基于在上述（3－1）中读入的旋转体温度，求出旋转体温度初始值并存储的处理。

《事后处理》

（4－1）　对排气泵P的旋转体的温度进行读入处理。

（4－2）基于在上述（4－1）中读入的旋转体温度，求出旋转体温度当前值的处理。

（4－3）通过从由上述（4－2）求出的旋转体温度当前值减去由上述（3－2）存储的旋转体温度初始值，求出旋转体温度变化量的处理。

（4－4）基于由上述（4－3）求出的旋转体温度变化量，进行警告设定的处理。

《初始处理和事后处理的处理内容的详细情况》

在上述（3－1）的旋转体温度的读入将来自温度检测单元7的输入进行读取。在上述（4－1）的旋转体温度的读入也同样。

关于旋转体温度初始值，可采用旋转体温度平均值。旋转体温度平均值的求法与对应于此的上述的电动机电流平均值的求法同样，因此，省略其详细说明。

另外，存储旋转体温度初始值的方式、求出旋转温度变化量的方式以及基于旋转温度变化量进行的警告设定的方式也分别与对应于这些方式的上述的方式即存储电动机电流初始值的方式、求出电动机电流变化量的方式、基于电动机电流变化量进行的警告设定的方式同样，因此，省略其详细说明。

图8是表示在基于旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子中采用了等级式的警告级别的设定时的初始处理和事后处理的流程的流程图。

另外，该流程图的处理的执行定时与图7的流程图的处理的执行定时同样。

若参照图8，则微型计算机部51首先通过温度检测单元7将旋转体R的温度读入到缓冲器内（步骤201），通过对读入的旋转体温度进行平均化处理，取得旋转体温度初始值并设定（步骤204及203）。如果通过重复进行N次该步骤201～203的处理（步骤204的No）求出了最终的旋转体温度初始值（步骤204的Yes），则将求出的旋转体温度初始值存储于存储区（步骤205）。到此，初始处理结束。

旋转体温度的初始值的读入也可以使用输入操作单元55及通信单元53向微型计算机部51发出指示。另外，作为自动地进行该操作的方法，在排气泵P被安装于装置之后，也可使用某固定时间（例如，1000个小时）的期间的旋转体的最大温度，将该最大温度设为初始温度。当然，固定时间可通过处理等设为不同的时间。

接着，微型计算机部51将旋转体R的温度读入到缓冲器内（步骤206），通过对读入的旋转体温度进行上述的平均化处理，求出旋转体温度当前值（步骤207），通过从该旋转体温度当前值减去上述旋转体温度初始值，求出旋转体温度变化量（步骤208），进入步骤209。

在步骤209中，判定在步骤208求出的旋转体温度变化量是否为级别1的警告设定阈值（例如，旋转体温度初始值的＋5℃）以上。在此，在级别1的警告设定阈值以上（步骤209的Yes）的情况下，进行级别1的警告设定（步骤210），进入下一步骤211。

在步骤211中，判定在步骤208求出的旋转体温度变化量是否为级别2的警告设定阈值（例如，旋转体温度初始值的＋10℃）以上。在此，在级别1的警告设定阈值以上（步骤211的Yes）的情况下，将先设定的级别1的警告设定取消，进行级别2的警告设定（步骤212），进入下一步骤213。

在步骤213中，判定在步骤208求出的旋转体温度变化量是否为级别3的警告设定阈值（例如，旋转体温度初始值的＋15℃）以上。在此，在级别3的警告设定阈值以上（步骤213的Yes）的情况下，将先设定的级别2的警告设定取消，进行级别3的警告设定（步骤214）。级别1、2、3的警告设定例，如上所述。

另外，在步骤209中旋转体温度变化量不为级别1的警告设定阈值以上的情况下和在步骤211中旋转体温度变化量不为级别2的警告设定阈值以上的情况下以及在步骤213中旋转体温度变化量不为级别3的警告设定阈值以上的情况下，分别返回到步骤206的处理（步骤209的No、步骤211的No、步骤213的No），重复进行步骤206～步骤214的处理。

上述各级别的警告设定阈值(旋转体温度初始值的＋5℃、＋10℃、＋15℃)只是一个例子，也可以不拘泥于本例而任意设定。

在以上说明的例子（基于旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子）中，可采用如下所述的结构，即，通过初始处理求出旋转体温度初始值，通过事后处理求出旋转体温度当前值，进而，求出旋转体温度当前值相对于该旋转体温度初始值的变化量，基于这样的变化量，检测泵内堆积物。为此，例如，通过在终端用户将排气泵刚组装于处理执行装置之后的处理执行时进行上述的初始处理，能够得到对应于实际处理的旋转体温度的变化量，由于基于该变化量进行泵内堆积物的检测，所以不管处理中使用的气体的种类、流量如何，在什么样的处理中，都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。

图9是表示在基于电动机电流变化量和旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子（相当于本发明的第三方案）中，采用了上面说明的等级式的的警告级别的设定时的初始处理和事后处理的流程的流程图。

在该图9的流程图中，对与图7、图8的流程图的处理相同的处理附带同一符号。另外，图9的流程图的处理的执行定时与图7的流程图的处理的执行定时同样。

在图9中，同时并列地进行步骤101～108的处理和步骤201～208的处理。另外，该同时并列进行的处理组分别与图7的流程图所示的步骤101～108的处理、图8的流程图所示的步骤201～208的处理相同，因此省略其详细说明。下面，对其以后的不同的步骤301A～303A及301B～303B、304的各处理进行说明。

在步骤301A中，将在步骤108中求出的电动机电流变化量和针对电动机电流变化量而规定最高·警告级别的警告设定阈值（例如，电动机电流变化量的＋50%。以下称为“电流关系的最高·警告设定阈值”）进行比较，判定电动机电流变化量是否为电流关系的最高·警告设定阈值以上。

而且，在该步骤301A中，在电动机电流变化量为电流关系的最高·警告设定阈值以上的情况下，进行与电流关系的最高·警告设定阈值对应的警告设定的处理（步骤301A的Yes、步骤304）。另一方面，在电动机电流变化量不为电流关系的最高·警告设定阈值以上（步骤301A的No）的情况下，进入下一步骤302A。

在步骤302A中，将步骤108中求出的电动机电流变化量和针对电动机电流变化量而规定初始·警告级别的警告设定阈值（例如，电动机电流变化量的＋30%。以下称为“电流关系的初始·警告设定阈值”）进行比较，判定电动机电流变化量是否为电流关系的初始·警告设定阈值以上。

在步骤303A中，将步骤208中求出的旋转体温度变化量和针对旋转体温度增大量而规定初始·警告级别的警告设定阈值（例如，旋转体温度变化量的＋5℃。以下称为“温度关系的初始·警告设定阈值”）进行比较，判定旋转体温度变化量是否为温度关系的初始·警告设定阈值以上。

而且，在电动机电流变化量为电流关系的初始·警告设定阈值以上（步骤302A的Yes）且旋转体温度变化量为温度关系的初始·警告设定阈值以上（步骤303A的Yes）的情况下，进行与电流关系或温度关系的初始·警告设定阈值对应的警告设定的处理（步骤304）。另一方面，在电动机电流变化量不为电流关系的初始·警告设定阈值以上（步骤302A的No）的情况下、在旋转体温度变化量不为温度关系的初始·警告设定阈值以上的（步骤303A的No）的情况下，返回到步骤106。

在步骤301B中，将步骤208中求出的旋转体温度变化量和针对旋转体温度变化量而规定最高·警告级别的警告设定阈值（例如，旋转体温度变化量的＋15℃。以下称为“温度关系的最高·警告设定阈值”）进行比较，判定旋转体温度变化量是否为温度关系的最高·警告设定阈值以上。

而且，在该步骤301B中，在旋转体温度变化量为温度关系的最高·警告设定阈值以上（步骤301B的Yes）的情况下，进行与温度关系的最高·警告设定阈值对应的警告设定的处理（步骤304）。另一方面，在旋转体温度变化量不为温度关系的最高·警告设定阈值以上（步骤301B的No）的情况下，进入下一步骤302B。

在步骤302B中，将步骤208中求出的旋转体温度变化量和温度关系的初始·警告设定阈值进行比较。另外，在下一步骤303B中，将步骤108中求出的电动机电流变化量和电流关系的初始·警告设定阈值进行比较。

而且，在旋转体温度变化量为温度关系的初始·警告设定阈值以上（步骤302B的Yes）且电动机电流变化量为电流关系的初始·警告设定阈值以上（步骤303B的Yes）的情况下，进行与温度关系或电流关系的初始·警告设定阈值对应的警告设定的处理（步骤304）。另一方面，在旋转体温度变化量不为温度关系的初始·警告设定阈值以上（步骤302B的No）的情况下、在电动机电流变化量不为电流关系的初始·警告设定阈值以上（步骤303B的No）的情况下，返回到步骤206。

在以上说明的例子（基于电动机电流变化量和旋转体温度变化量检测泵内堆积物的例子）中，由于基于电动机电流变化量和旋转体温度变化量来检测泵内堆积物，所以与仅基于电动机电流变化量或仅基于旋转体温度变化量来检测泵内堆积物的情况相比，能够精度良好地进行泵内堆积物的检测。

在以上说明的全部例子中，将警告级别划分成数个等级，但也可采用不那样划分的结构。在将警告级别划分成数个等级的情况下，对终端用户而言排气泵的保养作业变得容易。例如，在发出了级别1的警告的时点，准备备用排气泵，在发出了级别2的警告的时点，通过更换排气泵，能够使备用排气泵的保有台数最小限，能够谋求成本降低。

图14是将图13的排气泵P作为排气单元而装入的顾客的处理执行装置的运转状态和该排气泵P的电动机M的温度之间的关系的说明图。

在图14中，在时刻t0～t1期间，通过由顾客的处理执行装置多次执行处理，排气泵P的电动机M的温度稳定在固定温度（C2度）。接着，当从时刻t1之后不久为检修等使顾客的处理执行装置停止时，随之，起因于排气泵P的负荷减轻等，使得排气泵P的电动机M的温度下降到规定温度（C1度）。其后，从时刻t2起，停止中的处理执行装置重启，通过在同一装置中处理恢复·重启，从时刻t2起，起因于排气泵P的负荷增大等，使得排气泵P的电动机M的温度上升。而且，在由处理执行装置多次执行了处理的时刻t3，该电动机M的温度稳定在固定温度（C2度）。这样，组装于顾客的处理执行装置的排气泵P的电动机M不会始终为固定的温度。根据顾客的处理执行装置的运转状态，排气泵P的电动机M中产生ΔC度的温度差（ΔC度=C2度－C1度）。

上述电动机M的温度差ΔC度会给该电动机电流值带来影响。为了调查该影响，本发明人等进行了调查试验。在该调查试验中，在图13的排气泵P的气体流路中生成物最易堆积的部位（具体而言，图13的S部），作成图2所示的模拟生成物的堆积状况，在这种模拟堆积物存在的状况下，使排气泵P运转。而且，在同一排气泵P的电动机M的温度高时（C4度）和低时（C3度），调查了排气泵P内的生成物的堆积和排气泵P的电动机M的电流变化之间的关系。表示其调查结果的图为图15。另外，在该调查试验中，在电动机M的温度高时（C4度）和低时（C3度），将流过排气泵P内的气体的种类、流量设定成同一条件。同图中的曲线A表示电动机M的温度高时（C4度）的生成物堆积比率和电动机M的电流变化之间的关系，另外，同图中的曲线B表示电动机M的温度低时（C3度）的生成物堆积比率和电动机M的电流变化之间的关系。

由图15的两曲线A、B可知，即使流过排气泵P的气体的种类和流量相同，在电动机M的温度高时（C4度）和低时（C3度），在电动机电流值中也会产生差值。本发明人等的实验判明，其差值因流过排气泵P的气体的种类和流量、电动机M的规格等有些许不同，但最大为10%程度。

图16是表示对流过排气泵P的气体的流量、排气泵P的电动机M的温度、同一电动机M的电流值之间的关系进行调查的实验结果的图。如同图（a）所示，在流过排气泵P的气体的流量为固定的情况下，如同图（b）（c）所示，排气泵P的电动机M的温度和电流值从开始流过气体的时刻t0起开始增大。而且，关于电动机M的温度，如同图（b）所示，从开始流过气体的时刻t0起经过规定时间以后，在规定温度稳定下来，关于电动机M的电流值，如同图（c）所示，与电动机M的温度的稳定大致同等地上升，在规定电流值稳定下来。同图（b）所示的电动机M的温度差造成的电动机电流值的差值最大变为10%程度。

如上说明的那样，由于在电动机M的温度高时（例如，图15的C4度）和低时（例如，图15的C3度），电动机电流值中产生差值，所以，如果在上述初始处理中存储的电动机电流初始值为图15的A1，且在上述事后处理中求出的电动机电流当前值为图15的A2，则即使是相同的电动机电流变化量Δi（=A2－A1），在电动机M的温度高时（C4度）和低时（C3度），如图15所示，生成物堆积比率也必然不同（根据图15，电动机M的温度低时（C3度）的生成物堆积比率为约72%，电动机M的温度高时（C4度）的生成物堆积比率为约69%）。

这里，在电动机M的温度低时（例如，图15的C3度），在上述的事后处理中，为了正确地检测电动机M的温度高时（例如，图15的C4度）的泵内堆积物（排气泵P内堆积的生成物）的堆积量，需要考虑电动机M的温度。另外，如前面用图4所说明的那样，由于基于流过排气泵P的气体的流量导致电动机电流值的变化率不同，所以同样也需要考虑流过排气泵P的气体的流量。

为了考虑以上的事项（电动机M的温度、流过排气泵P内的气体的流量）而正确地检测生成物的堆积量，在上述正常检查模式的事后处理中，在排气泵P内使规定的气体种类、气体流量流过的基础之上，在读入电动机M的电流值的阶段，测量该电动机M的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值。而且，将该预测到的电动机电流到达值作为上述（2－2）的电动机电流当前值被采用。作为预想电动机电流到达值的方法，例如，如图16（a）所示，也可以通过进行在排气泵P内流过规定的气体种类、气体流量并测量电动机温度和电动机电流的实验，预先取得如图16（b）（c）所示的电动机温度和电动机电流的相关数据，从该相关数据预想电动机电流到达值。另外，在正常检查模式下，需要流过某种程度的气体流量。理由是，当气体流量小时，电动机电流值的变化量就小，难以进行生成物的检测。因而，为了在正常检查模式下易检测生成物，需要预定适当的气体种类和流量。

当用图14和图15的例子进行说明时，上述“电动机电流到达值”，是指如下所述的预想的电动机电流值，即，在时刻t2降低到C1度或C3度的电动机M的温度通过处理的恢复·重启而上升到C2度或C4度时被推测为到达的电流值。

上述“电动机电流到达值”能够通过计算来预想。根据图15的曲线A、B，如果流过排气泵P的气体种类和气体流量相同，则电动机M的温度差（C4－C3）导致的电动机电流值之差如上所述那样最大为10%。因此，例如，如果在电动机M的温度为C3度时预测上升到C4度时的电动机电流值（电动机电流到达值），则对C3度时的电动机电流值加上该10%即可。另外，该10%的这种相加量根据流过排气泵P的气体的种类、流量能适当变更。

而且，如上所述，通过电动机M的温度为C3度时预想的电动机电流到达值（电动机M的温度上升到C4度时的电动机电流值）在上述事后处理中作为电动机M的温度变为C4度时的电动机电流当前值被采用，即使在电动机M的温度为C3度时进行事后处理的情况下，也能够精度良好地检测电动机M的温度变为C4度时的泵内堆积物的堆积量。

关于电动机M的温度的测量，考虑利用附属于该电动机M的未图示的温度传感器、后加的温度传感器的方法。

上述电动机电流到达值的预测也可以通过上述初始处理来实施。在这种情况下，在该初始处理中，在排气泵P使规定的气体种类、气体流量流过的基础上，在读入电动机M的电流值的阶段，测量该电动机M的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值。而且，将预测的电动机电流到达值作为上述（1－2）的电动机电流初始值被采用并将其存储。

在以上的说明中，如图13所示，以具备叶片部2和螺旋槽部5的所谓的复合翼型的排气泵为例，对检测该排气泵的气体流路内堆积的生成物时的结构进行了说明，但在其以外的其它排气泵中，例如，在不具有图13的螺旋槽部5的所谓的全翼型的排气泵中检测其气体流路内堆积的生成物的情况下，本发明也能适用。

符号说明

P　 排气泵

M　 电动机

R　 旋转体

1　 圆筒部

2　 叶片部

3　 转子轴

4　 排气泵的吸气口

5　 螺旋槽部

6　 排气泵的排气口

7　 温度检测单元

50　泵控制装置

51　微型计算机部

52　电动机驱动器

53　通信单元

54　显示单元

55　输入操作单元。

Claims (15)

1.一种排气泵的堆积物检测装置，该排气泵通过旋转体的旋转动作对气体进行排气，该堆积物检测装置的特征在于，

上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，

作为上述初始处理，指的是读入对上述旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值的处理和基于该读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储的处理，

作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入的处理、基于该读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量的处理，

上述堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

2.根据权利要求1所述的堆积物检测装置，其特征在于，

上述事后处理还包含：基于上述变化量进行警告设定的处理。

3.根据权利要求2所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

上述警告设定是根据上述变化量等级式地设定警告级别的警告设定。

4.根据权利要求1所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

在上述事后处理中，在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流当前值。

5.根据权利要求1所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

在上述初始处理中，在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流初始值并进行存储。

6.一种排气泵的堆积物检测装置，该排气泵通过旋转体的旋转动作对气体进行排气，该堆积物检测装置的特征在于，

上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，

作为上述初始处理，指的是对上述旋转体的温度进行读入的处理和基于该读入的旋转体温度求出旋转体温度初始值并进行存储的处理，

作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述旋转体的温度进行读入的处理、基于该读入的旋转体温度求出旋转体温度当前值的处理、以及求出上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量的处理，

上述堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

7.根据权利要求6所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

上述事后处理还包含：基于上述变化量进行警告设定的处理。

8.根据权利要求7所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

上述警告设定是根据上述变化量等级式地设定警告级别的警告设定。

9.一种排气泵的堆积物检测装置，该排气泵通过旋转体的旋转动作对气体进行排气，该堆积物检测装置的特征在于，

上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，

作为上述初始处理，指的是读入对上述旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值的处理、基于读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储的处理、对上述旋转体的温度进行读入的处理、以及基于读入的旋转体温度求出旋转体温度初始值并进行存储的处理，

作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入的处理、基于该读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、求出上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量的处理、对上述旋转体的温度进行读入的处理、基于该读入的旋转体温度求出旋转体温度当前值的处理、以及求出上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量的处理，

上述堆积物检测装置基于上述两个变化量来检测泵内堆积物。

10.根据权利要求9所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

上述事后处理还包含：基于上述两个变化量进行警告设定的处理。

11.根据权利要求10所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

上述警告设定是根据上述两个变化量等级式地设定警告级别的警告设定。

12.根据权利要求11所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

关于上述警告设定，

在上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量为电流关系的最高警告设定阈值以上的情况下，或者，在上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量为温度关系的最高警告设定阈值以上的情况下，进行与各自的阈值对应的警告设定；

在上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量为电流关系的初始警告设定阈值以上、且上述旋转体温度当前值相对于上述旋转体温度初始值的变化量为温度关系的初始警告设定阈值以上的情况下，进行与电流关系或温度关系的初始警告设定阈值对应的警告设定。

13.根据权利要求9所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

在上述事后处理中，在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流当前值。

14.根据权利要求9所述的排气泵的堆积物检测装置，其特征在于，

在上述初始处理中，在泵内流过规定的气体种类、气体流量的基础上，在读入上述电动机的电流值的阶段，测量该电动机的温度，基于测量到的电动机温度，预测电动机电流到达值，采用预测到的电动机电流到达值作为上述电动机电流初始值并进行存储。

15.一种排气泵，其特征在于，

具备上述权利要求1～14中的任一项所述的堆积物检测装置。